RU2015106005A - Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали - Google Patents

Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали Download PDF

Info

Publication number
RU2015106005A
RU2015106005A RU2015106005A RU2015106005A RU2015106005A RU 2015106005 A RU2015106005 A RU 2015106005A RU 2015106005 A RU2015106005 A RU 2015106005A RU 2015106005 A RU2015106005 A RU 2015106005A RU 2015106005 A RU2015106005 A RU 2015106005A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
grinding
workpiece
suspension
workpiece according
paragraphs
Prior art date
Application number
RU2015106005A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2015106005A3 (ru
RU2686974C2 (ru
Inventor
Харуюки ХИРАЯМА
Кадзухиро ЮСОУ
Original Assignee
Койо Машин Индастриз Ко., Лтд.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Койо Машин Индастриз Ко., Лтд. filed Critical Койо Машин Индастриз Ко., Лтд.
Publication of RU2015106005A publication Critical patent/RU2015106005A/ru
Publication of RU2015106005A3 publication Critical patent/RU2015106005A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2686974C2 publication Critical patent/RU2686974C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
    • H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/013—Application of loose grinding agent as auxiliary tool during truing operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

1. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали, который обеспечивает шлифование обрабатываемой детали посредством чашеобразного шлифовального круга при подаче суспензии, содержащей абразивные зерна, отличающийся вращением шлифовального круга с низкой окружной скоростью.2. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся тем, что окружная скорость шлифовального круга составляет не более 500 м/мин, а предпочтительно от 30 до 430 м/мин.3. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся тем, что суспензию капают или распыляют на обрабатываемую деталь.4. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся вдуванием воздуха, нагнетаемого из распылительного сопла, в суспензию во время ее капания из трубки для капания, и подачей суспензии к шлифуемой части обрабатываемой детали при выдувании суспензии в виде тумана.5. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся подачей суспензии понемногу с расходом, не превышающим 4,0 мл/см/ч, а предпочтительно составляющим от 1,0 мл/см/ч до 2,0 мл/см/ч.6. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что обрабатываемая деталь представляет собой твердый хрупкий материал или труднообрабатываемый материал.7. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что суспензия содержит абразивные зерна, способствующие самозатачиванию шлифовального круга во время шлифования обрабатываемой детали.

Claims (7)

1. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали, который обеспечивает шлифование обрабатываемой детали посредством чашеобразного шлифовального круга при подаче суспензии, содержащей абразивные зерна, отличающийся вращением шлифовального круга с низкой окружной скоростью.
2. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся тем, что окружная скорость шлифовального круга составляет не более 500 м/мин, а предпочтительно от 30 до 430 м/мин.
3. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся тем, что суспензию капают или распыляют на обрабатываемую деталь.
4. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по п. 1, отличающийся вдуванием воздуха, нагнетаемого из распылительного сопла, в суспензию во время ее капания из трубки для капания, и подачей суспензии к шлифуемой части обрабатываемой детали при выдувании суспензии в виде тумана.
5. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся подачей суспензии понемногу с расходом, не превышающим 4,0 мл/см2/ч, а предпочтительно составляющим от 1,0 мл/см2/ч до 2,0 мл/см2/ч.
6. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что обрабатываемая деталь представляет собой твердый хрупкий материал или труднообрабатываемый материал.
7. Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали по любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что суспензия содержит абразивные зерна, способствующие самозатачиванию шлифовального круга во время шлифования обрабатываемой детали.
RU2015106005A 2014-02-25 2015-02-20 Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали RU2686974C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014034659A JP6243255B2 (ja) 2014-02-25 2014-02-25 ワークの平面研削方法
JP2014-034659 2014-02-25

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2015106005A true RU2015106005A (ru) 2016-09-10
RU2015106005A3 RU2015106005A3 (ru) 2018-10-01
RU2686974C2 RU2686974C2 (ru) 2019-05-06

