RU2263420C2 - Микроволновое устройство нагревания - Google Patents

Микроволновое устройство нагревания Download PDF

Info

Publication number
RU2263420C2
RU2263420C2 RU2002125497/09A RU2002125497A RU2263420C2 RU 2263420 C2 RU2263420 C2 RU 2263420C2 RU 2002125497/09 A RU2002125497/09 A RU 2002125497/09A RU 2002125497 A RU2002125497 A RU 2002125497A RU 2263420 C2 RU2263420 C2 RU 2263420C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
deflector
sample
waveguide
applicator
energy
Prior art date
Application number
RU2002125497/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2002125497A (ru
Inventor
Магнус ФАГРЕЛЛЬ (SE)
Магнус ФАГРЕЛЛЬ
Пер Олов Г. РИСМАН (SE)
Пер Олов Г. РИСМАН
Original Assignee
Персонал Кемистри И Уппсала Аб
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Персонал Кемистри И Уппсала Аб filed Critical Персонал Кемистри И Уппсала Аб
Publication of RU2002125497A publication Critical patent/RU2002125497A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2263420C2 publication Critical patent/RU2263420C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/70Feed lines
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/80Apparatus for specific applications
    • H05B6/806Apparatus for specific applications for laboratory use
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B01J19/122Incoherent waves
    • B01J19/126Microwaves
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/70Feed lines
    • H05B6/701Feed lines using microwave applicators
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/70Feed lines
    • H05B6/705Feed lines using microwave tuning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/12Processes employing electromagnetic waves
    • B01J2219/1203Incoherent waves
    • B01J2219/1206Microwaves
    • B01J2219/1248Features relating to the microwave cavity
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/12Processes employing electromagnetic waves
    • B01J2219/1203Incoherent waves
    • B01J2219/1206Microwaves
    • B01J2219/1248Features relating to the microwave cavity
    • B01J2219/1266Microwave deflecting parts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/12Processes employing electromagnetic waves
    • B01J2219/1203Incoherent waves
    • B01J2219/1206Microwaves
    • B01J2219/1248Features relating to the microwave cavity
    • B01J2219/1269Microwave guides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/12Processes employing electromagnetic waves
    • B01J2219/1203Incoherent waves
    • B01J2219/1206Microwaves
    • B01J2219/1248Features relating to the microwave cavity
    • B01J2219/1272Materials of construction
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/08Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J2219/12Processes employing electromagnetic waves
    • B01J2219/1203Incoherent waves
    • B01J2219/1206Microwaves
    • B01J2219/1275Controlling the microwave irradiation variables

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
  • Waveguides (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Electric Ovens (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

Настоящее изобретение относится к устройству для нагревания образца, такого как смесь для химической реакции, диэлектрические свойства которого изменяются в течение процесса нагревания. В частности, настоящее изобретение относится к микроволновому устройству нагревания, содержащему микроволновый генератор, волновод для передачи сформированных электромагнитных волн к аппликатору и дефлектор, сформированный замкнутым контуром, определяющим плоскость, причем указанный дефлектор имеет присущую ему резонансную частоту и толщину в направлении, перпендикулярном указанной плоскости, дефлектор имеет возможность вращения вокруг оси по меньшей мере существенно параллельной указанной плоскости, дефлектор располагается в волноводе таким образом, чтобы сформировать резонатор с образцом и аппликатором волновода. Резонансные условия резонатора и коэффициент связи излучения от волновода до данного резонатора легко настраиваются с помощью вращения дефлектора. Резонансные условия и коэффициент связи могут настраиваться в зависимости от диэлектрических свойств образца и решают задачу оптимизации количества поглощаемой энергии и таким образом осуществления управления процессом нагревания образца. 2 н. и 30 з.п. ф-лы, 3 табл., 23 ил.

