RU2017104427A - Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора - Google Patents

Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора Download PDF

Info

Publication number
RU2017104427A
RU2017104427A RU2017104427A RU2017104427A RU2017104427A RU 2017104427 A RU2017104427 A RU 2017104427A RU 2017104427 A RU2017104427 A RU 2017104427A RU 2017104427 A RU2017104427 A RU 2017104427A RU 2017104427 A RU2017104427 A RU 2017104427A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glass
quantum generator
optical quantum
pulsed optical
glass product
Prior art date
Application number
RU2017104427A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2017104427A3 (ru
Inventor
Дана Крейг БУКБИНДЕР
Льюис Керк КЛИНГЕНСМИТ
Степан Львович ЛОГУНОВ
Альберт Рот НИБЕР
Хельмут ШИЛЛИНГЕР
Пушкар ТАНДОН
Серджо ЦУДА
Original Assignee
Корнинг Инкорпорейтед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Корнинг Инкорпорейтед filed Critical Корнинг Инкорпорейтед
Publication of RU2017104427A publication Critical patent/RU2017104427A/ru
Publication of RU2017104427A3 publication Critical patent/RU2017104427A3/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/06Cutting or splitting glass tubes, rods, or hollow products
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/0222Scoring using a focussed radiation beam, e.g. laser
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/09Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/095Tubes, rods or hollow products
    • C03B33/0955Tubes, rods or hollow products using a focussed radiation beam, e.g. laser
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B9/00Blowing glass; Production of hollow glass articles
    • C03B9/12Blowing glass; Production of hollow glass articles starting from a ribbon of glass; Ribbon machines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
    • B23K2103/54Glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/09Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/095Tubes, rods or hollow products

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Claims (29)

1. Способ лазерной резки стеклянного изделия, включающий в себя:
подачу, по меньшей мере, одного стеклянного изделия к блоку импульсного оптического квантового генератора, имеющего, по меньшей мере, один импульсный оптический квантовый генератор, причем импульсный оптический квантовый генератор образует фокальную линию лазерного луча с длиной 0,1-100 мм, при этом стеклянное изделие состоит из двух концевых участков и, по меньшей мере, одной боковой поверхности, расположенной в продольном направлении между концевыми участками;
лазерную резку, по меньшей мере, одной линии перфорации в стеклянном изделии путем фокусировки импульсного оптического квантового генератора на фокальной линии лазерного луча под углом падения на боковую поверхность стеклянного изделия, при относительном движении между стеклянным изделием и импульсным оптическим квантовым генератором, причем стеклянное изделие прозрачно для длины волны импульсного оптического квантового генератора, и
разделение стеклянного изделия вдоль, по меньшей мере, одной линии перфорации, с получением стеклянного изделия, вырезанного лазером.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что длина волны импульсного оптического квантового генератора составляет менее чем примерно 1,8 мкм.
3. Способ по п.1, в котором стеклянное изделие представляет собой трубку.
4. Способ по п.3, в котором трубка, которая подается к импульсному оптическому квантовому генератору, представляет собой непрерывную трубку, поступающую от устройства получения стекла.
5. Способ по п.3, в котором трубка, которая подается к импульсному оптическому квантовому генератору, представляет собой предварительно нарезанную трубку.
6. Способ по п. 1, в котором каждое перфорационное отверстие проходит на всю толщину стеклянного изделия.
7. Способ по п.1, дополнительно включающий в себя резку стеклянного изделия перед разрезанием с использованием импульсного оптического квантового генератора.
8. Способ по пп. 1-7, в котором изделие из стекла содержит боросиликатное стекло, натриево-кальциевое стекло или алюмосиликатное стекло.
9. Способ по пп. 1-7, в котором линия перфорации представляет собой множество отверстий, имеющих размер в диапазоне 300-500 нм, с расстоянием между ними 1-30 мкм.
