RU2025664C1 - Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа - Google Patents
Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа Download PDFInfo
- Publication number
- RU2025664C1 RU2025664C1 SU5057641A RU2025664C1 RU 2025664 C1 RU2025664 C1 RU 2025664C1 SU 5057641 A SU5057641 A SU 5057641A RU 2025664 C1 RU2025664 C1 RU 2025664C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- resonator
- hemispherical resonator
- losses
- metal layer
- quartz glass
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области поворотно-чувствительных устройств с колеблющимися массами и предназначено для повышения добротности полусферических резонаторов при производстве волновых твердотельных гироскопов. Цель изобретения - уменьшение потерь, возникающих при нанесении металлического слоя на полусферический резонатор из кварцевого стекла. Предложенный способ состоит в том, что после вытачивания полусферического резонатора из кварцевого стекла и нанесения металлического слоя на внешнюю и внутреннюю поверхности резонатор нагревают до 150 - 200°С, затем охлаждают до минус 160 - минус 200°С, а затем повторно нагревают до 150 - 200°С. Потери в резонаторе, связанные с металлизацией, уменьшаются при этом примерно в два раза.
Description
Изобретение относится к области поворотно-чувствительных устройств с колеблющимися массами и предназначено для повышения добротности полусферических резонаторов при производстве волновых твердотельных гироскопов.
Величина добротности полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа является одной из его основных характеристик. Увеличение добротности полусферического резонатора уменьшает систематическую ошибку гироскопа, а также увеличивает время хранения инерциальной информации при выключении питающих напряжений.
Известно, что полусферический резонатор волнового твердотельного гироскопа изготавливают из кварцевого стекла, причем внутреннюю и внешнюю поверхности резонатора покрывают хромом за исключением торца.
При таком способе получения полусферического резонатора уменьшается добротность резонатора при нанесении металлического слоя из-за наличия механических напряжений и неполной адгезии на границе металл-стекло, что приводит к дополнительным потерям энергии колебаний, т.е. к уменьшению добротности. Величина этого вида потерь может составить до 2 ˙10-7.
Цель изобретения - уменьшение потерь, возникающих при нанесении металлического слоя на полусферический резонатор из кварцевого стекла.
Это достигается тем, что при способе изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа, включающем вытачивание полусферического резонатора из кварцевого стекла, нанесение металлического слоя хрома на внешнюю и внутреннюю поверхности, после нанесения металлического слоя полусферический резонатор нагревают до 150-200оС, охлаждают до минус 160 - минус 200оС и повторно нагревают до 150-200оС.
При нагревании резонатора до 150-200оС происходит удаление воды, адсорбированной на поверхности и в порах поверхностного слоя, наличие которой приводит к потерям энергии колебаний. При меньших температурах этот процесс протекать до конца не будет, а увеличение температуры свыше 200оС не дает никаких преимуществ.
При охлаждении резонатора до минус 160 - минус 200оС происходит термическое сжатие как резонатора, так и металлического слоя. Однако коэффициент термического расширения у кварцевого стекла во много раз меньше, чем у хрома. Поэтому будет иметь место натягивание металлического слоя, выравнивание механических напряжений и улучшение адгезии. Чтобы процесс был эффективным, а сила натяжения достаточна, температура охлаждения должна быть не менее -160оС. Охлаждение свыше -200оС может привести к изменению структуры поверхностного слоя и к потере упругих свойств.
Повторное нагревание удаляет с поверхности и из пор поверхностного слоя адсорбированную воду, которая может образоваться после операции охлаждения.
П р и м е р 1. Полусферический резонатор диаметром 60 мм вытачивают из кварцевого стекла марки КУВИ и покрывают металлическим слоем хрома методом вакуумного напыления. Добротность резонатора до нанесения металлического слоя составила Q1=18 ˙18·106, а потери соответственно P1=Q1 -5= 5·5˙ 10-8. После нанесения металлического слоя хрома добротность резонатора составила Q2= 5˙18˙106, а потери P2=Q2 -1=19˙3·10-8. Внесенные при нанесении металлического слоя потери составляют Pv1=P2-P1=13˙ 8 ˙10-8, и они оказались выше, чем потери в самом резонаторе.
