RU2015139796A - Датчик с электростатическим маятниковым акселерометром и способ управления таким датчиком - Google Patents

Датчик с электростатическим маятниковым акселерометром и способ управления таким датчиком Download PDF

Info

Publication number
RU2015139796A
RU2015139796A RU2015139796A RU2015139796A RU2015139796A RU 2015139796 A RU2015139796 A RU 2015139796A RU 2015139796 A RU2015139796 A RU 2015139796A RU 2015139796 A RU2015139796 A RU 2015139796A RU 2015139796 A RU2015139796 A RU 2015139796A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
circuit
output
pendulum
input
control
Prior art date
Application number
RU2015139796A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2647983C2 (ru
Inventor
Рафаэль БРИССОН
Венсан РАГО
Original Assignee
Сажем Дефанс Секюрите
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сажем Дефанс Секюрите filed Critical Сажем Дефанс Секюрите
Publication of RU2015139796A publication Critical patent/RU2015139796A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2647983C2 publication Critical patent/RU2647983C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/13Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
    • G01P15/131Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Claims (20)

1. Способ управления датчиком, содержащим по меньшей мере один электростатический маятниковый акселерометр с первым и вторым неподвижными электродами, закрепленными на корпусе и соединенными со схемой возбуждения, и с третьим электродом, установленным на маятнике, соединенном с корпусом, с возможностью перемещения и связанным с детекторной схемой, содержащий следующие этапы:
во время двух последовательных фаз обнаружения поочередно возбуждают один и затем другой из неподвижных электродов при помощи детекторных импульсов для определения первой емкости и второй емкости между подвижным электродом и соответствующими неподвижными электродами,
оценивают положение маятника на основании определенных емкостей,
определяют погрешность регулирования, соответствующую разности между оценочным положением и заданным положением,
на основании погрешности регулирования определяют команду, определяющую, будет ли следующий детекторный импульс отталкивать или притягивать маятник,
измеряемое ускорение вычисляют в зависимости от заданного положения и от определенной команды,
во время фазы управления возбуждают один или другой из неподвижных электродов при помощи управляющих импульсов, чтобы привести к нулю погрешность регулирования.
2. Способ по п. 1, в котором заданное положение модулируют по временному профилю, определяемому таким образом, чтобы реакция на определенную команду была пропорциональна разности между электростатической жесткостью и механической жесткостью между маятником и корпусом.
3. Способ по п. 2, в котором реакцию на команду при указанной модуляции устраняют, корректируя форму или продолжительность детекторных импульсов таким образом, чтобы электростатическая жесткость компенсировала механическую жесткость.
4. Способ по п. 1, в котором заданное положение корректируют, чтобы компенсировать погрешность оценки положения.
5. Способ по п. 1, в котором этапы повторяют по периодам, при этом фазы обнаружения первой и второй емкостей меняют местами от одного периода к другому.
6. Способ по п. 1, в котором этапы разделяют фазами релаксации, во время которых переключатель переустанавливают, так чтобы напряжение схемы возбуждения было равно нулю.
7. Акселерометрический датчик для осуществления способа по п. 1, содержащий по меньшей мере один электростатический маятниковый акселерометр с первым и вторым неподвижными электродами, закрепленными на корпусе и соединенными со схемой возбуждения, и с третьим электродом, установленным на маятнике, соединенном с корпусом, с возможностью перемещения и связанным с детекторной схемой, отличающийся тем, что схема возбуждения имеет выход, соединенный с переключателем, связанным с первым и вторым электродами, при этом переключатель имеет первое положение соединения и второе положение соединения, чтобы селективно соединять со схемой возбуждения первый электрод или второй электрод, при этом схема возбуждения, переключатель и детекторная схема соединены со схемой управления, выполненной таким образом, чтобы первый и второй электроды возбуждались серией импульсов таким образом, чтобы удерживать маятник в заданном положении и определять ускорение, действующее на маятник.
8. Датчик по п. 7, в котором схема возбуждения содержит цифроаналоговый преобразователь, соединенный с переключателем и управляемый схемой управления.
9. Датчик по п. 7, в котором схема возбуждения содержит генератор постоянного напряжения, соединенный через ключ с входом усилительного/фильтрующего каскада, выход которого образует выход схемы возбуждения.
10. Датчик по п. 7, в котором детекторная схема содержит главный усилительный каскад, имеющий вход, соединенный с третьим электродом, и выход, соединенный с входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого соединен с блоком управления.
11. Датчик по п. 10, в котором главный усилительный каскад соединен с аналого-цифровым преобразователем через компенсирующий каскад, содержащий первый резистор и второй резистор, последовательно соединенные между выходом главного усилительного каскада и входом аналого-цифрового преобразователя, при этом компенсирующий каскад содержит дополнительный усилитель и ключ, соответственно установленные параллельно со вторым резистором, и цифроаналоговый преобразователь, соединенный со вторым резистором, с дополнительным усилителем и с ключом, при этом ключ и дополнительный усилитель соединены со схемой управления.
12. Датчик по п. 7, в котором схема управления выполнена с возможностью изменения положения переключателя, когда напряжение на выходе схемы возбуждения равно нулю.
13. Датчик по п. 7, в котором схема управления содержит первое оценочное устройство (10) для оценки положения маятника, имеющее вход, соединенный с детекторной схемой (7), и выход, соединенный с отрицательным входом сумматора (11), выход которого соединен с входом корректора (12), выход которого соединен с планировщиком (13) и со вторым оценочным устройством (14), имеющим выход, соединенный с суммирующим входом сумматора (11), и первый выход, выдающий оценочное значение ускорения, и второй выход, соединенный с положительным входом сумматора для ввода в него модулированного положения, при этом корректор выполнен с возможностью определения импульса, а планировщик выполнен с возможностью управления схемой возбуждения, переключателем и детекторной схемой.
14. Датчик по п. 7, содержащий по меньшей мере два электростатических маятниковых акселерометра, каждый из которых содержит схему возбуждения и детекторную схему и которые имеют, по существу общую чувствительную ось.
RU2015139796A 2013-02-19 2014-02-11 Датчик с электростатическим маятниковым акселерометром и способ управления таким датчиком RU2647983C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1300361A FR3002324B1 (fr) 2013-02-19 2013-02-19 Capteur a accelerometre pendulaire electrostatique et procede de commande d'un tel capteur
FR13/00361 2013-02-19
PCT/EP2014/052652 WO2014128027A1 (fr) 2013-02-19 2014-02-11 Capteur a accelerometre pendulaire electrostatique et procede de commande d'un tel capteur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015139796A true RU2015139796A (ru) 2017-03-27
RU2647983C2 RU2647983C2 (ru) 2018-03-21

