RU2014140808A - Способ и устройство для измерения геометрической структуры оптического компонента - Google Patents

Способ и устройство для измерения геометрической структуры оптического компонента Download PDF

Info

Publication number
RU2014140808A
RU2014140808A RU2014140808A RU2014140808A RU2014140808A RU 2014140808 A RU2014140808 A RU 2014140808A RU 2014140808 A RU2014140808 A RU 2014140808A RU 2014140808 A RU2014140808 A RU 2014140808A RU 2014140808 A RU2014140808 A RU 2014140808A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
signal
measurement
measuring
sensor
specified
Prior art date
Application number
RU2014140808A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2618746C2 (ru
Inventor
Стефан ГЁ
Никола ЛАВИЙОНЬЕР
Фабьен МУРАДОР
Асма ЛАКХУА
Original Assignee
Эссилор Энтернасьональ (Компани Женераль Д'Оптик)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эссилор Энтернасьональ (Компани Женераль Д'Оптик) filed Critical Эссилор Энтернасьональ (Компани Женераль Д'Оптик)
Publication of RU2014140808A publication Critical patent/RU2014140808A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2618746C2 publication Critical patent/RU2618746C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/025—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by determining the shape of the object to be tested
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
    • G01M11/0264—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested by using targets or reference patterns
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

1. Способ измерения геометрической структуры оптического компонента, ограниченного первой поверхностью (10) и второй поверхностью (20), при этом указанный способ включает этапы:- (S1) измерения первого сигнала (MS1), возникающего из первого преобразования указанной первой поверхностью (10) первого сигнала (PS1) от датчика, при этом первое моделирование указанного первого преобразования обеспечивает возможность получения первой абсолютной оценки (ES1) сигнала, возникающего из указанного первого преобразования первого сигнала (PS1) от датчика первой смоделированной поверхностью (11), известной и расположенной в первой системе (R1) отсчета для измерения, подобно указанной первой поверхности (10), во время измерения первого сигнала (MS1);- (S2) измерения второго сигнала (MS2), возникающего из второго преобразования по меньшей мере указанной второй поверхностью (20) второго сигнала (PS2) от датчика, при этом второе моделирование указанного второго преобразования обеспечивает возможность получения второй абсолютной оценки (ES2) сигнала, возникающего из указанного второго преобразования второго сигнала (PS2) от датчика по меньшей мере одной второй смоделированной поверхностью (21), известной и расположенной во второй системе отсчета (R2) для измерения, подобно указанной второй поверхности (20), во время измерения второго сигнала (MS2);при этом по меньшей мере одно из измерения первого сигнала (MS1) и измерения второго сигнала (MS2) является зональным измерением;- (S3) определения третьего преобразования, обеспечивающего возможность перехода от первой системы (R1) отсчета ко второй системе (R2) отсчета;- (S10) оценки указанной первой поверхности (10), осуществляемой на основании первого сигнала (MS1), указанного первого моделиро

Claims (18)

