RU2011115221A

RU2011115221A - Стойкое к царапанью и травлению стеклянное изделие с покрытием и способ его получения

Info

Publication number: RU2011115221A
Application number: RU2011115221/03A
Authority: RU
Inventors: Рудольф Хьюго ПЕТРМИЧЛ (US); Рудольф Хьюго ПЕТРМИЧЛ; Майкл П. Мл. РЕМИНГТОН (US); Майкл П. мл. РЕМИНГТОН; Хосе НУНЕС-РЕГЕЙРО (US); Хосе НУНЕС-РЕГЕЙРО; Макси ФРАТИ (US); Макси ФРАТИ; Грег ФИШЕР (US); Грег ФИШЕР
Original assignee: Гардиан Индастриз Корп. (Us); Гардиан Индастриз Корп.
Priority date: 2008-09-19
Filing date: 2009-07-24
Publication date: 2012-10-27
Also published as: MX2011001894A; EP2346792B1; WO2010033300A1; US8003164B2; US20100075157A1; BRPI0920887A2; RU2501749C2; EP2346792A1

Abstract

1. Способ получения изделия с покрытием, включающий: ! - получение стеклянной подложки; ! - формирование антитравящего слоя на стеклянной подложке, при этом антитравящий слой содержит, по меньшей мере, одно из таких соединений, как легированный фтором оксид олова и оксид церия; ! - ионно-лучевое осаждение стойкого к царапанью слоя, содержащего алмазоподобный углерод (DLC), на стеклянную подложку поверх антитравящего слоя; и ! - формирование затравочного слоя между антитравящим слоем и содержащим DLC слоем, при этом затравочный слой облегчает адгезию содержащего DLC слоя и/или защищает антитравящий слой от повреждения во время ионно-лучевого осаждения слоя, содержащего DLC. ! 2. Способ по п.1, в котором затравочный слой включает нитрид кремния. ! 3. Способ по п.1, в котором антитравящий слой осаждают посредством пламенного пиролиза, осаждения горючего пара, пламенного осаждения или пиролиза распыляемого вещества. ! 4. Способ по п.1, дополнительно включающий формирование базового слоя или нижнего слоя на стеклянной подложке, ! в котором антитравящий слой осаждают на базовый слой или нижний слой. ! 5. Способ по п.4, в котором базовый слой или нижний слой представляет собой подавляющую цвет слоистую структуру с низкой Е. ! 6. Способ по п.5, в котором подавляющая цвет слоистая структура с низкой Е включает слой оксида олова на стеклянной подложке и слой оксида кремния, нанесенный на оксид олова напротив стеклянной подложки. ! 7. Способ по п.1, в котором изделие с покрытием представляет собой окно. ! 8. Способ по п.1, в котором изделие с покрытием имеет светопроницаемость, составляющую, по меньшей мере, около 50%. ! 9. Способ по п.1, в котором ант�

Claims

1. Способ получения изделия с покрытием, включающий:

- получение стеклянной подложки;

- формирование антитравящего слоя на стеклянной подложке, при этом антитравящий слой содержит, по меньшей мере, одно из таких соединений, как легированный фтором оксид олова и оксид церия;

- ионно-лучевое осаждение стойкого к царапанью слоя, содержащего алмазоподобный углерод (DLC), на стеклянную подложку поверх антитравящего слоя; и

- формирование затравочного слоя между антитравящим слоем и содержащим DLC слоем, при этом затравочный слой облегчает адгезию содержащего DLC слоя и/или защищает антитравящий слой от повреждения во время ионно-лучевого осаждения слоя, содержащего DLC.

2. Способ по п.1, в котором затравочный слой включает нитрид кремния.

3. Способ по п.1, в котором антитравящий слой осаждают посредством пламенного пиролиза, осаждения горючего пара, пламенного осаждения или пиролиза распыляемого вещества.

4. Способ по п.1, дополнительно включающий формирование базового слоя или нижнего слоя на стеклянной подложке,

в котором антитравящий слой осаждают на базовый слой или нижний слой.

5. Способ по п.4, в котором базовый слой или нижний слой представляет собой подавляющую цвет слоистую структуру с низкой Е.

6. Способ по п.5, в котором подавляющая цвет слоистая структура с низкой Е включает слой оксида олова на стеклянной подложке и слой оксида кремния, нанесенный на оксид олова напротив стеклянной подложки.

7. Способ по п.1, в котором изделие с покрытием представляет собой окно.

8. Способ по п.1, в котором изделие с покрытием имеет светопроницаемость, составляющую, по меньшей мере, около 50%.

9. Способ по п.1, в котором антитравящий слой является стойким к воздействию травящих агентов, включающих фтор.

10. Способ по п.1, дополнительно включающий формирование базового слоя или нижнего слоя на стеклянной подложке,

в котором антитравящий слой осаждают на базовый слой или нижний слой, и

в котором затравочный слой включает нитрид кремния.

11. Способ по п.1, в котором антитравящий слой имеет толщину около 150-350 нм,

в котором затравочный слой имеет толщину около 1-5 нм, и

в котором включающий DLC слой имеет толщину около 3-5 нм.

12. Способ получения изделия с покрытием, включающий:

- подготовку стеклянной подложки;

- формирование базового слоя или нижнего слоя на стеклянной

подложке;

- формирование антитравящего слоя на базовом слое или нижнем слое, при этом антитравящий слой содержит, по меньшей мере, одно из таких соединений, как легированный фтором оксид олова и оксид церия;

- ионно-лучевое осаждение слоя, содержащего алмазоподобный углерод (DLC) на стеклянную подложку поверх антитравящего слоя; и

- формирование затравочного слоя и содержащего DLC слоя, при этом затравочный слой включает нитрид кремния.

13. Способ по п.12, дополнительно включающий облегчение ионно-лучевого осаждения слоя, содержащего DLC, осуществляемое посредством затравочного слоя.

14. Способ по п.12, в котором затравочный слой способствует защите антитравящего слоя от повреждения во время ионно-лучевого осаждения содержащего DLC слоя.

15. Способ по п.12, в котором базовый слой или нижний слой представляет собой слоистую структуру с низкой Е.

16. Способ по п.15, в котором слоистая структура с низкой Е включает слой оксида олова на стеклянной подложке и слой оксида кремния, нанесенный на оксид олова напротив стеклянной подложки.

17. Способ по п.12, в котором изделие с покрытием имеет светопроницаемость, составляющую, по меньшей мере, около 50%.

18. Способ по п.12, в котором антитравящий слой является устойчивым к воздействию включающих фтор травящих агентов.

19. Изделие с покрытием, включающее:

- стеклянную подложку;

- антитравящий слой, сформированный на стеклянной подложке, при этом антитравящий слой содержит легированный фтором оксид олова и/или оксид церия;

- нанесенный методом ионно-лучевого осаждения стойкого к царапанью слоя, содержащего алмазоподобный углерод (DLC) на стеклянную подложку поверх антитравящего слоя; и

- затравочный слой, расположенный между антитравящим слоем и содержащим DLC слоем, при этом затравочный слой взаимодействует с содержащим DLC слоем, облегчая адгезию содержащего DLC слоя и/или защищая антитравящий слой от повреждения во время ионно-лучевого осаждения содержащего DLC слоя.

20. Изделие с покрытием по п.19, в котором затравочный слой включает нитрид кремния.