RU2006141387A - Органический электронный контур с функциональным промежуточным слоем и способ изготовления такого контура - Google Patents

Органический электронный контур с функциональным промежуточным слоем и способ изготовления такого контура Download PDF

Info

Publication number
RU2006141387A
RU2006141387A RU2006141387/09A RU2006141387A RU2006141387A RU 2006141387 A RU2006141387 A RU 2006141387A RU 2006141387/09 A RU2006141387/09 A RU 2006141387/09A RU 2006141387 A RU2006141387 A RU 2006141387A RU 2006141387 A RU2006141387 A RU 2006141387A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
intermediate layer
circuit
functional
electrodes
electrode
Prior art date
Application number
RU2006141387/09A
Other languages
English (en)
Inventor
Никлас ЭДВАРДССОН (SE)
Никлас ЭДВАРДССОН
Исак ЭНГКУИСТ (SE)
Исак ЭНГКУИСТ
Матс ЙОХАНССОН (SE)
Матс ЙОХАНССОН
Original Assignee
Тин Филм Электроникс Аса (No)
Тин Филм Электроникс Аса
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Тин Филм Электроникс Аса (No), Тин Филм Электроникс Аса filed Critical Тин Филм Электроникс Аса (No)
Publication of RU2006141387A publication Critical patent/RU2006141387A/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/22Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
    • G11C11/221Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements using ferroelectric capacitors
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/22Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/02Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L28/00Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L28/40Capacitors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B53/00Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Claims (20)

1. Органический электронный контур (С), содержащий органический электретный или ферроэлектрический материал (2), расположенный между первым электродом (1а) и вторым электродом (1b) с образованием в указанном материале ячейки с конденсатороподобной структурой, прямой или косвенный электрический доступ к которой возможен через электроды (1а, 1b), и, по меньшей мере, один неорганический функциональный промежуточный слой (3а, 3b), сформированный между, по меньшей мере, одним из электродов и органическим электретным или ферроэлектрическим материалом (2), отличающийся тем, что указанный, по меньшей мере, один функциональный промежуточный слой (3а, 3b) образован непроводящим керамическим материалом или оксидом металла, имеющим силу связи на моль, превышающую 100 кДж/моль и превышающую силу связи для оксидов титана.
2. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что сила связи на моль у материала промежуточного слоя превышает 200 кДж/моль.
3. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что сила связи на моль у материала промежуточного слоя превышает силу связи для связи углерод-фтор (C-F) в полимерной цепи на основе винилиденфторида.
4. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что органический электронный контур содержит первый функциональный промежуточный слой (3а), расположенный между первым электродом (1а) и органическим электретным или ферроэлектрическим материалом (2), и второй функциональный промежуточный слой (3b), расположенный между вторым электродом (1b) и органическим электретным или ферроэлектрическим материалом (2).
5. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что снабжен, по меньшей мере, одним дополнительным функциональным промежуточным слоем (4а, 4b) из другого функционального материала, расположенным между, по меньшей мере, одним из электродов (1а, 1b) и органическим электретным или ферроэлектрическим материалом (2).
6. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный промежуточный слой (3а, 3b) выполнен с возможностью участия в заданной химической реакции или в образовании связи с одной или более составляющих смежного с ним органического электретного или ферроэлектрического материала (2), или с одной или более реакционноспособных частиц, образовавшихся в указанном материале в процессе работы контура.
7. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный промежуточный слой (3а, 3b) представляет собой сплошной слой, расположенный между сплошным слоем органического электретного или ферроэлектрического материала (2) и первым или вторым электродом (1а, 1b).
8. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что функциональный материал промежуточного слоя является керамическим материалом.
9. Контур (С) по п.8, отличающийся тем, что функциональный материал промежуточного слоя является трехкомпонентной керамикой.
10. Контур (С) по п.8, отличающийся тем, что функциональный материал промежуточного слоя является двухкомпонентной или трехкомпонентной керамикой, содержащей металл с высокой степенью окисления.
11. Контур (С) по п.8, отличающийся тем, что функциональный материал промежуточного слоя является оксидом металла.
12. Контур (С) по п.11, отличающийся тем, что функциональный материал промежуточного слоя выбран из группы, состоящей из следующих материалов: оксид вольфрама, оксид тантала, оксид молибдена, оксид ванадия и оксид ниобия.
13. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что органический электретный или ферроэлектрический материал (2) состоит из несвязанных молекул, олигомеров, гомополимеров, сополимеров или их смесей или соединений.
14. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что органический электретный или ферроэлектрический материал (2) содержит фтор.
15. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что органический электретный или ферроэлектрический материал (2) содержит один или более компонентов, выбранных из поливинилиденфторида (ПВФ), поливинилидена с любым из его сополимеров, тройных полимеров на основе указанных сополимеров или сополимера винилиденфторида с трифторэтиленом, найлонов с нечетным номером марки, найлонов с нечетным номером марки с любыми из их сополимеров, цинополимеров и цинополимеров с любыми из их сополимеров.
16. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что материал электрода выбран из группы материалов, включающей алюминий, платину, золото, титан, медь, палладий, проводящие сплавы и композиты на их основе.
17. Контур (С) по п.1, отличающийся тем, что множество подобных контуров образует массив с матричной адресацией, причем ячейки запоминающих контуров (С) образуют пространственно разделенные участки сплошного тонкопленочного слоя органического электретного или ферроэлектрического материала (2), первый и второй электроды (1а, 1b) образуют части первого и второго электродных средств соответственно, каждое электродное средство содержит множество параллельных ленточных электродов (1а, 1b), электроды (1b) второго электродного средства ориентированы под углом, предпочтительно ортогонально, по отношению к электродам (1а) первого электродного средства и сплошной тонкопленочный слой органического электретного или ферроэлектрического материала (2) расположен между электродными средствами с образованием ячеек памяти запоминающих контуров (С) в сплошном тонкопленочном слое (2) в зонах скрещивания электродов (1а) первого электродного средства и электродов (1b) второго электродного средства, так что массив запоминающих контуров (С) формируется электродными средствами и сплошным слоем (2) запоминающего материала, а ячейки памяти образуют интегральное запоминающее устройство с пассивной матричной адресацией, в котором адресация ячеек памяти при выполнении операций записи и считывания осуществляется через электроды (1а, 1b), связанные с соответствующими драйверными, управляющими и детекторными контурами.
18. Способ изготовления органического электронного контура, содержащего органический электретный или ферроэлектрический материал (2), расположенный между первым электродом (1а) и вторым электродом (1b) с образованием в указанном материале ячейки с конденсатороподобной структурой, прямой или косвенный электрический доступ к которой возможен через электроды (1а, 1b), и, по меньшей мере, один неорганический функциональный промежуточный слой (3а, 3b), сформированный между, по меньшей мере, одним из электродов и органическим электретным или ферроэлектрическим материалом (2), при этом способ характеризуется тем, что указанный, по меньшей мере, один функциональный промежуточный слой формируют из непроводящего керамического материала или оксида металла, имеющего силу связи на моль, превышающую 100 кДж/моль и превышающую силу связи для оксидов титана, причем формирование указанного слоя осуществляют посредством нанесения молекул от источника материала функционального промежуточного слоя без диссоциации индивидуальных молекул, образующих функциональный промежуточный слой (3а, 3b).
19. Способ по п.18, отличающийся тем, что функциональный промежуточный слой (3а, 3b) наносят посредством одного из следующих процессов: распыление, испарение электронным пучком, термическое испарение, электроосаждение из раствора, золь-гельный процесс с окунанием, золь-гельный процесс с центрифугированием или золь-гельный процесс с распылением.
20. Способ по п.18, отличающийся тем, что в качестве функционального промежуточного слоя наносят испарением оксид вольфрама с использованием в качестве испаряемого вещества WO3.
RU2006141387/09A 2004-04-28 2005-04-22 Органический электронный контур с функциональным промежуточным слоем и способ изготовления такого контура RU2006141387A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20041733 2004-04-28
NO20041733A NO20041733L (no) 2004-04-28 2004-04-28 Organisk elektronisk krets med funksjonelt mellomsjikt og fremgangsmate til dens fremstilling.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2006141387A true RU2006141387A (ru) 2008-06-10

Family

ID=34880489

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006141387/09A RU2006141387A (ru) 2004-04-28 2005-04-22 Органический электронный контур с функциональным промежуточным слоем и способ изготовления такого контура

Country Status (10)