1. Способ измерения геометрической структуры оптического компонента, ограниченного первой поверхностью (10) и второй поверхностью (20), при этом указанный способ включает этапы:
- (S1) измерения первого сигнала (MS1), возникающего из первого преобразования указанной первой поверхностью (10) первого сигнала (PS1) от датчика, при этом первое моделирование указанного первого преобразования обеспечивает возможность получения первой абсолютной оценки (ES1) сигнала, возникающего из указанного первого преобразования первого сигнала (PS1) от датчика первой смоделированной поверхностью (11), известной и расположенной в первой системе (R1) отсчета для измерения, подобно указанной первой поверхности (10), во время измерения первого сигнала (MS1);
- (S2) измерения второго сигнала (MS2), возникающего из второго преобразования по меньшей мере указанной второй поверхностью (20) второго сигнала (PS2) от датчика, при этом второе моделирование указанного второго преобразования обеспечивает возможность получения второй абсолютной оценки (ES2) сигнала, возникающего из указанного второго преобразования второго сигнала (PS2) от датчика по меньшей мере одной второй смоделированной поверхностью (21), известной и расположенной во второй системе отсчета (R2) для измерения, подобно указанной второй поверхности (20), во время измерения второго сигнала (MS2);
при этом по меньшей мере одно из измерения первого сигнала (MS1) и измерения второго сигнала (MS2) является зональным измерением;
- (S3) определения третьего преобразования, обеспечивающего возможность перехода от первой системы (R1) отсчета ко второй системе (R2) отсчета;
- (S10) оценки указанной первой поверхности (10), осуществляемой на основании первого сигнала (MS1), указанного первого моделирования и первого показателя (V1) качества, определяющего расхождение между первой оценкой (ES1) и первым сигналом (MS1);
- (S20) оценки указанной второй поверхности (20), осуществляемой на основании второго сигнала (MS2), указанного второго моделирования, указанного третьего преобразования и второго показателя (V2) качества, определяющего расхождение между второй оценкой (ES2) и вторым сигналом (MS2).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что измерение первого сигнала (MS1) и измерение второго сигнала (MS2) являются зональными измерениями.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что указанное зональное измерение осуществляют посредством сбора результатов измерений элементарных зон, при этом в каждом указанном измерении элементарных зон измеряют элементарный сигнал, возникающий из преобразования сигнала от датчика элементарной зоной поверхности (или поверхностей) для покрытия указанными элементарными зонами всей указанной поверхности (или всех указанных поверхностей).
4. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что:
- первый сигнал (MS1) возникает из первого преобразования указанной первой поверхностью (10) первого сигнала (PS1) от датчика;
- второй сигнал (MS2) возникает из второго преобразования указанной первой поверхностью (10) и указанной второй поверхностью (20) второго сигнала (PS2) от датчика.
5. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что:
- первый сигнал (MS1) возникает из первого преобразования указанной первой поверхностью (10) первого сигнала (PS1) от датчика;
- второй сигнал (MS2) возникает из второго преобразования указанной второй поверхностью (20) второго сигнала (PS2) от датчика.
6. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что каждый этап (S10, S20) оценки является итеративным, при этом каждая итерация состоит в:
a) осуществлении моделирования (SIM1, SIM2) на основании по меньшей мере одной смоделированной поверхности (11, 21) и сигнала (PS1, PS2) от датчика для получения оценки (ES1, ES2) измеренного сигнала;
b) измерении расхождения между оценкой (ES1, ES2), рассчитанной на этапе a), и измеренным сигналом (MS1; MS2) посредством показателя (V1, V2) качества;
c) модификации смоделированной поверхности (11, 21) для уменьшения указанного расхождения и возврата к этапу a) при неудовлетворении критерия остановки в виде расхождения, измеренного на этапе b);
d) оценке поверхности (10, 20) в качестве величины смоделированной поверхности (11, 21), учтенной на этапе а) этой итерации.
7. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что указанную вторую оценку (21) получают дополнительно на основании указанной первой оценки (11).
8. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый и/или второй сигнал (PS1, PS2) от датчика является оптическим сигналом.
9. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что:
- первый сигнал (MS1) является картой нормалей к первой поверхности (10), полученной дефлектометрическим измерением оптического сигнала, получаемого в виде решетки из чередующихся полос, отраженной первой поверхностью (10);