Этот резонатор нагревают до температуры 200оС, затем охлаждают до -200оС и повторно нагревают до 200оС. После этого добротность резонатора составила Q3= 7·63˙ 106, а потери P3=13 ˙1 ˙10-8. Внесенные металлическим слоем потери составляют Pv2=P3-P1=7˙6˙10-8. Коэффициент уменьшения потерь при применении предложенного способа составляет: L1=Pv1/Pv2=1,72.
П р и м е р 2. Проводят аналогично примеру 1, изменяя лишь температуру нагревания до 150оС и температуру охлаждения до -160оС. Коэффициент уменьшения потерь составляет L2=1,92.
П р и м е р 3. Проводят аналогично примеру 1, изменяя лишь температуру нагревания до 175оС и температуру охлаждения до -180оС. Коэффициент уменьшения потерь составляет L3 =1,90.
Предложенный способ позволяет уменьшить потери, связанные с нанесением металлического слоя хрома примерно в 2 раза.
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУСФЕРИЧЕСКОГО РЕЗОНАТОРА ВОЛНОВОГО ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ГИРОСКОПА, включающий вытачивание полусферического резонатора из кварцевого стекла, нанесение металлического слоя хрома на внешнюю и внутреннюю поверхности, отличающийся тем, что после нанесения металлического слоя полусферический резонатор нагревают до 150...200oС, охлаждают до (-160) ... (-200)oС и повторно нагревают до 150...200oС.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5057641 RU2025664C1 (ru) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5057641 RU2025664C1 (ru) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2025664C1 true RU2025664C1 (ru) | 1994-12-30 |
Family
ID=21611056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5057641 RU2025664C1 (ru) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2025664C1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2717262C1 (ru) * | 2019-10-09 | 2020-03-19 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Способ изготовления сферического резонатора |
CN112461265A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-09 | 大连理工大学 | 一种石英半球谐振子纳米制造方法 |
-
1992
- 1992-08-04 RU SU5057641 patent/RU2025664C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент США N 4157041, кл. G 01C 19/56, 1984. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2717262C1 (ru) * | 2019-10-09 | 2020-03-19 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Способ изготовления сферического резонатора |
CN112461265A (zh) * | 2020-11-20 | 2021-03-09 | 大连理工大学 | 一种石英半球谐振子纳米制造方法 |
CN112461265B (zh) * | 2020-11-20 | 2023-03-24 | 大连理工大学 | 一种石英半球谐振子纳米制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4135108A (en) | Quartz resonator with electrodes that do not adhere to the crystal | |
US4159075A (en) | Hermetic bonded seal | |
JPS5943428B2 (ja) | 超小形レンズの製造方法 | |
JPS60105216A (ja) | 薄膜半導体装置の製造方法 | |
RU2025664C1 (ru) | Способ изготовления полусферического резонатора волнового твердотельного гироскопа | |
US4610502A (en) | Method of manufacturing a geodetic component and integrated optical device comprising said component | |
US4153317A (en) | Indium seal for gas laser | |
JPH0730354A (ja) | 複合単結晶圧電基板の製造方法 | |
US4685778A (en) | Process for nuclear hardening optics and product produced thereby | |
US20020172761A1 (en) | Method for the production of optical components with increased stability, components obtained thereby and their use | |
JPS59223245A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JPH0281422A (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JPS60156001A (ja) | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 | |
JPS58135141A (ja) | 単一偏波光フアイバの製造方法 | |
JPS61185917A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US4397884A (en) | Process for stabilizing in time a piezoelectric resonator | |
JPH1048419A (ja) | 偏光素子及びその製造方法 | |
JPH06267804A (ja) | 貼り合わせ半導体基板及びその製造方法 | |
JPS5849632A (ja) | 偏波面保存フアイバの製造方法 | |
JPH0280574A (ja) | 熱内部応力緩和異方性蒸着成形体の製造方法 | |
JPH036910A (ja) | 樹脂ディップの空洞形成方法 | |
SU1512744A1 (ru) | Способ прокалки электродов с покрытием | |
JPS5828233B2 (ja) | 燃焼室または排気管を構成する内燃機関用セラミックス−鋳鉄複合体 | |
JPS57154203A (en) | Metallic coating optical fiber and its manufacture | |
WO2024080532A3 (ko) | 내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조 방법 |