RU2014137316A - Способ закрепления жаростойкой детали на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию - Google Patents
Способ закрепления жаростойкой детали на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014137316A RU2014137316A RU2014137316A RU2014137316A RU2014137316A RU 2014137316 A RU2014137316 A RU 2014137316A RU 2014137316 A RU2014137316 A RU 2014137316A RU 2014137316 A RU2014137316 A RU 2014137316A RU 2014137316 A RU2014137316 A RU 2014137316A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- heat
- resistant part
- soldering
- solder
- temperature
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/19—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering taking account of the properties of the materials to be soldered
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/0008—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
- B23K1/0018—Brazing of turbine parts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/20—Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/02—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
- C04B37/023—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
- C04B37/026—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of metals or metal salts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
- F01D5/00—Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
- F01D5/12—Blades
- F01D5/28—Selecting particular materials; Particular measures relating thereto; Measures against erosion or corrosion
- F01D5/288—Protective coatings for blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/001—Turbines
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/12—Metallic interlayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/40—Metallic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2230/00—Manufacture
- F05D2230/20—Manufacture essentially without removing material
- F05D2230/23—Manufacture essentially without removing material by permanently joining parts together
- F05D2230/232—Manufacture essentially without removing material by permanently joining parts together by welding
- F05D2230/237—Brazing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/20—Oxide or non-oxide ceramics
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
1. Способ закрепления жаростойкой детали (1) на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), посредством пайки, по меньшей мере, части поверхности жаростойкой детали (1), ограничиваемой периферийной граничной кромкой (7), к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), с использованием расплава припоя, включающий:металлизацию поверхности жаростойкой детали (1), по меньшей мере, за исключением участка кромки, содержащего периферийную граничную кромку (7), иприпаивание указанной металлизированной поверхности (2) к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), отличающийся тем, что- по меньшей мере, поверхность жаростойкой детали (1) состоит из керамического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что керамический материал не способен смачиваться расплавом припоя (3), и/или- для металлизации используется металл или металлический сплав, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что слой, получаемый при металлизации, способен смачиваться расплавом припоя (3).2. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что припой представляет собой сплав металлов для пайки.3. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что поверхность элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), выполнена из металлического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что металл способен смачиваться расплавом припоя (5).4. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что жаростойкая деталь (1) представляет собой пластинообразную деталь из керамического материала, характеризующуюся то
Claims (15)
1. Способ закрепления жаростойкой детали (1) на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), посредством пайки, по меньшей мере, части поверхности жаростойкой детали (1), ограничиваемой периферийной граничной кромкой (7), к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), с использованием расплава припоя, включающий:
металлизацию поверхности жаростойкой детали (1), по меньшей мере, за исключением участка кромки, содержащего периферийную граничную кромку (7), и
припаивание указанной металлизированной поверхности (2) к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), отличающийся тем, что
- по меньшей мере, поверхность жаростойкой детали (1) состоит из керамического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что керамический материал не способен смачиваться расплавом припоя (3), и/или
- для металлизации используется металл или металлический сплав, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что слой, получаемый при металлизации, способен смачиваться расплавом припоя (3).
2. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что припой представляет собой сплав металлов для пайки.
3. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что поверхность элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), выполнена из металлического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что металл способен смачиваться расплавом припоя (5).
4. Способ согласно п. 1, характеризующийся тем, что жаростойкая деталь (1) представляет собой пластинообразную деталь из керамического материала, характеризующуюся толщиной пластины в интервале 1-10 мм, предпочтительно, 6 мм и размером площади пластины в интервале 0,5-10 см2.
5. Способ закрепления жаростойкой детали (1) на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию, посредством пайки, по меньшей мере, части поверхности жаростойкой детали (1), ограничиваемой периферийной граничной кромкой (7), к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), с использованием расплава припоя (5), характеризующийся
- покрытием, по меньшей мере, участка кромки, содержащего периферийную граничную кромку (7) жаростойкой детали (1) промежуточным слоем (6), обладающим таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что промежуточный слой (6) не способен смачиваться расплавом припоя (5), и
- припаиванием поверхности жаростойкой детали (1), обладающей таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что поверхность способна смачиваться расплавом припоя (5), к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4).