Description

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ
Настоящее изобретение относится к устройству для нагревания образца, такого как смесь для химических реакций, диэлектрические свойства которого изменяются в процессе нагревания. В частности настоящее изобретение относится к микроволновому устройству нагревания, содержащему резонатор, в котором условия резонанса и коэффициент связи излучения для данного резонатора легко настраиваются. Условия резонанса и коэффициент связи могут настраиваться в зависимости от диэлектрических свойств образца таким образом, чтобы оптимизировать количество поглощаемой энергии и таким образом осуществлять управление процессом нагревания образца.
ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Одной из главных проблем для органической химии сегодня является время, затрагиваемое на поиск эффективных путей органического синтеза. К проблемам фармацевтических отраслей промышленности и органической химии относятся: определение путей сокращения времени разработки лекарств, определения путей создания химического разнообразия, развитие новых путей синтеза и возможно повторное внедрение старых «невозможных» путей синтеза. К постоянной сложной проблеме относится также проблема создания классов полностью новых химических объектов.
Химические реакции часто осуществляются при повышенной температуре для увеличения скорости реакции или доставки требуемой энергии для инициализации и поддержания реакции. Химия с помощью микроволн предлагает способ осуществления реакций и решение, по меньшей мере, некоторых из вышеупомянутых проблем, а именно
ускорение времени реакций на несколько порядков,
увеличение производительности химических реакций,
предложение более высокой чистоты результирующего продукта из-за быстрого нагревания и, таким образом, избежания загрязнения от побочных реакций, и
осуществление реакций, которые не возможны с помощью традиционных тепловых методов нагревания.
Недавние разработки привели к устройствам, содержащим микроволновый генератор, отдельный аппликатор для удержания образца, который нужно подвергать обработке, и волновода, направляющего сформированное микроволновое излучение от генератора и с аппликатором. Даже если система состоит из 2450 МГц, ТЕ10 волновода, с которым с одной стороны соединен магнетронный генератор, и типового контейнера, который находится с другой стороны, то имеется потребность в устройстве согласования в форме по меньшей мере металлического штыря или диафрагмы между генератором и нагрузкой для достижения приемлемой эффективности.
При передаче электромагнитного излучения, такого как микроволновое излучение, от источника к аппликатору, важно согласовать импеданс волновода и импеданс аппликатора (с образцом) для того, чтобы достичь хорошей передачи энергии. Однако диэлектрические свойства образца будут значительно влиять на импеданс аппликатора, так же как на его электрическую длину, и диэлектрические свойства образца часто значительно изменяются как с изменением температуры, так и с изменением применяемой частоты. Таким образом часто будет возникать несогласование импеданса между источником и аппликатором, и связность, а таким образом и процесс нагревания, становятся менее эффективньми и трудно предсказуемыми.
Патент США 5837978 раскрывает систему микроволнового нагрева, применяющую резонансный многомодовый аппликатор, содержащий устройство для согласования импеданса во время процесса нагрева для достижения эффекта резонанса системы. Согласование или настройка выполняются с помощью регулировки высоты аппликатора и положения микроволновой антенны/штыря в аппликаторе (см., например, столбец 7, строки 17-24 или столбец 8, строки 33-39).
В многомодовых резонаторах электрическое поле является наложением нескольких продольных мод и нескольких поперечных мод. Когда многомодовый аппликатср настраивается на резонанс, изменяют равновесие между этими модами и таким образом пространственное энергетическое распределение. Поэтому энергетическое распределение не является ни равномерным в пространстве, ни постоянным в течение процесса нагревания, из-за чего трудно получить результаты, которые можно повторить, поскольку небольшое изменение положения или размера образца, или настройки резонанса (которая осуществляется пользователем или при изменении диэлектрических свойств образца), приводит к изменению поглощения энергии. Вращение образца в нагревателе не обеспечивает значительного улучшения возможности воспроизведения результатов, поскольку некоторые из видов мод, фактически большинство мод в реальной многомодовой системе, имеют тенденцию более сильного нагревания внешних частей образца. Это приводит к зависимости нагрева образца от положения, что также зависит от настройки резонанса. Образцы, используемые в микроволновой химии, традиционно имеют объемы в пределах от нескольких мкл до ~10 мл, и поэтому важно иметь однородное и известное энергетическое распределение.
WO 99/17588 описывает микроволновый нагреватель, имеющий проводящий элемент конструкции, предназначенный для управления передачей микроволновой энергии от волновода к многомодовому аппликатору. Данный проводящий элемент действует как рассеивающий резонатор и обеспечивает локальную область специфической картиной поля. При вращении элемента поле изменяется, вызывая повышение подачи микроволновой энергии к многомодовому аппликатору. Указанный проводящий элемент предпочтительно является эллиптическим кольцевым элементом.
В заявке ЕР 552807, А1 описывается подобный микроволновый нагреватель, имеющий в волноводе металлический рефлектор с возможностью вращения, предназначенный для согласования импеданса между волноводом и камерой нагрева.
Резонаторы с одномодовым аппликатором обеспечивают возможность формирования поля высокой интенсивности, высокой эффективности и с однородным распределением энергии. Об использовании одномодовых аппликаторов уже сообщалось, см., например, патенты США 5393492 и 4681740. Однако, поскольку диэлектрические свойства образца изменяют резонансную частоту и так как магнетроны обычно обеспечивают только фиксированную частоту или только незначительное регулирование около основной частоты магнетрона, генерируемая частота и резонансная частота для данного вида мод будут разсогласовываться при нагревании образца. Таким образом теряется высокая интенсивность резонансного режима.
Патент США 2427100 и NL Octrooi №75431 оба раскрывают устройства для настройки указанного импеданса или волнового отражения в системах передачи с микроволновым волноводом при наличии дефлектора с возможностью вращения, установленного в волноводе. В обеих системах систему волновода настраивают, устанавливая в волновод реактивное импеданс. Следует обратить внимание, что воздействуют только на рассеивание, т.е. отражение заданной моды волновода.
В патенте США 4777336 описывается способ управления нагреванием образцов в одномодовых или многомодовых аппликаторах с помощью настройки аппликатора, используя штырь или двигая короткозамкнутые пластины в пределах аппликатора.
Общим недостатком многомодовых аппликаторов является то, что пространственное энергетическое распределение изменяется, когда он настраивается для согласования импеданса.
Другим недостатком многомодовых аппликаторов является то, что аппликатор имеет неравномерное энергетическое распределение.
Дополнительным недостатком многомодовых аппликаторов является то, что многомодовое нагревание образца невозможно повторить (т.е. оно очень чувствительно к размерам) и может изменяться, как функция температуры нагрузки.
Недостатком устройств предшествующего уровня техники с одномодовым аппликатором заключается в том, что отсутствуют эффективные и надежные средства для настройки резонансной частоты в зависимости от диэлектрических свойств нагрузки, поскольку гальванический контакт, например с помощью винтовых штырей или металлических направляющих, необходим для эффективного управления небольшими коэффициентами связи, а воздушные расстояния до стен волновода имеют тенденцию стать настолько маленькими, что имеется риск возникновения искрения.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Ввиду вышеизложенного, целью настоящего изобретения является обеспечение микроволнового устройства нагревания, в котором образцы могут равномерно нагреваться, используя одномодовый аппликатор.
Другой целью настоящего изобретения является обеспечение микроволнового устройства нагревания, которое имеет высокую эффективность нагревания, за счет улучшенной передачи излучения образцу, расположенному в аппликаторе.
Еще одной целью настоящего изобретения является обеспечение микроволнового устройства нагревания, в котором соединение с одномодовым аппликатором и резонансная частота аппликатора могут настраиваться в зависимости от изменения диэлектрических свойств образца в аппликаторе, используя отдельно расположенный дефлектор с возможностью вращения.
Согласно первому аспекту настоящее изобретение обеспечивает устройство нагрева, содержащее:
- устройство формирования для формирования электромагнитного излучения с длиной волны λ,
- волновод для направления сформированного электромагнитного излучения к аппликатору волновода, предназначенному для удержания образца, который должен быть нагрет, причем образец имеет диэлектрические свойства εsamhle, которые изменяются, как функция температуры образца, волновода и аппликатора волновода, поддерживающего один вид нормальных поперечных мод (является одномодовым),
- дефлектор, сформированный замкнутым контуром, определяющим плоскость, причем указанный дефлектор имеет резонансную частоту νdefl и толщину в интервале [λ/30 - λ/5] в направлении, перпендикулярном к указанной плоскости, данный дефлектор имеет возможность вращения вокруг оси, которая по меньшей мере существенно параллельна указанной плоскости,
- данный дефлектор располагается в волноводе для формирования резонатора с образцом и аппликатором волновода, причем указанный резонатор имеет по меньшей мере одну резонансную частоту vcav, которая зависит по меньшей мере от εsamhle, νdefl и угла поворота дефлектора αdefl.
В настоящем описании волновод должен интерпретироваться как любое устройство, способное направлять электромагнитные волны, такие как электромагнитное излучение. Волновод может быть волноводом в форме металлических каналов для направления таких волн, как излучение, или кабелей, таких как коаксиальные кабели, для направления таких волн, как электрические сигналы. Волновод может также содержать активные и/или пассивные компоненты, такие как соединители, разделители, расщепители, объединители, циркуляторы, измерители мощности, искусственные образцы, анализаторы спектра и т.д.
Волновод типично может поддерживать только один вид поперечных мод, ТЕ (колебания типа Е) или ТМ (колебания типа Н), в зависимости от его конструкции. Волновод предпочтительно соединяется с аппликатором с возможностью передачи энергии мод в волноводе модам в аппликаторе. Для обеспечения эффективности связи импеданс волновода должен быть по меньшей мере существенно согласован с импедансом аппликатора, и может также существовать согласование полей (т.е. возможность непрерывной передачи энергии с помощью подобных полей в двух волноводах). Передача излучения и, следовательно, энергии от мод в волноводе модам в аппликаторе, при условии согласования полей, может быть определено количественно с помощью коэффициента связи, который определяется как отношение между импедансом волновода и импедансом аппликатора. Обычно необходимо иметь настолько хорошее согласование импеданса, насколько это возможно (или, аналогично, коэффициент связи должен быть как можно ближе к 1) при реально существующих условиях. Это согласование импеданса (или оптимизация коэффициента связи) при различных условиях можно получить в зависимости от различных параметров, таких как поглощающая способность образца и конструкция системы. При вращении дефлектора для настройки коэффициента связи можно также настраивать резонансную частоту резонатора νcav. Однако, как будет показано позже, оптимизация коэффициента связи не требует одновременной настройки частоты νcav таким образом, чтобы она была равна генерируемой частоте. В предпочтительном варианте осуществления и волновод, и аппликатор волновода предпочтительно поддерживают вид ТЕ10 моды, так что условие согласования полей выполняется.
Аппликатор волновода в его самой простой форме является волноводом, который заканчивается, например, короткозамкнутой стенкой, диафрагмой или их эквивалентом, которые приспособлены, чтобы удерживать образец, к которому передаются микроволны. Таким образом аппликатор волновода поддерживает тот же самый вид ТЕ или ТМ, мод, как и волновод, конечной частью которого он является. В зависимости от волновода и мод в волноводе, аппликатор не должен иметь точно те же самые размеры в поперечном сечении, как волновод. Как правило, волновод поддерживает TE10 моды, при которых электрическое поле не изменяется в вертикальном направлении, следовательно, в этом случае только горизонтальные размеры (ширина) волновода и аппликатора волновода должны быть по меньшей мере существенно равными. Геометрические ограничения для волновода и аппликатора волновода для различных конструкций будут очевидны для специалиста, с учетом необходимости выполнения условия согласования полей.
Одномодовый аппликатор - аппликатор, содержащий резонатор аппликатора, предназначенный для поддержания резонанса только одного вида мод в пределах частотного спектра используемого излучения. Следовательно, аппликатор волновода - также одномодовый аппликатор, и в зависимости от контекста, аппликатор волновода может также обозначаться, как одномодовый аппликатор или просто аппликатор.
С целью достижения высокой напряженности поля в пределах аппликатора, предпочтительно, чтобы резонансная частота резонатора была близкой или по существу равнялась частоте в формируемом частотном спектре, соответствующей максимуму амплитуды. Условия резонанса могут достигаться с помощью настройки реактивного импеданса (емкостной и индуктивной реактивности) аппликатора или с помощью настройки электрической длины аппликатора, чтобы она равнялась λ/2, где λ - длина волны прикладываемого излучения.
Электрическая длина - параметр, характеризующий расстояние, пересекаемое электромагнитным излучением в данной среде за время t, и оно приблизительно равно соответствующему расстоянию, которое электромагнитное излучение пересекло бы в вакууме за то же самое время t. Если, например, среда с высокой диэлектрической проницаемостью и длиной х помещается на пути лучей, то электрическая длина пути увеличивается на (n-1) х, где n - показатель преломления среды.
Согласно настоящему изобретению дефлектор сформирован замкнутым контуром, определяющим плоскость. В этой плоскости дефлектор имеет ширину «а» и высоту «b». Также в этой плоскости материал, формирующий данный контур, имеет радиальную толщину «с». Дефлектор имеет осевую толщину «h» по оси, перпендикулярной к плоскости дефлектора. Окружность внутреннего периметра замкнутого контура дефлектора определяет свойственную ему резонансную частоту νdefl дефлектора, и этим - частоту максимальной блокировки, когда он размещается таким образом, чтобы его плоскость была перпендикулярна направлению потока энергии в волноводе. Дефлектор может поворачиваться в положение, когда его плоскость будет перпендикулярна (или его ось будет параллельна) волноводу, в котором он будет эффективно отражать излучение, имеющее частоту, равную или близкую к νdefl (блокирующее положение). Также дефлектор может поворачиваться в положение, когда его плоскость будет параллельна (или его ось будет перпендикулярна) волноводу, в котором он будет только отражать излучение, что можно сравнить с отражением пластины из проводящего материала, имеющей ту же самую конфигурацию (открытое положение). Между этими положениями дефлектор может характеризоваться комплексным коэффициентом отражения R (ν, αdefl), зависящим от частоты и угла поворота дефлектора. Следовательно, νdefl и αdefl по меньшей мере частично определяют передачу излучения между волноводом и аппликатором волновода. Фазовая компонента комплексного коэффициента отражения изменяется как функция угла поворота дефлектора. Это можно интерпретировать таким образом, что положение минимума стоячей (отраженной) волны изменяется с углом поворота, таким образом внося задержку фазы или смещение фазы при вращении дефлектора.
Как уже указывалось, дефлектор с аппликатором волновода (с образцом) формируют резонатор. Как указано выше, дефлектор может влиять на электрическое расстояние для по меньшей мере части электромагнитных волн, направляемых к аппликатору, что фактически изменяет эффективную длину резонатора. Так как это влияние зависит от угла поворота дефлектора, резонансная частота дефлектора может быть настроена с помощью вращения дефлектора.
Так как резонансная частота резонатора может изменяться при изменении диэлектрической проницаемости образца, функционирование дефлектора может компенсировать это изменение, таким образом сохраняя резонансную частоту, по существу постоянной и тем самым, обеспечивая возможность высокой эффективности микроволнового нагревания.
Комплексный коэффициент отражения дефлектора, резонансная частота νcav резонатора, и передача излучения между волноводом и резонатором тесно связаны между собой. В целях иллюстрации настройка размера и угла поворота дефлектора может рассматриваться как балансирование между передачей излучения к резонатору и сохранением переданной энергии в резонаторе. Если например νdefl=vcav, то дефлектор в его положении блокирования может сформировать очень эффективное «оконечное зеркало» для резонансного излучения в резонаторе, однако только очень небольшое излучение (имеющее частоту точно νcav) может быть передано к резонатору. При вращении дефлектора по направлению к открытому положению большее количество излучения может быть передано резонатору, но, с другой стороны, дефлектор не может сформировать очень эффективное «оконечное зеркало», и большее количество энергии может быть потеряно аппликатором. Таким образом в некотором положении между положением блокирования и открытым положением можно ожидать максимума энергии в резонаторе. С другой стороны, если νdefl значительно отличается от νcav излучение, имеющее частоту νcav, может эффективно передаваться резонатору даже тогда, когда дефлектор находится в положении блокирования, но дефлектор не может сформировать очень эффективное «оконечное зеркало». Следовательно, и максимум энергии в резонаторе может ожидаться при частоте νdefl, которая не равна, но и не слишком отличается от νcav.
Надлежащий выбор осевой толщины, чтобы она была значительно больше, чем радиальная толщина, обеспечит требуемое изменение положения фазы отраженной волны при вращении дефлектора. Предпочтительно осевая толщина дефлектора находится в интервале [λ/20 - λ/10], например в пределах интервала от 3 до 25 мм для 2450 МГц, ТЕ10 волновода с размерами 86×43 мм (ширина × высота). Для волноводов с более низкой высотой, например 25 мм, осевая толщина должна быть меньше; найденный оптимальный размер составляет приблизительно 10 мм. Также в предпочтительном варианте осуществления радиальная толщина дефлектора находится в интервале между 0,1 мм и 5 мм.
Предпочтительно дефлектор имеет форму эллипса, имеющего главную ось длиной а и малую ось длиной b. Альтернативно, дефлектор имеет форму трапеции, например прямоугольника, имеющего ширину а и высоту b. Выбор точной формы замкнутого контура зависит от требуемого «свойства пропускания», причем эллиптическая форма может давать максимальное блокирование согласно предшествующему уровню техники.
При предварительно определенном наборе условий, таких как объем образца, диэлектрическая проницаемость образца, положение образца в аппликаторе, и передача направляемых волн между волноводом и аппликатором, аппликатор может стать анти-резонансным. В этом случае резонансная частота аппликатора и/или передача направляемых волн между волноводом и аппликатором может быть настроена с помощью того, что конструкция содержит элемент из материала, имеющего относительную диэлектрическую проницаемость больше, чем 5, например больше, чем 10, предпочтительно больше, чем 25, расположенный в пределах аппликатора. Для достижения требуемой относительной диэлектрической проницаемости материала, он может содержать керамические материалы, содержащие один или большее количество материалов, отобранных из группы, состоящей из Al2O3, TiO2 или XTiO3, где Х - любой элемент группы II, например Са или Mg. Относительная диэлектрическая проницаемость и/или форма, и/или размер указанного элемента могут выбираться таким образом, чтобы заставить аппликатор резонировать при указанном предварительно определенном наборе условий.
Кроме того, устройство может дополнительно содержать устройство для настройки положения образца в аппликаторе для корректировки влияния образца на резонансную частоту резонатора и/или передачу направляемых волн между волноводом и аппликатором. Предпочтительно устройство для настройки положения образца содержат устройство для настройки, по существу, вертикального положения указанного устройства поддержки.
Для уменьшения количества рассеянных волн, направленных к генератору, устройство может дополнительно содержать первый циркулятор и первую искусственную нагрузку, причем первый циркулятор настраивается таким образом, чтобы отклонять по меньшей мере часть электромагнитных волн, отраженных от аппликатора, к первой искусственной нагрузке. Одно или более устройств измерения энергии может быть размешено для измерения энергии по меньшей мере части электромагнитных волн, отклоненных первым циркулятором. Указанные одно или более устройств измерения энергии предпочтительно оперативно связаны с первым устройством хранения для хранения результатов измерения энергии.
Генератор может содержать магнетрон или полупроводниковый генератор и полупроводниковый усилитель. Полупроводниковый усилитель предпочтительно содержит один или более мощных карбидокремниевых транзисторов. Альтернативно, генератор может содержать и магнетрон, и полупроводниковый генератор. Образец предпочтительно находится в контейнере, который, по существу, герметично закрывается и приспособлен для противостояния давлению.
Также часто бывает необходимо контролировать температуру образца во время нагревания. Для этой цели устройство может содержать элемент, чувствительный к тепловому излучению, настроенный для определения температуры образца и расположенный таким образом, чтобы принимать тепловое излучение, исходящее от образца.
И высокое давление, и высокая температура образца подразумевают возникновения риска, связанного с поломкой контейнера, и, как следствие, возможности утечки образца в аппликатор. Поломка контейнера может быть такой, как взрыв или просто расплавление контейнера. Для защиты дефлектора и волновода, в случае поломки контейнера, устройство может содержать экран для отделения дефлектора и волновода от контейнера. Экран, предпочтительно, по существу, прозрачен для электромагнитных волн, направляемых к аплликатору, и может содержать один или более материалов, отобранных из группы, состоящей из: политетрафторэтилен (PTFE) (тефлон®), поли-4-метилентен-1 (ТРХ), полипропилен или полифениленсульфид (PPS, ритон®). Дополнительно аппликатор также содержит слив для слива образца из аппликатора. Предпочтительно слив ведет на приемник для приема образца, слитого из аппликатора.
Устройство может быть дополнительно автоматизировано с помощью включения в устройство устройства для размещения образца в пределах аппликатора. Если образец загружается в контейнер вне устройства, то устройством для размещения является устройство для размещения контейнера по меньшей мере частично в пределах аппликатора.
С целью обеспечения возможности большего изменения энергии и/или частоты сформированных волн, устройство может дополнительно содержать второе генерирующее устройство для формирования электромагнитных волн. В этом случае волновод настраивается для направления по меньшей мере части электромагнитных волн, сформированных первым и вторым устройствами формирования, к аппликатору. Для обеспечения параллельной обработки образцов устройство может дополнительно содержать второй аппликатор для поддержания контейнера, содержащего второй образец. В этом случае волновод настраивается для направления по меньшей мере части электромагнитных волн к первому и второму аппликатору. Второй аппликатор может также содержать все особенности, описанные выше относительно аппликатора. Комбинация двух или более генераторов и двух или более аппликаторов возможна в большой системе, в которой сформированная энергия дозируется для каждого аппликатора индивидуально.
Под термином микроволны подразумевается электромагнитное излучение в частотном диапазоне 300 МГц - 30О ГГц. Предпочтительно устройство и способы согласно изобретению выполняются в пределах частотного диапазона 500 МГц - 300 ГГц, предпочтительно в пределах частотного диапазона 500 МГц - 300 ГГц, например 500 МГц - 10 ГГц, 2-30 ГГц, 300 МГц - 4 ГГц, 2-20 ГГц, 0,5-3 ГГц или в пределах диапазона 50-100 ГГц.
В настоящем контексте термин «устройство» определяет одну или несколько частей оборудования, которые, в целом, содержат части, устройства и элементы, которые характеризуют изобретение. Соответственно устройство может существовать как распределенная система, где отдельные части или устройства не расположены в физической близости друг от другу. Как пример такой конфигурации, устройство памяти может быть физически расположено, например, в персональном компьютере (ПК, PC), в то время как все механические части могут существовать как объединенное устройство.
Согласно второму аспекту настоящее изобретение обеспечивает способ функционирования устройства согласно первому аспекту изобретения. Таким образом, согласно второму аспекту настоящее изобретение обеспечивает способ для нагревания образца, причем указанный способ содержит следующие этапы.
I. Обеспечивают устройство для нагрева согласно первому аспекту и помещают образец в аппликатор.
II. Формируют электромагнитное излучение на первом уровне выходной мощности.
III. Врашают дефлектор для настройки коэффициента связи между волноводом и резонатором.
Когда инициализируется процесс нагревания, образец имеет первую температуру T1. Способ предпочтительно дополнительно содержит этапы:
- нагревают образец для получения второй температуры Т21;
- вращают дефлектор для настройки коэффициента связи между волноводом и резонатором в соответствии с изменением диэлектрических свойств εsample образца.
Вышеупомянутые этапы могут повторяться несколько раз в течение процесса нагревания.
Настоящее изобретение применимо для разработки и/или оптимизации процесса нагрева образца. Таким образом, способ согласно второму аспекту может дополнительно содержать этапы:
IV. Осуществляют следующие этапы один или более раз:
- замещают дефлектор в первое положение и измеряют первую энергию электромагнитного излучения, отраженного от аппликатора волновода, причем данное отраженное излучение соответствует указанному первому положению дефлектора,
- вращают дефлектор во второе положение, которое отличается от первого положения и измеряют вторую энергию электромагнитного излучения, отраженного от аппликатора волновода, причем данное отраженное излучение соответствует указанному второму положению дефлектора.
V. Определяют предпочтительное положение дефлектора на основании количества энергии, отлаженного от аппликатора волновода по меньшей мере в первом и втором положениях.
Эта измеренная энергия предпочтительно обратно пропорциональна энергии, поглощаемой образцом при первом и втором положениях дефлектора. Предпочтительно эти разработка и/или оптимизация осуществляются только однажды для каждого типа образца или реакции, так как полученные параметры могут сохраняться для последующего использования. Следовательно, способ может дополнительно содержать следующие этапы.
VI. Обеспечивают первое устройство хранения.
VII. Сохраняют информацию о первом положении в устройстве хранения и сохраняют результат измерения первой энергии, относящейся к нему.
VIII. Сохраняют информацию о втором положении в устройстве хранения и сохраняют результат измерения второй энергии, относящейся к нему.
Часто бывает необходимо сохранить результаты измерения энергии, соответствующие множеству различных положений, и этапы IV, VII и VIII могут повторяться так часто, как требуется. Углы поворота дефлектора и энергия могут сохраняться в виде таблицы, в устройстве хранения. Согласно второму аспекту этап V может содержать обработку сохраненных измерений энергии для определения предпочтительного положения дефлектора, соответствующего локальному или абсолютному минимуму в измеренной энергии, или предварительно определенному отношению измеренной энергии к первому уровню выходной энергии.
После определения предпочтительного положения дефлектора способ может дополнительно содержать этапы размещения дефлектора в предпочтительном положении для нагревания образца. После размещения дефлектора в предпочтительном положении способ также дополнительно содержит этап формирования электромагнитного излучения на втором уровне выходной энергии, который больше, чем первый уровень выходной энергии, для нагревания образца с более высокой скоростью.
Сравнивая сохраненный результат измерения энергии с соответствующими сохраненными результатами измерения энергии для отличающегося второго образца, можно определить меру относительной диэлектрической проницаемости первого образца по отношению к относительной диэлектрической проницаемости второго образца.
Альтернативно, сравнивая сохраненный результат измерения энергии с соответствующими сохраненными результатами измерения энергии для второго образца известного химического состава, можно определить признак химического состава первого образца по отношению к химическому составу второго образца. Если первый образец содержит по меньшей мере один реагент для выполнения химической реакции, способ может дополнительно содержать этапы:
осуществляют химическую реакцию с по меньшей мере одним реагентом, и
определяют степень реакции для химической реакции, используя индикацию химического состава образца,
где степень реакции - мера степени, на которую выполнилась химическая реакция для формирования изделия в химической реакции.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ.
Фиг.1 - вид в поперечном разрезе первого варианта осуществления устройства согласно настоящему изобретению.
Фиг.2А показывает линии электрического и магнитного поля в волноводе согласно первому варианту осуществления настоящего изобретения, фиг.2В показывает линии магнитного поля и токи на стенках волновода.
Фиг.3А - 3В - иллюстрация дефлектора согласно настоящему изобретению.
Фиг.4 - последовательность операций, описывающая процедурные этапы процесса нагревания согласно настоящему изобретению.
Фиг.5 - диаграмма с кривой, которая показывает температуры и интервалы времени процесса нагревания согласно настоящему изобретению.
Фиг.6 - диаграмма с кривой, которая показывает эскиз типичного «отпечатка пальца» образца согласно настоящему изобретению.
Фиг.7 показывает иллюстрацию испытательной установки, используемой для экспериментальной проверки свойств устройства согласно настоящему изобретению.
Фиг. с 8 до 13 представляют различные графики, показывающие полученные экспериментальные данные, используя испытательную установку, показанную на фиг.7.
Фиг.14 показывает общую схему устройства согласно настоящему изобретению, используемого при компьютерном моделировании для теоретической проверки свойств устройства согласно настоящему изобретению.
Фиг. с 15 до 20 представляют различные графики, показывающие данные, полученные при моделировании.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
В дальнейшем будет описан и обсужден более подробно конкретный вариант осуществления устройства согласно изобретению. Настоящее описание обеспечивает более подробное списание предпочтительных особенностей изобретения, списанного относительно предпочтительного' варианта осуществления. Однако специалисту будет понято, что изобретение не ограничено данным обсужденным вариантом осуществления, и что каждая из индивидуальных особенностей, описанных в настоящем варианте осуществления, могла бы быть осуществлена многими другими способами. Также представлены эксперименты и компьютерное моделирование, подтверждающие работу настоящего изобретения.
В предпочтительном варианте осуществления настоящее изобретение относится к микроволновому (MB) устройству для нагрева, предназначенному для нагревания образца с улучшенной эффективностью. Улучшенная эффективность достигается с помощью применения множества особенностей, которые включают в себя:
- одномодовый аппликатор волновода,
- устройство для настройки резонансной частоты резонатора в аппликаторе волновода в ответ на изменение диэлектрических свойств образца во время нагревания для того, чтобы заставить аппликатор волновода резонировать и обеспечивать высокую напряженность поля внутри аппликатора волновода, и
- устройство для настройки коэффициента связи MB излучения между волноводом и аппликатором для оптимизирования излучения, передаваемого образцу.
Как предварительно упомянуто, одномодовый аппликатор - аппликатор, содержащий резонатор аппликатора, который поддерживает резонанс только для одного типа мод (одной моды) в пределах частотного спектра применяемого излучения. В этом случае колебания в аппликаторе - нормальные колебания параллелепипедной формы, а именно ТЕ101 первые прямоугольные колебания. Нормальная мода определяются как первая распространяющаяся мода, которая появляется, когда частота генератора увеличивается от 0 Hz. Образец, который может иметь существенную и изменяющуюся диэлектрическую проницаемость, может изменить детали поля этого вида мод, но соотношение между объемами образца и аппликатора все еще настолько маленькое, что по существу остается простой вид мод. Критерии резонанса для одномодовых аппликаторов в общем случае более критичны, чем для многомодовых аппликаторов, так как относительная сила перекрытия различных видов мод «автоматически» изменится в хорошо сконструированной многомодовой системе для сохранения эффективного коэффициента связи при изменении образца. Однако изменение равновесия различных видов мод также означают, что модель нагрева образца изменяется, что приводит к неоднородному нагреванию. Изменение модели усиливается тем фактом, что многомодовый резонатор должен быть намного больше по размеру, чем нормальный одномодовый аппликатор, для поддержания вид мод более высокого порядка, это означает, что ширина полосы резонансных частот для каждого режима станет меньше. Пространственное энергетическое распределение в одномодовом аппликаторе является более равномерным и более интенсивным, но имеет меньше максимумов, чем пространственное энергетическое распределение в многомодовом аппликаторе. Однако, если резонансом и коэффициентом связи можно управлять, и если положение образца выбрано должным образом, то напряженность поля при данном положении образца может быть значительно больше для одномодового аппликатора по сравнению с многомодовыми аппликаторами. Это происходит из-за того, что многомодовый резонатор должен иметь намного больший объем, чем аппликатор для нормального вида мод. Таким образом потеря энергии в стенах резонатора становится намного выше.
На Фиг.1 представлен вид в поперечном разрезе предпочтительного варианта осуществления настоящего изобретения. Устройство имеет три плеча, в которых соответственно расположены микроволновый генератор 2, аппликатор 4 и искусственная нагрузка 5, и часть волновода 3, формирующая два плеча для направления излучения от генератора 2 к аппликатору 4. Дефлектор 26 располагается в волноводе 3 около аппликатора 4.
Устройство предпочтительного варианта осуществления дополнительно содержит контроллер 7, например компьютер, который может хранить и обрабатывать измеренные значения и управлять энергией генератора. Дополнительно контроллер 1 также контролирует параметры, например температуру и время, и управляет такими функциями, как охлаждение и положение дефлектора. Контроллер оперативно связан с генератором 2 и такими устройствами, как инфракрасный датчик 32, устройство 21 и 22 измерения энергии, двигатель 27 дефлектора, устройство охлаждения (не показано) и устройство регулирования высоты (не показано). Контроллер имеет пользовательский интерфейс, который позволяет пользователю настроить конкретный процесс нагревания.
Микроволновый генератор 2 может быть магнетроном или полупроводниковым генератором. В случае магнетрона, магнетрон 2 устанавливается на вершине волновода 3, причем его антенна 16 вставляется в волновод 3. Для диапазона энергии от 1 до 300 Вт, магнетрон предпочтительно характеризуется управлением входной энергией с помощью электромагнитного соленоида, который используется для регулирования выходной энергии магнетрона, посредством изменения в нем статического магнитного поля. Частотный диапазон типично центрируется на 2450 МГц или 915 МГц. Температура магнетрона предпочтительно измеряется с помощью температурного датчика (не показан) и магнетрону для стабильной работы достигает максимальной температуры 90°С.
В случае полупроводникового генератора (не показан), генератор может также быть полупроводниковым усилителем, использующим, например, кремниевокарбидные транзисторы мощности. Полупроводниковые микроволновые генераторы и усилители обеспечивают разнообразные преимущества по сравнению с традиционными лампами бегущей волны (ЛЕВ), гиротронами и магнетронами. Примерами этих преимуществ являются:
простое управление частотой и выходной мощностью
небольшие физические размеры
отсутствие потребности в высоком напряжении, что улучшает безопасность и надежность
отсутствие времени разогрева, поэтому немедленная готовность и возможность быстрого изменения выходной мощности
отсутствие изнашивающихся частей, что значительно уменьшает стоимость обслуживания и улучшает полезное время работы устройства
гораздо более высокое среднее время безотказной работы и более низкое среднее время ремонта по сравнению с ЛБВ
лучшая неравномерность амплитудной характеристики по сравнению с ЛБВ
более низкий шум по сравнению с ЛБВ.
Устройство усиления предпочтительно имеет усилитель сигнала и усилитель мощности. Усилитель сигнала - полупроводниковое устройство, настроенное для усиления сигнала от генератора сигнала, усилитель мощности обеспечивается для дальнейшего усиления сигнала от усилителя сигнала, и также является полупроводниковым устройством. Усиление усилителей сигнала и мощности настраивается, и оператор или устройство управления может выбирать амплитуду выходного сигнала, регулируя усиление усилителя мощности.
Так как частота излучения, сформированного полупроводниковым генератором, может изменяться, то это предлагает дальнейшие возможности в оптимизации процедуры нагревания, при которой частота может настраиваться для максимального поглощения образца.
Альтернативно, генератор 2 является комбинацией магнетрона и полупроводникового генератора (не показан), каждый работает в различных мощностных и/или частотных режимах. Эта совокупность обеспечивает большую степень гибкости и экономии энергии, так как каждое устройство генератора может использоваться для цели, в которой оно имеет преимущества.
Волновод 3 в предпочтительном варианте осуществления - прямоугольный волновод. Для прямоугольного волновода нормальным видом мод является ТЕ10 мода (поперечные электрические колебания (волна типа Е)), используя следующую терминологию относительно фиг.2:
Figure 00000002
где ТЕmn - для волноводов и ТЕmnp - для резонатора. На фиг.2а магнитное поле представлено как эллиптические пунктирные линии, и электрическое поле представлено как прямые сплошные линии между вершиной и основанием. Стеновые токи показаны на фиг.2b. В первом варианте осуществления волновод имеет прямоугольное поперечное сечение, однако могут использоваться другие формы поперечного сечения, например эллиптическая форма.
Из-за потока тока, показанного на фиг.2b, необходим хороший контакт между боковыми стенами и горизонтальными частями и волновода, и аппликатора для исключения утечки микроволн. В первом варианте осуществления уплотняющий материал состоит из полосы кремниевой резины с металлическими волокнами, которая осуществляет этот контакт. Данная резиновая полоса располагается между скомпонованными частями.
Важно измерить энергию, которая прикладывается к аппликатору, и энергию, отраженную от аппликатора. В случае использования в качестве генератора магнетрона также важно уменьшить обратную передачу излучения к генератору, что иначе вызывает флуктуацию рабочей энергии и частоты и уменьшает срок службы магнетрона. Для этих целей волновод содержит циркулятор 17 и два устройства 21 и 22 измерения энергии.
Циркулятор 17 содержит два магнита 18, два специальных феррита 19 и три заглушки (металлические штыри) 20. Функцией циркулятора является направление электромагнитного излучения в определенном направлении в зависимости от направления его распространения. В данной конфигурации циркулятор настраивается на передачу излучения, направленного от генератора 2 к аппликатору 4, но отклоняет излучение, направленное в противоположном направлении, к искусственной нагрузке 5. Так как волновод, по существу, симметричен в двух из этих трех плеч, магниты 18 и ферриты 19 должны быть расположены вдоль оси симметрии циркулятора и по направлению к искусственной нагрузке 5.
Положение заглушек 20 (одна по направлению к генератору 2, одна по направлению к искусственной нагрузке 5 и одна по направлению к аппликатору 4) должно в принципе быть симметричным, и заглушка около искусственной нагрузки должна быть оптимизирована таким образом, чтобы только от -17 до -20 дБ отражалось назад на генератор. Так как ток течет по оси волновода в середине волновода (см. фиг.2В), возможно оставить открытые прорези для настройки положения заглушек без утечки микроволн. Функцией заглушек является работа в качестве емкости, компенсирующей фазу, и увеличивающей эффективность циркулятора. Так как искусственная нагрузка 5 может передавать тепло циркулятору 17, температура циркулятора измеряется температурным датчиком (не показан), расположенным около плеча, в котором расположена эквивалентная нагрузка. Максимальная температура, которая разрешена для ферритов, - 70°С.
Датчик измерения энергии 21 - обычный кристаллический датчик, расположенный таким образом, чтобы измерять энергию излучения, отраженного от аппликатора и отклоненного циркулятором в плечо, в котором расположена искусственная нагрузка. Так как искусственная нагрузка является согласованной, в этом плече нет стоячих волн. Это означает, что сигнал, измеренный где-нибудь в данном плече, пропорционален только энергии, отраженной образцом, который должен быть нагрет.
Зная потери в волноводе и отношение отклоненной циркулятором энергии к энергии отраженного излучения, можно выполнить оценку энергии Prefl отраженной от аппликатора. Устройство 22 измерения энергии - измеритель энергии, расположенный таким образом, чтобы измерить энергию сформированного излучения, направленного к аппликатору. Однако он также может быть подвергнут излучению, отраженному от аппликатора, так как эффективность циркулятора не является 100%. Опять же, зная потери в волноводе и отношение энергии, переданной циркулятором, к энергии отраженного излучения, можно выполнить оценку энергии Рreciev, принятой аппликатором.
Определяя энергию Prefl,0 и Рreciev,0 с пустым контейнером для образца (когда вся энергия отражается) на данном уровне энергии, энергия, поглощенная образцом, может быть определена:
Pads=(Preciev-Prefl)-(Preciev,0-Prefl,0).
