RU2025664C1 - Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа - Google Patents

Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа Download PDF

Info

Publication number
RU2025664C1
RU2025664C1 SU5057641A RU2025664C1 RU 2025664 C1 RU2025664 C1 RU 2025664C1 SU 5057641 A SU5057641 A SU 5057641A RU 2025664 C1 RU2025664 C1 RU 2025664C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
hemispherical resonator
losses
metal layer
quartz glass
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
И.В. Павлов
Б.С. Лунин
Original Assignee
МГУ им.М.В.Ломоносова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МГУ им.М.В.Ломоносова filed Critical МГУ им.М.В.Ломоносова
Priority to SU5057641 priority Critical patent/RU2025664C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2025664C1 publication Critical patent/RU2025664C1/ru

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области поворотно-чувствительных устройств с колеблющимися массами и предназначено для повышения добротности полусферических резонаторов при производстве волновых твердотельных гироскопов. Цель изобретения - уменьшение потерь, возникающих при нанесении металлического слоя на полусферический резонатор из кварцевого стекла. Предложенный способ состоит в том, что после вытачивания полусферического резонатора из кварцевого стекла и нанесения металлического слоя на внешнюю и внутреннюю поверхности резонатор нагревают до 150 - 200°С, затем охлаждают до минус 160 - минус 200°С, а затем повторно нагревают до 150 - 200°С. Потери в резонаторе, связанные с металлизацией, уменьшаются при этом примерно в два раза.

Description

Изобретение относится к области поворотно-чувствительных устройств с колеблющимися массами и предназначено для повышения добротности полусферических резонаторов при производстве волновых твердотельных гироскопов.
Величина добротности полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа является одной из его основных характеристик. Увеличение добротности полусферического резонатора уменьшает систематическую ошибку гироскопа, а также увеличивает время хранения инерциальной информации при выключении питающих напряжений.
Известно, что полусферический резонатор волнового твердотельного гироскопа изготавливают из кварцевого стекла, причем внутреннюю и внешнюю поверхности резонатора покрывают хромом за исключением торца.
При таком способе получения полусферического резонатора уменьшается добротность резонатора при нанесении металлического слоя из-за наличия механических напряжений и неполной адгезии на границе металл-стекло, что приводит к дополнительным потерям энергии колебаний, т.е. к уменьшению добротности. Величина этого вида потерь может составить до 2 ˙10-7.
Цель изобретения - уменьшение потерь, возникающих при нанесении металлического слоя на полусферический резонатор из кварцевого стекла.
Это достигается тем, что при способе изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа, включающем вытачивание полусферического резонатора из кварцевого стекла, нанесение металлического слоя хрома на внешнюю и внутреннюю поверхности, после нанесения металлического слоя полусферический резонатор нагревают до 150-200оС, охлаждают до минус 160 - минус 200оС и повторно нагревают до 150-200оС.
При нагревании резонатора до 150-200оС происходит удаление воды, адсорбированной на поверхности и в порах поверхностного слоя, наличие которой приводит к потерям энергии колебаний. При меньших температурах этот процесс протекать до конца не будет, а увеличение температуры свыше 200оС не дает никаких преимуществ.
При охлаждении резонатора до минус 160 - минус 200оС происходит термическое сжатие как резонатора, так и металлического слоя. Однако коэффициент термического расширения у кварцевого стекла во много раз меньше, чем у хрома. Поэтому будет иметь место натягивание металлического слоя, выравнивание механических напряжений и улучшение адгезии. Чтобы процесс был эффективным, а сила натяжения достаточна, температура охлаждения должна быть не менее -160оС. Охлаждение свыше -200оС может привести к изменению структуры поверхностного слоя и к потере упругих свойств.
Повторное нагревание удаляет с поверхности и из пор поверхностного слоя адсорбированную воду, которая может образоваться после операции охлаждения.
П р и м е р 1. Полусферический резонатор диаметром 60 мм вытачивают из кварцевого стекла марки КУВИ и покрывают металлическим слоем хрома методом вакуумного напыления. Добротность резонатора до нанесения металлического слоя составила Q1=18 ˙18·106, а потери соответственно P1=Q1 -5= 5·5˙ 10-8. После нанесения металлического слоя хрома добротность резонатора составила Q2= 5˙18˙106, а потери P2=Q2 -1=19˙3·10-8. Внесенные при нанесении металлического слоя потери составляют Pv1=P2-P1=13˙ 8 ˙10-8, и они оказались выше, чем потери в самом резонаторе.
Этот резонатор нагревают до температуры 200оС, затем охлаждают до -200оС и повторно нагревают до 200оС. После этого добротность резонатора составила Q3= 7·63˙ 106, а потери P3=13 ˙1 ˙10-8. Внесенные металлическим слоем потери составляют Pv2=P3-P1=7˙6˙10-8. Коэффициент уменьшения потерь при применении предложенного способа составляет: L1=Pv1/Pv2=1,72.
П р и м е р 2. Проводят аналогично примеру 1, изменяя лишь температуру нагревания до 150оС и температуру охлаждения до -160оС. Коэффициент уменьшения потерь составляет L2=1,92.
П р и м е р 3. Проводят аналогично примеру 1, изменяя лишь температуру нагревания до 175оС и температуру охлаждения до -180оС. Коэффициент уменьшения потерь составляет L3 =1,90.
Предложенный способ позволяет уменьшить потери, связанные с нанесением металлического слоя хрома примерно в 2 раза.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУСФЕРИЧЕСКОГО РЕЗОНАТОРА ВОЛНОВОГО ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ГИРОСКОПА, включающий вытачивание полусферического резонатора из кварцевого стекла, нанесение металлического слоя хрома на внешнюю и внутреннюю поверхности, отличающийся тем, что после нанесения металлического слоя полусферический резонатор нагревают до 150...200oС, охлаждают до (-160) ... (-200)oС и повторно нагревают до 150...200oС.
SU5057641 1992-08-04 1992-08-04 Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа RU2025664C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5057641 RU2025664C1 (ru) 1992-08-04 1992-08-04 Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5057641 RU2025664C1 (ru) 1992-08-04 1992-08-04 Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2025664C1 true RU2025664C1 (ru) 1994-12-30