6. Способ согласно п. 5, отличающийся тем, что пайка проводится в защитной газовой атмосфере, т.е. в отсутствие кислорода или при пониженном содержании кислорода, и тем, что после пайки следует стадия отжига, на которой промежуточный слой (6), покрывающий, по меньшей мере, участок кромки, содержащей периферийную граничную кромку (7), выжигается в атмосфере воздуха.
7. Способ согласно п. 5, отличающийся тем, что, по меньшей мере, поверхность жаростойкой детали (1) состоит из керамического материала, промежуточный слой (6) состоит из углеродного или полимерного материала, и припой (5) состоит из металла или металлического сплава.
8. Способ согласно одному из пп. 5-7, характеризующийся тем, что припой представляет собой сплав металлов для пайки.
9. Способ согласно одному из пп. 5-7, характеризующийся тем, что поверхность элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), выполнена из металлического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что металл способен смачиваться расплавом припоя (5).
10. Способ согласно одному из пп. 5-7, характеризующийся тем, что жаростойкая деталь (1) представляет собой пластинообразную деталь из керамического материала, характеризующуюся толщиной пластины в интервале 1-10 мм, предпочтительно, 6 мм и размером площади пластины в интервале 0,5-10 см2.
11. Способ закрепления жаростойкой детали (1) на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию, посредством пайки по контактной поверхности жаростойкой детали (1), ограничиваемой периферийной граничной кромкой (7), к поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), с использованием расплава припоя (5), или согласно п. 5, характеризующийся
структурированием контактной поверхности жаростойкой детали (1) и/или поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию (4) таким образом, чтобы участок кромки жаростойкой детали, содержащий периферийную граничную кромку (7), не приходил в контакт с поверхностью элемента, подвергаемого температурному воздействию (4) после приведения в контакт обеих поверхностей, и
пайкой указанных поверхностей, каждая из которых обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что поверхности способны смачиваться расплавом припоя (5).
12. Способ согласно п. 11, характеризующийся тем, что структурирование производят таким образом, что после пайки граничная кромка жаростойкой детали (1) охватывает пустой зазор (g) с поверхностью элемента, подвергаемого температурному воздействию (4).
13. Способ согласно одному из пп. 11-12, характеризующийся тем, что припой представляет собой сплав металлов для пайки.
14. Способ согласно одному из пп. 11-12, характеризующийся тем, что поверхность элемента, подвергаемого температурному воздействию (4), выполнена из металлического материала, который обладает таким физико-химическим свойством в отношении смачиваемости, что металл способен смачиваться расплавом припоя (5).