Family

ID=53782699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015106005A RU2686974C2 (ru) 2014-02-25 2015-02-20 Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9669511B2 (ru)
JP (1) JP6243255B2 (ru)
KR (1) KR102252945B1 (ru)
CN (1) CN104858737B (ru)
DE (1) DE102015203109A1 (ru)
RU (1) RU2686974C2 (ru)
TW (1) TWI642517B (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9855637B2 (en) * 2014-04-10 2018-01-02 Apple Inc. Thermographic characterization for surface finishing process development
CN106573343B (zh) 2014-09-10 2020-11-13 株式会社村田制作所 金属间化合物的生成方法
KR102465703B1 (ko) * 2017-11-22 2022-11-11 주식회사 케이씨텍 화학 기계적 연마 장치 및 화학 기계적 연마 방법
JP7108450B2 (ja) * 2018-04-13 2022-07-28 株式会社ディスコ 研磨装置
JP6446590B1 (ja) * 2018-08-09 2018-12-26 国立大学法人 東京大学 局所研磨加工方法、および局所研磨加工装置、並びに該局所研磨加工装置を用いた修正研磨加工装置
JP7301512B2 (ja) * 2018-09-13 2023-07-03 株式会社岡本工作機械製作所 基板研削装置及び基板研削方法
CN110270891B (zh) * 2019-07-17 2020-06-19 浙江台佳电子信息科技有限公司 Vr投显用晶圆级玻璃基片生产工艺
JP2022074517A (ja) * 2020-11-04 2022-05-18 株式会社ディスコ 被加工物の研削方法
CN113770823A (zh) * 2021-09-28 2021-12-10 湖南圣高机械科技有限公司 一种平面研磨机
CN115781494A (zh) * 2022-12-01 2023-03-14 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种往复式研磨抛光加工装置及光学元件加工方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU95671A1 (ru) * 1952-02-12 1952-11-30 Я.И. Андрусенко Устройство дл управлени подачей воды и абразивных или полировальных материалов на шлифовальную шайбу
US2916858A (en) * 1958-07-18 1959-12-15 Arthur F Hudson Contour forming machine
US3863398A (en) * 1973-05-14 1975-02-04 Moni Inc Two speed grinding machine
SU1827957A1 (ru) * 1991-05-24 1996-03-20 Научно-производственное объединение "Пульсар" СПОСОБ ДОВОДКИ ПЛАСТИН ИЗ ТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ α -2AlO
JPH05285812A (ja) * 1992-04-10 1993-11-02 Nippon Steel Corp 研削方法
US5384991A (en) * 1993-03-17 1995-01-31 Leinweber Maschinen Gmbh & Co. Kg Method and apparatus for grinding and slotting friction products
US5597443A (en) * 1994-08-31 1997-01-28 Texas Instruments Incorporated Method and system for chemical mechanical polishing of semiconductor wafer
US6043961A (en) * 1995-09-08 2000-03-28 Kao Corporation Magnetic recording medium and method for producing the same
JPH10329032A (ja) * 1997-05-29 1998-12-15 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd Ｌｓｉ酸化膜研磨用砥石およびｌｓｉ酸化膜研磨方法
US5997392A (en) * 1997-07-22 1999-12-07 International Business Machines Corporation Slurry injection technique for chemical-mechanical polishing
JP2000015557A (ja) * 1998-04-27 2000-01-18 Ebara Corp 研磨装置
JP3909619B2 (ja) * 1998-05-19 2007-04-25 独立行政法人理化学研究所 磁気ディスク基板の鏡面加工装置及び方法
JP3770752B2 (ja) * 1998-08-11 2006-04-26 株式会社日立製作所 半導体装置の製造方法及び加工装置
US6132295A (en) * 1999-08-12 2000-10-17 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for grinding a semiconductor wafer surface
JP2002103227A (ja) * 2000-09-25 2002-04-09 Canon Inc 研磨又は研削加工方法、光学素子の加工方法、蛍石の加工方法、研磨及び又は研削加工装置、光学素子の研磨及び又は研削加工装置、光学素子の表面を加工する装置、レンズ
MY126192A (en) * 2001-07-03 2006-09-29 Canon Kk Lens processing management system
