RU2015125712A - Способ изготовления детали плавлением порошка, частицы которого достигают жидкой ванны в холодном состоянии - Google Patents
Способ изготовления детали плавлением порошка, частицы которого достигают жидкой ванны в холодном состоянии Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015125712A RU2015125712A RU2015125712A RU2015125712A RU2015125712A RU 2015125712 A RU2015125712 A RU 2015125712A RU 2015125712 A RU2015125712 A RU 2015125712A RU 2015125712 A RU2015125712 A RU 2015125712A RU 2015125712 A RU2015125712 A RU 2015125712A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- powder
- bath
- app
- energy beam
- layer
- Prior art date
Links
- 238000002844 melting Methods 0.000 title claims 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 title claims 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/30—Process control
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/25—Direct deposition of metal particles, e.g. direct metal deposition [DMD] or laser engineered net shaping [LENS]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
- B22F3/105—Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/34—Laser welding for purposes other than joining
- B23K26/342—Build-up welding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B1/00—Producing shaped prefabricated articles from the material
- B28B1/001—Rapid manufacturing of 3D objects by additive depositing, agglomerating or laminating of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
- B29C64/10—Processes of additive manufacturing
- B29C64/141—Processes of additive manufacturing using only solid materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
- B29C64/10—Processes of additive manufacturing
- B29C64/141—Processes of additive manufacturing using only solid materials
- B29C64/153—Processes of additive manufacturing using only solid materials using layers of powder being selectively joined, e.g. by selective laser sintering or melting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/28—Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/772—Articles characterised by their shape and not otherwise provided for
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Claims (15)
1. Способ изготовления детали, включающий в себя этапы, на которых:
a) берут материал в виде частиц (60) порошка, образующих порошкообразную струю (94);
b) нагревают первое количество порошка до температуры выше температуры TF его плавления посредством высокоэнергетического пучка (95), и формируют на поверхности опоры (80) первую ванну, содержащую расплавленный порошок и участок опоры (80);
c) нагревают второе количество порошка до температуры выше температуры TF его плавления посредством высокоэнергетического пучка (95), и формируют на поверхности опоры (80) вторую ванну, содержащую расплавленный порошок и участок опоры (80) и расположенную ниже по ходу относительно первой ванны;
d) повторяют этап с) до тех пор, пока на опоре (80) не будет сформирован первый слой (10) детали;
e) нагревают n-е количество порошка до температуры выше температуры TF его плавления посредством высокоэнергетического пучка (95) и формируют n-ю ванну, частично содержащую расплавленный порошок и расположенную поверх участка первого слоя (10);
f) нагревают (n+1)-е количество порошка до температуры выше температуры TF его плавления посредством высокоэнергетического пучка (95), и формируют (n+1)-ю ванну, частично содержащую расплавленный порошок и расположенную ниже по ходу относительно n-й ванны и над участком первого слоя (10);
g) повторяют этап f) для формирования второго слоя (20) детали поверх первого слоя (10); и
h) повторяют этапы е) - g) для каждого слоя, расположенного выше сформированного ранее слоя, до получения детали, по существу, конечной формы,
отличающийся тем, что струя (94) порошка и высокоэнергетический пучок (95) по существу коаксиальны, при этом частицы (60) порошка достигают каждой ванны при температуре, которая меньше температуры ванны.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что фокальная точка FL высокоэнергетического пучка (95) расположена выше рабочей плоскости Р или в указанной плоскости, а фокальная точка FP струи (94) порошка расположена ниже рабочей плоскости Р так, что частицы порошка в любой момент времени не пересекают высокоэнергетический пучок (95) на расстоянии между выходом из форсунки (190) и рабочей плоскостью Р, при этом рабочая плоскость Р определяется как плоскость, включающая в себя поверхность, на которой формируют указанные слои.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что для получения фокальной точки FL высокоэнергетического пучка (95) и фокальной точки FP струи (94) порошка в соответствии с п. 2 увеличивают расстояние DefocP расфокусирования струи порошка (94) и/или уменьшают полуугол β расхождения лазерного луча (95) относительно перпендикуляра к рабочей плоскости Р, или уменьшают расстояние DefocL расфокусирования высокоэнергетического лазерного луча (95).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что распределение частиц 60 порошка по размеру является узким.