15. Способ согласно одному из пп. 11-12, характеризующийся тем, что жаростойкая деталь (1) представляет собой пластинообразную деталь из керамического материала, характеризующуюся толщиной пластины в интервале 1-10 мм, предпочтительно, 6 мм и размером площади пластины в интервале 0,5-10 см2.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13185347.5 | 2013-09-20 | ||
EP13185347.5A EP2851151B1 (en) | 2013-09-20 | 2013-09-20 | Method of fixing through brazing a heat resistant component on a surface of a heat exposed component |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014137316A true RU2014137316A (ru) | 2016-04-10 |
Family
ID=49230585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014137316A RU2014137316A (ru) | 2013-09-20 | 2014-09-15 | Способ закрепления жаростойкой детали на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150083787A1 (ru) |
EP (1) | EP2851151B1 (ru) |
JP (1) | JP2015059084A (ru) |
KR (1) | KR20150032802A (ru) |
CN (1) | CN104446593A (ru) |
CA (1) | CA2864230A1 (ru) |
IN (1) | IN2014DE02658A (ru) |
RU (1) | RU2014137316A (ru) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG10201702694WA (en) | 2016-06-23 | 2018-01-30 | Rolls Royce Corp | Joint surface coatings for ceramic components |
EP3501727B1 (en) * | 2017-12-22 | 2021-02-03 | Ansaldo Energia IP UK Limited | Thermal protection method for gas turbine components |
CN114029573B (zh) * | 2021-11-19 | 2022-08-30 | 武汉理工大学 | 一种石墨烯薄膜表面超薄软钎焊改性层的制备方法 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2090710B (en) * | 1980-12-26 | 1984-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thermistor heating device |
JPS59151084A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-29 | 株式会社日立製作所 | 核融合装置 |
JPS6270274A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-31 | 日立化成工業株式会社 | セラミツクスと金属部材との接合方法 |
JPS62182172A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-10 | 日立化成工業株式会社 | セラミツクスと金属との接合方法 |
JPS62182171A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-10 | 日立化成工業株式会社 | セラミツクスと金属部材との接合法 |
JPS63139069A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-10 | 三菱重工業株式会社 | セラミツクスの接合法 |
JPS63297198A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-05 | 三菱重工業株式会社 | 壁体 |
JP2553865B2 (ja) * | 1987-06-02 | 1996-11-13 | 株式会社クボタ | 金属−セラミック積層接合体の製造方法 |
JP2553866B2 (ja) * | 1987-06-02 | 1996-11-13 | 株式会社クボタ | 金属−セラミック積層接合体の製造方法 |
JPH01176284A (ja) | 1987-12-28 | 1989-07-12 | Ngk Insulators Ltd | 金属・セラミックス接合体 |
JPH01206037A (ja) * | 1988-12-23 | 1989-08-18 | Hitachi Ltd | 複合強度部材 |
JPH02196075A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-02 | Sumitomo Cement Co Ltd | 接合構造体 |
DE3914332A1 (de) * | 1989-04-29 | 1990-11-08 | Hoechst Ceram Tec Ag | Verbindung von teilen aus keramischem und metallischem werkstoff |
JPH03236A (ja) * | 1989-05-26 | 1991-01-07 | Toshiba Corp | 異種材料の接合体 |
JP2756184B2 (ja) | 1990-11-27 | 1998-05-25 | 株式会社日立製作所 | 電子部品の表面実装構造 |
US5438477A (en) * | 1993-08-12 | 1995-08-01 | Lsi Logic Corporation | Die-attach technique for flip-chip style mounting of semiconductor dies |
EP0922682A1 (en) | 1997-12-12 | 1999-06-16 | FINMECCANICA S.p.A. AZIENDA ANSALDO | Method of forming a joint between a ceramic substrate and a metal component |
JP2002373955A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | パワーモジュール基板 |
JP3757881B2 (ja) * | 2002-03-08 | 2006-03-22 | 株式会社日立製作所 | はんだ |
US7871716B2 (en) * | 2003-04-25 | 2011-01-18 | Siemens Energy, Inc. | Damage tolerant gas turbine component |
US7198860B2 (en) | 2003-04-25 | 2007-04-03 | Siemens Power Generation, Inc. | Ceramic tile insulation for gas turbine component |
US20050247761A1 (en) * | 2004-05-04 | 2005-11-10 | Albanese Patricia M | Surface mount attachment of components |
JP3953075B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2007-08-01 | ダイキン工業株式会社 | 熱交換器 |
US8962151B2 (en) * | 2006-08-15 | 2015-02-24 | Integrated Micro Sensors, Inc. | Method of bonding solid materials |
