RU2009146826A - Способ и устройство для производства плазменной отображающей панели - Google Patents

Способ и устройство для производства плазменной отображающей панели Download PDF

Info

Publication number
RU2009146826A
RU2009146826A RU2009146826/07A RU2009146826A RU2009146826A RU 2009146826 A RU2009146826 A RU 2009146826A RU 2009146826/07 A RU2009146826/07 A RU 2009146826/07A RU 2009146826 A RU2009146826 A RU 2009146826A RU 2009146826 A RU2009146826 A RU 2009146826A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
vacuum
display panel
plasma display
protective film
Prior art date
Application number
RU2009146826/07A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2441297C2 (ru
Inventor
Эйити ИИДЗИМА (JP)
Эйити ИИДЗИМА
Мунето ХАКОМОРИ (JP)
Мунето ХАКОМОРИ
Масато НАКАТУКА (JP)
Масато НАКАТУКА
Тосихару КУРАУТИ (JP)
Тосихару КУРАУТИ
Original Assignee
Улвак, Инк. (Jp)
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. (Jp), Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк. (Jp)
Publication of RU2009146826A publication Critical patent/RU2009146826A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2441297C2 publication Critical patent/RU2441297C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/39Degassing vessels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • H01J11/12AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J11/40Layers for protecting or enhancing the electron emission, e.g. MgO layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/54Means for exhausting the gas
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26Sealing together parts of vessels
    • H01J9/261Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/385Exhausting vessels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46Machines having sequentially arranged operating stations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/38Control of maintenance of pressure in the vessel
    • H01J2209/387Gas filling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/38Control of maintenance of pressure in the vessel
    • H01J2209/389Degassing
    • H01J2209/3896Degassing by heating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

1. Способ для производства плазменной отображающей панели, в котором газ электрического разряда вводится в пространство между первой подложкой и второй подложкой, которые уплотнены вместе, при этом способ содержит: !этап первой деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка для выдерживания плазменного электрического разряда, до 280°C или более в вакууме или в управляемой атмосфере; и ! этап уплотнения для уплотнения фронтальной подложки, в которой примесные газы высвобождаются из защитной пленки, и задней подложки, которые помещаются в контакт друг с другом. ! 2. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап формирования защитной пленки для формирования защитной пленки на первой подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от этапа формирования защитной пленки по этап первой деаэрации. ! 3. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка, до 350°C или более в вакууме до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме от этапа предварительной деаэрации по этап первой деаэрации. ! 4. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деа

Claims (17)

1. Способ для производства плазменной отображающей панели, в котором газ электрического разряда вводится в пространство между первой подложкой и второй подложкой, которые уплотнены вместе, при этом способ содержит:
этап первой деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка для выдерживания плазменного электрического разряда, до 280°C или более в вакууме или в управляемой атмосфере; и
этап уплотнения для уплотнения фронтальной подложки, в которой примесные газы высвобождаются из защитной пленки, и задней подложки, которые помещаются в контакт друг с другом.
2. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап формирования защитной пленки для формирования защитной пленки на первой подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от этапа формирования защитной пленки по этап первой деаэрации.
3. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка, до 350°C или более в вакууме до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме от этапа предварительной деаэрации по этап первой деаэрации.
4. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка, до 350°C или более в воздушной атмосфере или в управляемой атмосфере до этапа первой деаэрации.
5. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором этап уплотнения выполняется, пока плотность примесных газов в атмосфере удерживается на предварительно определенном значении или менее.
6. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором на этапе первой деаэрации, когда первая подложка и вторая подложка располагаются, обращаясь друг к другу, транспортирующий газ вводится между первой подложкой и второй подложкой так, что средний свободный путь примесного газа, высвобожденного из либо первой подложки, или второй подложки, является более коротким, чем промежуток между первой подложкой и второй подложкой.
7. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.6, в котором транспортирующий газ является таким же типом, газа как газ электрического разряда.
8. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап второй деаэрации для высвобождения примесных газов из люминофоров и уплотняющего материала посредством нагревания второй подложки, на которой люминофоры и уплотняющий материал помещаются, в вакууме или в управляемой атмосфере до этапа уплотнения.
9. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.8, при этом способ дополнительно содержит этап покрытия уплотняющего материала для применения уплотняющего материала на второй подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до этапа второй деаэрации, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от этапа покрытия уплотняющего материала по этап второй деаэрации.
10. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором на этапе уплотнения вводится газ электрического разряда, так что парциальное давление примесных газов - это 2,0 Па или менее.
11. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительного нагревания первой подложки и второй подложки в вакууме или в управляемой атмосфере до температуры, равной или большей, чем температура уплотнения на этапе уплотнения, до этапа уплотнения.
12. Устройство для производства плазменной отображающей панели, которое обеспечивается камерой уплотнения, в которой первая подложка и вторая подложка уплотняются вместе либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом камера уплотнения выполнена так, что перед тем как первая подложка и вторая подложка помещаются в контакт друг с другом, первая подложка, на которой формируется защитная пленка для выдерживания плазменного электрического разряда, нагревается до 280°C или более либо в вакууме, или в управляемой атмосфере.
13. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, при этом устройство дополнительно содержит камеру формирования пленки, в которой защитная пленка формируется на первой подложке, при этом первая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры формирования пленки по камеру уплотнения.
14. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, при этом устройство дополнительно содержит камеру нагревания, в которой вторая подложка, на которой помещаются люминофоры и уплотняющий материал, нагревается либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры нагревания по камеру уплотнения.
15. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.14, при этом устройство дополнительно содержит камеру покрытия, в которой покрывающий материал применяется на второй подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры покрытия по камеру нагревания и камеру уплотнения.
16. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, в котором камера уплотнения обеспечивается газовым анализатором, который выполнен с возможностью измерения плотности примесных газов в атмосфере.
17. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, в котором камера уплотнения выполнена так, что, перед тем как первая подложка и вторая подложка помещаются в контакт друг с другом, первая подложка и вторая подложка предварительно нагреваются либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до температуры, равной или большей чем температура уплотнения.
RU2009146826/07A 2007-06-15 2008-05-30 Способ и устройство для производства плазменной отображающей панели RU2441297C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-158704 2007-06-15
JP2007158704 2007-06-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009146826A true RU2009146826A (ru) 2011-06-27
RU2441297C2 RU2441297C2 (ru) 2012-01-27