Family

ID=48741244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015139796A RU2647983C2 (ru) 2013-02-19 2014-02-11 Датчик с электростатическим маятниковым акселерометром и способ управления таким датчиком

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9541574B2 (ru)
EP (1) EP2959300B1 (ru)
CN (1) CN105008935B (ru)
FR (1) FR3002324B1 (ru)
IL (1) IL240640A (ru)
RU (1) RU2647983C2 (ru)
WO (1) WO2014128027A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6653479B2 (ja) * 2015-07-07 2020-02-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 慣性力センサ
ITUA20162173A1 (it) * 2016-03-31 2017-10-01 St Microelectronics Srl Sensore accelerometrico mems avente elevata accuratezza e ridotta sensibilita' nei confronti della temperatura e dell'invecchiamento
JP6759259B2 (ja) * 2018-02-28 2020-09-23 株式会社東芝 振動装置
JP7075849B2 (ja) * 2018-08-29 2022-05-26 株式会社日立製作所 Mems静電容量型加速度センサ
CN109490577A (zh) * 2018-12-21 2019-03-19 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种挠性静电支撑加速度计
CN109946481B (zh) * 2019-04-02 2024-04-19 四川知微传感技术有限公司 一种基于刚度补偿的mems闭环加速度计
FR3105428B1 (fr) 2019-12-20 2021-11-26 Safran Electronics & Defense Capteur accélérométrique pendulaire à détection capacitive conditionnelle