- этап (S2) измерения второго сигнала (MS2) является измерением дефлектометрии оптического сигнала, исходящего от первой и второй поверхности (10, 20).
10. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что:
- этап (S1) измерения первого сигнала (MS1) является измерением искажения оптического сигнала, отраженного первой поверхностью (10);
- этап (S2) измерения второго сигнала (MS2) является измерением увеличения оптического сигнала, исходящего от первой и второй поверхности (10, 20).
11. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что этап (S3) определения третьего преобразования включает измерение толщины компонента.
12. Способ по п. 11, отличающийся тем, что этап (S3) определения третьего преобразования дополнительно включает измерение призмы компонента.
13. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что этапы (S1, S2) измерения осуществляют посредством одного устройства.
14. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что оптический компонент является глазной линзой.
15. Система для измерения геометрической структуры оптического компонента, ограниченного первой поверхностью (10) и второй поверхностью (20), при этом указанная система содержит:
- первое измерительное средство (ММ1) для измерения первого сигнала (MS1), возникающего из первого преобразования указанной первой поверхностью (10) первого сигнала (PS1) от датчика, при этом первое моделирование указанного первого преобразования обеспечивает возможность получения первой абсолютной оценки (ES1) сигнала, возникающего из указанного первого преобразования первого сигнала (PS1) от датчика первой смоделированной поверхностью (11), известной и расположенной в первой системе (R1) отсчета для измерения, подобно указанной первой поверхности (10), во время измерения первого сигнала (MS1);
- второе измерительное средство (ММ2) для измерения второго сигнала (MS2), возникающего из второго преобразования по меньшей мере указанной второй поверхностью (20) второго сигнала (PS2) от датчика, при этом второе моделирование указанного второго преобразования обеспечивает возможность получения второй абсолютной оценки (ES2) сигнала, возникающего из указанного второго преобразования второго сигнала (PS2) от датчика по меньшей мере одной второй смоделированной поверхностью (21), известной и расположенной в первой системе (R2) отсчета для измерения, подобно указанной второй поверхности (20), во время измерения второго сигнала (MS2);
при этом зональное измерение выполнено по меньшей мере одним из указанных измерительных средств (ММ1, ММ2);
- средство (MD) для определения третьего преобразования, обеспечивающего возможность перехода от первой системы (R1) отсчета ко второй системе (R2) отсчета;
- первое средство (СМ1) для расчета, предназначенное для оценки указанной первой поверхности (10) на основании первого сигнала (MS1), указанного первого моделирования, первой смоделированной поверхности (11) и первого показателя (V1) качества, определяющего расхождение между первой оценкой (ES1) и первым сигналом (MS1);
- второе средство (СМ2) для расчета, предназначенное для оценки указанной второй поверхности (20) на основании второго сигнала (MS2), указанного второго моделирования, второй смоделированной поверхности (21), указанного третьего преобразования и второго показателя (V2) качества, определяющего расхождение между второй оценкой (ES2) и вторым сигналом (MS2).
16. Система по п. 15, отличающаяся тем, что посредством каждого из указанных измерительных средств (ММ1, ММ2) проводится зональное измерение.
17. Система по п. 15 или 16, отличающаяся тем, что:
- первое средство (СМ1) для расчета выполняет измерение искажения оптического сигнала, отраженного первой поверхностью (10); и
- второе средство (СМ2) для расчета выполняет измерение увеличения оптического сигнала, исходящего от первой и второй поверхности (10, 20).
18. Система по п. 17, отличающаяся тем, что:
- первое средство (СМ1) для расчета создает карту нормалей к первой поверхности (10), полученную дефлектометрическим измерением оптического сигнала, получаемого в виде решетки из чередующихся полос, отраженной первой поверхностью (10); и
- второе средство (СМ2) для расчета выполняет измерение на основании дефлектометрии оптического сигнала, исходящего от первой и второй поверхностей (10, 20).
RU2014140808A 2012-03-09 2013-03-08 Способ и устройство для измерения геометрической структуры оптического компонента RU2618746C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12290084.8 2012-03-09
EP12290084.8A EP2637011A1 (fr) 2012-03-09 2012-03-09 Procédé et appareil de mesure de la structure géométrique d'un composant optique
PCT/EP2013/054751 WO2013132072A1 (fr) 2012-03-09 2013-03-08 Procede et appareil de mesure de la structure geometrique d'un composant optique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014140808A true RU2014140808A (ru) 2016-05-10
RU2618746C2 RU2618746C2 (ru) 2017-05-11