US20040137834A1 (en) * 2003-01-15 2004-07-15 General Electric Company Multi-resinous molded articles having integrally bonded graded interfaces
JP2004260122A (ja) * 2003-02-28 2004-09-16 Nippei Toyama Corp ウェーハ研削装置
DE102004005702A1 (de) * 2004-02-05 2005-09-01 Siltronic Ag Halbleiterscheibe, Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Halbleiterscheibe
JP2008028232A (ja) * 2006-07-24 2008-02-07 Sharp Corp 半導体基板研磨装置および半導体基板研磨方法、半導体装置の製造方法
US20080220698A1 (en) * 2007-03-07 2008-09-11 Stanley Monroe Smith Systems and methods for efficient slurry application for chemical mechanical polishing
JP5123329B2 (ja) * 2010-01-07 2013-01-23 株式会社岡本工作機械製作所 半導体基板の平坦化加工装置および平坦化加工方法
JP5791987B2 (ja) * 2011-07-19 2015-10-07 株式会社荏原製作所 研磨装置および方法
TWI548483B (zh) * 2011-07-19 2016-09-11 荏原製作所股份有限公司 研磨裝置及方法
JP5955069B2 (ja) 2012-04-19 2016-07-20 株式会社ディスコ ウエーハの研削方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015160249A (ja) 2015-09-07
KR102252945B1 (ko) 2021-05-18
JP6243255B2 (ja) 2017-12-06
US9669511B2 (en) 2017-06-06
CN104858737B (zh) 2020-12-25
TWI642517B (zh) 2018-12-01
RU2015106005A3 (ru) 2018-10-01
US20150239089A1 (en) 2015-08-27
DE102015203109A1 (de) 2015-08-27
CN104858737A (zh) 2015-08-26
RU2686974C2 (ru) 2019-05-06
TW201544255A (zh) 2015-12-01
KR20150100577A (ko) 2015-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2015106005A (ru) Способ шлифования поверхности обрабатываемой детали
PH12017000001B1 (en) Surface treatment method for metal parts
SG10201804390SA (en) Grinding apparatus
MX2018006774A (es) Cabina de pintura con sistema de remocion de la pulverizacion excesica, metodo de remocion de pulverizacion excesiva e instalacion.
AU354943S (en) Diamond abrasive grinding cup wheel
MY179920A (en) Lapping slurry having a cationic surfactant
RU2015139134A (ru) Способ и шлифовальный инструмент для высокоточного бесцентрового шлифования деталей валов с высоким качеством поверхности
MY161152A (en) Dressing and manufacture of outer blade cutting wheel
JP2016068231A5 (ja) レンズ成形用金型の加工装置及び加工方法
WO2016133474A3 (en) Electrostatic rotating spraying
SG10201806504YA (en) Grinding apparatus
EP1972412A3 (en) Two-sided surface grinding method and apparatus
TWD168643S (zh) 珠擊機用葉輪片
FR3041650B1 (fr) Substrat luminescent contenant des particules abrasives, et son procede de preparation
RU2014113868A (ru) Способ магнитно-абразивного полирования метчика
RU145921U1 (ru) Устройство для обработки ювелирных изделий
CN106217146A (zh) 一种多磨砂轮阶梯横排的朱砂工艺品加工装置
CN103909454A (zh) 异形件打磨方法及其应用
RU2014132687A (ru) Способ абразивной подготовки поверхности изделия при детонационном напылении покрытий из оксида алюминия
CN203779254U (zh) 用于异形件的磨边机
RU142027U1 (ru) Устройство для обработки ювелирных изделий
MD1098Z (ru) Способ получения абразивного материала на алюминиевой связке
CN203973403U (zh) 一种石材喷沙机
CN104440508A (zh) 一种锅具用研磨装置
RU2013119882A (ru) Способ подготовки поверхности изделия перед нанесением детонационного покрытия