RU2168157C2 - Датчик давления и способ его изготовления - Google Patents
Датчик давления и способ его изготовления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2168157C2 RU2168157C2 RU98100300/28A RU98100300A RU2168157C2 RU 2168157 C2 RU2168157 C2 RU 2168157C2 RU 98100300/28 A RU98100300/28 A RU 98100300/28A RU 98100300 A RU98100300 A RU 98100300A RU 2168157 C2 RU2168157 C2 RU 2168157C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- carrier plate
- contact
- mounting surface
- pressure sensor
- housing
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0069—Electrical connection means from the sensor to its support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относится к датчикам давления. В изобретении описан датчик давления, включающий корпус, расположенную на монтажной поверхности корпуса несущую пластину, расположенный в корпусе чувствительный элемент и по меньшей мере один контактный вывод, электрически соединенный по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины. При этом по меньшей мере один контактный вывод расположен заподлицо с монтажной поверхностью и соединен непосредственно по меньшей мере с одной контактной поверхностью и между несущей пластиной и монтажной поверхностью расположен слой капиллярного клея. Также заявлен способ изготовления этого датчика давления. Технический результат - высокая помехозащищенность, высокая надежность в течение длительного срока эксплуатации и простота в изготовлении датчика. 2 с. и 6 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Настоящее изобретение относится к датчику давления, включающему корпус, расположенную на монтажной поверхности корпуса несущую пластину, расположенный в корпусе чувствительный элемент и по меньшей мере один контактный вывод, электрически соединенный по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины.
Датчик давления указанного типа описан, например, в заявке на патент Германии DE 4313312 A1. В этом датчике электрические контактные выводы, несущая пластина с находящимися на ней электрическими и электронными деталями, а также чувствительный элемент расположены в корпусе раздельно друг от друга. При этом чувствительный к давлению элемент, несущая пластина и электрические контактные выводы электрически соединены друг с другом проволочными выводами, присоединенными методом микросварки.
Недостаток этого датчика давления заключается, во-первых, в том, что он сравнительно сложен в изготовлении, поскольку электрические контактные выводы, несущая пластина, а также чувствительный элемент должны быть расположены в корпусе соответственно раздельно. Во-вторых, контактирование, осуществляемое с помощью указанных выше проволочных выводов, является особенно нежелательным именно для датчика давления, т.к. такие проволочные выводы очень чувствительны, вследствие чего, в частности, при подаче среды под давлением существует опасность повреждения и тем самым разрушения датчика давления.
Исходя из всего вышесказанного, в основу настоящего изобретения была положена задача усовершенствовать датчик давления указанного выше типа таким образом, чтобы он, во-первых, был прост в изготовлении и, во-вторых, чтобы он обладал высокой помехозащищенностью и вследствие этого высокой надежностью в течение длительного срока эксплуатации.
Краткое описание изобретения
В соответствии с изобретением эта задача решается с помощью датчика давления вышеописанного типа, у которого по меньшей мере один контактный вывод расположен заподлицо с монтажной поверхностью и непосредственно соединен по меньшей мере с одной контактной поверхностью и что между несущей пластиной и монтажной поверхностью расположен капиллярно-клеевой слой.
В соответствии с изобретением эта задача решается с помощью датчика давления вышеописанного типа, у которого по меньшей мере один контактный вывод расположен заподлицо с монтажной поверхностью и непосредственно соединен по меньшей мере с одной контактной поверхностью и что между несущей пластиной и монтажной поверхностью расположен капиллярно-клеевой слой.
Особое преимущество расположения по меньшей мере одного контактного вывода заподлицо с монтажной поверхностью и непосредственного контактирования по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины состоит в том, что для соединения контактных выводов с несущей пластиной не требуется применение каких-либо чувствительных присоединяемых методом микросварки проволочных выводов, благодаря чему не только существенно упрощается изготовление, но и повышается, кроме того, помехозащищенность и вследствие этого работоспособность в течение длительного срока эксплуатации.
Еще одно существенное преимущество, состоящее в расположении капиллярно-клеевого слоя между несущей пластиной и монтажной поверхностью, заключается в том, что благодаря этому несущая пластина и монтажная поверхность, а тем самым и корпус могут быть соединены "литьем за одну операцию". Этот капиллярно-клеевой слой, в частности, повышает стойкость соединения между несущей пластиной и монтажной поверхностью, т.е. корпусом, и образует таким образом также защиту мест соединений между контактными поверхностями и контактными выводами. Особое преимущество применения капиллярного клея для этого клеевого слоя заключается в том, что капиллярный клей, затекая в мельчайшие поры между монтажной поверхностью и несущей пластиной, создает тем самым особо прочное, в определенной степени монолитное соединение.
Контактные выводы можно присоединять к контактной поверхности самым различным образом. Например, контактные выводы можно соединять с контактными поверхностями пайкой.
Кроме того, в предпочтительном варианте может быть предусмотрено и клеевое соединение, причем в этом случае для такого соединения применяется токопроводящий клей.
Следовательно, в обоих случаях преимущественно печатные контактные поверхности могут быть соединены с контактными выводами с помощью очень эффективной технологии поверхностного монтажа.
Особое преимущество предлагаемого датчика состоит в том, что капиллярный клей окружает электропроводящее соединение между контактными выводами и контактными поверхностями и герметизирует их относительно окружающей среды. Благодаря этому, как уже упоминалось, достигается не только повышение стойкости и уменьшение действующих на соединение между контактными поверхностями и контактными выводами (срезающих) сил, но одновременно также и защита мест соединений между контактными выводами и контактными поверхностями от воздействий окружающей среды, например коррозии, окисления и т.п.
В принципе корпус может быть выполнен из любого материала. Однако предпочтительно изготавливать корпус из пластмассы, коэффициент теплового расширения которой по меньшей мере в одном направлении монтажной поверхности соответствует коэффициенту теплового расширения несущей пластины. Пластмассовый корпус не только прост и экономичен в изготовлении, но и за счет использования анизотропии коэффициента расширения можно изготовить пластмассовый корпус со свойствами, близкими к свойствам несущей пластины, в частности в отношении их коэффициентов расширения.
В предпочтительном варианте несущая пластина представляет собой керамическую плату для гибридных схем, на которую также, например, с помощью технологии поверхностного монтажа установлен чувствительный элемент. Таким образом снижаются общие затраты на детали, которые необходимо использовать для размещения чувствительного элемента в корпусе.
Положенная в основу изобретения задача решается также с помощью способа изготовления датчика давления, включающего корпус, расположенную на монтажной поверхности корпуса несущую пластину, расположенный в корпусе чувствительный элемент и по меньшей мере один контактный вывод, электрически соединенный по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины, при этом сначала с обеспечением электропроводящего соединения по меньшей мере одну контактную поверхность присоединяют непосредственно к расположенному заподлицо с монтажной поверхностью контактному выводу, а затем между несущей пластиной и монтажной поверхностью вводят капиллярный клей для создания герметизирующего клеевого соединения.
Описание чертежей
Другие преимущества изобретения подробнее поясняются на примерах его выполнения со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых показано:
на фиг. 1 - частичные разрезы видов спереди и сбоку предлагаемого датчика давления,
на фиг. 2 - частичные разрезы видов спереди и сбоку другого варианта выполнения предлагаемого датчика давления и
на фиг. 3 - частичные разрезы видов спереди и сбоку еще одного варианта выполнения предлагаемого датчика давления.
Другие преимущества изобретения подробнее поясняются на примерах его выполнения со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых показано:
на фиг. 1 - частичные разрезы видов спереди и сбоку предлагаемого датчика давления,
на фиг. 2 - частичные разрезы видов спереди и сбоку другого варианта выполнения предлагаемого датчика давления и
на фиг. 3 - частичные разрезы видов спереди и сбоку еще одного варианта выполнения предлагаемого датчика давления.
Датчик давления, изображенный на фиг. 1, 2 и 3 и обозначенный общей позицией 10, включает корпус 20, который состоит, например, из двух половин 21, 22.
Корпус 20 имеет в основном цилиндрическую форму и изготовлен предпочтительно из пластмассы. В корпусе 20 расположен чувствительный элемент 30. Чувствительный элемент 30 сообщается через цилиндрическую полость 31 с окружающей средой. Через полость 31 находящаяся под давлением среда действует на чувствительный элемент 30, который представляет собой, например, снабженный мембраной кремниевый кристалл. Чувствительный элемент 30 расположен на несущей пластине 40 и соединен, например, проволочными выводами 32 с (непоказанными) контактными поверхностями на несущей пластине 40. Чувствительный элемент 30 защищен мембраной 35 (ср. фиг. 3) или перфорированным защитным колпачком 36 (ср. фиг. 2) от находящейся под давлением среды, в частности от содержащейся в ней при определенных условиях пыли, грязи и т.п.