Family

ID=47846012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014140808A RU2618746C2 (ru) 2012-03-09 2013-03-08 Способ и устройство для измерения геометрической структуры оптического компонента

Country Status (14)

Country Link
US (1) US9109976B2 (ru)
EP (2) EP2637011A1 (ru)
JP (1) JP6223368B2 (ru)
KR (1) KR102022888B1 (ru)
CN (1) CN104169704B (ru)
AU (1) AU2013229379B2 (ru)
BR (1) BR112014022264B1 (ru)
CA (1) CA2864866C (ru)
IN (1) IN2014DN07627A (ru)
MX (1) MX338853B (ru)
NZ (1) NZ628795A (ru)
RU (1) RU2618746C2 (ru)
WO (1) WO2013132072A1 (ru)
ZA (1) ZA201406182B (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2650857C1 (ru) * 2017-04-06 2018-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") Система определения геометрических параметров трехмерных объектов

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10289895B2 (en) 2014-10-21 2019-05-14 Isra Surface Vision Gmbh Method and device for determining a three-dimensional distortion
DE102014115336A1 (de) * 2014-10-21 2016-04-21 Isra Surface Vision Gmbh Verfahren zur Bestimmung eines lokalen Brechwerts und Vorrichtung hierfür

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU642768B2 (en) * 1990-10-02 1993-10-28 Ciba-Geigy Ag A method of surface-cleaning and/or sterilising optical components, especially contact lenses
DE69402281T2 (de) * 1993-09-17 1997-09-04 Essilor Int Verfahren und Gerät zur absoluten Messung der geometrischen oder optischen Struktur eines optischen Bestandteiles
US6072570A (en) * 1997-07-24 2000-06-06 Innotech Image quality mapper for progressive eyeglasses
FR2783938B1 (fr) * 1998-09-28 2000-11-17 Essilor Int Lentilles ophtalmiques toriques
US6256098B1 (en) * 1998-11-23 2001-07-03 Inray Ltd. Method for determining and designing optical elements
JP2001227908A (ja) * 2000-02-18 2001-08-24 Canon Inc 光学測定装置
FR2813391B1 (fr) * 2000-08-22 2002-11-29 Essilor Int Procede et appareil de mesure en transmission de la structure geometrique d'un composant optique
US7034949B2 (en) * 2001-12-10 2006-04-25 Ophthonix, Inc. Systems and methods for wavefront measurement
JP2003269952A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Canon Inc ３次元形状測定装置および方法
ATE524762T1 (de) * 2002-05-31 2011-09-15 Crossbows Optical Ltd Gleitsichtglas
DE10337894A1 (de) * 2003-08-18 2005-03-17 Robert Bosch Gmbh Optisches Messsystem zum Erfassen von Geometriedaten von Oberflächen
DE102004047531B4 (de) * 2004-09-30 2006-07-13 Kemper, Björn, Dr.rer.nat. Interferometrisches Verfahren und interferometrische Vorrichtung zum Ermitteln einer Topographie und einer Brechungsindexverteilung eines Objekts
EP2008058B1 (en) * 2006-04-07 2012-12-05 Abbott Medical Optics Inc. Geometric measurement system and method of measuring a geometric characteristic of an object
US7573643B2 (en) * 2006-08-16 2009-08-11 Technion Research & Development Foundation Ltd. Method and apparatus for designing transmissive optical surfaces
EP2136178A1 (en) * 2007-04-05 2009-12-23 Nikon Corporation Geometry measurement instrument and method for measuring geometry
JP2010085335A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Fujinon Corp 光波干渉測定装置
FR2938934B1 (fr) * 2008-11-25 2017-07-07 Essilor Int - Cie Generale D'optique Verre de lunettes procurant une vision ophtalmique et une vision supplementaire
JP2010237189A (ja) * 2009-03-11 2010-10-21 Fujifilm Corp ３次元形状測定方法および装置
JP5591063B2 (ja) 2009-11-12 2014-09-17 キヤノン株式会社 測定方法及び測定装置
JP4968966B2 (ja) * 2009-12-07 2012-07-04 キヤノン株式会社 屈折率分布の計測方法および計測装置
CN103003662B (zh) * 2010-07-15 2015-06-24 佳能株式会社 用于测量被检表面的形状的测量方法、测量设备和光学元件的制造方法
JP5618727B2 (ja) 2010-09-21 2014-11-05 キヤノン株式会社 形状測定法及び形状計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2650857C1 (ru) * 2017-04-06 2018-04-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") Система определения геометрических параметров трехмерных объектов