10. Способ по п.1, в котором относительное движение между стеклянным изделием и импульсным оптическим квантовым генератором определяется посредством: (I) движения импульсного оптического квантового генератора поперек боковой поверхности стеклянного изделия; или (II) движения стеклянного изделия по отношению к импульсному оптическому квантовому генератору; или (III) поступательного движения стеклянного изделия и вращательного движения импульсного оптического квантового генератора.
11. Система для лазерной резки по меньшей мере одного стеклянного изделия, содержащая:
устройство получения стекла, выполненное с возможностью формования, по меньшей мере, одного стеклянного изделия, содержащего два концевых участка и, по меньшей мере, одну боковую поверхность, расположенную в продольном направлении между двумя концевыми участками.
устройство резки стекла, содержащее блок импульсного оптического квантового генератора, выполненный с возможностью лазерной резки по меньшей мере одной линии перфорации в стеклянном изделии, поступающем от устройства получения стекла, и блок крепления стекла, выполненный с возможностью крепления стеклянного изделия во время лазерной резки в блоке импульсного оптического квантового генератора, при этом блок импульсного оптического квантового генератора и блок крепления стекла выполнены с возможностью двигаться относительно друг друга, и блок импульсного оптического квантового генератора содержит:
импульсный оптический квантовый генератор и
оптический блок, расположенный на пути луча импульсного оптического квантового генератора для преобразования импульсного лазера в фокальную линию лазерного луча, причем фокальная линия лазерного луча имеет длину в диапазоне от 0,1 до 100 мм,
причем импульсный оптический квантовый генератор ориентирован так, чтобы вызвать, по меньшей мере, одну линию перфорации в стеклянном изделии вдоль фокальной линии лазерного луча на боковой поверхности стеклянного изделия, при движении стеклянного изделия и блока импульсного оптического квантового генератора относительно друг друга, причем изделие из стекла является прозрачным для длины волны импульсного оптического квантового генератора; и
устройство разделения стекла, расположенное ниже по технологическому потоку от устройства резки стекла и выполненное с возможностью удаления части стеклянного изделия по линии перфорации для получения стеклянного изделия, вырезанного лазером.
12. Система по п.11, в которой стеклянное изделие представляет собой трубку.
13. Система по п.12, в которой трубка представляет собой (I) непрерывную трубку, полученную в устройстве получения стекла; или (II) трубка представляет собой непрерывную трубку, полученную в устройстве получения стекла, и является предварительно разрезанной трубкой до ее поступления к устройству резки стекла.
14. Система по п.11, в которой оптический блок содержит фокусирующий оптический элемент, выполненный с возможностью формирования фокальной линии лазерного луча.
15. Система по п.11, в которой: (I) блок крепления стекла содержит конвейер, расположенный между устройством резки стекла и устройством получения стекла; и/или (II) режущее устройство расположено выше по технологическому потоку от блока импульсного оптического квантового генератора.
16. Система по п.11, в которой устройство разделения стекла включает в себя устройство термического удара, компонент механической нагрузки или их комбинацию.
17. Система по п.16, в которой устройство термического удара: (I) включает в себя нагревательный элемент, выбранный из группы, состоящей из горелки водорода/кислорода, СО2 лазера, а также их комбинации; или (II) содержит нагревательный элемент, выбранный из группы, состоящей из горелки водорода/кислорода, СО2 лазера, а также их комбинации, и дополнительно содержит охлаждающий элемент, расположенный ниже по технологическому потоку от нагревательного элемента.
18. Система по п.11, в которой: (I) блок крепления стекла содержит полимерный захватывающий материал в контакте со стеклянным изделием; или (II) блок крепления стекла содержит полимерный захватывающий материал в контакте со стеклянным изделием, и полимерный захватывающий материал является резиной; или (III) блок крепления стекла включает в себя бесконтактное крепление.
19. Система по п. 11, в которой устройство получения стекла содержит устройство Велло для вытяжки стекла вниз, устройство формования стекла Даннера или устройство выдувания из стеклянной ленты.
