RU2013142440A - Способ и устройство для обнаружения дефектов в распределении материала прозрачного контейнера - Google Patents

Способ и устройство для обнаружения дефектов в распределении материала прозрачного контейнера Download PDF

Info

Publication number
RU2013142440A
RU2013142440A RU2013142440/28A RU2013142440A RU2013142440A RU 2013142440 A RU2013142440 A RU 2013142440A RU 2013142440/28 A RU2013142440/28 A RU 2013142440/28A RU 2013142440 A RU2013142440 A RU 2013142440A RU 2013142440 A RU2013142440 A RU 2013142440A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
container
control
wall
reflected
photodetector
Prior art date
Application number
RU2013142440/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2601256C2 (ru
Inventor
Марк ЛЕКОНТ
Гийом БАТЛЕ
Original Assignee
Эм Эс Си Энд Эс Джи Си Си
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эм Эс Си Энд Эс Джи Си Си filed Critical Эм Эс Си Энд Эс Джи Си Си
Publication of RU2013142440A publication Critical patent/RU2013142440A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2601256C2 publication Critical patent/RU2601256C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

1. Способ контроля для обнаружения дефектов распределения материала прозрачного контейнера (2), имеющего центральную ось (A) и стенку (3), ограниченную наружной стороной (5) и внутренней стороной (6), включающий применение для группы точек (h) контроля, распределенных по области (7) контроля так, что они находятся, с одной стороны, на заданной высоте контейнера в соответствии с центральной осью (A) и, с другой стороны, распределены по окружности контейнера;- направляют по меньшей мере один луч (9) света на стенку контейнера под таким углом, что часть (11) луча света отражается наружной стороной (5) стенки, и часть (12) луча преломляется в стенке и затем отражается внутренней стороной (6) стенки;- принимают фотоприемником (16) лучи (12, 11), отраженные внутренней (6) и наружной (5) сторонами;- измеряют толщину стенки (3) в каждой точке (h) контроля в фотоприемнике (16) как функцию разнесения одного луча от другого для лучей, отраженных внутренней и наружной сторонами,отличающийся тем, что:- обрабатывают измерения толщины посредством анализа их распределения по области (7) контроля с тем, чтобы получить геометрические характеристики, и сравнивают эти геометрические характеристики с опорными значениями, чтобы определить, имеет ли контейнер дефект распределения материала.2. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что сравнивают геометрические характеристики, полученные из измерений толщины, с опорными значениями, соответствующими различным типам дефекта распределения материала, для определения типа дефекта материала контейнера.3. Способ контроля по п.1 или 2, отличающийся тем, что принимают в расчет в качестве геометрических характеристик расп�

Claims (15)