CN100541944C (zh) * | 2006-12-12 | 2009-09-16 | 核工业第八研究所 | 一种电加热器接插件插头的制造方法 |
US20080265005A1 (en) * | 2007-04-30 | 2008-10-30 | United Technologies Corporation | Brazing process incorporating graphitic preforms |
JP5061740B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2012-10-31 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板 |
US9428650B2 (en) * | 2012-12-11 | 2016-08-30 | General Electric Company | Environmental barrier coatings and methods therefor |
EP2769969B1 (en) * | 2013-02-25 | 2018-10-17 | Ansaldo Energia IP UK Limited | Method for manufacturing a metal-ceramic composite structure and metal-ceramic composite structure |
EP2851514A1 (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-25 | Alstom Technology Ltd | Method for applying heat resistant protection components onto a surface of a heat exposed component |
-
2013
- 2013-09-20 EP EP13185347.5A patent/EP2851151B1/en active Active
-
2014
- 2014-09-15 RU RU2014137316A patent/RU2014137316A/ru not_active Application Discontinuation
- 2014-09-16 IN IN2658DE2014 patent/IN2014DE02658A/en unknown
- 2014-09-17 US US14/488,410 patent/US20150083787A1/en not_active Abandoned
- 2014-09-18 KR KR20140124277A patent/KR20150032802A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-09-19 JP JP2014191086A patent/JP2015059084A/ja active Pending
- 2014-09-19 CA CA2864230A patent/CA2864230A1/en not_active Abandoned
- 2014-09-22 CN CN201410484918.8A patent/CN104446593A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2864230A1 (en) | 2015-03-20 |
IN2014DE02658A (ru) | 2015-06-26 |
CN104446593A (zh) | 2015-03-25 |
US20150083787A1 (en) | 2015-03-26 |
EP2851151A1 (en) | 2015-03-25 |
JP2015059084A (ja) | 2015-03-30 |
EP2851151B1 (en) | 2017-08-23 |
KR20150032802A (ko) | 2015-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2014137316A (ru) | Способ закрепления жаростойкой детали на поверхности элемента, подвергаемого температурному воздействию | |
EA033122B1 (ru) | Способ получения подложки, покрытой набором, содержащим слой прозрачного проводящего оксида | |
TW200628026A (en) | Passive device structure | |
WO2011065723A3 (ko) | 수직구조 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
MX2015006369A (es) | Cristal con elemento de conexion electrica y puente de conexion. | |
JPWO2015019602A1 (ja) | 回路基板および半導体装置 | |
IN2015DN02878A (ru) | ||
TW201613037A (en) | Substrate for power modules, substrate with heat sink for power modules and power module with heat sink | |
ATE462194T1 (de) | Schmelzsicherung für einen chip | |
DK2260530T3 (da) | Forseglingsindretning til højtemperaturbrændselscellestakke | |
ATE517434T1 (de) | Elektronische vorrichtung mit einer bodenplatte | |
Bobzin et al. | Influence of filler and base material on the pore development during reactive air brazing | |
BRPI0820788A8 (pt) | Dispositivo e processo para obtenção de metais ou compostos de metal | |
RU2008134888A (ru) | Повышение долговечности и улучшение характеристик факельных наконечников | |
JP2012222157A5 (ru) | ||
DE602005004917D1 (de) | Piezoelektrisches Keramikelement and Bauteile daraus | |
TWI370034B (en) | Device and procedure for the wave soldering | |
FI20116202A (fi) | Jäähdytyselementti | |
TW200739953A (en) | Porous circuitry material for LED submounts | |
MD3086F1 (en) | Semiconductor gas sensor | |
TW200631144A (en) | Chip heat dissipation structure and manufacturing method thereof | |
RU2007148532A (ru) | Коррозиеустойчивое изделие с внешним слоем из керамического материала | |
DE602006013706D1 (de) | Erhöhung der wärmestabilität poröser körper aus edelstahl oder einer legierung | |
SG10201705211VA (en) | Electrochemical sensor for detecting gases | |
TW200721355A (en) | Composite material and susceptor for semiconductor manufacturing device and power module with the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
HZ9A | Changing address for correspondence with an applicant | ||
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20181015 |