5. Способ по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что каждая ванна имеет форму, определяемую следующими параметрами: θ<90°, Нарр/еарр<1, и HZR/Happ≥0,6, где θ - угол между верхней поверхностью ванны и рабочей плоскостью Р, Нарр - предполагаемая высота полоски, еарр - ширина полоски и HZR - высота зоны переплавления.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что параметры θ, Happ/eapp и HZR/Happ находятся в следующих соотношениях: 15°≤θ≤60°, 0,04≤Нарр/еарр≤0,75 и 1≤HZr/Happ≤6.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1203257 | 2012-11-30 | ||
FR1203257A FR2998818B1 (fr) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | Procede de fabrication d'une piece par fusion de poudre les particules de poudre arrivant froides dans le bain |
PCT/FR2013/052905 WO2014083291A1 (fr) | 2012-11-30 | 2013-11-29 | Procede de fabrication d'une piece par fusion de poudre, les particules de poudre arrivant froides dans le bain |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2015125712A true RU2015125712A (ru) | 2017-01-10 |
RU2678619C2 RU2678619C2 (ru) | 2019-01-30 |
Family
ID=48237001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015125712A RU2678619C2 (ru) | 2012-11-30 | 2013-11-29 | Способ изготовления детали плавлением порошка, частицы которого достигают жидкой ванны в холодном состоянии |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10967460B2 (ru) |
EP (1) | EP2925471A1 (ru) |
JP (2) | JP6480341B2 (ru) |
CN (1) | CN104903030B (ru) |
BR (1) | BR112015012278A2 (ru) |
CA (1) | CA2892848C (ru) |
FR (1) | FR2998818B1 (ru) |
RU (1) | RU2678619C2 (ru) |
SG (2) | SG10201703930VA (ru) |
WO (1) | WO2014083291A1 (ru) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
UA112682C2 (uk) * | 2014-10-23 | 2016-10-10 | Приватне Акціонерне Товариство "Нво "Червона Хвиля" | Спосіб виготовлення тривимірних об'єктів і пристрій для його реалізації |
RU2627527C2 (ru) * | 2015-09-25 | 2017-08-08 | Анатолий Евгеньевич Волков | Способ и устройство аддитивного изготовления деталей методом прямого осаждения материала, управляемого в электромагнитном поле |
US20180361665A1 (en) * | 2015-12-18 | 2018-12-20 | Aurora Labs Limited | 3D Printing Method and Apparatus |
FR3064509B1 (fr) * | 2017-03-28 | 2019-04-05 | Safran Aircraft Engines | Dispositif de fabrication additive d'une piece de turbomachine par depot direct de metal sur un substrat |
US10898968B2 (en) * | 2017-04-28 | 2021-01-26 | Divergent Technologies, Inc. | Scatter reduction in additive manufacturing |
WO2019083042A1 (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-02 | キヤノン株式会社 | セラミックス造形物の製造方法 |
JP7366529B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2023-10-23 | キヤノン株式会社 | 造形物の製造方法および造形物 |
CN108044930B (zh) * | 2017-11-23 | 2020-02-21 | 上海汉信模具制造有限公司 | 一种塑胶粉末随形阶梯温度床的增材制造方法 |
US11084221B2 (en) | 2018-04-26 | 2021-08-10 | General Electric Company | Method and apparatus for a re-coater blade alignment |
US11179808B1 (en) * | 2018-07-11 | 2021-11-23 | Rosemount Aerospace Inc. | System and method of additive manufacturing |
US11219951B2 (en) * | 2019-07-03 | 2022-01-11 | Directed Metal 3D, S.L. | Multi-mode laser device for metal manufacturing applications |
KR102236148B1 (ko) * | 2019-12-31 | 2021-04-06 | 한국과학기술원 | 3d 프린팅 공정 중 형성되는 용융풀 크기를 제어할 수 있는 3d 프린팅 시스템 및 방법 |
KR102220823B1 (ko) * | 2019-12-31 | 2021-02-26 | 한국과학기술원 | 3d 프린팅 공정 중 형성되는 용융풀 깊이를 추정하는 방법 및 장치, 그리고 이를 구비한 3d 프린팅 시스템 |
CN113953534B (zh) * | 2020-07-16 | 2023-08-04 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 支撑结构及其成形方法、装置、存储介质 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2052566B (en) * | 1979-03-30 | 1982-12-15 | Rolls Royce | Laser aplication of hard surface alloy |
US4927992A (en) * | 1987-03-04 | 1990-05-22 | Westinghouse Electric Corp. | Energy beam casting of metal articles |
IL92428A (en) * | 1989-02-08 | 1992-12-01 | Gen Electric | Fabrication of components by layered deposition |
RU2031764C1 (ru) | 1991-06-27 | 1995-03-27 | Научно-производственное объединение технологии автомобильной промышленности "НИИТавтопром" | Сопло для лазерной обработки |
US5396333A (en) * | 1992-05-21 | 1995-03-07 | General Electric Company | Device and method for observing and analyzing a stream of material |
US20060003095A1 (en) * | 1999-07-07 | 2006-01-05 | Optomec Design Company | Greater angle and overhanging materials deposition |
US6391251B1 (en) | 1999-07-07 | 2002-05-21 | Optomec Design Company | Forming structures from CAD solid models |