На несущей пластине 40, выполненной в виде керамической платы для гибридных схем, могут быть расположены другие (непоказанные) электрические/электронные детали электрической схемы.
С несущей пластиной 40 электрически соединены контактные выводы 50, например, в виде вставных контактов или лепестков для присоединения пайкой. Как наиболее наглядно показано на фиг. 2 и 3, контактные элементы 50 выполнены при этом таким образом, что они утоплены заподлицо с выполненной в корпусе 20 монтажной поверхностью 60, благодаря чему расположенные на несущей пластине контактные поверхности могут быть соединены непосредственно с контактными выводами 50 с помощью известной технологии поверхностного монтажа.
Например, контактные поверхности и контактные выводы 50 могут быть спаяны друг с другом. Другим видом соединения является клеевое соединение с применением токопроводящего клея для создания такого клеевого соединения.
Повышенная стойкость полученного таким образом соединения между контактными выводами 50 и несущей пластиной достигается благодаря тому, что между этой несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 вводят капиллярный клей, который, во-первых, прочно соединяет несущую пластину 40 с монтажной поверхностью 60, и, во-вторых, окружает электропроводные соединения между контактными выводами 50 и монтажными поверхностями и тем самым защищает их от воздействий окружающей среды, в частности от коррозии, окисления и т.п.
Способ изготовления вышеописанного датчика давления состоит в том, что сначала соединяют контактные поверхности несущей пластины 40 с контактными выводами 50. Например, для образования клеевого соединения на контактные поверхности несущей пластины 40 наносят токопроводящий клей. Затем несущую пластину 40 фиксируют на монтажной поверхности 60 и контактных выводах 50 с помощью этого токопроводящего клея и в завершение в образовавшуюся промежуточную полость между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 корпуса вводят капиллярный клей с получением герметизирующего клеевого соединения. Этот капиллярный клей, затекая в мельчайшие поры между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 корпуса 20, при этом не только создает очень прочное, почти монолитное соединение между несущей пластиной 40 и корпусом 20, но и повышает прочность электропроводящего соединения между контактными выводами 50 и контактными поверхностями несущей пластины 40, защищая контактные выводы 50 от воздействий окружающей среды.
Во избежание разрыва электропроводящего соединения между контактными выводами 50 и контактными поверхностями несущей пластины 40 вследствие различных коэффициентов теплового расширения корпуса 20 и/или несущей пластины 40 и/или металлических контактных выводов 50 корпус 20 предпочтительно изготавливать из пластмассы, коэффициент теплового расширения которой по меньшей мере в одном направлении монтажной поверхности 60 в основном соответствует коэффициенту теплового расширения несущей пластины 40, выполненной в виде керамической платы для гибридных схем, благодаря чему несущая пластина 40 и корпус 20 расширяются в этой плоскости в зависимости от температуры в одинаковой степени.
Claims (8)
1. Датчик давления, имеющий корпус 20, расположенную на монтажной поверхности 60 корпуса 20 несущую пластину 40, расположенный в корпусе 20 чувствительный элемент 30 и по меньшей мере один контактный вывод 50, электрически соединенный по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины 40, а также расположенный между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 клей, отличающийся тем, что по меньшей мере один контактный вывод 50 расположен заподлицо с монтажной поверхностью 60 и непосредственно соединен по меньшей мере с одной контактной поверхностью, а между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 расположен слой капиллярного клея.
2. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что капиллярный клей окружает электропроводящее соединение между по меньшей мере одним контактным выводом 50 и по меньшей мере одной контактной поверхностью и герметизирует их относительно окружающей среды.
3. Датчик давления по п.1 или 2, отличающийся тем, что электропроводящее соединение между по меньшей мере одним контактным выводом 50 и по меньшей мере одной контактной поверхностью является паяным соединением.
4. Датчик давления по п.1 или 2, отличающийся тем, что электропроводящее соединение между по меньшей мере одним контактным выводом 50 и по меньшей мере одной контактной поверхностью является клеевым соединением.
5. Датчик давления по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что корпус 20 изготовлен из пластмассы, коэффициент теплового расширения которой по меньшей мере в одном направлении монтажной поверхности 60 согласован с коэффициентом теплового расширения несущей пластины 40.
6. Датчик давления по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что чувствительный элемент 30 размещен на несущей пластине 40.
7. Датчик давления по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что несущая пластина 40 представляет собой керамическую плату для гибридных схем.
8. Способ изготовления датчика давления, имеющего корпус 20, расположенную на монтажной поверхности 60 корпуса 20 несущую пластину 40, расположенный в корпусе 20 чувствительный элемент 30 и по меньшей мере один контактный вывод 50, электрически соединенный по меньшей мере с одной контактной поверхностью несущей пластины 40, при этом между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 расположен клей, отличающийся тем, что сначала с обеспечением электропроводящего соединения по меньшей мере одну контактную поверхность непосредственно присоединяют к расположенному заподлицо с монтажной поверхностью 60 контактному выводу 50, а затем между несущей пластиной 40 и монтажной поверхностью 60 вводят капиллярный клей с получением герметизирующего клеевого соединения.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19612964A DE19612964A1 (de) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | Drucksensor und Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors |
DE19612964.8 | 1996-04-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU98100300A RU98100300A (ru) | 1999-10-10 |
RU2168157C2 true RU2168157C2 (ru) | 2001-05-27 |
Family
ID=7790124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU98100300/28A RU2168157C2 (ru) | 1996-04-01 | 1996-12-02 | Датчик давления и способ его изготовления |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6021674A (ru) |
EP (1) | EP0829003B1 (ru) |
JP (1) | JPH11507135A (ru) |
KR (1) | KR19990022072A (ru) |
CN (1) | CN1125323C (ru) |
DE (2) | DE19612964A1 (ru) |
RU (1) | RU2168157C2 (ru) |
TW (1) | TW326069B (ru) |
WO (1) | WO1997037204A1 (ru) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19711939A1 (de) * | 1997-03-21 | 1998-09-24 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur im Saugrohr einer Brennkraftmaschine |
DE19830538A1 (de) * | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Siemens Ag | Drucksensor-Anordnung, insbesondere zur Druckerfassung in einem ölbeaufschlagten Druckbereich eines Kraftfahrzeuggetriebes |
JP3509627B2 (ja) * | 1999-05-25 | 2004-03-22 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
DE10042734C1 (de) * | 2000-08-31 | 2002-03-14 | Wabco Gmbh & Co Ohg | Drucksensor |
DE10107813A1 (de) * | 2001-02-20 | 2002-09-05 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensormodul |
US6828801B1 (en) | 2001-10-26 | 2004-12-07 | Welch Allyn, Inc. | Capacitive sensor |
EP1659386A4 (en) * | 2003-08-26 | 2007-08-29 | Matsushita Electric Works Ltd | SENSOR DEVICE |
US7024937B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-04-11 | Honeywell International Inc. | Isolated pressure transducer |
US7252009B2 (en) * | 2004-08-27 | 2007-08-07 | Ashcroft-Nagano, Inc. | System and method for pressure measurement |
DE102005053682A1 (de) * | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensor, Sensorbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensors |
DE202006003446U1 (de) * | 2006-03-02 | 2006-05-18 | Eto Sensoric Kg | Drucksensorvorrichtung |
DE102007016477A1 (de) * | 2007-04-05 | 2008-10-09 | Robert Bosch Gmbh | Anschlusseinheit für eine Druckmesszelle |
DE102009028999A1 (de) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Robert Bosch Gmbh | Hydraulische Komponente mit mindestens zwei Bereichen unterschiedlichen Drucks und mindestens einem Funktionselement |
EP2390641B1 (en) * | 2010-05-27 | 2019-06-26 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure Sensor |
CN103076136B (zh) * | 2011-10-26 | 2015-12-16 | 浙江三花股份有限公司 | 一种压力传感器 |