Часто, наиболее важно выяснить относительную энергию, поглощаемую образцом при различных условиях, таких как положение дефлектора или температура. Для этой цели энергия, непосредственно измеренная измерителем 21 энергии, достаточна для определения относительных значений.
Энергии Prefl и Preciev предпочтительно измеряются, как функция от энергии, сгенерированной в генераторе, например тока I, потребляемого генератором при фиксированном напряжении, или эквивалентно, напряжения или любого другого параметра, характеризующего сформированную энергию. Сформированная выходная энергия обычно является прямой функцией магнетронного анодного тока, который может быть измерен контроллером 7. Дополнительно дефлектор может быть установлен в предварительно определенную позицию, где аппликатор не находится в состоянии резонанса (с пустым контейнером). Таким образом в данном положении контейнера не возникает сильных полей, и определение истинной энергии, излучаемой генератором, становится более точным. Альтернативно оценка энергии, принятой образцом, Preciev может быть определена непосредственно из параметра, характеризующего сформированную энергию, как описано выше, делая наличие устройства 22, измеряющего энергию, необоснованным.
Описанная выше процедура измерения энергии, поглощаемой образцом, может быть выполнена, используя множество различных способов с различными положениями измерителей энергии, например внутри аппликатора. Главной особенностью является определение по меньшей мере приблизительного значения энергии, поглощаемой образцом.
Устройства 21 и 22 измерения энергии соединены с устройствами хранения и предпочтительно также с устройствами обработки. Предпочтительно они соединены с контроллером 7. Альтернативно устройства измерения энергии непосредственно содержат устройства обработки и хранения.
Искусственная нагрузка предпочтительно содержит материал, который очень эффективно поглощает микроволны, независимо от температуры материала, например карбид кремния. Энергия преобразуется в тепло, которое выводится блоком охлаждения. Искусственная нагрузка поглощает энергию, отклоненную циркулятором. Искусственная нагрузка должна располагаться именно внизу плеча.
Как можно заметить на фиг.1, аппликатор 4 имеет большую высоту поперечного сечения, чем волновод 3, однако ширина поперечного сечения постоянная, одинаковая и для аппликатора, и для волновода. Из-за полной совместимости между диаграммами направленности по напряженности поля, и того, что волновод является TE10 волноводом, означает, что электрическое поле не изменяется в вертикальном направлении Y. Следовательно, волновод будет функционировать как ТЕ10 волновод независимо от изменения высоты. Однако низкая высота благоприятна для функционирования циркулятора и экономит пространство, а более высокий волновод в плече аппликатора необходим, так как тогда может использоваться более высокая нагрузка. Поэтому различие в высоте между волноводом и аппликатором не оказывает никакого влияния, и аппликатор является просто ограниченным волноводом
- отсюда термин аппликатор волновода. Такой аппликатор волновода очевидно является одномодовым, также как и волновод,
- поэтому также используется термин одномодовый аппликатор.
Для конструкций, отличающихся от показанной на фиг.1, аппликатор волновода может иметь различные ограничения размеров, что будет очевидно для специалиста.
Аппликатор, как проиллюстрировано на фиг.1, предпочтительно содержит держатель 24 контейнера с образцом, защитный экран 28, охлаждающий механизм (не показан) и инфракрасный датчик 32. Аппликатор может иметь цилиндрическое отверстие 34 в основании с учетом контейнерных взрывов, которые будут направлены вниз в приемник 35, который может быть вынут и очищен.
Держатель 24 контейнера - труба из полиэфирэфиркетона (PEEK) для контейнера 6 с образцом, и она защищает контейнер 6 от царапин, которые могут быть вызваны аппликатором, когда контейнер помещается на место. Царапины на стекле контейнера уменьшают максимальное давление, которое он может выдержать до того, как произойдет взрыв.
Так как в аппликаторе имеется только один вид резонансных мод TE101, расположение объема образца является важным параметром для обеспечения хорошего взаимодействия между образцом и микроволнами и таким образом для оптимизации поглощаемой образцом энергии. Это происходит из-за того, что напряженность электромагнитного поля резонансных мод сильно зависит от расположения. Горизонтальное расположение образца зависит от расположения держателя 24 контейнера и определяется во время конструирования устройства, в то время как вертикальное расположение определяется объемом образца 8. Поэтому аппликатор предпочтительно содержит устройство для настройки вертикального положения образца 8 (не показано на фиг.1). Таким устройством может быть настраиваемая поддерживающая пластина, на которую опирается контейнер 6. Альтернативно верхняя оправа или крышка контейнера 6 опираются на настраиваемую по высоте верхнюю горловину держателя 24 контейнера.
Так как образцы могут нагреваться до 250°С, материал, выбранный для трубы, должен быть способен противостоять по меньшей мере 250°С без механических или химических изменений. Типичный контейнер для образца - стеклянная пробирка, размеры которой определяются таким образом, чтобы противостоять давлению без чрезмерной деформации. Предпочтительно контейнер по меньшей мере существенно герметично закрыт, чтобы нагреть образцы выше температуры кипения при атмосферном давлении.
Защитный экран 28 защищает дефлектор, волновод и часть внутренней области аппликатора в случае взрыва контейнера. Он сделан из материала по меньшей мере существенно проницаемого микроволнами, такого как политетрафторэтилен (PTFS) (тефлон®), поли-4-метиллентен-1 (ТРХ), полипропилен или полифениленсульфид (PPS, ритон®). Диэлектрические свойства экрана влияют на электрическую длину аппликатора, и оптимальным размером в данном первом варианте осуществления является толщина приблизительно 8 мм.
Образец предпочтительно охлаждается с помощью охлаждения контейнера воздухом под давлением, который подается через несколько выходных отверстий рядом с контейнером вверху держателя образца (не показан). Например, образец охлаждается в течение десяти секунд после того, как он достиг 40°С из-за запаздывания в температурных измерениях, которые будут обсуждены ниже.
Инфракрасный датчик 32 располагается таким образом, чтобы он контролировал нижнюю часть контейнера через отверстие 33 в стене аппликатора. Предпочтительно, инфракрасный датчик 32 невосприимчив к микроволнам и нет необходимости его защищать. Однако с целью избежания утечки через отверстие 33, оно должно быть защищено стеклом, металлической сеткой или герметичным корпусом для инфракрасного датчика 32. Инфракрасный датчик должен предпочтительно контролировать часть стеклянного контейнера, который находится в прямом контакте с образцом, иначе могут возникнуть большие ошибки измерения. Так как инфракрасный датчик измеряет температуру на поверхности стекла, то будет существовать разница между реальной температурой (в образце) и измеренной температурой, что будет приводить к запаздыванию до 5 секунд по сравнению с измерением реальной температуры. Инфракрасный датчик чувствителен к конденсату жидкости на его поверхности, так как тогда он будет измерять температуру загрязнения, и, следовательно, очень важно сохранять его в чистоте (например, после взрывов).
Инфракрасный датчик 32 соединен с устройством хранения и предпочтительно также с устройством обработки. Предпочтительно он соединен с контроллером 7.
Обеспечивая дефлектор 26 в волноводе 3 около аппликатора 4, формируют резонатор между окончанием аппликатора или образцом и дефлектором. Микроволны, переданные дефлектором и имеющие частоту, равную или близкую к резонансной частоте резонатора, могут формировать стоячие волны в резонаторе. Следовательно, при упоминании резонансной частоты аппликатора, фактически имеют в виду резонансную частоту резонатора, сформированного аппликатором, образцом и дефлектором.
Поскольку объем, реальная диэлектрическая проницаемость и коэффициент потерь для образца изменяется при различных температурах и различных образцах, размещение и нагревание образца в аппликаторе изменяет резонансную частоту резонатора. Дефлектор 26 настраивается таким образом, чтобы компенсировать эти различия в диэлектрических параметрах образцов. Дефлектор 26, как показано на фиг.3, сформирован замкнутым контуром из проводящего материала, и размер, и форма его приспособлены к размеру и форме волновода и аппликатора. Дефлектор может вращаться вокруг оси вращения, пересекающей контур, как показано на фиг.1. Ось вращения не должна быть осью симметрии дефлектора. Изменяющийся индуктивный и емкостной режим работы дефлектора обеспечивает настройку электрической длины и, следовательно, резонансной частоты алпликатора, и коэффициента связи между аппликатором и волноводом с помощью согласования импеданса. Контур дефлектора определяет плоскость, и толщина периметра контура по оси, перпендикулярной этой плоскости, используется для изменения электрической длины аппликатора. Окружность внутреннего периметра контура определяет резонансную частоту дефлектора.
Разработанный дефлектор настроен таким образом, чтобы одновременно изменять электрическое положение дефлектора (электрическое расстояние от конечной стенки аппликатора или образца до дефлектора) в TEM10 аппликаторе/волноводе и его свойства рассеивания/отклонения, когда он вращается. Таким образом, вращение дефлектора определяет единственную кривую, описывающую «поглощение волны» (угол отклонения - децибелы), как функцию электрического положения дефлектора. Эта кривая должна быть экспериментально оптимизирована для требуемого диапазона образцов и температур во время разработки и конструирования. Отклоняющие свойства настраиваются с помощью изменения размера и формы эллиптического контура. Как правило, остаточная передача энергии, которая происходит в положении наибольшего блокирования, предназначена для образцов с очень маленькой поглощательной способностью, так как это приводит к более низкой чувствительности положения дефлектора для таких образцов. Осевая толщина контура определяет, насколько изменяется электрическое положение при его вращении; это то, что приводит к свойству изменения резонансной частоты резонатора.
Проводящим материалом для дефлектора предпочтительно является алюминий, который должен иметь высокое качество, так как плотность тока, который индуцируется в дефлекторе, достаточно высока, чтобы вызвать коррозию обычного алюминия. Вращение дефлектора управляется с помощью шагового двигателя 27. Дефлектор имеет ось симметрии второго порядка и, следовательно, важные углы - 180 градусов. Дополнительно дефлектор может также параллельно перемещаться для корректировки длины аппликатора. Альтернативно форма дефлектора может быть изменена, или его ось вращения может быть перемещена.
Измерение энергии в плече эквивалентной нагрузки обеспечивает однозначную индикацию относительной (относительно других положений дефлектора) эффективности аппликатора. Следовательно, результат измерения энергии Prefi используется для управления дефлектором. Дефлектор можно перемещаться на 180 градусов для определения угла, который соответствует максимальному поглощению (минимальному отражению) энергии в образце.
Альтернативно дефлектор не является проводящим, а выполнен из материала с высокой диэлектрической проницаемостью (слово дефлектор используется даже в том случае, когда отклоняющие свойства больше выражены в случае проводящего материала). Регулирование такого дефлектора изменяет электрическую длину аппликаора и емкостное реактивное импеданса, что дает возможность согласования импеданса аппликатора и волновода.
Дефлектор может только уменьшить зависимость от объема и не устраняет ее полностью. При некотором объеме (объемах), условия антирезонанса аппликатора с образцом нельзя компенсировать дефлектором, таким образом будет существовать локальный минимум эффективности. В устройстве согласно изобретению такие условия антирезонанса возникают при объеме образца приблизительно 3 мл. Однако такой антирезонанс можно компенсировать с помощью включения элемента конструкции, который настраивается таким образом, чтобы он начал резонировать только при определенном объеме, при котором возникает антирезонанс. Этим элементом конструкции может быть материал, размер, форма, относительная диэлектрическая проницаемость и расположение в пределах аппликатора, которые настраиваются таким образом, чтобы заставить аппликатор резонировать при условиях, когда происходит антирезонанс. Эти условия могут определяться объемом образца, как уже упомянуто, но могут также определяться по меньшей мере, частично, коэффициентом связи, резонансной частотой аппликатора, химическим составом или температурой образца, контейнера или другими параметрами. Предпочтительно материал данного элемента конструкции имеет высокую относительную диэлектрическую1 проницаемость и является предпочтительно керамическим материалом, таким как материал, содержащий Al2O3, TiO2 или XTiO3, где Х - элемент группы II.
Авторами были проведены измерения режима работы дефлектора, используемого в системе Lynx (имеющего осевую длину приблизительно 9 мм), и подобного дефлектора с осевой длиной только 3 мм. Измерения были проведены с помощью прецизионной системы волновода, состоящей из переходного участка «коаксиал-волновод», промежуточной секции волновода (ТЕ10 с теми же самыми размерами, как в системе Lynx: 25×86 мм), и наконец другого переходного участка «волновод-коаксиал», нагруженной точным согласующим резистором. Измерения были сделаны на трех частотах для того, чтобы рассмотреть любое отклонение, присущее резонансной частоте дефлектора.
Дефлектор фактически изменяет активную длину аппликатора, чтобы максимум стоячей волны соответствовал нагретому образцу с измененными диэлектрическими свойствами. Дефлектор сформирован подобно эллиптическому кольцу с заданной толщиной. Указанная толщина критически важна для правильного функционирования дефлектора. Коэффициент отражения и коэффициент фазы были определены, используя сетевой анализатор и специально разработанное тестовое устройство.
Специально разработанное тестовое устройство было создано исключительно для изучения влияния дефлектора на коэффициент отражения и поведение фазы микроволнового излучения. Тестовое устройство схематично изображено на фиг.7А. Тестовое устройство разделено на три части, где часть 62 ТЕ10 волновода заканчивается 50-омной нагрузкой 70, часть 64 - секция дефлектора ТЕ10 волновода, и часть 66 ТЕ10 волновод, соединенный с сетевым анализатором 70. Фиг.7В показывает поперечное сечение всех частей дефлектора, имеющего размеры а=86 мм и b=25 мм. Дефлектор 26 размещается в середине секции 64 дефлектора и на высоте 12 мм. Дефлектор 26 может вращаться на 180° вокруг своей оси. Комплексный коэффициент отражения был измерен экспериментально на 2440, 2455 и 2470 МГц с помощью сетевого анализатора НР8719А для различных углов поворота дефлектора.
Используемый в тесте дефлектор 26 - трехмерное эллиптическое кольцо, выполненное из алюминия, подобное дефлектору, показанному на фиг.3. Два различных дефлектора были протестированы: один с толщиной 8,90 мм и один с толщиной 3,10 мм. Замкнутый контур дефлектора определяет плоскость дефлектора, которая является плоскостью бумаги на фиг.3А. Также замкнутый контур определяет ось, показанную на фиг.3В, которая перпендикулярна плоскости дефлектора. Размеры дефлектора, используемого в тесте, суммированы в таблице 1.
Таблица 1
Высота а [мм] Ширина b [мм] Осевая толщина h [мм]
17 68 8,90/3,10
Экспериментальные данные, полученные в тестовом устройстве, могут использоваться только качественно, если нулевая фаза в положении дефлектора не известна. Эта фаза может быть определена и компенсирована, используя следующий способ.
Часть 62 тестового устройства удаляется от части 64 и заменяется короткозамкнутой стенкой из алюминия. Никакой дефлектор не устанавливается в секции дефлектора. Амплитуда и фаза излучения, отраженного от короткозамкнутой стенки, были измерены при 2440, 2455 и 2470 МГц. Данные представлены в таблице 2.
Таблица 2:
данные коэффициента отражения для измерения при коротком замыкании
Частота (МГц) Амплитуда (мВ) Фаза (°)
2440 980 -169,5
2455 977 177,3
2470 981 166,4
Эти значения сравниваются с коэффициентом отражения от короткозамкнутой стенки. Коэффициент фазы в данном положении дефлектора может быть рассчитан с помощью первого измерения расстояния L от короткозамкнутой стенки до положения дефлектора. Расстояние L определено 58-43 мм. Фаза изменяется по направлению против часовой стрелки, когда Вы двигаетесь к генератору. Фаза поворачивается на 180° для каждого λg/2, т.е. половины длины волны волновода. Поэтому изменение фазы при перемещении от короткозамкнутой стены до положения дефлектора может быть определено в соответствии с формулой:
Figure 00000003
Длина волны волновода λg для различных частот рассчитывается, используя формулу:
Figure 00000004
здесь λ0 - длина волны в вакууме (= c0/f0, где с0 - скорость электромагнитной волны в вакууме), fc - частота отсечки волновода и f0 частота возбуждения. Частота отсечки задается выражением:
Figure 00000005
здесь (m, n) - индексы вида мод (моды) (1,0 в нашем случае) и а и b - ширина и высота волновода соответственно. Наконец фаза положения дефлектора может быть рассчитана, используя формулу:
Figure 00000006
Фаза положения дефлектора и другие данные, используемые для вычисления, собраны в таблице 3.
Таблица 3: Экспериментальные и производные данные, вычисленные для нулевой фазы
F0(МГц) λ0(м) λg/2(м) φsc(°) Δφ(°) φdp(°)
2440 О,12287 0,0878 -169,5 119,788 -9,712
2455 0,12211 0,0867 177,29 121,308 -1,402
2470 0,12137 0,0857 164,4 122,795 -2,805
Комплексный коэффициент отражения (т.е. и амплитуда и фаза) был измерен для различных углов в интервале 0-300° в трех частотах, приведенных выше в таблице 3, при использовании двух различных осевых толщин, приведенных в таблице 1. Результаты представлены в следующей секции.
Амплитуда коэффициента отражения для 8,90 мм дефлектора показана на фиг.8 для различных углов дефлектора и для трех данных частот возбуждения. Амплитуда достигает более чем 800 мВ в интервале 50-100° и 210-270° для всех частот. Амплитуда понижается до почти 150-200 мВ в интервале 150-180°. Это хорошо согласуется с ожидаемыми результатами, иллюстрированными на фиг.6. Соответствие коэффициента фазы углу дефлектора изображено на фиг.9 для 8,90 мм дефлектора. Фаза является постоянной, около 80°, для угла поворота дефлектора в интервале 50-100° и 210-270° для всех частот, что совпадает с интервалом для максимума амплитуды фиг.8. Фиг.10 показывает и амплитуду, и фазу коэффициента отражения на диаграмме с полярными координатами с углом дефлектора в качестве параметра при 2445 МГц (извлечение из фиг.8 и 9).
Амплитуда коэффициента отражения для толщины дефлектора 3,10 мм представлена на фиг.11 для различных углов дефлектора и трех различных частот. Поведение амплитуды подобно значениям для 8,90 мм дефлектора на фиг.8. Коэффициент фазы для 3,10 мм дефлектора показан на фиг.12 для различных углов дефлектора и для частот 2440, 2455 и 2470 МГц. Коэффициент фазы достигает значения 60° для 2440 МГц в интервале 50-125° и 200-270°. Этот максимум фазы совпадает с максимумом амплитуды коэффициента отражения для 2440 МГц. Однако коэффициенты фазы при 2455 и 2470 МГц смещены к минимальному значению - 60° в том же самом угловом интервале, как на 2440 МГц кривой. Более толстый дефлектор поэтому показывает высокую амплитуду коэффициента отражения и постоянную фазу, близкую к 90° в частотном диапазоне 2440-2470 МГц. Более тонкий дефлектор показывает высокую амплитуду коэффициента отражения, но показывает более низкое абсолютное значение коэффициента фазы, и он изменяет знак на противоположный, в данном частотном диапазоне. Фиг.13 показывает амплитуду и фазу коэффициента отражения на диаграмме с полярными координатами с углом дефлектора в качестве параметра при 2455 МГц (извлечение из фиг.11 и 12).
Суммируя вышеизложенное, 8,90 мм дефлектор показывает и высокий коэффициент отражения 800 мВ и положительный коэффициент фазы, близкий к 90°, для трех частот 2440, 2455 и 2470 МГц. 3,10 мм дефлектор показывает высокую амплитуду коэффициента отражения для этих трех частот, подобно 8,90 мм дефлектору. Коэффициент фазы для 3,10 мм дефлектора - ниже и изменяет знак в данном частотном диапазоне.
Наиболее важная особенность, которую необходимо рассмотреть - то, как фаза несогласования изменяется с изменением угла поворота дефлектора. Вторая наиболее важная особенность - то, как абсолютное значение несогласования (т.е. отражение назад дефлектором) изменяется с углом дефлектора. Третья, более практическая, особенность - насколько чувствителен угол поворота дефлектора по отношению к изменению двух предыдущих особенностей, т.е. становится ли система механически чувствительной из-за очень быстрого изменения данных для маленьких угловых изменений. Кривая фазы для 8,9 мм (обычного) дефлектора показывает, что фаза перемещается к генератору, когда дефлектор поворачивается к положению блокирования, т.е. угол поворота дефлектора равняется 90° или 270°, когда ось расположена вдоль волновода. Конечно, так как дефлектор пассивен и симметричен, он также является взаимообратным, это означает, что также фаза на «теневой стороне» (т.е. в резонаторе) изменяется таким образом, что резонансная частота увеличивается, когда дефлектор перемещается на 90°. Такое поведение желательно. Кривая фаза для 3 мм дефлектора ведет себя совсем по-другому, фаза меняется нежелательным образом.