20. Система по п.11, в которой: импульсный оптический квантовый генератор имеет среднюю энергию лазера менее чем около 500 мкДж; и/или (II) в которой импульсный оптический квантовый генератор имеет длительность импульса в пределах примерно от 10 пикосекунд и примерно до 100 пикосекунд; и/или (III) импульсный оптический квантовый генератор имеет частоту повторения импульсов от 10 до 1000 кГц.
RU2017104427A 2014-07-11 2015-07-10 Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора RU2017104427A (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201462023450P 2014-07-11 2014-07-11
US62/023,450 2014-07-11
US201562159573P 2015-05-11 2015-05-11
US62/159,573 2015-05-11
PCT/US2015/039919 WO2016007843A1 (en) 2014-07-11 2015-07-10 Systems and methods of glass cutting by inducing pulsed laser perforations into glass articles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2017104427A true RU2017104427A (ru) 2018-08-13
RU2017104427A3 RU2017104427A3 (ru) 2019-02-11

Family

ID=53762347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017104427A RU2017104427A (ru) 2014-07-11 2015-07-10 Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20170283299A1 (ru)
EP (1) EP3166894A1 (ru)
JP (1) JP2017529311A (ru)
CN (1) CN107074611A (ru)
MX (1) MX2017000440A (ru)
RU (1) RU2017104427A (ru)
TW (1) TW201605568A (ru)
WO (1) WO2016007843A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2797482C1 (ru) * 2022-09-01 2023-06-06 Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ИРЭ-Полюс" (ООО НТО "ИРЭ-Полюс") Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2013102422A (ru) 2010-07-12 2014-08-20 ФАЙЛЭЙСЕР ЮЭс-Эй ЭлЭлСи Способ обработки материалов с использованием филаментации
EP2754524B1 (de) 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
EP2781296B1 (de) 2013-03-21 2020-10-21 Corning Laser Technologies GmbH Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser
US9102011B2 (en) 2013-08-02 2015-08-11 Rofin-Sinar Technologies Inc. Method and apparatus for non-ablative, photoacoustic compression machining in transparent materials using filamentation by burst ultrafast laser pulses
US10017410B2 (en) 2013-10-25 2018-07-10 Rofin-Sinar Technologies Llc Method of fabricating a glass magnetic hard drive disk platter using filamentation by burst ultrafast laser pulses
US11053156B2 (en) 2013-11-19 2021-07-06 Rofin-Sinar Technologies Llc Method of closed form release for brittle materials using burst ultrafast laser pulses
US10252507B2 (en) 2013-11-19 2019-04-09 Rofin-Sinar Technologies Llc Method and apparatus for forward deposition of material onto a substrate using burst ultrafast laser pulse energy
US10005152B2 (en) 2013-11-19 2018-06-26 Rofin-Sinar Technologies Llc Method and apparatus for spiral cutting a glass tube using filamentation by burst ultrafast laser pulses
US9517929B2 (en) 2013-11-19 2016-12-13 Rofin-Sinar Technologies Inc. Method of fabricating electromechanical microchips with a burst ultrafast laser pulses
US10144088B2 (en) 2013-12-03 2018-12-04 Rofin-Sinar Technologies Llc Method and apparatus for laser processing of silicon by filamentation of burst ultrafast laser pulses
US11556039B2 (en) 2013-12-17 2023-01-17 Corning Incorporated Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same