1. Способ контроля для обнаружения дефектов распределения материала прозрачного контейнера (2), имеющего центральную ось (A) и стенку (3), ограниченную наружной стороной (5) и внутренней стороной (6), включающий применение для группы точек (hi) контроля, распределенных по области (7) контроля так, что они находятся, с одной стороны, на заданной высоте контейнера в соответствии с центральной осью (A) и, с другой стороны, распределены по окружности контейнера;
- направляют по меньшей мере один луч (9) света на стенку контейнера под таким углом, что часть (11) луча света отражается наружной стороной (5) стенки, и часть (12) луча преломляется в стенке и затем отражается внутренней стороной (6) стенки;
- принимают фотоприемником (16) лучи (12, 11), отраженные внутренней (6) и наружной (5) сторонами;
- измеряют толщину стенки (3) в каждой точке (hi) контроля в фотоприемнике (16) как функцию разнесения одного луча от другого для лучей, отраженных внутренней и наружной сторонами,
отличающийся тем, что:
- обрабатывают измерения толщины посредством анализа их распределения по области (7) контроля с тем, чтобы получить геометрические характеристики, и сравнивают эти геометрические характеристики с опорными значениями, чтобы определить, имеет ли контейнер дефект распределения материала.
2. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что сравнивают геометрические характеристики, полученные из измерений толщины, с опорными значениями, соответствующими различным типам дефекта распределения материала, для определения типа дефекта материала контейнера.
3. Способ контроля по п.1 или 2, отличающийся тем, что принимают в расчет в качестве геометрических характеристик распределения измерений толщины поверхность, длины, ширину, ориентацию, точность, амплитуду и/или наклон.
4. Способ контроля по п.2, отличающийся тем, что для определения наличия дефекта тонкости учитывают геометрические характеристики измерений толщины, которые меньше критического значения толщины.
5. Способ контроля по п.2, отличающийся тем, что для определения наличия дефекта типа смещения линии разъема учитывают ориентацию и/или точность распределения измерений толщины.
6. Способ контроля по п.2, отличающийся тем, что для дефекта типа пузырей учитывают ориентацию распределения измерений толщины посредством локального и быстрого изменения указанного распределения измерений толщины.
7. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что выполняют контроль для группы точек (hi) контроля, при этом
- направляют луч (9) света в форме светящейся линии, имеющей длину, определяемую по высоте контейнера по вертикальной оси (A),
- выбирают группу точек (hi) контроля по высоте контейнера по вертикальной оси (A), так чтобы принимать для каждой из них лучи, отраженные внутренней (6) и наружной (5) сторонами, и измерять толщину стенки,
- перемещают контейнер (2) относительно фотоприемника (16) на один оборот,
- и выбирают шаг относительного приращения перемещения контейнера (2), так чтобы для каждого шага приращения перемещения повторять операции для определения толщины стенки (3) в различных точках (hi) контроля по высоте контейнера;
8. Способ контроля по п.7, отличающийся тем, что выбирают 3-50 точек (hi) контроля по высоте контейнера, предпочтительно примерно 20 точек контроля, с шагом контроля 0,02-5 мм, предпочтительно примерно 1 мм, по высоте контейнера с шагом приращения перемещения 0,5-5 мм, предпочтительно порядка 1 мм по окружности контейнера.
9. Способ контроля по п.7, отличающийся тем, что выбирают точки (hi) контроля по высоте контейнера, соответствующие зоне (7) контроля, так чтобы перекрывать по меньшей мере одну зону соединения стенки (3), имеющей различные радиусы кривизны, такой как плечо или нижняя часть контейнера;
10. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что принимают лучи (12, 11), отраженные наружной (5) и внутренней (6) сторонами, с помощью фотоприемника (16), выполненного с возможностью приема двухмерного изображения, из которого получают измерения толщины в различных точках (hi).
11. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что он направляют луч света, имеющего хроматическое кодирование, принимают лучи, отраженные внутренней (5) и наружной (6) сторонами, фотоприемником для анализа длины волны указанных отраженных лучей и определяют толщину как функцию длины волны отраженных лучей.
12. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что фильтруют, интерполируют или корректируют сигналы, выдаваемые фотоприемником (16) в вертикальном и/или горизонтальном направлении фотоприемника и/или в динамике по времени.
13. Установка контроля для обнаружения дефектов распределения материала прозрачного контейнера (2), имеющего центральную ось (A) и стенку (3), ограниченную наружной стороной (5) и внутренней стороной (6), для выполнения способа по любому из пп.1-12, отличающаяся тем, что содержит:
- источник света (8) для направления луча (9) света на стенку (3) контейнера в виде светящейся линии (L), имеющей длину, определяемую по высоте контейнера по центральной оси (A); причем луч света направляется под углом так, что часть луча света отражается наружной стороной стенки, и часть луча света преломляется в стенке и затем отражается внутренней стороной стенки;
- фотоприемник (16), способный принимать лучи, отраженные внутренней (6) и наружной (5) сторонами;
- систему (18) для относительного перемещения контейнера относительно фотоприемника (16);
- блок (17) получения и обработки данных, соединенный с фотоприемником (16) и содержащий средства:
- для выбора группы точек (hi) контроля, распределенных, с одной стороны, по высоте контейнера в направлении центральной оси (A), и, с другой стороны, по окружности контейнера;
- для измерения в каждой точке (hi) контроля толщины стенки в фотоприемнике (16) как функции разнесения одного луча от другого для лучей, отраженных внутренней (6) и внешней (5) сторонами;
- для обработки измерений толщины посредством анализа их распределения по области (7) контроля для получения геометрических характеристик, с тем чтобы сравнивать эти геометрические характеристики с опорными значениями, чтобы определить, имеет ли контейнер дефект распределения материала.
14. Установка по п.13, отличающаяся тем, что фотоприемник (16) является матричной камерой, соединенной с блоком получения и обработки данных, которая обеспечивает прием двухмерных изображений.
15. Установка по п.13, отличающаяся тем, что фотоприемник (16) является спектрометром для анализа длин волн лучей, отраженных от внутренней (6) и наружной (5) сторон и происходящих из светового луча, имеющего хроматическое кодирование.
RU2013142440/28A 2011-02-18 2012-02-16 Способ и устройство для обнаружения дефектов в распределении материала прозрачного контейнера RU2601256C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1151363 2011-02-18
FR1151363A FR2971847B1 (fr) 2011-02-18 2011-02-18 Procede et dispositif pour detecter des defauts de repartition de matiere dans des recipients transparents
PCT/FR2012/050339 WO2012110749A1 (fr) 2011-02-18 2012-02-16 Procede et dispositif pour detecter des defauts de repartition de matiere dans des recipients transparents

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013142440A true RU2013142440A (ru) 2015-03-27
RU2601256C2 RU2601256C2 (ru) 2016-10-27

Family

ID=45873160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013142440/28A RU2601256C2 (ru) 2011-02-18 2012-02-16 Способ и устройство для обнаружения дефектов в распределении материала прозрачного контейнера

Country Status (11)

Country Link
US (1) US9244020B2 (ru)
EP (1) EP2676127B1 (ru)
JP (1) JP5968919B2 (ru)
CN (1) CN103477212B (ru)
BR (1) BR112013020880A2 (ru)
ES (1) ES2531861T3 (ru)
FR (1) FR2971847B1 (ru)
MX (1) MX2013009535A (ru)
PL (1) PL2676127T3 (ru)
RU (1) RU2601256C2 (ru)
WO (1) WO2012110749A1 (ru)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2977939B1 (fr) * 2011-07-11 2013-08-09 Edixia Procede d'acquisition de plusieurs images d'un meme objet a l'aide d'une seule camera lineaire
FR2997181B1 (fr) * 2012-10-18 2014-12-12 Msc & Sgcc Installation pour mesurer l'epaisseur de la paroi de recipients
JP5608925B2 (ja) * 2013-01-24 2014-10-22 東洋ガラス株式会社 ガラスびんの印刷検査装置
FR3010182A1 (fr) * 2013-08-30 2015-03-06 Msc & Sgcc Methode et dispositif de determination de la position et de l'orientation d'une surface speculaire formant un dioptre
EP2851677B1 (de) * 2013-09-23 2020-02-05 Gerresheimer Bünde GmbH Mehrzeilen-Scantechnik
FR3016699B1 (fr) * 2014-01-22 2016-02-12 Msc & Sgcc Procede et dispositif pour la detection notamment de defauts refractants
JP6277931B2 (ja) * 2014-10-01 2018-02-14 信越半導体株式会社 貼り合わせ不良部の検出方法及び検査システム
CN104964650A (zh) * 2015-06-26 2015-10-07 南开大学 一种测量透明球形空腔容器厚度的方法
JP2017110970A (ja) * 2015-12-15 2017-06-22 株式会社ミツトヨ 光学式外形寸法測定方法および測定装置
JP6656905B2 (ja) * 2015-12-15 2020-03-04 株式会社ミツトヨ 透明管の内径測定方法
ITUA20162898A1 (it) * 2016-04-26 2017-10-26 Sacmi Macchina etichettatrice di contenitori per liquidi con dispositivo di ispezione ottica
CN110998298B (zh) * 2017-08-24 2023-01-06 日本电气硝子株式会社 板状玻璃的制造方法
DE102017120612A1 (de) * 2017-09-07 2019-03-07 Krones Ag Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Umformungsvorgangs von Kunststoffvorformlingen zu Kunststoffbehältnissen und insbesondere Kunststoffflaschen
FR3073044B1 (fr) 2017-10-27 2020-10-02 Tiama Procede et dispositif de mesure de dimensions par rayons x, sur des recipients en verre vide defilant en ligne
CN108444391B (zh) * 2018-03-16 2024-05-03 浙江大学 多相透明搅拌釜中固相悬浮高度的测量装置及测量方法
CN108776808A (zh) * 2018-05-25 2018-11-09 北京百度网讯科技有限公司 一种用于检测钢包溶蚀缺陷的方法和装置
US10871400B2 (en) 2018-08-27 2020-12-22 Corning Incorporated Retardation profile for stress characterization of tubing
CN111213029A (zh) * 2018-09-27 2020-05-29 合刃科技（深圳）有限公司 检测透明/半透明材料缺陷的方法、装置及系统
FR3095506B1 (fr) 2019-04-29 2021-05-07 Tiama Ligne de contrôle de récipients vides en verre
TWI811430B (zh) * 2019-08-21 2023-08-11 義大利商馬普斯公司 用於查驗由透明材料所製成的物件之方法及對應之查驗系統
DE102019132655A1 (de) * 2019-12-02 2021-06-02 Krones Aktiengesellschaft Verfahren zum Überprüfen einer Wandstärke eines Behälters aus einem zumindest teilweise transparenten Material
CN113510109B (zh) * 2021-04-23 2022-10-14 安徽捷泰智能科技有限公司 一种用于色选机的通道表面修复装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3984498A (en) * 1972-04-28 1976-10-05 American Can Company Blown thermoplastic bottle and method for making same
US3807870A (en) * 1972-05-22 1974-04-30 G Kalman Apparatus for measuring the distance between surfaces of transparent material
AR207635A1 (es) * 1973-06-27 1976-10-22 Connor B O Aparato para senalar la presencia de materia extrana y/o grietas en envases translucidos
US3994599A (en) * 1974-01-23 1976-11-30 Owens-Illinois, Inc. Method and apparatus for measuring wall thickness and concentricity of tubular glass articles
US4160385A (en) * 1977-06-30 1979-07-10 E. I. Dupont De Nemours And Co. Pipe quality monitoring mechanism
US4337025A (en) * 1980-08-25 1982-06-29 Automatic Liquid Packaging, Inc. Apparatus for molding a container with offset parting line
GB8611728D0 (en) * 1986-05-14 1986-06-25 Tole W R Determining thickness of glass plates & tubes
US4711035A (en) 1986-08-04 1987-12-08 Gerber Scientific Products, Inc. Method and apparatus for making a pattern for a lens opening in an eyeglass frame
IE862086L (en) * 1986-08-05 1988-02-05 Bramleigh Ass Ltd Glass inspection
EP0320139A3 (en) * 1987-12-08 1990-08-08 Emhart Industries, Inc. Optical measurement of wall thickness of transparent articles
US4859861A (en) * 1988-05-16 1989-08-22 Becton, Dickinson And Company Measuring curvature of transparent or translucent material
US4888824A (en) * 1988-10-05 1989-12-19 Emhart Industries Inc. Glass container wall thickness inspecting machine
FR2651312B1 (fr) * 1989-08-25 1992-01-17 France Etat Procede et dispositif de caracterisation geometrique de tubes transparents.
TW257898B (ru) * 1991-04-11 1995-09-21 Sumitomo Electric Industries
US5291271A (en) * 1992-08-19 1994-03-01 Owens-Brockway Glass Container Inc. Measurement of transparent container wall thickness
JPH06201336A (ja) * 1992-12-28 1994-07-19 Kirin Techno Syst:Kk ガラス容器の肉厚検査方法及び装置
FR2716531B1 (fr) * 1994-02-18 1996-05-03 Saint Gobain Cinematique Contr Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.
FR2762083B1 (fr) * 1997-04-11 1999-07-02 Verreries Souchon Neuvesel Procede optique de mesure de l'epaisseur de la paroi et/ou de l'ovalisation d'un recipient et dispositif en faisant application
US6285451B1 (en) * 1999-04-30 2001-09-04 John M. Herron Noncontacting optical method for determining thickness and related apparatus
FR2798995B1 (fr) * 1999-09-27 2002-04-12 Bsn Installation pour determiner les caracteristiques de transmission lumineuse du materiau constitutif d'un recipient
US6806459B1 (en) * 2001-08-30 2004-10-19 Owens-Brockway Glass Container Inc. Measurement of transparent container sidewall thickness
US6975410B1 (en) * 2002-04-15 2005-12-13 Sturgill Dennis T Measuring device
US20060288756A1 (en) * 2003-02-21 2006-12-28 De Meurechy Guido D K Method and apparatus for scanning corrosion and surface defects
US7060999B2 (en) * 2004-07-09 2006-06-13 Owens-Brockway Glass Container Inc. Apparatus and method for inspecting ribbed containers
DE102005044206B4 (de) * 2005-09-15 2014-05-28 Krones Aktiengesellschaft Verfahren zur Qualitätskontrolle von Kunststoffbehältern
JP4690183B2 (ja) * 2005-12-01 2011-06-01 国立大学法人福井大学 肉厚測定装置及び肉厚測定方法
DE602005016285D1 (de) * 2005-12-08 2009-10-08 Dennis Theodore Sturgill Methode zur Dickenmessung transparenter Objekte
US7385174B2 (en) * 2006-06-26 2008-06-10 Owens-Brockway Glass Container Inc. Apparatus and method for measuring sidewall thickness of non-round transparent containers
JP5271908B2 (ja) * 2006-09-01 2013-08-21 エイジーアール インターナショナル，インコーポレイテッド 検査システム、ブロー形成システム、プラスチック容器を検査する方法、及び、プラスチック容器を製造する方法
DE102008018844A1 (de) * 2008-04-15 2009-10-29 VMA Gesellschaft für visuelle Meßtechnik und Automatisierung mbH Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung einer Wanddickeverteilung
CN101762238A (zh) * 2010-01-25 2010-06-30 长春理工大学 透明材料的厚度检测方法和装置