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2454103A1 (fr) * 1979-04-11 1980-11-07 Sagem Perfectionnements aux accelerometres pendulaires asservis
FR2617607B1 (fr) * 1987-06-30 1989-12-01 Applic Gles Electrici Meca Accelerometre pendulaire a reequilibrage et procede de fabrication d'un tel accelerometre
US4803883A (en) * 1987-11-09 1989-02-14 Rockwell International Corporation Accelerometer
JPH0672899B2 (ja) * 1988-04-01 1994-09-14 株式会社日立製作所 加速度センサ
DE69116435T2 (de) * 1990-05-30 1996-08-14 Hitachi Automotive Eng Halbleiterbeschleunigungsmesser und Kraftfahrzeugsteuerungssystem mit einem solchen
FR2689627B1 (fr) * 1992-04-07 1997-06-20 Sextant Avionique Perfectionnement aux micro-capteurs pendulaires asservis.
US5473946A (en) * 1994-09-09 1995-12-12 Litton Systems, Inc. Accelerometer using pulse-on-demand control
JP3322067B2 (ja) * 1995-04-24 2002-09-09 株式会社デンソー 物理量検出装置
JP4178658B2 (ja) * 1998-06-30 2008-11-12 株式会社デンソー 容量式物理量検出装置
US6301965B1 (en) * 1999-12-14 2001-10-16 Sandia Corporation Microelectromechanical accelerometer with resonance-cancelling control circuit including an idle state
RU2265856C1 (ru) * 2004-07-06 2005-12-10 Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") Микромеханический датчик линейных ускорений
US7069784B1 (en) * 2004-12-29 2006-07-04 Honeywell International Inc. Pendulous in-plane MEMS accelerometer device
US7614300B2 (en) * 2007-05-30 2009-11-10 Northrop Grumman Corporation System and method for mitigating errors in electrostatic force balanced instrument
FR2937742B1 (fr) * 2008-10-24 2010-11-26 E2V Semiconductors Accelerometre en boucle ouverte a conversion sigma delta
DE102009047018B4 (de) * 2009-11-23 2023-02-09 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor
US9341646B2 (en) * 2012-12-19 2016-05-17 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Bias reduction in force rebalanced accelerometers

Also Published As

Publication number Publication date
RU2647983C2 (ru) 2018-03-21
EP2959300A1 (fr) 2015-12-30
IL240640A (en) 2016-04-21
FR3002324A1 (fr) 2014-08-22
CN105008935B (zh) 2017-03-29
FR3002324B1 (fr) 2016-01-22
EP2959300B1 (fr) 2017-04-05
US20160003865A1 (en) 2016-01-07
CN105008935A (zh) 2015-10-28
US9541574B2 (en) 2017-01-10
WO2014128027A1 (fr) 2014-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2015139796A (ru) Датчик с электростатическим маятниковым акселерометром и способ управления таким датчиком
KR102045784B1 (ko) 병합된 미세 전자기계 가속도계 센서에 대한 초핑을 이용하는 노이즈 감소 방법
US7724000B2 (en) Method of automatically testing an electronic circuit with a capacitive sensor and electronic circuit for the implementation of the same
KR102309952B1 (ko) 가속도계 폐쇄 루프 제어 시스템 및 방법
JP4899781B2 (ja) 容量式力学量検出装置
US20150268268A1 (en) Inertial sensor with trim capacitance and method of trimming offset
US7956621B2 (en) Anti-capture method and apparatus for micromachined devices
US9287816B2 (en) Motor controlling device, motor controlling method and machinery system
KR102421386B1 (ko) 가속도계
JP5769368B2 (ja) 閉ループ加速度計システムにおける振動整流誤差の削減システム及びその方法
EP2952909B1 (en) Performance optimization of a differential capacitance based motion sensor
US10845194B2 (en) Inertial force detection device
JP2019138905A (ja) 加速度計
KR102028255B1 (ko) 용량성 가속도계
JP6326274B2 (ja) 角速度検出装置
US11079228B2 (en) Detector with catch and release mechanism
JP5982222B2 (ja) 加速度検出装置
JP4831083B2 (ja) 物理量センサ
WO2023037554A1 (ja) 振動型角速度センサ
JP6259581B2 (ja) 信号処理装置及び信号処理方法
JP2014002242A (ja) 制御装置
RU2614205C1 (ru) Компенсационный акселерометр
SU1678456A1 (ru) Способ управлени работой электрофильтра
RU2527660C1 (ru) Акселерометр
JP2019066268A (ja) 容量検出装置、抵抗検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner