SU725117A1 - Способ обезгаживани арматуры высоковакуумных камер - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике , в частности, к технологии получени  высокого и сверхвысокого вакуума.

Известен способ обезгаживани  камер электрофизических установок путем нагрева их деталей и узлов с помощью наружных нагревателей 1. Така  обработка проводитс  с целью удалени  газов, адсорбированных на поверхности и растворенных в глубине материала элементов камер. .

Этот снособ требует прогрева всей толщи материала обезгаживаемых деталей и узлов при обработке поверхностного сло .

Известен способ обезгаживани  вакуумных камер, включающий откачку и нагрев внутренних поверхностей камеры до температуры обезгаживани  2.

В этом способе обезгаживание производ т с помощью импульса сверхвысокочастотного электромагнитного пол В вакуумной камере.

При этом приповерхностный слой микронной толщины прогреваетс  до нескольких сот градусов, газ, наход щийс  на поверхности , выдел етс  в вакуум и откачиваетс  насосами. Таким образом, за несколько циклов происходит обезгаживание поверхности .

Основным недостатком известного способа  вл етс  ограниченность его применени .

Дело заключаетс  в том, что разогрев поверхности будет иметь место лищь в том случае, если обезгаживаема  камера представл ет из себ  резонансный контур дл  вводимого высокочастотного импульса э;1ектромагнитного пол . Кроме этого, электрофизические установки, как правило, имеют множество ответвлений, выступов, деталей и узлов, расположенных в камере, что приводит при использовании этого способа обезгаживани  к неравномерности температуры по поверхности камеры. Дл  камер сложной конфигурации этот способ обезгаживани  вообще не применим.

Целью изобретени   вл етс  равномерный прогрев и хорощее обезгаживание внутренних поверхностей камер.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что камеру заполн ют газом, который затем разогревают до температуры, обеспечивающей нагрев внутренних поверхностей камеры, достаточный дл  их обезгаживани , после чего производ т откачку, вместе с десорбированными с нагретых поверхностей газами, а также тем, что камеру заполн ют газом гелием до давлени  100-760 мм рт. ст.

Claims (2)

1. В качестве газа, иснользуемого дл  разогрева камеры, лучще всего использовать инертные газы, поскольку они химически не взаимодействуют с нагреваемым металлом, а из инертных газов, наиболее целесообразно использовать гелий поскольку его теплопроводность при давлени х 100 мм рт. ст. и более наибольша . Предлагаемый способ по сн етс  чертежом . Вакуумную камеру 1, внутреннюю поверхность которой 2 и арматуру 3, наход щуюс  в ней, требуетс  обезгазить, откачивают высоковакуумной системой откачки 4. Затем камеру отсекают от откачки клапаном 5 и через клапан 6 напускают инертный газ - гелий из баллона 7 до давлени  100-760 мм рт. ст. Включают нагреватель 8, расположенный в нижней части камеры, и нагревают напущенный газ до температуры 350-400°С. За счет теплопроводности напущенного газа, а также за счет конвективных потоков газ обмениваетс  энергией с внутренними поверхност ми и разогревает их. После достижени  температуры внутренних поверхностей 300-350°С напущенный газ откачивают и с разогретых поверхностей происходит выделение в вакуум ранее адсорбированных газов. В течение времени, пока температура разогретых поверхностей достаточна дл  (активной) десорбции, выдел ющийс  газ удал етс  высоковакуумной системой откачки. Таким образом происходит очистка поверхностей от ранее адсорбированных газов. Предлагаемый способ обезгаживани  позвол ет получить равномерный прогрев внутреннеи поверхности даже в случае наличи  «карманов и деталей сложной конфигурации . Применение предлагаемого способа позвол ет сократить врем  обезгаживани , поскольку отпадает необходимость в прогреве всей толщи конструкционных- материалов , из которых выполнена вакуумна  камера. Формула изобретени  1.Способ обезгаживани  арматуры высоковакуумных камер, включающий откачку и нагрев внутренних поверхностей камер до температуры обезгаживани , о т л и ч а ющ и и с   тем, что, с целью более равномерного прогрева и улучшени  обезгаживани , после откачки камеру заполн ют газом, который затем разогревают до температуры, обеспечивающей нагрев внутренних поверхностей камеры, достаточный дл  обезгаживани , после чего производ т откачку. 2.Способ по п. 1, отл и ч а ю щи и с  тем, что камеру заполн ют газом до давлени  100-760 мм рт. ст. 3.Способ по пп. 1 и 2, отличающийс  тем, что камеру заполн ют гелием. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 223934, кл. Н 01J 9/39, 1968.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 263752, кл. Н 01J 9/39, 1970 (прототип).

   / /