Другая важная особенность дефлектора - его способность блокирования в положении блокирования. Даже если возможно достичь чрезвычайно эффективного блокирования (так, чтобы через него проходило возможно меньше чем 1%), это не практично в системах нагрева, поскольку тогда могут достигаться слишком высокие напряженности поля без нагрузки или с нагрузкой, которая не поглощает энергию. Фактически, предыдущая ситуация может вызывать нагревание до расплавления стеклянного контейнера. Следовательно, настройка используемого рефлектора предпочтительно преднамеренно нарушается для того, чтобы избежать данной проблемы. Это доказывается данными блокирования. Нарушение настройки может быть выполнено или нарушением настройки собственной резонансной частоты дефлектора, или изменением его формы таким образом, что он начинает пропускать. В предпочтительном варианте осуществления был выбран последний способ, неоптимальная эллиптичность. Этот выбор дополнительно способствует благоприятному изменению фазы с изменением угла поворота дефлектора.
В экспериментах, описанных в предыдущих разделах, не было возможности непрерывно изменять частоту для того, чтобы найти резонансные частоты для резонатора для различных углов дефлектора и таким образом непосредственно показать изменение резонансной частоты при изменении углов поворота дефлектора. Однако, несмотря на низкую разрешающую способность угла поворота дефлектора, различные минимумы отраженной амплитуды для этих трех частот вызываются асимметрией минимумов между 150°-180° на фиг.8. Несомненно, резонансная частота увеличивается при увеличении угла поворота дефлектора между 150°-180°.
Влияние дефлектора в волноводе перед аппликатором волновода было смоделировано, используя программное обеспечение QWED s.c. (Польша) QW3D. Использовалась полная модель с дефлектором с возможностью вращения и реальной нагрузкой в резонаторе, и были получены резонансные частоты и коэффициенты связи, как функция угла поворота дефлектора, с диэлектрической проницаемостью нагрузки, в качестве параметра. Изображение редактора программного обеспечения моделирования показано на фиг.14 с волноводом 3, дефлектором 26, аппликатором 4 волновода и моделируемой нагрузкой 61. Размеры волновода, дефлектора и аппликатора волновода подобны тем, которые использовались в эксперименте, описанном относительно фиг.7. Множество сценариев было смоделировано, где коэффициент отражения вычисляется как функция частоты для заданного угла поворота дефлектора и нагрузки. Следовательно, для каждого сценария, резонансная амплитуда может считываться непосредственно. Сценарии охватывают две осевых толщины дефлектора, 3 мм и 10 мм, и в моделировании используется множество различных загрузок, нагрузки #3, #4 и #5.
График на фиг.15 показывает коэффициент отражения как функцию частоты для дефлектора при 90°, что является позицией блокирования (ось дефлектора расположена параллельно волноводу), и отсутствии нагрузки. Как можно заметить, коэффициент отражения при резонансной частоте дефлектора 2435 МГц - 0,9999, означая, что только 1 минус данное значение в квадрате (т.е. 0,2%) проходит через него. Смоделированный дефлектор является более блокирующим, чем реальный, из-за программных ограничений, которые требуют рисовать дефлектор с совершенной эллиптической геометрией для того, чтобы в сценариях позволить быстрое и простое вращение.
Фиг.16 показывает амплитуду коэффициента отражения при угле поворота дефлектора 60° при использовании 10 мм дефлектора и нагрузки #3. Волнистая черная кривая получена с помощью программного обеспечения после приблизительно 38 000 итераций. Однако кривая ни в коем случае не является стационарным решением, поэтому также использовался специальный дополнительный так называемый модуль «Prony». Он в основном аппроксимировал черную кривую к множеству Лоренца, способом гораздо более усовершенствованным, чем инверсное преобразование Фурье. Ясно видно, что результирующая серая кривая будет весьма стабилизирована с резонансом при 2417 МГц. Амплитуда коэффициента отражения при резонансе - 0,45, но приблизительно 0,9 при 2450 МГц. Угол поворота дефлектора таким образом не оптимален.
Увеличивая угол поворота дефлектора до 65° (все еще используя 10 мм дефлектор и нагрузку #3), получают диаграмму с полярными координатами, показанную на фиг.17, которая показывает амплитуду и фазу коэффициента отражения, как функцию частоты. Снова, черная кривая получается после большого количества итераций и серая - после применения модуля «Рrony». Система теперь является недосвязанной (кривая в полярных координатах не включает в себя начало координат). Фактически, основная трудность с любой системой устройств согласования для нагрузок с малыми потерями состоит в том, чтобы избежать связи больше критической; недосвязанность означает, что «запирание» волны сильнее оптимального. Резонансная частота (самая низкая амплитуда) теперь расположена от 2417 до 2428 МГц, и амплитуда коэффициента отражения при резонансе - 0,27.
Используя нагрузку #5 и 10 мм дефлектор, резонансная частота системы - 2454 МГц и возникает при угле поворота дефлектора 80°, что является также оптимумом для самой низкой амплитуды коэффициента отражения, 0,37 - связь больше критической. Это показывается на фиг.18. Связь больше критической сравнивается с коэффициентом связи, превышающим 1, что будет иногда происходить, особенно при нагрузках, имеющих высокое поглощение. Когда угол поворота непрерывно изменяется при сценарии со связью больше критической, коэффициент связи будет непрерывно уменьшаться и должен быть 1 при некоторой частоте для некоторого угла поворота. Если представить непрерывный переход от диаграммы с полярными координатами на фиг.18 к диаграмме с полярными координатами на фиг.17, то кривая должна пересечь начало координат при некотором угле и некоторой частоте. Эта частота не должна быть резонансной частотой резонатора и, следовательно, хорошее согласование (коэффициент связи ≈ 1) может быть получено при нерезонансных условиях связи больше критической.
Далее графики, показанные на фиг.19 и 20, были получены с использованием 3 мм дефлектора и нагрузки #4. Эти графики указывают, что эффективные резонансные условия трудно достичь с помошью 3 мм дефлектора. Так как в обоих случаях связь значительно больше критической, становится возможно использовать еще больший угол поворота дефлектора, приблизительно 88°. Однако он становится чрезвычайно чувствительным при настройке. При попытке установить хорошие резонансные условия размер резонатора был изменен в несколько раз, перемещая положение (ось вращения) дефлектора. Таким образом, при моделировании, использованном для получения фиг.19 и 20, резонатор на 12 мм короче, чем используемый при моделировании с 10 мм дефлектором.
Показанные графики являются только представительской выборкой из полученных результатов. Следующие выводы суммируют результаты моделирования.
1. 10 мм дефлектор обеспечивает требуемые характеристики фазы рассогласования, которое он вызывает, с помощью фазы стоячей волны, перемещающейся далеко от дефлектора, когда он вращается в направлении блокирования. Эта особенность благоприятна для резонаторов волновода, к которым он соединен, эти резонаторы работают для нагревания изменяющихся нагрузок (от нагрузок к нагреваемым нагрузкам).
2. Углы поворота, необходимые для достижения требуемого действия, при использовании 10 мм дефлектора не настолько чувствительны, как при использовании 3 мм дефлектора, и таким образом обеспечивается возможность плавного регулирования.
3. Из-за очень эффективной возможности блокирования длинных/толстых в осевом измерении дефлекторов, существует возможность «деоптимизировать» их двумя способами: с помощью нарушения настройки свойственного им резонанса (прежде всего, изменяя периферийную длину) и с помощью изменения их формы (изменяя соотношение между главной и малой осями, или используя другую, по сравнению с эллиптической, форму кривой) для увеличения утечки без сильного изменения фазы. Комбинация этих двух возможностей и изменения осевой длины обеспечивает множество возможностей для изменения фазы и коэффициента отражения (т.е. форму кривой в полярной системе координат), как функцию угла поворота дефлектора.
4. Длинный дефлектор позволяет осуществлять обработку более высокой энергии.
В другом предпочтительном варианте осуществления, устройство настраивается для одновременного осуществления множества процессов нагревания в множестве одномодовых аппликаторов. В этом втором варианте осуществления устройство содержит один или большее количество генераторов, два или большее количество одномодовых аппликаторов, и волновод, настроенный для направления излучения от данного одного или большего количества генераторов к этим двум или большему количеству аппликаторов. Волновод дополнительно настроен для распределения направляемого излучения между аппликаторами, предпочтительно с помощью содержащихся в нем компонентов, таких как соединители, разделители, расщепители, объединители и циркуляторы.
Каждый из одномодовых аппликаторов предпочтительно содержит те же самые особенности, как аппликатор 4 на фиг.1 согласно первому варианту осуществления. Устройство также содержит контроллер, подобный контроллеру 7 согласно первому варианту осуществления, дополнительно настроенный для управления процессами нагрева всех образцов в этих двух или большем количестве аппликаторов.
Устройство согласно изобретению удовлетворяет требованиям осуществления химических реакций, таких как реакции органического синтеза, где быстрое нагревание смеси реагентов до предварительно определенной температуры является критическим для чистоты конечного продукта. Смесь реагентов может содержать один или большее количество реактивов, например органических составов, и дополнительно катализатор. Часто смесь реагентов последовательно подвергается нескольким этапам реакции, как в процессе, показанном на фиг.5, каждый этап, осуществляется в течение заданного времени при определенной температуре. Так как различные реакции могут доминировать при различных температурах, чистота каждого этапа реакции зависит от высокой скорости нагревания до требуемой температуры. Скорость нагрева, dT/dt - повышение температуры образца за единицу времени, обычно измеряется в °С/с, и соответствует углу наклона сегмента 41 кривой на фиг.5.
Процедура нагревания в предпочтительном варианте осуществления описана относительно последовательности операций на фиг.4. Первоначально, на этапе 50, пользователь конфигурирует процесс нагревания через интерфейс контроллера. Эта процедура включает этап определения температуры T1, которую образец должен достичь, и интервал времени t1, в течение которого образец должен находиться при постоянной температуре T1. Если процедура нагрева ряд этапов реакции, это приводит к последовательности T1, t1; ...;Тi, ti; ...; Тn, tn температур реакций Ti и соответствующих интервалов времени ti, которые соответствуют процессу нагревания/ охлаждения, показанному на фиг.5. Температуры Тi, далее упоминаются как целевые температуры, и интервалы времени t1 - как целевые интервалы времени.
Этапы, от 51 до 54 на фиг.4 описывают процедуру калибровки для определения некоторых существенно важных свойств аппликатора 4 с определенным образцом 8. Эти существенно важные свойства получают с помощью записи поглощаемой энергии в образце в течение рабочего цикла при движении дефлектора (например, вращение на 180° или вращение и перемещение вдоль оси). Можно записывать только существенно важные интервалы при движении дефлектора. Записанная линия зависимости поглощаемой энергии от положения дефлектора называется «отпечатком пальца» образца, и он определяется некоторыми параметрами, например:
1. конструкцией аппликатора,
2. конструкцией и материалом контейнера,
3. объемом образца,
4. мощностью излучения,
5. основной частотой и шириной полосы частот излучения,
6. температурой образца (контейнера + образца), а следовательно, «хронологией нагрева» и таким образом скоростью нагрева,
7. химическим составом образца, следовательно, его диэлектрической проницаемостью, степенью реакции и т.д.
Параметры от 1 до 5 могут поддерживаться постоянными и они не связаны непосредственно с образцом. Параметры 6 и 7 являются важными параметрами и они содержат информацию, относящуюся к определенному образцу.
Грубый эскиз типичного «отпечатка пальца» для дефлектора 26 с возможностью вращения показан на фиг.6, где отраженная энергия показана как функция угла поворота дефлектора от 0 до 180°. Можно заметить, что «отпечаток пальца» имеет симметрию, соответствующую симметрии диагональных положений дефлектора, т.е. при углах 45 и 135 градусов. Однако два местных минимума а и b могут иметь различную форму и глубину из-за асимметричной формы аппликатора. Обрабатывая «отпечаток пальца», можно определить положение дефлектора, соответствующее максимальному поглощению (= минимальному отражению).
На этапе 51 на фиг.4, дефлектор 26 устанавливается в начальное положение, которое предпочтительно является положением, где обычно нет ни максимума, ни минимума. Причиной этого является то, что необходимо минимизировать энергию, поглощаемую образцом во время калибровки; если начальное положение дефлектора будет около положения типичного максимума, то образец будет подвергнут чрезмерной энергии в течение времени подъема мощности генератора. Если начальное положение дефлектора будет около типичного минимума поглощения, то потребуется неоправданно длительное время для того, чтобы определить максимум поглощения, и соответственно большое количество поглощенной энергии. Повышение температуры образца во время калибровки иллюстрировано сегментом 40 кривой на фиг.5, но оно может быть весьма незначительным.
Микроволновый генератор 2 начинает работу на этапе 52. Генератор предпочтительно устанавливается на уровень выходной мощности 10-20 Вт во время калибровки. Если генератором является магнетрон, то может существовать минимальный уровень выходной мощности для устойчивой работы, этот минимальный уровень должен быть выбран более 10-20 Вт. Полупроводниковые генераторы устойчиво работают при очень низком уровне выходной мощности. В альтернативной конфигурации, когда устройство имеет комбинацию магнетрона и полупроводникового генератора, при этом режиме низкой выходной мощности выбирается полупроводниковый генератор.
На этапе 53 дефлектор перемещается (непрерывно или пошагово) через рабочий цикл, например вращается на 180°, и отраженная энергия измеряется, и результат измерения сохраняется для каждого угла для того, чтобы получить «отпечаток пальца». Дополнительно имеется возможность выполнить перемещение только в выбранном важном интервале, для минимизирования затраченного времени и, таким образом, поглощенной энергии. Уровень выходной энергии (и частота для полупроводниковых генераторов) и температура образца предпочтительно сохраняется для данного «отпечатка пальца».
После того, как «отпечаток пальца» был записан, на этапе 54 определяется положение дефлектора, соответствующее абсолютному минимуму отраженной энергии, и дефлектор перемещается в это положение. Теперь устройство готово запустить быстрое, эффективное нагревание образца.
Этапы с 55 до 58 на фиг.4 - цикл (контур образной связи), в котором образец нагревают или охлаждают до целевой температуры и стабилизирует температуру около целевой температуры, что соответствует сегментам 41 и 42 кривой на фиг.5. Выходная мощность генератора или охлаждение воздухом, находящимся под давлением, настраиваются на этапе 55, в зависимости от заданного набора целевых значений Тi, ti, и заданной температуры Т. В начале процедуры нагревания генератор предпочтительно настраивается на максимальный уровень выходной мощности для достижения наиболее возможной скорости нагревания. Если образец должен быть охлажден, он охлаждается с помощью охлаждения контейнера воздухом, находящимся под давлением (высокая скорость охлаждения). Альтернативно он просто оставляется для самостоятельного остывания (низкая скорость охлаждения).
Этап 56 является процессом, который имеет место при нагревании или охлаждении. Когда два или большее количество начальных материалов вступают в химическую реакцию, они подвержены изменениям в их физических и химических свойствах, например изменяют свои диэлектрические свойства. Энергия, переданная в вступающие в реакцию материалы, зависит от диэлектрических свойств начальных и сформированных во время химической реакции материалов. Таким образом диэлектрические свойства будут изменяться во время процесса нагревания, приводя к изменению скорости нагрева при различных температурах, как иллюстрировано сегментами 41 и 44 кривой на фиг.5. Поэтому важно оптимизировать поглощение энергии при температурах между начальной и целевой с помощью выполнения регулирования дефлектора параллельно с нагреванием. Следовательно, контроллер может дополнительно повторить этап 53 и 54 из процедуры калибровки в предопределенных интервалах. На этапе 53 и 54 записывают «отпечаток пальца», который определяет угол поворота дефлектора, соответствующий максимуму поглощения и устанавливают дефлектор под этим определенным углом. Это конечно подразумевает короткий период уменьшенного поглощения, но в результате приводит к увеличению поглощения.
Контроллер контролирует температуру Т, и этап 57 на фиг.4 является проверкой того, больше или меньше температура Т, чем целевая температура Ti. Если генератор включен, процедура является процедурой нагревания, и если Т<Ti (= «нет», если генератор включен), то процесс 56 продолжается до следующей проверки (например, один раз в секунду). Если Т≥Ti (= «да», если генератор включен), устанавливается начальное время t0 для вычисления интервала времени ti, (только если текущее t0 не установлено) и процедура, продолжается на этапе 58. Если генератор выключен, процедура является процедурой охлаждения, и если Т>Тi, (= «нет», если генератор отключен), то процесс 56 продолжается до следующей проверки. Если Т≤Тi (= «да», если генератор отключен), устанавливается начальное время t0 для вычисления интервала времени ti (только, если текущее t0 не установлено) и процедура продолжается на этапе 58.
Дополнительно контроллер может останавливать или менять направление процесса нагревания/охлаждения, когда температура находится в пределах некоторого интервала целевой температуры, чтобы минимизировать или избежать превышения целевой температуры.
На этапе 58 проверяют, является ли t-t0≥t1, такая ситуация возникает, если интервал времени ti истек с тех пор, когда температура образца Ti была достигнута. Если t-t0<ti (58 = «нет»), то процедура возвращается назад на этап 55, где выходная мощность генератора или охлаждение корректируются в зависимости от результата осуществления этапа 57. Цикл от 55 до 58 повторяется, пока целевое время не истечет, и процедура продолжается на этапе 59 (58 = «да»).
На этапе 59 определяют, все ли этапы в последовательности операций, определенные на этапе 50, были выполнены. Если нет (59 = «нет»), то этапы с 55 до 58 повторяются с новым набором целевых значений Ti, ti. Если все этапы были выполнены (59 = «да»), то на этапе 60 все устройства выключаются, и образец может быть удален из аппликатора.
Следует подчеркнуть, что процедура, представленная выше, является процедурой в соответствии с предпочтительным вариантом осуществления. Один или большее количество этапов может быть изменено, удалено или добавлено без изменения концепции изобретения, которое предназначено для выполнения процесса нагревания/охлаждения, например процесса, показанного на фиг.5.
В дополнительном варианте осуществления контроллер может содержать базу данных «отпечатков пальца» и скоростей нагрева при различных температурах и объемах для множества растворителей, или иметь к ней доступ. При инициализации процедуры нагревания на этапе 50 пользователь может дополнительно определить объем и тип растворителя так, чтобы контроллер смог найти соответствующую информацию в базе данных. С помощью этой информации контроллер сможет оптимизировать процедуру нагревания в одном или большем количестве следующих этапов:
настраивают дефлектор таким образом, чтобы получить оптимальное поглощение энергии в образце без начальной калибровки, это удалило бы этапы с 51 до 54,
осуществляют регулировку дефлектора параллельно с нагреванием для того, чтобы гарантировать оптимальное поглощение энергии при температурах между начальной и целевой температурой. Регулировка дефлектора осуществляется, например, на этапе 57, но без осуществления калибровки, поскольку оптимальный угол поворота дефлектора при данной температуре определяется из «отпечатка пальца» в базе данных,
более быстро настраивают соответствующую энергию или коэффициент связи во время цикла от 55 до 58 при постоянной температуре, например с помощью интеллектуальных прогнозов. Поскольку объем, вид растворителя и целевая температура известны, потери на излучение могут быть рассчитаны, и поглощение энергии может быть откорректировано с помощью регулировки угла поворота дефлектора в соответствии с «отпечатком пальца» при целевой температуре,
осуществляют определение индикации химического состава образца, сравнивая данный «отпечаток пальца» с «отпечатком пальца» известного состава. Эта процедура может быть преимущественна в случае химических реакций в образце, так как степень реакции для химической реакции может быть проверена, сравнивая данный «отпечаток пальца» с «отпечатком пальца» химического состава образца с требуемой степенью реакции.
База данных может использоваться для извлечения данных, что приводит к функции масштабирования для каждой определенной реакции:
S (Т, Р) = поглощенная энергия на единицу объема [Вт/л] при заданной температуре Т и заданной плотности энергии Р,
где плотность энергии Р - напряженность поля при данном положении данного образца (в идеале она является постоянной для образца). Функция S может использоваться для получения процедуры нагревания для других устройств с другими объемами образца, так как она определяет энергию поглощения и скорость нагрева dS/dT|Р,Т при данных условиях, Т и Р, в указанном другом устройстве.

