BR112014022264A8 - Método e sistema para medir a estrutura geométrica de um componente óptico - Google Patents

Método e sistema para medir a estrutura geométrica de um componente óptico

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Abstract

MÉTODO E FERRAMENTA PARA MEDIR A ESTRUTURA GEOMÉTRICA DE UM COMPONENTE ÓPTICO. A presente invenção refere-se a um método e a um sistema para medir a estrutura geométrica ou óptica de um componente óptico. Em particular, a invenção refere-se a um método para medir a estrutura geométrica de um componente unido por um primeiro lado (10) e um segundo lado (20), sendo que o dito método compreende as etapas de: (S1) medir um primeiro sinal (MS1) que resulta de uma primeira conversão de um primeiro sinal de sonda (PS1), pelo menos por meio do dito primeiro lado (10); (S2) medir um segundo sinal (MS2) que resulta de uma segunda conversão de um segundo sinal de sonda (PS2), pelo menos por meio do dito segundo lado (20); (S3) determinar uma terceira conversão que torna possível converter um primeiro conjunto de coordenadas (R1) associado à medição do primeiro sinal (MS1) em um segundo conjunto de coordenadas (R2) associado à medição do segundo sinal (MS2); (S10) estimar o dito primeiro lado (10) com o uso do primeiro sinal (MS1), sendo que a dita primeira simulação e um primeiro critério de custo (V1) quantificam uma diferença entre a estimação (ES1) e o primeiro sinal (MS1); e (S20) estimar o dito segundo lado (20) com o uso do segundo sinal (MS2), sendo que a dita segunda simulação, a dita terceira conversão e um segundo critério de custo (V2) quantificam uma diferença entre a estimação (ES2) e o segundo sinal (MS2).
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