WO2001002160A1 (en) * | 1999-07-07 | 2001-01-11 | Optomec Design Company | Method for providing features enabling thermal management in complex three-dimensional structures |
US8629368B2 (en) * | 2006-01-30 | 2014-01-14 | Dm3D Technology, Llc | High-speed, ultra precision manufacturing station that combines direct metal deposition and EDM |
JP2007301980A (ja) | 2006-04-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ積層方法およびレーザ積層装置 |
CN101264519B (zh) * | 2008-04-08 | 2010-06-16 | 西安交通大学 | 一种可调式激光同轴送粉喷嘴 |
CN101418706B (zh) * | 2008-11-20 | 2010-12-22 | 浙江工业大学 | 一种汽轮机抗气蚀叶片及其成形方法 |
EP2292357B1 (en) * | 2009-08-10 | 2016-04-06 | BEGO Bremer Goldschlägerei Wilh.-Herbst GmbH & Co KG | Ceramic article and methods for producing such article |
RU2450891C1 (ru) | 2010-12-16 | 2012-05-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ спекания деталей лазерным послойным синтезом |
-
2012
- 2012-11-30 FR FR1203257A patent/FR2998818B1/fr active Active
-
2013
- 2013-11-29 EP EP13808135.1A patent/EP2925471A1/fr not_active Ceased
- 2013-11-29 CN CN201380062771.7A patent/CN104903030B/zh active Active
- 2013-11-29 US US14/648,560 patent/US10967460B2/en active Active
- 2013-11-29 JP JP2015544522A patent/JP6480341B2/ja active Active
- 2013-11-29 BR BR112015012278-7A patent/BR112015012278A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2013-11-29 SG SG10201703930VA patent/SG10201703930VA/en unknown
- 2013-11-29 RU RU2015125712A patent/RU2678619C2/ru active
- 2013-11-29 WO PCT/FR2013/052905 patent/WO2014083291A1/fr active Application Filing
- 2013-11-29 SG SG11201504105YA patent/SG11201504105YA/en unknown
- 2013-11-29 CA CA2892848A patent/CA2892848C/fr active Active
-
2018
- 2018-11-19 JP JP2018216876A patent/JP2019064268A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150298259A1 (en) | 2015-10-22 |
WO2014083291A1 (fr) | 2014-06-05 |
CN104903030A (zh) | 2015-09-09 |
JP2019064268A (ja) | 2019-04-25 |
JP6480341B2 (ja) | 2019-03-06 |
RU2678619C2 (ru) | 2019-01-30 |
EP2925471A1 (fr) | 2015-10-07 |
CN104903030B (zh) | 2017-10-24 |
JP2016504215A (ja) | 2016-02-12 |
CA2892848C (fr) | 2021-06-29 |
SG10201703930VA (en) | 2017-06-29 |
CA2892848A1 (fr) | 2014-06-05 |
FR2998818A1 (fr) | 2014-06-06 |
SG11201504105YA (en) | 2015-07-30 |
US10967460B2 (en) | 2021-04-06 |
FR2998818B1 (fr) | 2020-01-31 |
BR112015012278A2 (pt) | 2018-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2015125712A (ru) | Способ изготовления детали плавлением порошка, частицы которого достигают жидкой ванны в холодном состоянии | |
CN105562688B (zh) | 通过选择性的激光熔化来制造构件 | |
RU2697470C2 (ru) | Способ и система для аддитивного производства с использованием светового луча | |
US9636775B2 (en) | Composite beam generator and powder melting or sintering method using the same | |
RU2015131615A (ru) | Способ селективного лазерного плавления/спекания с применением порошкообразного флюса | |
MY188444A (en) | Wafer producing method | |
RU2638488C1 (ru) | Способ колебательной сварки | |
RU2013138351A (ru) | Устройство спекания и лазерного плавления, содержащее средство индукционного нагрева порошка | |
MY181116A (en) | Wafer producing method | |
KR20160092503A (ko) | 재료들의 처리 방법 | |
RU2013104192A (ru) | Способ изготовления металлической детали селективным плавлением порошка | |
RU2016103534A (ru) | Способ аддитивного изготовления деталей плавлением или спеканием частиц порошка с помощью высокоэнергетического пучка с порошками, адаптированными к целевой паре процесс/материал | |
JP2009135448A5 (ru) | ||
MY177494A (en) | Wafer producing method | |
RU2016116907A (ru) | Способ расплавления поверхности посредством лазера с использованием программируемого регулирования размера пучка | |
MX2007001159A (es) | Metodo para formar una grieta media en un sustrato y aparato para formar una grieta media en un sustrato. | |
Alkahari et al. | Melt pool and single track formation in selective laser sintering/selective laser melting | |
RU2020100045A (ru) | Технология аддитивного производства для порошкового материала из дисперсионно-твердеющих суперсплавов | |
JP5981475B2 (ja) | 積層造形物の製造装置及び積層造形物の製造方法 | |
CN103753020B (zh) | 一种Zn-Al合金的激光补焊工艺 | |
US11612953B2 (en) | Method for reducing or completely closing an opening of an inner contour of a workpiece by means of a material melted by a laser deposition welding device | |
US20140131921A1 (en) | Process for selective laser melting and system for carrying out said process | |
RU151056U1 (ru) | Устройство для лазерного спекания порошка | |
JP2015062927A (ja) | 脆性材料基板の加工方法および加工装置 | |
JP2018080356A5 (ru) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant |