RU2011148896A - Регулирование краевого излучения в матрице сид, отделенной от блока - Google Patents

Регулирование краевого излучения в матрице сид, отделенной от блока Download PDF

Info

Publication number
RU2011148896A
RU2011148896A RU2011148896/28A RU2011148896A RU2011148896A RU 2011148896 A RU2011148896 A RU 2011148896A RU 2011148896/28 A RU2011148896/28 A RU 2011148896/28A RU 2011148896 A RU2011148896 A RU 2011148896A RU 2011148896 A RU2011148896 A RU 2011148896A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
led
reflective coating
led arrays
matrices
Prior art date
Application number
RU2011148896/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2524048C2 (ru
Inventor
Джеймс Г. НЕФФ
Серж Й. БИРХЭЙЗЕН
Джон И. ЭПЛЕР
Original Assignee
ФИЛИПС ЛЮМИЛЕДС ЛАЙТИНГ КОМПАНИ, ЭлЭлСи
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US12/433,972 external-priority patent/US20100279437A1/en
Application filed by ФИЛИПС ЛЮМИЛЕДС ЛАЙТИНГ КОМПАНИ, ЭлЭлСи, Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical ФИЛИПС ЛЮМИЛЕДС ЛАЙТИНГ КОМПАНИ, ЭлЭлСи
Publication of RU2011148896A publication Critical patent/RU2011148896A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2524048C2 publication Critical patent/RU2524048C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0095Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • H01L33/46Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0093Wafer bonding; Removal of the growth substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

1. Способ производства структур светоизлучающих диодов (СИД) на одной пластине, включающий в себя:формирование пластины устройства с матрицами СИД;разъединение матриц СИД на пластине устройства;разделение матриц СИД с целью создания промежутков между матрицами СИД;нанесение по существу непрерывного отражающего покрытия на поверхность матриц СИД и в промежутках между матрицами СИД;удаление первых частей отражающего покрытия с поверхности матриц СИД; иразлом или отделение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД,при этом вторые части отражающего покрытия остаются на боковых сторонах матриц СИД, чтобы регулировать краевое излучение.2. Способ по п.1, в котором отражающее покрытие является полимером или смолой с отражающими частицами.3. Способ по п.2, в котором отражающее покрытие является силиконом, эпоксидной смолой или акриловым материалом, а отражающие частицы являются оксидом титана, оксидом цинка, двуокисью кремния, окисью алюминия или двуокисью циркония.4. Способ по п.2, в котором нанесение отражающего слоя в промежутки между матрицами СИД включает в себя нанесение отражающего покрытия с помощью золь-гель процесса, процесса втирания, процесса центрифугирования или процесса формования.5. Способ производства структур светоизлучающих диодов (СИД) на одной пластине, включающий в себя:формирование пластины устройства с матрицами СИД;разъединение матриц СИД на пластине устройства;разделение матриц СИД с целью создания промежутков между матрицами СИД;нанесение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД; иразлом или отделение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИ

Claims (27)