US10293436B2 (en) 2013-12-17 2019-05-21 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US9938187B2 (en) 2014-02-28 2018-04-10 Rofin-Sinar Technologies Llc Method and apparatus for material processing using multiple filamentation of burst ultrafast laser pulses
TWI659793B (zh) 2014-07-14 2019-05-21 美商康寧公司 用於使用可調整雷射束焦線來處理透明材料的系統及方法
US9757815B2 (en) 2014-07-21 2017-09-12 Rofin-Sinar Technologies Inc. Method and apparatus for performing laser curved filamentation within transparent materials
KR101972466B1 (ko) 2015-01-13 2019-04-25 로핀-시나르 테크놀로지스 엘엘씨 취성 재료를 묘각하고 화학 식각하는 방법 및 시스템
KR102546692B1 (ko) 2015-03-24 2023-06-22 코닝 인코포레이티드 디스플레이 유리 조성물의 레이저 절단 및 가공
KR102499697B1 (ko) 2015-07-10 2023-02-14 코닝 인코포레이티드 유연한 기판 시트에서의 홀의 연속 제조 방법 및 이에 관한 물품
DE102016000184A1 (de) * 2016-01-11 2017-07-27 Zwiesel Kristallglas Ag Laserfilamentieren
US11597672B2 (en) 2016-03-09 2023-03-07 Corning Incorporated Cold forming of complexly curved glass articles
EP3957611A1 (en) 2016-05-06 2022-02-23 Corning Incorporated Transparent substrates with improved edge surfaces
TWI826126B (zh) 2016-06-28 2023-12-11 美商康寧公司 層壓薄強化玻璃至用於裝飾及顯示器蓋應用的曲面模製塑膠表面
JP7071294B2 (ja) 2016-07-05 2022-05-18 コーニング インコーポレイテッド 冷間成形ガラス物品及びその組立方法
CN109803786B (zh) 2016-09-30 2021-05-07 康宁股份有限公司 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法
JP7066701B2 (ja) * 2016-10-24 2022-05-13 コーニング インコーポレイテッド シート状ガラス基体のレーザに基づく加工のための基体処理ステーション
CN115403280B (zh) 2016-10-25 2024-03-19 康宁公司 用于显示器的冷成形玻璃积层
US11016590B2 (en) 2017-01-03 2021-05-25 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a curved cover glass and display or touch panel and methods for forming the same
TWI771357B (zh) 2017-01-03 2022-07-21 美商康寧公司 具有彎曲的覆蓋玻璃以及顯示器或觸控面板的車輛內部系統及其形成方法
EP3625179A1 (en) 2017-05-15 2020-03-25 Corning Incorporated Contoured glass articles and methods of making the same
EP4190616A3 (en) 2017-07-18 2023-06-28 Corning Incorporated Cold forming of complexly curved glass articles
JP7335872B2 (ja) 2017-09-12 2023-08-30 コーニング インコーポレイテッド 装飾的なガラス上にタッチパネルを有するディスプレイ用のデッドフロントおよび関連する方法
TWI806897B (zh) 2017-09-13 2023-07-01 美商康寧公司 用於顯示器的基於光導器的無電面板、相關的方法及載具內部系統
US11065960B2 (en) 2017-09-13 2021-07-20 Corning Incorporated Curved vehicle displays
TW201918462A (zh) 2017-10-10 2019-05-16 美商康寧公司 具有改善可靠性的彎曲的覆蓋玻璃的車輛內部系統及其形成方法
EP3714316B1 (en) 2017-11-21 2023-12-27 Corning Incorporated Aspheric mirror for head-up display system and methods for forming the same
US11339079B2 (en) 2017-11-30 2022-05-24 Corning Incorporated Systems and methods for minimizing SHR from pharmaceutical part converting using pulsed ejection
US11420893B2 (en) 2017-11-30 2022-08-23 Corning Incorporated Systems and methods for minimizing SHR from piercing during pharmaceutical part converting using a gas flow
WO2019108015A2 (en) 2017-11-30 2019-06-06 Corning Precision Materials Co., Ltd. Vacuum mold apparatus, systems, and methods for forming curved mirrors
WO2019108016A1 (en) 2017-11-30 2019-06-06 Corning Precision Materials Co., Ltd. Systems and methods for vacuum-forming aspheric mirrors
US11186513B2 (en) * 2017-11-30 2021-11-30 Corning Incorporated Systems and methods for minimizing SHR from pharmaceutical part converting using negative pressure evacuation