Family

ID=40129538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009146826/07A RU2441297C2 (ru) 2007-06-15 2008-05-30 Способ и устройство для производства плазменной отображающей панели

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8460048B2 (ru)
EP (1) EP2157595A4 (ru)
JP (1) JPWO2008152928A1 (ru)
KR (1) KR101117813B1 (ru)
CN (1) CN101681759B (ru)
RU (1) RU2441297C2 (ru)
WO (1) WO2008152928A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010262814A (ja) * 2009-05-01 2010-11-18 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> プラズマディスプレイパネルの製造方法及び基板封着装置
JP2012094442A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Ulvac Japan Ltd プラズマディスプレイパネル製造装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2012209157A (ja) * 2011-03-30 2012-10-25 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
US11264571B2 (en) * 2018-11-09 2022-03-01 Samsung Display Co., Ltd. Bake system and method of fabricating display device using the same
CN115635756A (zh) * 2022-11-08 2023-01-24 深圳全息界科技有限公司 一种耐高温的热熔胶电子纸导光板组合加工制备工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4018490A (en) * 1975-07-07 1977-04-19 International Business Machines Corporation Gas discharge display panel fabrication
SU725117A1 (ru) 1978-04-03 1980-03-30 Ордена Трудового Красного Знамени Специальное Конструкторское Бюро Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср Способ обезгаживани арматуры высоковакуумных камер
JP2952894B2 (ja) * 1989-07-03 1999-09-27 富士通株式会社 真空装置およびプロセスチャンバ内のガス分析方法
KR100742855B1 (ko) * 1998-06-15 2007-07-25 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 플라즈마 디스플레이 패널
JP3830288B2 (ja) * 1998-11-19 2006-10-04 株式会社アルバック 真空装置、及びプラズマディスプレイ装置の製造方法
JP3547006B2 (ja) 1999-11-11 2004-07-28 松下電器産業株式会社 ガス放電パネルの製造方法およびその製造装置
WO2001035437A1 (fr) * 1999-11-11 2001-05-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Procede et dispositif de production de panneaux a decharge electrique gazeuse
JP2002033052A (ja) * 2000-03-31 2002-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネルの製造方法
CN100336157C (zh) * 2000-03-31 2007-09-05 松下电器产业株式会社 等离子体显示面板的制造方法
KR100404191B1 (ko) * 2001-04-04 2003-11-03 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널과 그 제조설비 및 제조공정
US6553630B1 (en) * 2001-04-11 2003-04-29 TRüTZSCHLER GMBH & CO. KG Device for setting the distance between adjoining fiber clamping and fiber transfer locations in a fiber processing system
JP4056357B2 (ja) * 2002-10-31 2008-03-05 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 ガス放電パネル及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20100167618A1 (en) 2010-07-01
KR101117813B1 (ko) 2012-03-09
WO2008152928A1 (ja) 2008-12-18
CN101681759B (zh) 2011-11-23
US8460048B2 (en) 2013-06-11
JPWO2008152928A1 (ja) 2010-08-26
RU2441297C2 (ru) 2012-01-27
EP2157595A4 (en) 2011-04-20
CN101681759A (zh) 2010-03-24
KR20090130322A (ko) 2009-12-22
EP2157595A1 (en) 2010-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009146826A (ru) Способ и устройство для производства плазменной отображающей панели
US9023163B2 (en) Method for laminating essentially plate-shaped work pieces
CN103872264B (zh) 制作有机电致发光器件的可控制充气压力封装系统
WO2008146575A1 (ja) 化合物系薄膜及びその形成方法、並びにその薄膜を用いた電子装置
KR20010089343A (ko) 유리 챔버의 진공배출 방법 및 장치
EP1223599A3 (en) Method and apparatus for producing a plasma display panel
JP2010264511A (ja) 板状物品を積層するためのプレス機
CN100561639C (zh) 一种冷阴极平面光源的制造方法
CN104884256A (zh) 使用管状压力部件的用于太阳能组件的层压机
US7871303B2 (en) System for filling and venting of run-in gas into vacuum tubes
CN101320668A (zh) 老化歧管
CN101353223B (zh) 一种平板玻璃容器的封接排气方法
CN101599402A (zh) 等离子体显示面板及其封排方法
JP2009054523A (ja) 表示パネル及びその製造法
CA2404833A1 (en) Method for producing a discharge lamp
JP5154604B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
CN102176402A (zh) 一种玻璃封装结构及其制造方法
ES230307A1 (es) Un método de prensar un conjunto de vidrio laminar curvado
KR100603271B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 플라즈마 방전가스 주입방법
KR100468441B1 (ko) 유전체막 형성 방법
KR100846431B1 (ko) 진공챔버를 이용한 유리전광판 제조방법
JP2007156437A (ja) フィルム付着方法及び背面投射型テレビスクリーン
CN203295366U (zh) 一种高温密封真空玻璃
JP4929080B2 (ja) プラズマディスプレイパネルおよびその製造装置
JPH0746562B2 (ja) 表示管の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200531