Family

ID=21611056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5057641 RU2025664C1 (ru) 1992-08-04 1992-08-04 Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2025664C1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2717262C1 (ru) * 2019-10-09 2020-03-19 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Способ изготовления сферического резонатора
CN112461265A (zh) * 2020-11-20 2021-03-09 大连理工大学 一种石英半球谐振子纳米制造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент США N 4157041, кл. G 01C 19/56, 1984. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2717262C1 (ru) * 2019-10-09 2020-03-19 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Способ изготовления сферического резонатора
CN112461265A (zh) * 2020-11-20 2021-03-09 大连理工大学 一种石英半球谐振子纳米制造方法
CN112461265B (zh) * 2020-11-20 2023-03-24 大连理工大学 一种石英半球谐振子纳米制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4135108A (en) Quartz resonator with electrodes that do not adhere to the crystal
US4159075A (en) Hermetic bonded seal
JPS5943428B2 (ja) 超小形レンズの製造方法
JPS60105216A (ja) 薄膜半導体装置の製造方法
RU2025664C1 (ru) Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа
US4610502A (en) Method of manufacturing a geodetic component and integrated optical device comprising said component
US4153317A (en) Indium seal for gas laser
JPH0730354A (ja) 複合単結晶圧電基板の製造方法
US4685778A (en) Process for nuclear hardening optics and product produced thereby
US20020172761A1 (en) Method for the production of optical components with increased stability, components obtained thereby and their use
JPS59223245A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JPH0281422A (ja) Soi基板の製造方法
JPS60156001A (ja) プラスチツク製光学部品の反射防止膜
JPS58135141A (ja) 単一偏波光フアイバの製造方法
JPS61185917A (ja) 半導体装置の製造方法
US4397884A (en) Process for stabilizing in time a piezoelectric resonator
JPH1048419A (ja) 偏光素子及びその製造方法
JPH06267804A (ja) 貼り合わせ半導体基板及びその製造方法
JPS5849632A (ja) 偏波面保存フアイバの製造方法
JPH0280574A (ja) 熱内部応力緩和異方性蒸着成形体の製造方法
JPH036910A (ja) 樹脂ディップの空洞形成方法
SU1512744A1 (ru) Способ прокалки электродов с покрытием
JPS5828233B2 (ja) 燃焼室または排気管を構成する内燃機関用セラミックス−鋳鉄複合体
JPS57154203A (en) Metallic coating optical fiber and its manufacture
WO2024080532A3 (ko) 내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조 방법