1. Способ производства структур светоизлучающих диодов (СИД) на одной пластине, включающий в себя:
формирование пластины устройства с матрицами СИД;
разъединение матриц СИД на пластине устройства;
разделение матриц СИД с целью создания промежутков между матрицами СИД;
нанесение по существу непрерывного отражающего покрытия на поверхность матриц СИД и в промежутках между матрицами СИД;
удаление первых частей отражающего покрытия с поверхности матриц СИД; и
разлом или отделение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД,
при этом вторые части отражающего покрытия остаются на боковых сторонах матриц СИД, чтобы регулировать краевое излучение.
2. Способ по п.1, в котором отражающее покрытие является полимером или смолой с отражающими частицами.
3. Способ по п.2, в котором отражающее покрытие является силиконом, эпоксидной смолой или акриловым материалом, а отражающие частицы являются оксидом титана, оксидом цинка, двуокисью кремния, окисью алюминия или двуокисью циркония.
4. Способ по п.2, в котором нанесение отражающего слоя в промежутки между матрицами СИД включает в себя нанесение отражающего покрытия с помощью золь-гель процесса, процесса втирания, процесса центрифугирования или процесса формования.
5. Способ производства структур светоизлучающих диодов (СИД) на одной пластине, включающий в себя:
формирование пластины устройства с матрицами СИД;
разъединение матриц СИД на пластине устройства;
разделение матриц СИД с целью создания промежутков между матрицами СИД;
нанесение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД; и
разлом или отделение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД,
где части отражающего покрытия остаются на боковых сторонах матриц СИД, чтобы регулировать краевое излучение, и
отражающее покрытие является тонкой металлической пленкой.
6. Способ по п.5, в котором отражающим покрытием является алюминий, серебро, хром, золото, никель, ванадий, платина, палладий или их сочетание.
7. Способ по п.5, в котором применение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД включает в себя нанесение отражающего покрытия с помощью осаждения из пара или напыления.
8. Способ по п.1, дополнительно включающий в себя:
перед разъединением матриц СИД на пластине устройства установку пластины устройства с матрицами СИД на растягивающуюся пленку;
при этом разделение матриц СИД включает в себя перенос матриц СИД с растягивающейся пленки на пленку для переноса с целью создания промежутков между матрицами СИД.
9. Способ по п.1, дополнительно включающий в себя:
перед разъединением матриц СИД на пластине устройства установку пластины устройства с матрицами СИД на растягивающуюся пленку;
при этом разделение матриц СИД включает в себя растяжение растягивающейся пленки для разделения в боковом направлении матриц СИД до нанесения отражающего покрытия на матрицы СИД и в промежутки между матрицами СИД.
10. Способ по п.9, в котором разлом и разделение отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД включает в себя:
ослабление или разлом отражающего покрытия в промежутках между матрицами СИД; и
повторное растяжение растягивающейся пленки, чтобы сильнее разделить матрицы СИД.
11. Способ по п.9, дополнительно включающий в себя:
удаление любого отражающего покрытия с верхней части матриц СИД.
12. Способ по п.11, в котором удаление отражающего покрытия с верхней части матриц СИД включает в себя процесс отделения, травления, лазерной абляции или пескоструйного травления.
13. Способ по п.11, дополнительно включающий в себя:
установку матриц СИД на другую растягивающуюся пленку другой стороной матриц СИД; и
удаление растягивающейся пленки с матриц СИД.
14. Способ по п.13, дополнительно включающий в себя:
тестирование матриц СИД после установки матриц СИД на другую растягивающуюся пленку с другой стороны матриц СИД.
15. Способ по п.1, в котором указанное формирование пластины устройства с матрицами СИД включает в себя:
формирование СИД устройств на пластине для выращивания для формирования пластины устройства, причем СИД устройства включают в себя слой n-типа над пластиной для выращивания, светоизлучающий слой над слоем n-типа и слой p-типа над светоизлучающим слоем;
соединение пластины для переноса с p-стороной пластины устройства, причем p-стороной пластины устройства является та сторона, которая ближе к слою p-типа, чем к слою n-типа;
удаление пластины для выращивания с n-стороны пластины устройства, причем n-стороной пластины устройства является та сторона, которая ближе к слою n-типа, чем к слою p-типа;
соединение пропускающей пластины с n-стороной пластины устройства; и
удаление пластины для переноса с p-стороны пластины устройства.
16. Способ по п.15, в котором:
соединение пластины для перемещения включает в себя использование связывающего материала, который разъединяет при воздействии теплом, раствором или светом, для соединения пластины для переноса с p-стороной пластины устройства; и
удаление пластины для переноса включает в себя применение тепла, раствора или света, чтобы отделить пластину для переноса от пластины устройства.
17. Способ по п.15, в котором удаление пластины для выращивания включает в себя использование лазерного отделения для отделения пластины для выращивания от пластины устройства.
18. Способ по п.15, дополнительно включающий в себя процесс, делающий слой n-типа шероховатым до соединения пропускающего слоя с n-стороной пластины устройства.
19. Способ по п.15, в котором соединение пропускающей пластины с n-стороной пластины устройства включает в себя нанесение силикона или эпоксидной смолы на n-сторону пластины устройства, чтобы соединить пропускающую пластину с n-стороной пластины устройства.
20. Способ по п.15, в котором соединение пропускающей пластины с n-стороной пластины устройства включает применение прямого молекулярного, соединения плавлением или анодного соединения.
21. Способ по п.20, дополнительно включающий в себя формирование оксидного или стеклянного слоя на n-стороне пластины устройства до соединения пропускающей пластины с n-стороной пластины устройства.
22. Способ по п.15, в котором СИД устройства дополнительно включают в себя контактные площадки над слоем p-типа, причем каждая контактная площадка электрически соединена со слоем n-типа или слоем p-типа.
23. Способ по п.1, включающий в себя нанесение жертвенного слоя на первую поверхность, чтобы облегчить удаление отражающего покрытия.
24. Способ по п.23, в котором жертвенный слой наносится до разделения матриц СИД.
25. Способ по п.5, включающий в себя удаление отражающего покрытия с поверхностей матриц СИД.
26. Способ по п.25, включающий в себя нанесение жертвенного слоя на поверхности матриц СИД, чтобы облегчить удаление отражающего покрытия.
27. Способ по п.26, в котором жертвенный слой наносится до разделения матриц СИД.
RU2011148896/28A 2009-05-01 2010-04-06 Регулирование краевого излучения в матрице сид, отделенной от блока RU2524048C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/433,972 US20100279437A1 (en) 2009-05-01 2009-05-01 Controlling edge emission in package-free led die
US12/433,972 2009-05-01
US12/577,623 2009-10-12
US12/577,623 US8236582B2 (en) 2008-07-24 2009-10-12 Controlling edge emission in package-free LED die
PCT/IB2010/051489 WO2010125482A1 (en) 2009-05-01 2010-04-06 Controlling edge emission in package-free led die

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011148896A true RU2011148896A (ru) 2013-06-10
RU2524048C2 RU2524048C2 (ru) 2014-07-27

Family

ID=42309710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011148896/28A RU2524048C2 (ru) 2009-05-01 2010-04-06 Регулирование краевого излучения в матрице сид, отделенной от блока

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8236582B2 (ru)
EP (1) EP2425462B1 (ru)
JP (1) JP5647229B2 (ru)
KR (1) KR101663340B1 (ru)
CN (1) CN102439739B (ru)
RU (1) RU2524048C2 (ru)
TW (1) TWI528593B (ru)
WO (1) WO2010125482A1 (ru)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9461201B2 (en) 2007-11-14 2016-10-04 Cree, Inc. Light emitting diode dielectric mirror
US9362459B2 (en) 2009-09-02 2016-06-07 United States Department Of Energy High reflectivity mirrors and method for making same
US9435493B2 (en) 2009-10-27 2016-09-06 Cree, Inc. Hybrid reflector system for lighting device
US9105824B2 (en) * 2010-04-09 2015-08-11 Cree, Inc. High reflective board or substrate for LEDs
US9012938B2 (en) 2010-04-09 2015-04-21 Cree, Inc. High reflective substrate of light emitting devices with improved light output
US10274183B2 (en) * 2010-11-15 2019-04-30 Cree, Inc. Lighting fixture
US8227271B1 (en) * 2011-01-27 2012-07-24 Himax Technologies Limited Packaging method of wafer level chips
US8436386B2 (en) 2011-06-03 2013-05-07 Micron Technology, Inc. Solid state lighting devices having side reflectivity and associated methods of manufacture
US10243121B2 (en) 2011-06-24 2019-03-26 Cree, Inc. High voltage monolithic LED chip with improved reliability
US9728676B2 (en) 2011-06-24 2017-08-08 Cree, Inc. High voltage monolithic LED chip
KR102082499B1 (ko) * 2011-08-26 2020-02-27 루미리즈 홀딩 비.브이. 반도체 구조를 프로세싱하는 방법
CN111554781B (zh) * 2012-03-19 2024-04-12 亮锐控股有限公司 磷光体施加前后发光器件的单个化
US8748202B2 (en) * 2012-09-14 2014-06-10 Bridgelux, Inc. Substrate free LED package
US9543478B2 (en) 2012-11-07 2017-01-10 Koninklijke Philips N.V. Light emitting device including a filter and a protective layer
JP6680670B2 (ja) * 2013-04-11 2020-04-15 ルミレッズ ホールディング ベーフェー トップエミッション型半導体発光デバイス
DE102013112886A1 (de) * 2013-11-21 2015-05-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Halbleiterbauelementen und optoelektronisches Halbleiterbauelement
CN113658943A (zh) * 2013-12-13 2021-11-16 晶元光电股份有限公司 发光装置及其制作方法
KR102282141B1 (ko) 2014-09-02 2021-07-28 삼성전자주식회사 반도체 발광소자
TWI546934B (zh) * 2014-10-20 2016-08-21 Playnitride Inc Led陣列擴張方法及led陣列單元
US10658546B2 (en) 2015-01-21 2020-05-19 Cree, Inc. High efficiency LEDs and methods of manufacturing
WO2017062119A1 (en) * 2015-10-07 2017-04-13 Koninklijke Philips N.V. FLIP-CHIP SMT LEDs WITH VARIABLE NUMBER OF EMITTING SURFACES
JP6974324B2 (ja) * 2015-12-29 2021-12-01 ルミレッズ ホールディング ベーフェー 側面反射器と蛍光体とを備えるフリップチップled
CN107464859A (zh) * 2016-06-03 2017-12-12 光宝光电(常州)有限公司 发光二极管结构、组件及其制造方法
CN108336075B (zh) * 2017-01-20 2020-03-27 光宝光电(常州)有限公司 发光二极管封装结构、发光二极管封装模块及其成形方法
FR3087936B1 (fr) * 2018-10-24 2022-07-15 Aledia Dispositif electronique
US20220093579A1 (en) * 2019-01-28 2022-03-24 Sakai Display Products Corporation Micro led device and method for manufacturing same