GB2569984B (en) * 2018-01-05 2020-06-17 Pacifi Ltd A method of packaging a two component composition into a dual vial
DE102018100443A1 (de) 2018-01-10 2019-07-11 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Glasvorprodukten und von Glasprodukten
JP2019156670A (ja) * 2018-03-12 2019-09-19 日本電気硝子株式会社 管ガラスの製造方法および管ガラス
JP7361705B2 (ja) 2018-03-13 2023-10-16 コーニング インコーポレイテッド 亀裂抵抗性の湾曲したカバーガラスを有する乗物内装システムおよびその形成方法
EP3823825A1 (en) 2018-07-16 2021-05-26 Corning Incorporated Vehicle interior systems having a cold-bent glass substrate and methods for forming the same
EP3847140B1 (en) 2018-09-04 2022-07-13 Corning Incorporated Strengthened glass articles with separation features
WO2020112894A1 (en) * 2018-11-30 2020-06-04 Genentech, Inc. Laser induced breakdown spectroscopy for determining contaminants in lyophilised medications
JP7385661B2 (ja) 2018-11-30 2023-11-22 ジェネンテック, インコーポレイテッド バイアル検査方法および装置
KR102631826B1 (ko) * 2018-12-18 2024-01-30 니프로 가부시키가이샤 의료용 글라스 제품 절단을 위한 절단 부위의 데미징 가공 장치 및 방법
CN111496389B (zh) * 2019-01-31 2022-06-24 大族激光科技产业集团股份有限公司 透明平面基板形成特定轮廓分离的方法、设备及产品
DE102019113635A1 (de) * 2019-05-22 2020-11-26 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von Glaselementen
EP3771695A1 (en) 2019-07-31 2021-02-03 Corning Incorporated Method and system for cold-forming glass
EP4037863A1 (en) * 2019-10-03 2022-08-10 Orvinum AG Apparatus for creating a hole in a glass container
US11772361B2 (en) 2020-04-02 2023-10-03 Corning Incorporated Curved glass constructions and methods for forming same
DE102020114883A1 (de) * 2020-06-04 2021-12-09 Gerresheimer Bünde Gmbh Verfahren sowie Anlage zum Herstellen eines Glasbehältnisses und Luftlager
CN113572876B (zh) * 2021-07-28 2024-03-29 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 手机盖板加工一体机
US20230046184A1 (en) * 2021-08-12 2023-02-16 Owens-Brockway Glass Container Inc. Producing holes in glass containers

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61229487A (ja) * 1985-04-03 1986-10-13 Sasaki Glass Kk レ−ザビ−ムによるガラス切断方法
JPS642794A (en) * 1987-06-23 1989-01-06 Toshiba Corp Laser beam machine
BE1011208A4 (fr) * 1997-06-11 1999-06-01 Cuvelier Georges Procede de decalottage de pieces en verre.
DE19728766C1 (de) * 1997-07-07 1998-12-17 Schott Rohrglas Gmbh Verwendung eines Verfahrens zur Herstellung einer Sollbruchstelle bei einem Glaskörper
JP3040372B2 (ja) * 1998-03-10 2000-05-15 ファナック株式会社 加工ツール付ロボット及び加工方法
FR2855084A1 (fr) * 2003-05-22 2004-11-26 Air Liquide Optique de focalisation pour le coupage laser
JP4692717B2 (ja) * 2004-11-02 2011-06-01 澁谷工業株式会社 脆性材料の割断装置
WO2008126742A1 (ja) * 2007-04-05 2008-10-23 Cyber Laser Inc. レーザ加工方法及び切断方法並びに多層基板を有する構造体の分割方法
JP4478184B2 (ja) * 2008-01-17 2010-06-09 株式会社レーザーシステム レーザ割断方法およびレーザ加工装置
JP4584322B2 (ja) * 2008-03-24 2010-11-17 株式会社レーザーシステム レーザ加工方法
JP2010158686A (ja) * 2009-01-06 2010-07-22 Disco Abrasive Syst Ltd レーザ加工用光学装置、レーザ加工装置およびレーザ加工方法
US20100252959A1 (en) * 2009-03-27 2010-10-07 Electro Scientific Industries, Inc. Method for improved brittle materials processing
RU2013102422A (ru) * 2010-07-12 2014-08-20 ФАЙЛЭЙСЕР ЮЭс-Эй ЭлЭлСи Способ обработки материалов с использованием филаментации
US10239160B2 (en) * 2011-09-21 2019-03-26 Coherent, Inc. Systems and processes that singulate materials
TW201343296A (zh) * 2012-03-16 2013-11-01 Ipg Microsystems Llc 使一工件中具有延伸深度虛飾之雷射切割系統及方法