Also Published As

Publication number Publication date
RU2618746C2 (ru) 2017-05-11
WO2013132072A1 (fr) 2013-09-12
CN104169704B (zh) 2018-04-24
BR112014022264B1 (pt) 2020-11-10
US20150055126A1 (en) 2015-02-26
US9109976B2 (en) 2015-08-18
NZ628795A (en) 2016-11-25
CA2864866A1 (fr) 2013-09-12
ZA201406182B (en) 2016-02-24
KR20140132725A (ko) 2014-11-18
JP2015509599A (ja) 2015-03-30
MX338853B (es) 2016-05-02
AU2013229379B2 (en) 2016-11-24
BR112014022264A8 (pt) 2018-08-14
IN2014DN07627A (ru) 2015-05-15
EP2823279A1 (fr) 2015-01-14
EP2823279B1 (fr) 2019-12-25
KR102022888B1 (ko) 2019-11-25
CN104169704A (zh) 2014-11-26
MX2014010784A (es) 2015-04-17
JP6223368B2 (ja) 2017-11-01
BR112014022264A2 (ru) 2017-06-20
EP2637011A1 (fr) 2013-09-11
CA2864866C (fr) 2020-07-07
AU2013229379A1 (en) 2014-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Giusca et al. Practical estimation of measurement noise and flatness deviation on focus variation microscopes
RU2010102005A (ru) Устройство и способ для определения загрязненности моющего раствора
JP2009294134A5 (ru)
RU2015137452A (ru) Способ синхрофазорного измерения для использования в устройстве измерения фазоров (pmu) р-класса
EA201391460A1 (ru) Система и способ для инверсии сейсмических данных
ATE479908T1 (de) Verfahren zur schätzung einer äquivalenten radaroberfläche
MY176952A (en) Determination of strain components for different deformation modes using a filter
WO2012048156A3 (en) Method of determining an asymmetric property of a structure
RU2014140808A (ru) Способ и устройство для измерения геометрической структуры оптического компонента
EA201290793A1 (ru) Зонд для определения границ между веществами
RU2013158387A (ru) Коррекция способом смещения по времени от пика для тест-полоски, используемой для измерения содержания аналита
ES2530807T3 (es) Estimación de la carga para obtener estabilidad de las células en sistemas de blanqueamiento de interferencias
DE602004016533D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur verwendung eines mehrkanal-messsignals bei der bestimmung der stromverteilung eines gegenstands
JP2018179718A (ja) 残留応力測定方法
JP2010203915A5 (ru)
RU2013143889A (ru) Способ неразрушающей оценки критических изменений технического состояния металла
SG156566A1 (en) Multi-variable regression for metrology
WO2008136443A1 (ja) 正弦波パラメータ推定方法
Witew et al. Evaluation and improvement of a model to predict the measurement uncertainty due to the directivity of room acoustical sound sources
JP2017078641A5 (ru)
Menshikov et al. Determination parameters of roughness of road coverings by the data of measurements of microprofiles of roads
Schindler et al. Estimating the Accuracy of Different Parametric Freeform Surface Descriptions
PL418028A1 (pl) Sposób testowania konstrukcji obiektu
Bošnjaković et al. The method of calibration of He-Ne laser using the NPL iodine stabilized He-Ne laser with wavelength at 633 nm
RU2600539C2 (ru) Способ формирования и ведения групповой меры частоты

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20180820