Claims (32)

1. Устройство нагревания, содержащее устройство генерации для формирования электромагнитного излучения с длиной волны λ, волновод для передачи сформированного электромагнитного излучения к аппликатору волновода, предназначенному для удержания образца, который должен нагреваться, образец, имеющий диэлектрические свойства εsampie, которые изменяются, как функция температуры образца, причем волновод и аппликатор волновода поддерживают один вид поперечных колебаний, детектор, сформированный замкнутым контуром, определяющим плоскость, причем указанный дефлектор имеет свойственную ему резонансную частоту νdefl и толщину в интервале [λ/30-λ/5] в направлении, перпендикулярном указанной плоскости, данный дефлектор имеет возможность вращения вокруг оси, являющейся, по меньшей мере, существенно параллельной указанной плоскости, указанный дефлектор расположен в волноводе для формирования резонатора с образцом и аппликатором волновода, причем указанный резонатор имеет, по меньшей мере, одну резонансную частоту λcav, которая зависит, по меньшей мере, от εsample, νdefl и угла поворота дефлектора αdefl.
2. Устройство по п.1, в котором дефлектор отклоняет, по меньшей мере, часть направляемых электромагнитных волн таким образом, чтобы определить передачу направляемых волн от волновода до аппликатора волновода.
3. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дефлектор имеет толщину в интервале [λ/20-λ/10] в направлении, перпендикулярном плоскости дефлектора.
4. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дефлектор имеет форму эллипса, имеющего главную основную ось а и малую основную ось b.
5. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дефлектор имеет форму трапеции, например прямоугольника, имеющего ширину а и высоту b.
6. Устройство по любому из предшествующих пунктов, дополнительно содержащее элемент из материала, имеющего относительную диэлектрическую проницаемость больше, чем 5, например больше, чем 10, предпочтительно больше, чем 25, расположенный в пределах аппликатора волновода для настройки резонансной частоты резонатора и/или передачи направляемых волн от волновода к аппликатору волновода.
7. Устройство по п.6, в котором материал, из которого выполнен указанный элемент, представляет собой керамические материалы, содержащие один или большее количество материалов, выбранных из группы, состоящей из Al2O3, TiO2 или XTiO3, где X - любой элемент группы II, например Ca или Mg.
8. Устройство по п.6 или 7, в котором относительная диэлектрическая проницаемость, и/или форма, и/или размер указанного элемента выбирается таким образом, чтобы заставить резонатор резонировать при предварительно определенном наборе условий, таких, как объем образца, диэлектрическая проницаемость образца и связь направляемых волн между волноводом и аппликатором волновода.
9. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дополнительно содержится устройство для настройки положения образца в аппликаторе волновода для настройки резонансной частоты резонатора и/или передачи направляемых волн от волновода к аппликатору волновода.
10. Устройство по п.9, в котором дополнительно содержится поддерживающее устройство, предназначенное для поддержания контейнера, содержащего образец, в котором устройство для настройки положения образца содержит устройство для настройки, по существу, вертикального положения указанного поддерживающего средства.
11. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дополнительно содержится первый циркулятор и первая искусственная нагрузка, причем указанный первый циркулятор настраивается таким образом, чтобы отклонять, по меньшей мере, часть электромагнитного излучения, отраженного от аппликатора, к первой искусственной нагрузке.
12. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дополнительно содержится, по меньшей мере, одно устройство измерения энергии, настраиваемое для измерения энергии, по меньшей мере, части электромагнитного излучения, отклоненного первым циркулятором.
13. Устройство по п.12, в котором дополнительно содержится первое устройство хранения для хранения информации, полученной от, по меньшей мере, одного устройства измерения энергии.
14. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором устройство формирования содержит магнетрон.
15. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором устройство формирования содержит полупроводниковый генератор и полупроводниковый усилитель.
16. Устройство по п.15, в котором полупроводниковый усилитель содержит один или большее количество карбидокремниевых транзисторов мощности.
17. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором дополнительно содержится элемент, чувствительный к тепловому излучению, расположенный таким образом, чтобы принимать тепловое излучение, исходящее от образца.
18. Устройство по п.17, в котором элемент, чувствительный к тепловому излучению, настраивается таким образом, чтобы он определял температуру образца.
19. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором аппликатор содержит защитный экран для отделения дефлектора и волновода от образца, причем указанный экран является, по существу, прозрачным для электромагнитных волн, направляемых к аппликатору волновода.
20. Устройство по п.19, в котором указанный, по существу, прозрачный экран содержит один или большее количество материалов, выбранных из группы, состоящей из политетрафторэтилена (PTFE) (телефон®), поли-4-метиллентен-1 (ТРХ), полипропилена или полифениленсульфида (PPS, ритон®).
21. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором аппликатор содержит сливное отверстие для слива образца из аппликатора.
22. Устройство по любому из предшествующих пунктов, в котором электромагнитные волны имеют частоту в интервале 300 МГц -300 ГГц.
23. Способ для нагревания образца, причем указанный способ содержит следующие этапы:
I. обеспечивают устройства нагревания согласно любому из пп.1-22 и помещают образец в аппликатор,
II. формируют электромагнитное излучение на первом уровне выходной мощности,
III. вращают дефлектор для настройки коэффициента связи между волноводом и резонатором.
24. Способ по п.23, в котором образец имеет первую температуру T1, причем данный способ дополнительно содержит этапы: нагревают образец для получения второй температуры Т2>T1, вращают дефлектор для настройки коэффициента связи между волноводом и резонатором в соответствии с изменением диэлектрических свойств εsample образца.
25. Способ по п.23, в котором этап III содержит этапы:
IV. выполняют следующие этапы один или большее количество раз: располагают дефлектор в первое положение и измеряют первую энергию электромагнитного излучения, отраженного от аппликатора волновода, причем данное отраженное излучение соответствует указанному первому положению дефлектора, вращают дефлектор во второе положение, которое отличается от первого положения, и измеряет вторую энергию электромагнитного излучения, отраженного от аппликатора волновода, причем данное отраженное излучение соответствует указанному второму положению дефлектора, и
V. определяют предпочтительное положение дефлектора на основании количества энергии, отраженного от аппликатора волновода, по меньшей мере, в первом и втором положениях.
26. Способ по п.25, дополнительно содержащий этапы:
VI. обеспечивают первое устройство хранения,
VII. сохраняют информацию, относящуюся к первому положению, в устройстве хранения и сохраняют измеренную первую энергию, относящуюся к нему, и
VIII. сохраняют информацию, относящуюся ко второму положению, в устройстве хранения и сохраняют измеренную вторую энергию, относящуюся к нему.
27. Способ по п.26, в котором этап V содержит этап: обрабатывают сохраненные результаты измеренной энергии для определения предпочтительного положения дефлектора, соответствующего локальному или абсолютному минимуму измеренной энергии или к предварительно определенному соотношению измеренной энергии к первому уровню выходной энергии.
28. Способ по любому из пп.25-27, дополнительно содержащий этап: располагают дефлектор в предпочтительном положении.
29. Способ по одному из пп.25-27, дополнительно содержащий этапы: располагают дефлектор в предпочтительном положении и формируют электромагнитное излучение на втором уровне выходной энергии, который больше, чем первый уровень выходной энергии.
30. Способ по п.26, который дополнительно содержит следующий этап: определяют меру относительной диэлектрической проницаемости образца с помощью сравнения сохраненной измеренной энергии с соответствующей сохраненной измеренной энергией для другого образца.
31. Способ по п.26, дополнительно содержащий этап: определяют индикацию химического состава образца с помощью сравнения сохраненной измеренной энергии с соответствующей сохраненной измеренной энергией для образца известного химического состава.
32. Способ по п.31, в котором образец содержит, по меньшей мере, один реагент для осуществления химической реакции, причем способ дополнительно содержит этапы: осуществляют химическую реакцию с, по меньшей мере, одним реагентом и определяют степень реакции для химической реакции, используя индикацию химического состава образца.
RU2002125497/09A 2000-02-25 2001-02-26 Микроволновое устройство нагревания RU2263420C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18505900P 2000-02-25 2000-02-25
US60/185,059 2000-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002125497A RU2002125497A (ru) 2004-03-27
RU2263420C2 true RU2263420C2 (ru) 2005-10-27

Family

ID=22679395

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002125497/09A RU2263420C2 (ru) 2000-02-25 2001-02-26 Микроволновое устройство нагревания

Country Status (19)

Country Link
US (2) US6614010B2 (ru)
EP (1) EP1257356B1 (ru)
JP (1) JP4911852B2 (ru)
KR (1) KR20020092968A (ru)
CN (1) CN1248778C (ru)
AT (1) ATE273748T1 (ru)
AU (1) AU776590B2 (ru)
CA (1) CA2401353C (ru)
DE (1) DE60104985T2 (ru)
EE (1) EE200200495A (ru)
HU (1) HUP0204508A2 (ru)
IS (1) IS6482A (ru)
MX (1) MXPA02008211A (ru)
NO (1) NO20023819L (ru)
NZ (1) NZ521229A (ru)
PL (1) PL357635A1 (ru)
RU (1) RU2263420C2 (ru)
WO (1) WO2001062379A1 (ru)
ZA (1) ZA200206885B (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2455796C2 (ru) * 2008-03-06 2012-07-10 Сименс Акциенгезелльшафт Система для индуктивного нагревания залежей нефтяных песков и тяжелой нефти с помощью проводящих ток проводников
RU2731361C2 (ru) * 2019-03-01 2020-09-02 Акционерное общество "Военно-промышленная корпорация "Научно-производственное объединение машиностроения" Нагреватель для тепловых испытаний

Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5914613A (en) 1996-08-08 1999-06-22 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system with local contact scrub
US6256882B1 (en) 1998-07-14 2001-07-10 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
DE20114544U1 (de) 2000-12-04 2002-02-21 Cascade Microtech, Inc., Beaverton, Oreg. Wafersonde
FR2826783B1 (fr) * 2001-07-02 2005-04-22 Aldivia Applicateurs d'energie adaptes aussi bien au chauffage dielectrique de composes aux constantes dielectriques elevees qu'a celui des composes absorbant peu les ondes electromagnetiques
US7355420B2 (en) 2001-08-21 2008-04-08 Cascade Microtech, Inc. Membrane probing system
US20030091487A1 (en) * 2001-10-19 2003-05-15 Magnus Fagrell Continuous flow heating system
WO2003034790A2 (en) * 2001-10-19 2003-04-24 Personal Chemistry I Uppsala Ab Microwave heating apparatus
US6794623B2 (en) * 2001-11-14 2004-09-21 Intel Corporation Guided heating apparatus and method for using the same
FR2832586A1 (fr) * 2001-11-16 2003-05-23 Jouan Robotics Appareil d'application de micro-ondes
DE10223665B4 (de) * 2002-05-28 2004-04-08 Nexpress Solutions Llc Einrichtung und Verfahren zum Reinigen von Mikrowelleneinrichtungen
US6744024B1 (en) 2002-06-26 2004-06-01 Cem Corporation Reaction and temperature control for high power microwave-assisted chemistry techniques
EP1521501A1 (en) * 2003-08-28 2005-04-06 Personal Chemistry i Uppsala AB Microwave heating device
RU2324305C2 (ru) * 2003-05-20 2008-05-10 Байотэйдж Аб Сверхвысокочастотное нагревательное устройство
SE0301488D0 (sv) * 2003-05-20 2003-05-20 Por Microtrans Ab Microwave heating device
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7057404B2 (en) 2003-05-23 2006-06-06 Sharp Laboratories Of America, Inc. Shielded probe for testing a device under test
DE10326964B3 (de) * 2003-06-16 2004-12-09 Nexpress Solutions Llc Mikrowelleneinrichtung für das Befestigen von Toner an einem Bedruckstoff und dafür verwendbares Element
US6989519B2 (en) * 2003-09-02 2006-01-24 Cem Corporation Controlled flow instrument for microwave assisted chemistry with high viscosity liquids and heterogeneous mixtures
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
EP1538879A1 (en) * 2003-12-02 2005-06-08 Personal Chemistry i Uppsala AB Microwave heating device
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
WO2005065258A2 (en) 2003-12-24 2005-07-21 Cascade Microtech, Inc. Active wafer probe
US7271363B2 (en) * 2004-09-01 2007-09-18 Noritsu Koki Co., Ltd. Portable microwave plasma systems including a supply line for gas and microwaves
US7420381B2 (en) 2004-09-13 2008-09-02 Cascade Microtech, Inc. Double sided probing structures
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
DE102005007851A1 (de) * 2005-02-21 2006-08-24 Siemens Ag Bestrahlungsvorrichtung
US7164234B2 (en) * 2005-03-18 2007-01-16 L-3 Communications Corporation High-power microwave system employing a phase-locked array of inexpensive commercial magnetrons
CN1995997B (zh) * 2005-12-31 2010-06-30 云南大学 一种监测化学反应动态过程的微波波谱法
EP3585135A1 (en) * 2006-02-21 2019-12-25 Goji Limited Electromagnetic heating
US10674570B2 (en) 2006-02-21 2020-06-02 Goji Limited System and method for applying electromagnetic energy
US8653482B2 (en) 2006-02-21 2014-02-18 Goji Limited RF controlled freezing
JP2007247477A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Nobuyasu Kondo 排ガス処理装置及び排ガス処理方法
US7723999B2 (en) 2006-06-12 2010-05-25 Cascade Microtech, Inc. Calibration structures for differential signal probing
US7403028B2 (en) 2006-06-12 2008-07-22 Cascade Microtech, Inc. Test structure and probe for differential signals
US7764072B2 (en) 2006-06-12 2010-07-27 Cascade Microtech, Inc. Differential signal probing system
US20080012578A1 (en) * 2006-07-14 2008-01-17 Cascade Microtech, Inc. System for detecting molecular structure and events
DE102006047617B4 (de) * 2006-10-09 2008-11-27 Clariant International Limited Verfahren zur Herstellung basischer (Meth)acrylamide
US20080143455A1 (en) * 2006-12-14 2008-06-19 Art Ross Dynamic power splitter
US7518092B2 (en) * 2007-03-15 2009-04-14 Capital Technologies, Inc. Processing apparatus with an electromagnetic launch
BRPI0701638B1 (pt) * 2007-04-24 2016-10-11 Petróleo Brasileiro S A Petrobras reator e sistema para hidroprocessamento assistido por microondas
US8357885B2 (en) * 2007-04-26 2013-01-22 Southwire Company Microwave furnace
US9258852B2 (en) * 2007-04-26 2016-02-09 Southwire Company, Llc Microwave furnace
CN101731022B (zh) * 2007-04-26 2013-10-09 南方电线公司 微波炉
CN101342475B (zh) * 2007-07-10 2011-12-07 北京安南科技有限公司 制冷与微波辐照一体化的微波化学反应装置
US7876114B2 (en) 2007-08-08 2011-01-25 Cascade Microtech, Inc. Differential waveguide probe
FR2922650A1 (fr) * 2007-10-17 2009-04-24 Millipore Corp Machine d'analyse microbiologique
FR2922651B1 (fr) * 2007-10-17 2010-03-19 Millipore Corp Systeme d'analyse microbiologique
FR2922649B1 (fr) * 2007-10-17 2010-01-01 Millipore Corp Machine d'analyse microbiologique
FR2922652B1 (fr) * 2007-10-17 2010-01-01 Millipore Corp Systeme d'analyse microbiologique
FR2922453B1 (fr) * 2007-10-17 2011-01-14 Millipore Corp Procede de decontamination et systeme le mettant en oeuvre
FR2928847B1 (fr) * 2008-03-20 2010-06-11 Sairem Soc Pour L Applic Indle Dispositif de transmission d'un rayonnement electromagnetique a un milieu reactif
DE102008017218B4 (de) * 2008-04-04 2011-09-22 Clariant International Ltd. Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Amiden niederer aliphatischer Carbonsäuren
DE102008017215B4 (de) * 2008-04-04 2012-08-09 Clariant International Ltd. Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Amiden ethylenisch ungesättigter Carbonsäuren
DE102008017217A1 (de) * 2008-04-04 2009-10-08 Clariant International Ltd. Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Amiden aromatischer Carbonsäuren
DE102008017213B4 (de) * 2008-04-04 2012-08-09 Clariant International Limited Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Amiden aliphatischer Hydroxycarbonsäuren
DE102008017216B4 (de) * 2008-04-04 2013-08-14 Clariant International Ltd. Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Fettsäureamiden
DE102008017214B4 (de) * 2008-04-04 2012-02-16 Clariant International Limited Kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von Fettsäurealkanolamiden
DE102008017219A1 (de) * 2008-04-04 2009-10-08 Clariant International Ltd. Verfahren zur Herstellung von Amiden in Gegenwart von überhitztem Wasser
US7888957B2 (en) 2008-10-06 2011-02-15 Cascade Microtech, Inc. Probing apparatus with impedance optimized interface
US8410806B2 (en) 2008-11-21 2013-04-02 Cascade Microtech, Inc. Replaceable coupon for a probing apparatus
US8319503B2 (en) 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test
EP2244529B1 (en) * 2009-04-24 2019-04-03 Anton Paar GmbH Device for Heating a Sample by Microwave Radiation
DE102009031059A1 (de) 2009-06-30 2011-01-05 Clariant International Ltd. Vorrichtung zur kontinuierlichen Durchführung chemischer Reaktionen bei hohen Temperaturen
JP5400885B2 (ja) * 2009-07-10 2014-01-29 パナソニック株式会社 マイクロ波加熱装置
DE102009056060B4 (de) * 2009-08-19 2011-09-22 Vectron International Gmbh & Co.Kg Messsystem zur drahtlosen positionsunabhängigen Messung der Temperatur
DE102009042522A1 (de) 2009-09-22 2011-04-07 Clariant International Ltd. Kontinuierliches Umesterungsverfahren
DE102009042523B4 (de) 2009-09-22 2012-02-16 Clariant International Ltd. Vorrichtung und Verfahren zur kontinuierlichen Durchführung heterogen katalysierter chemischer Reaktionen bei hohen Temperaturen
EP2490801B1 (en) * 2009-10-23 2017-06-28 Advanced Microwave Technologies Ltd Method for treating a fluid with microwave radiation
US8922969B2 (en) * 2009-12-03 2014-12-30 Goji Limited Ferrite-induced spatial modification of EM field patterns
WO2011138679A2 (en) * 2010-05-03 2011-11-10 Goji Ltd. Antenna placement in degenerate modal cavities of an electromagnetic energy transfer system
CN102933905B (zh) * 2010-05-26 2015-04-01 Lg电子株式会社 烹调装置
PL2469974T3 (pl) * 2010-12-21 2017-06-30 Whirlpool Corporation Sposób sterowania chłodzeniem w urządzeniu do podgrzewania mikrofalowego i urządzenie do podgrzewania mikrofalowego
PL2469975T3 (pl) 2010-12-21 2016-09-30 Sterowanie wydajnością źródła mikrofalowego w mikrofalowym urządzeniu podgrzewającym
DE102010056565A1 (de) 2010-12-30 2012-07-05 Clariant International Ltd. Verfahren zur Modifizierung Hydroxylgruppen tragender Polymere
DE102010056564A1 (de) 2010-12-30 2012-07-05 Clariant International Limited Hydroxylgruppen und Estergruppen tragende Polymere und Verfahren zu ihrer Herstellung
KR20140051153A (ko) 2011-02-11 2014-04-30 고지 엘티디. 에너지 인가 장치를 제어하는 인터페이스
US9161395B2 (en) * 2011-06-30 2015-10-13 Cem Corporation Instrument for performing microwave-assisted reactions
EP2752086B2 (en) 2011-08-31 2021-12-08 Goji Limited Object processing state sensing using rf radiation
RU2472323C1 (ru) * 2011-09-07 2013-01-10 Общество с ограниченной ответственностью "Дискурс" Микроволновая печь
ES2623907T3 (es) * 2012-03-14 2017-07-12 Microwave Materials Technologies, Inc. Sistemas mejorados de calentamiento por microondas y métodos de uso de los mismos
US9374853B2 (en) 2013-02-08 2016-06-21 Letourneau University Method for joining two dissimilar materials and a microwave system for accomplishing the same
EP2854478B1 (en) 2013-09-27 2016-04-06 Anton Paar GmbH Microwave heating system
JP2016144777A (ja) * 2015-02-06 2016-08-12 学校法人上智学院 抑泡方法
DE102015112590A1 (de) 2015-07-31 2017-02-02 Krones Ag Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen von Kunststoffvorformlingen mit Abstimmung bei geringerer Leistung
US10071521B2 (en) * 2015-12-22 2018-09-11 Mks Instruments, Inc. Method and apparatus for processing dielectric materials using microwave energy
CN105908613A (zh) * 2016-06-22 2016-08-31 宿迁市科路养护技术有限公司 一种沥青道路微波移动加热设备
DE102016221447A1 (de) 2016-11-02 2018-05-03 BSH Hausgeräte GmbH Haushalts-Gargerät
US11232879B2 (en) 2016-11-07 2022-01-25 Inentec Inc. Electromagnetic heating for vitrification
EP3393204B1 (en) * 2017-04-18 2021-11-10 Anton Paar GmbH Microwave equipment
US20200281051A1 (en) * 2017-08-15 2020-09-03 Goji Limited Six port power measurements
US10772165B2 (en) 2018-03-02 2020-09-08 Whirlpool Corporation System and method for zone cooking according to spectromodal theory in an electromagnetic cooking device
WO2019193748A1 (ja) * 2018-04-06 2019-10-10 パナソニック株式会社 誘電率推定装置、および誘電率推定装置を備えたマイクロ波加熱装置
CN108463020B (zh) * 2018-05-11 2020-10-09 东北大学 一种工程岩体大功率微波孔内致裂装置
CN111034358B (zh) * 2018-05-21 2022-02-01 松下知识产权经营株式会社 微波处理装置
CN109692683A (zh) * 2018-12-24 2019-04-30 环境保护部华南环境科学研究所 一种利用单模微波制备铁酸锌催化剂的方法及相应装置
CN112625900B (zh) * 2020-12-17 2022-05-17 西安电子科技大学 倾斜波导谐振腔电磁辐照细胞实验装置
CN112816312B (zh) * 2020-12-30 2024-06-21 杭州谱育科技发展有限公司 微波消解的调节方法
CN112964946A (zh) * 2021-02-03 2021-06-15 昆明理工大学 一种基于多尺度小波变换的大功率微波加热系统微波源的故障检测方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL138130B (ru)
US2427100A (en) 1943-10-26 1947-09-09 Rca Corp Microwave variable reactances
US2527477A (en) * 1944-02-01 1950-10-24 Roger E Clapp Control of the velocity of phase propagation of electric waves in wave guides
US3939320A (en) * 1974-04-12 1976-02-17 Micro-Tronics, Inc. Beam stirrer
US3936871A (en) * 1974-05-16 1976-02-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Multi-wavelength display system
SE415317B (sv) * 1978-01-02 1980-09-22 Husqvarna Ab Mikrovagsvermeapparat for behandling av en skivformig, vattenhaltig last
FR2560529B1 (fr) 1984-03-02 1986-11-07 Rhone Poulenc Rech Appareil de reaction chimique par voie humide de produits divers
JPS6244981A (ja) * 1985-08-23 1987-02-26 株式会社日立製作所 インピ−ダンス整合装置
US4711983A (en) * 1986-07-07 1987-12-08 Gerling John E Frequency stabilized microwave power system and method
US4777336A (en) 1987-04-22 1988-10-11 Michigan State University Method for treating a material using radiofrequency waves
SE9002117L (sv) * 1990-06-14 1991-08-26 Nils Elander Mikrovaagsanordning foer behandling av precessvaetskor
US5837978A (en) * 1990-07-11 1998-11-17 International Business Machines Corporation Radiation control system
FR2665264A1 (fr) * 1990-07-24 1992-01-31 Prolabo Sa Procede pour realiser une reaction chimique par voie humide sur une succession d'echantillons, appareil pour la mise en óoeuvre du procede et utilisation dudit appareil.
JPH04109587A (ja) * 1990-08-29 1992-04-10 Toshiba Corp マイクロ波加熱装置
CA2087638C (en) 1992-01-23 1997-02-25 Masatugu Fukui Microwave oven having a function for matching impedance
JP2627730B2 (ja) * 1993-09-23 1997-07-09 エルジー電子株式会社 電子レンジの自動整合装置
JPH10208870A (ja) * 1997-01-28 1998-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波加熱装置
SE9703528L (sv) * 1997-09-29 1999-03-30 Whirlpool Co Förfarande och anordning för att styra matningen av mikrovågseffekt genom en vågledare
JP3864570B2 (ja) * 1998-07-08 2007-01-10 松下電器産業株式会社 高周波加熱装置
KR100380313B1 (ko) 1998-07-08 2003-04-14 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 임피던스 가변유닛과 그것을 이용한 마이크로파 장치 및고주파 가열장치
US6268596B1 (en) * 1999-08-24 2001-07-31 Ut-Battelle, Llc Apparatus and method for microwave processing of liquids

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2455796C2 (ru) * 2008-03-06 2012-07-10 Сименс Акциенгезелльшафт Система для индуктивного нагревания залежей нефтяных песков и тяжелой нефти с помощью проводящих ток проводников
US8766146B2 (en) 2008-03-06 2014-07-01 Siemens Aktiengesellscaft Apparatus for the inductive heating of oil sand and heavy oil deposits by way of current-carrying conductors
US10000999B2 (en) 2008-03-06 2018-06-19 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus for the inductive heating of oil sand and heavy oil deposits by way of current-carrying conductors
RU2731361C2 (ru) * 2019-03-01 2020-09-02 Акционерное общество "Военно-промышленная корпорация "Научно-производственное объединение машиностроения" Нагреватель для тепловых испытаний

Also Published As

Publication number Publication date
CA2401353C (en) 2009-05-05
ZA200206885B (en) 2003-04-17
NO20023819L (no) 2002-10-25
AU776590B2 (en) 2004-09-16
MXPA02008211A (es) 2004-06-18
EP1257356A1 (en) 2002-11-20
US7015441B2 (en) 2006-03-21
JP4911852B2 (ja) 2012-04-04
RU2002125497A (ru) 2004-03-27
EE200200495A (et) 2004-02-16
NO20023819D0 (no) 2002-08-12
CN1416366A (zh) 2003-05-07
CN1248778C (zh) 2006-04-05
CA2401353A1 (en) 2001-08-30
DE60104985T2 (de) 2005-08-18
IS6482A (is) 2002-07-24
AU3400601A (en) 2001-09-03
US20020027135A1 (en) 2002-03-07
US6614010B2 (en) 2003-09-02
US20040069776A1 (en) 2004-04-15
HUP0204508A2 (en) 2003-06-28
WO2001062379A1 (en) 2001-08-30
KR20020092968A (ko) 2002-12-12
ATE273748T1 (de) 2004-09-15
NZ521229A (en) 2004-02-27
JP2003523612A (ja) 2003-08-05
DE60104985D1 (de) 2004-09-23
EP1257356B1 (en) 2004-08-18
PL357635A1 (en) 2004-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2263420C2 (ru) Микроволновое устройство нагревания
JP4362676B2 (ja) プラズマ放電装置
JP4703007B2 (ja) ガス・クロマトグラフィック・コラムのためのマイクロ波加熱装置
US6630654B2 (en) Microwave heating apparatus
JP2009105054A (ja) マイクロ波加熱装置、マイクロ波加熱システム、およびマイクロ波加熱装置またはマイクロ波加熱システムの使用方法
KR101225011B1 (ko) 공진 구조체를 이용한 초고주파 프로브
CN217361877U (zh) 谐振装置
JP4721784B2 (ja) Esr用ファブリ・ペロー共振器およびesr装置
KR20090092791A (ko) 한 샘플의 여기 가능한 물질의 전기적 특성을 검출하는 장치 및 그 방법
US20240319244A1 (en) Standard rectangular waveguide with rf port input transition
Pritzkau et al. Experimental study of pulsed heating of electromagnetic cavities
KR20240035708A (ko) 플라스마 처리 장치
JP2007003444A (ja) Esr用空胴共振器
US9844101B2 (en) System and method for uniform microwave heating
Pasini et al. CCDTL prototype: status report
Griffin A new instrument and technique for diagnosing electromagnetic design problems in microwave module housings and component packages
Hemawan Numerical analysis and experimental measurements of material loadings in cylindrical microwave cavity applicators
Matveichuk Waveguide-dielectric resonator method for accurate measurement of parameters of materials at high frequencies
Rose RHIC Project
Bechteler et al. Design and numerical simulation of a semi-symmetrical groove type resonator at millimeter waves

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200227