SU116310A1 - Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме - Google Patents
Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакуумеInfo
- Publication number
- SU116310A1 SU116310A1 SU593623A SU593623A SU116310A1 SU 116310 A1 SU116310 A1 SU 116310A1 SU 593623 A SU593623 A SU 593623A SU 593623 A SU593623 A SU 593623A SU 116310 A1 SU116310 A1 SU 116310A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- inductor
- vacuum
- walls
- way
- vacuum chamber
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Description
При высокочастотной плавке в высоком вакууме устранение пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры, вызываемых газоотделением расплава, св зано с р дом трудностей и осуществл лось неэкономично: например, путем тщательной изол ции витков индуктора на полное рабочее напр жение (когда тигель и индуктор помещались в вакуумной камере) или размещени тигл с соответствующей теплоизол цией внутри охлаждаемой кварцевой трубы, откачиваемой до высокого вакуума (когда индуктор помещалс снаружи).
В предлагаемом способе указанные недостатки устранены тем, что вакуумную камеру раздел ют перегородкой на зоны индуктора и тигл и производ т раздельную откачку газов и паров металла, выдел ющихс из тигл , и газов в зоне индуктора.
На чертеже изображена схема осуществлени описываемого способа.
Как видно из схемы, тигель / находитс в трубе 2 с глухим дном, переход щей в верхней части в перегородку, раздел ющую камеру 3 на две части.
Газы, выдел ющиес при нагреве щихты 4, откачиваютс высоковакуумным насосом через патрубок 5. Газы из зоны индуктора 6 и керамического экрана 7 с подставкой 5 откачиваютс через патрубок 9 другим высоковакуумным насосом. Дл обоих высоковакуумных насосов используетс один механический насос предварительного разрежени .
Труба 2 выполнена из провод щего материала с температурой плавлени выще температуры плавлени щихты; возможно применение трубы из графита. Кроме разделени вакуумной камеры на две части, труба с перегородкой служит дл экранировки газов и паров, выдел ющихс из тигл от воздействи высокочастотного электромагнитного пол индуктора.
По новому способу вакуумно-плотное разделение обеих частей камеры не требуетс ; газы, выдел ющиес из футеровки, не попадают
в область тигл ; давление в надтигельном пространстве может отличатьс от давлени в зоне индуктора; отсутствие органической изол ции индуктора позвол ет получить высокий вакуум.
Предмет изобретени
Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме, отличающийс тем, что указанную камеру раздел ют сплошной перегородкой на зоны индуктора и тигл и производ т раздельную откачку газа из этих зон.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU593623A SU116310A1 (ru) | 1958-02-28 | 1958-02-28 | Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU593623A SU116310A1 (ru) | 1958-02-28 | 1958-02-28 | Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU116310A1 true SU116310A1 (ru) | 1958-11-30 |
Family
ID=48388543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU593623A SU116310A1 (ru) | 1958-02-28 | 1958-02-28 | Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU116310A1 (ru) |
-
1958
- 1958-02-28 SU SU593623A patent/SU116310A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB772691A (en) | Improvements in or relating to the manufacture of silicon carbide crystals | |
| GB813834A (en) | Recovery of fluoride material from used aluminum reduction cell lining | |
| GB994911A (en) | Improvements in or relating to sputtering apparatus | |
| US3492969A (en) | Apparatus for indiffusing impurity in semiconductor members | |
| SU116310A1 (ru) | Способ устранени пробоев между индуктором и стенками вакуумной камеры при высокочастотной плавке в высоком вакууме | |
| GB840135A (en) | Improvements in or relating to furnaces for melting ultra-pure semi-conductor substances and processes for the manufacture of such furnaces | |
| US3525229A (en) | On-off thermal switch for a cryopump | |
| US2252052A (en) | Sublimating apparatus | |
| GB1316406A (en) | Method of producing homogeneous ingots of metallic alloy | |
| US2328479A (en) | Electric oven for high temperatures working under vacuum or under neutral gas | |
| US3119243A (en) | Vacuum device | |
| US2707719A (en) | Apparatus for the vacuum melting of high purity materials | |
| US2915384A (en) | Method of producing zirconium | |
| GB829777A (en) | Improvements in or relating to processes for refining liquid melts by degasification, and to apparatus for carrying such processes into effect | |
| US2789153A (en) | Furnace for producing single crystals for transistors | |
| GB804597A (en) | Method and apparatus for treating surfaces in the presence of a glow discharge | |
| US2583351A (en) | Manufacture of magnesium | |
| US2661386A (en) | Retort type sectional highfrequency furnace | |
| SU499690A1 (ru) | Вакуумна дистил ционна печь дл рафинировани металлов и сплавов | |
| US2465062A (en) | Method of introducing mercury into electric discharge lamps | |
| US2856269A (en) | Purifying induction lamp target | |
| US2456968A (en) | Process for outgassing photocells containing antimony | |
| RU2063596C1 (ru) | Вакуумная электропечь | |
| US3318688A (en) | Process of producing zirconium metal | |
| GB529544A (en) | Improvements in and relating to the thermal obtention of metals from metal compounds |