FR2989294B1 (fr) * 2012-04-13 2022-10-14 Centre Nat Rech Scient Dispositif et methode de nano-usinage par laser
EP2754524B1 (de) * 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
US11053156B2 (en) * 2013-11-19 2021-07-06 Rofin-Sinar Technologies Llc Method of closed form release for brittle materials using burst ultrafast laser pulses
CN103831539B (zh) * 2014-01-10 2016-01-20 合肥鑫晟光电科技有限公司 激光打孔方法及激光打孔系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2797482C1 (ru) * 2022-09-01 2023-06-06 Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ИРЭ-Полюс" (ООО НТО "ИРЭ-Полюс") Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления

Also Published As

Publication number Publication date
CN107074611A (zh) 2017-08-18
MX2017000440A (es) 2017-08-16
TW201605568A (zh) 2016-02-16
EP3166894A1 (en) 2017-05-17
RU2017104427A3 (ru) 2019-02-11
WO2016007843A1 (en) 2016-01-14
US20170283299A1 (en) 2017-10-05
JP2017529311A (ja) 2017-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2017104427A (ru) Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора
JP2017529311A5 (ru)
TWI639479B (zh) 用於片狀基板之雷射加工的方法與系統以及玻璃製品
JP5235987B2 (ja) 移動中の帯状ガラスに切断線を設ける装置、システム及び方法
MX360043B (es) Dispositivo y procedimiento de marcado laser de una lentilla oftalmica con un pulso laser de longitud de onda y energia por pulsos seleccionados.
WO2016010954A3 (en) System for and method of processing transparent materials using laser beam focal lines adjustable in length and diameter
JP2018507154A5 (ru)
MX364462B (es) Corte de material transparente con láser ultrarrápido y óptica de haces.
MY168398A (en) Method and apparatus for non-ablative, photoacoustic compression machining in transparent materials using filamentation by burst ultrafast laser pulses
MY177289A (en) Method and apparatus for performing laser filamentation within transparent materials
BR112017028312A2 (pt) método para cortar uma camada de vidro fina
WO2014075995A3 (de) Verfahren zur herstellung von linienförmig aufgereihten schädigungsstellen durch ultrakurz fokussierter gepulster laserstrhalung; verfahren und vorrichtung zum trennen eines werkstückes mittels ultrakurz fokussierter laserstrahlung unter verwendung einer schutzgasatmosphäre
WO2015095090A8 (en) Method of laser cutting a sapphire substrate by lasers and an article comprising sapphire with edge having a series of defects
JP2017521259A5 (ru)
WO2012085638A8 (en) Laser apparatus and extreme ultraviolet light generation system including the laser apparatus
ATE502906T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines trennspalts in einer glasscheibe
KR20200049800A (ko) 어포컬 빔 조정 조립체를 사용하여 투명 가공물을 레이저 가공하는 장치 및 방법
JP2006167804A5 (ru)
WO2016010943A3 (en) Method of and system for arresting crack propagation
LT2014504A (lt) Skaidrių terpių lazerinis pjovimo būdas ir įrenginys
KR102073667B1 (ko) 판 유리의 레이저 용단 방법
CN107438584B (zh) 用于连续分离玻璃的方法和装置
WO2014121914A3 (de) VERFAHREN ZUR FORMFREIEN HERSTELLUNG EINES GEFORMTEN GLASARTIKELS MIT VORBESTIMMTER GEOMETRIE, VERWENDUNG EINES VERFAHRENSGEMÄß HERGESTELLTEN GLASARTIKELS UND GEFORMTER GLASARTIKEL
CN102319958A (zh) 脆性材料脉冲激光切割方法
JPWO2016208522A1 (ja) 半導体素子の製造方法並びに製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20190701