Also Published As

Publication number Publication date
RU2601256C2 (ru) 2016-10-27
PL2676127T3 (pl) 2015-04-30
JP2014506995A (ja) 2014-03-20
EP2676127A1 (fr) 2013-12-25
US20140029019A1 (en) 2014-01-30
JP5968919B2 (ja) 2016-08-10
ES2531861T3 (es) 2015-03-20
BR112013020880A2 (pt) 2016-09-27
US9244020B2 (en) 2016-01-26
CN103477212A (zh) 2013-12-25
MX2013009535A (es) 2013-10-03
FR2971847B1 (fr) 2013-07-19
FR2971847A1 (fr) 2012-08-24
CN103477212B (zh) 2016-06-22
EP2676127B1 (fr) 2014-12-03
WO2012110749A1 (fr) 2012-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013142440A (ru) Способ и устройство для обнаружения дефектов в распределении материала прозрачного контейнера
US5930383A (en) Depth sensing camera systems and methods
US10184900B2 (en) Method, device and inspection line for visualizing the flatness of a surface of a container ring
US20100060904A1 (en) Hand-held surface profiler
US10060858B2 (en) Device and method for measuring distortion defects in a manufactured float glass strip
CN108700650B (zh) 用于校准光传播时间摄像机的装置和方法
CN111556962B (zh) 容器环状表面的三维几何形状的确定方法、装置和检查线
US9658057B2 (en) Facility for measuring the thickness of the wall of containers
US8670120B2 (en) Device for analyzing a polyphase mixture via a light beam backscattered by said mixture
CN102288392A (zh) 一种基于二维朗奇光栅的自由曲面眼镜片光焦度测量装置
EP3537214A1 (en) Image inspection device
JP4864734B2 (ja) 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置
CN102003950A (zh) 一种测量光波阵列面或光学反射面表面平坦度的装置及其测量方法
CN105526993A (zh) 机器视觉料位计及其测量料位的方法
CN202599425U (zh) 一种多波段成像遥感器标校装置
CN102809351B (zh) 透明和半透明玻璃瓶壁厚检测装置及方法
KR101030451B1 (ko) 원통형 이차 전지 튜브 및 와셔 검사 장치
CN209373107U (zh) 激光雷达光学装置及激光雷达系统
US10900776B2 (en) Sensor device for distance offset measurements
CN105547154B (zh) 一种无透镜宽束平行光发射接收系统
RU2604109C2 (ru) Способ обнаружения поверхностных дефектов цилиндрических объектов
JP2005091060A (ja) ガラス瓶検査装置
JP2012122877A (ja) 液中異物検査方法
KR20240067222A (ko) 시트 형상물의 요철 측정 장치, 시트 형상물의 요철 측정 방법
JP6414842B2 (ja) 検査方法及び検査装置