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2950106B2 (ja) * 1993-07-14 1999-09-20 松下電器産業株式会社 光素子実装体の製造方法
JP2001345484A (ja) 2000-06-01 2001-12-14 Seiwa Electric Mfg Co Ltd 発光ダイオードチップ及び発光ダイオードランプ
US20020017652A1 (en) * 2000-08-08 2002-02-14 Stefan Illek Semiconductor chip for optoelectronics
JP4639520B2 (ja) * 2001-04-27 2011-02-23 パナソニック株式会社 窒化物半導体チップの製造方法
RU2207663C2 (ru) * 2001-07-17 2003-06-27 Ооо Нпц Оэп "Оптэл" Светодиод
US7915085B2 (en) 2003-09-18 2011-03-29 Cree, Inc. Molded chip fabrication method
JP4357311B2 (ja) * 2004-02-04 2009-11-04 シチズン電子株式会社 発光ダイオードチップ
JP4386789B2 (ja) * 2004-05-12 2009-12-16 ローム株式会社 発光ダイオード素子の製造方法
US7361938B2 (en) 2004-06-03 2008-04-22 Philips Lumileds Lighting Company Llc Luminescent ceramic for a light emitting device
JP4667803B2 (ja) * 2004-09-14 2011-04-13 日亜化学工業株式会社 発光装置
DE102004060358A1 (de) * 2004-09-30 2006-04-13 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen von Lumineszenzdiodenchips und Lumineszenzdiodenchip
US7256483B2 (en) 2004-10-28 2007-08-14 Philips Lumileds Lighting Company, Llc Package-integrated thin film LED
JP4901117B2 (ja) 2005-03-04 2012-03-21 株式会社東芝 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法
KR100606551B1 (ko) 2005-07-05 2006-08-01 엘지전자 주식회사 발광소자 제조방법
KR100723247B1 (ko) * 2006-01-10 2007-05-29 삼성전기주식회사 칩코팅형 led 패키지 및 그 제조방법
CN100452327C (zh) * 2006-05-19 2009-01-14 友达光电股份有限公司 薄膜晶体管的制作方法
KR101271225B1 (ko) 2006-10-31 2013-06-03 삼성디스플레이 주식회사 발광 다이오드 칩 및 발광 다이오드 광원 모듈의 제조 방법
TW200830577A (en) * 2007-01-05 2008-07-16 Uni Light Touchtek Corp Method for manufacturing light emitting diode devices
EP2109651B1 (en) 2007-02-07 2011-09-28 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Illumination system comprising composite monolithic ceramic luminescence converter
JP5158472B2 (ja) 2007-05-24 2013-03-06 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012525697A (ja) 2012-10-22
EP2425462A1 (en) 2012-03-07
EP2425462B1 (en) 2013-07-03
US8236582B2 (en) 2012-08-07
RU2524048C2 (ru) 2014-07-27
CN102439739B (zh) 2015-11-25
WO2010125482A1 (en) 2010-11-04
US20100029023A1 (en) 2010-02-04
TW201044641A (en) 2010-12-16
CN102439739A (zh) 2012-05-02
TWI528593B (zh) 2016-04-01
KR101663340B1 (ko) 2016-10-06
JP5647229B2 (ja) 2014-12-24
KR20120014021A (ko) 2012-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011148896A (ru) Регулирование краевого излучения в матрице сид, отделенной от блока
US11791446B2 (en) Micro-device with strengthened connecting layers
JP6203759B2 (ja) Ledチップの製造方法
KR101931395B1 (ko) 가요성 발광 반도체 디바이스
JP2022126660A (ja) 発光素子の選択領域におけるエラストマー層の形成
TWI572068B (zh) 發光元件
US10600941B2 (en) Electronic device and method for fabricating the same
JP6668608B2 (ja) 発光装置の製造方法
EP2056363A3 (en) Light emitting diode package and method for fabricating same
JP2012529772A (ja) 基板から電気的に絶縁されたp型およびn型のコンタクトをもつ薄膜LED
WO2012106110A3 (en) Reflective mounting substrates for flip-chip mounted horizontal leds
JP2013077679A (ja) 半導体発光装置とその製造方法
KR101622399B1 (ko) Led 장치
US11011670B2 (en) Optical device layer transferring method
JP2016521013A5 (ru)
CN102709204B (zh) 一种led芯片的键合方法
JP4409560B2 (ja) 半導体素子のヒートシンクの製造方法
CN112820752B (zh) 微发光二极管阵列基板及微发光二极管的转移方法
CN104518067B (zh) 一种长寿命led发光模组及其加工方法
KR102650690B1 (ko) Uv led 패키지
TW200614524A (en) Method for manufacturing light emitting device
TWI440223B (zh) 背切式發光二極體封裝結構及其製造方法
JP2009182072A (ja) 半導体発光装置
TWI602326B (zh) 發光元件
TW201743479A (zh) 發光元件

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20190111

PD4A Correction of name of patent owner