CN104126107B (zh) * | 2012-02-09 | 2016-08-24 | 富士电机株式会社 | 物理量传感器以及物理量传感器的制造方法 |
JP5651670B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2015-01-14 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力検知ユニット |
TWI633289B (zh) * | 2013-03-13 | 2018-08-21 | 不二工機股份有限公司 | 壓力感測器 |
CN109540353A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-03-29 | 李世超 | 一种压力传感器的生产工艺 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3808480A (en) * | 1973-04-16 | 1974-04-30 | Bunker Ramo | Capacitive pressure transducer |
US4295117A (en) * | 1980-09-11 | 1981-10-13 | General Motors Corporation | Pressure sensor assembly |
ATE34613T1 (de) * | 1983-11-10 | 1988-06-15 | Kristal Instr Ag | Wandlerelement, verfahren zu seiner herstellung sowie verwendung fuer einen druckaufnehmer. |
US4735098A (en) * | 1985-11-19 | 1988-04-05 | Kavlico Corporation | Dual diaphragm differential pressure transducer |
US4825876A (en) * | 1988-02-23 | 1989-05-02 | Abbott Laboratories | Encapsulated blood pressure transducer |
US5257547A (en) * | 1991-11-26 | 1993-11-02 | Honeywell Inc. | Amplified pressure transducer |
US5285690A (en) * | 1992-01-24 | 1994-02-15 | The Foxboro Company | Pressure sensor having a laminated substrate |
DE4317312A1 (de) * | 1993-05-25 | 1994-12-01 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensor in einem Kunststoffgehäuse und Verfahren zur Herstellung |
US5454270A (en) * | 1994-06-06 | 1995-10-03 | Motorola, Inc. | Hermetically sealed pressure sensor and method thereof |
-
1996
- 1996-04-01 DE DE19612964A patent/DE19612964A1/de not_active Withdrawn
- 1996-12-02 JP JP9534782A patent/JPH11507135A/ja not_active Withdrawn
- 1996-12-02 DE DE59607787T patent/DE59607787D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-02 US US08/973,123 patent/US6021674A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-02 WO PCT/DE1996/002301 patent/WO1997037204A1/de not_active Application Discontinuation
- 1996-12-02 EP EP96946029A patent/EP0829003B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-02 CN CN96194062A patent/CN1125323C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-02 RU RU98100300/28A patent/RU2168157C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1996-12-02 KR KR1019970708551A patent/KR19990022072A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-12-08 TW TW085115181A patent/TW326069B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11507135A (ja) | 1999-06-22 |
DE59607787D1 (de) | 2001-10-31 |
KR19990022072A (ko) | 1999-03-25 |
TW326069B (en) | 1998-02-01 |
CN1125323C (zh) | 2003-10-22 |
US6021674A (en) | 2000-02-08 |
CN1185207A (zh) | 1998-06-17 |
DE19612964A1 (de) | 1997-10-02 |
EP0829003A1 (de) | 1998-03-18 |
WO1997037204A1 (de) | 1997-10-09 |
EP0829003B1 (de) | 2001-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2168157C2 (ru) | Датчик давления и способ его изготовления | |
US6388887B1 (en) | Surface mount type package unit | |
KR100530434B1 (ko) | 내연기관 흡입관내의 압력 및 온도 검출장치와 이 장치의 제조방법 | |
KR970063595A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조방법 | |
US6034421A (en) | Semiconductor device including molded IC fixed to casing | |
JP3546059B2 (ja) | プリント配線板の実装表面に組み付け可能な圧力センサ構成素子 | |
RU98100300A (ru) | Датчик давления и способ его изготовления | |
US5631421A (en) | Piezoelectric acceleration transducer | |
KR960006730A (ko) | 자동차용 제어 장치 | |
JPH04307769A (ja) | 電子デバイス及びその形成方法 | |
JP3438879B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
WO2014208080A1 (ja) | 電子装置 | |
US6177727B1 (en) | Saddle bracket for solid state pressure gauge | |
US6808422B2 (en) | Filter insert for an electrical connector assembly | |
CN112911490A (zh) | 传感器封装结构及其制作方法和电子设备 | |
JP4304482B2 (ja) | 圧力センサ | |
JPH07202283A (ja) | 圧電センサ及びその製造方法 | |
JP3407631B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3751528B2 (ja) | センサ及び圧力センサ | |
JP2651967B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP2001156405A (ja) | 回路基板装置 | |
JPH04307988A (ja) | 電子ユニット | |
JPS6130308Y2 (ru) | ||
JPS595922Y2 (ja) | リ−ド線付きチップ部品 | |
JP2001085096A (ja) | コネクタ端子の形状 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20041203 |