Country Link
US (1) US20050242343A1 (ru)
EP (1) EP1743342A1 (ru)
JP (1) JP2007535166A (ru)
KR (1) KR20070006930A (ru)
CN (1) CN1973332A (ru)
AU (1) AU2005239266A1 (ru)
CA (1) CA2563551A1 (ru)
NO (1) NO20041733L (ru)
RU (1) RU2006141387A (ru)
WO (1) WO2005106890A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO321280B1 (no) * 2004-07-22 2006-04-18 Thin Film Electronics Asa Organisk, elektronisk krets og fremgangsmate til dens fremstilling
US7691888B2 (en) * 2004-10-07 2010-04-06 Boehringer Ingelheim International Gmbh Thiazolyl-dihydro-indazole
NO322202B1 (no) * 2004-12-30 2006-08-28 Thin Film Electronics Asa Fremgangsmate i fremstillingen av en elektronisk innretning
GB2436893A (en) * 2006-03-31 2007-10-10 Seiko Epson Corp Inkjet printing of cross point passive matrix devices
DE102009032696A1 (de) * 2009-07-09 2011-01-13 Polyic Gmbh & Co. Kg Organisch elektronische Schaltung
KR101145332B1 (ko) * 2010-09-17 2012-05-14 에스케이하이닉스 주식회사 스위칭 장치 및 이를 구비한 메모리 장치
US9460770B1 (en) 2015-09-01 2016-10-04 Micron Technology, Inc. Methods of operating ferroelectric memory cells, and related ferroelectric memory cells
CN107204325B (zh) * 2017-05-25 2023-06-02 成都线易科技有限责任公司 电容器阵列及制造方法
CN111403417B (zh) * 2020-03-25 2023-06-16 无锡舜铭存储科技有限公司 一种存储器件的结构及其制造方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5254504A (en) * 1989-04-13 1993-10-19 Trustees Of The University Of Pennsylvania Method of manufacturing ferroelectric MOSFET sensors
US5142437A (en) * 1991-06-13 1992-08-25 Ramtron Corporation Conducting electrode layers for ferroelectric capacitors in integrated circuits and method
US5218512A (en) * 1991-08-16 1993-06-08 Rohm Co., Ltd. Ferroelectric device
EP0636271B1 (en) * 1992-04-13 1999-11-03 Sharp Kabushiki Kaisha Multilayer electrodes for ferroelectric devices
US5390142A (en) * 1992-05-26 1995-02-14 Kappa Numerics, Inc. Memory material and method for its manufacture
US5471364A (en) * 1993-03-31 1995-11-28 Texas Instruments Incorporated Electrode interface for high-dielectric-constant materials
JPH0793969A (ja) * 1993-09-22 1995-04-07 Olympus Optical Co Ltd 強誘電体容量素子
NO309500B1 (no) * 1997-08-15 2001-02-05 Thin Film Electronics Asa Ferroelektrisk databehandlingsinnretning, fremgangsmåter til dens fremstilling og utlesing, samt bruk av samme
US6284654B1 (en) * 1998-04-16 2001-09-04 Advanced Technology Materials, Inc. Chemical vapor deposition process for fabrication of hybrid electrodes
US6420740B1 (en) * 1999-05-24 2002-07-16 Sharp Laboratories Of America, Inc. Lead germanate ferroelectric structure with multi-layered electrode
US6341056B1 (en) * 2000-05-17 2002-01-22 Lsi Logic Corporation Capacitor with multiple-component dielectric and method of fabricating same
US6730575B2 (en) * 2001-08-30 2004-05-04 Micron Technology, Inc. Methods of forming perovskite-type material and capacitor dielectric having perovskite-type crystalline structure
US6878980B2 (en) * 2001-11-23 2005-04-12 Hans Gude Gudesen Ferroelectric or electret memory circuit
NO20015735D0 (no) * 2001-11-23 2001-11-23 Thin Film Electronics Asa Barrierelag
JP4218350B2 (ja) * 2002-02-01 2009-02-04 パナソニック株式会社 強誘電体薄膜素子およびその製造方法、これを用いた薄膜コンデンサ並びに圧電アクチュエータ
NO315399B1 (no) * 2002-03-01 2003-08-25 Thin Film Electronics Asa Minnecelle
NO322192B1 (no) * 2002-06-18 2006-08-28 Thin Film Electronics Asa Fremgangsmate til fremstilling av elektrodelag av ferroelektriske minneceller i en ferroelektrisk minneinnretning, samt ferroelektrisk minneinnretning
JP2004087829A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Shinko Electric Ind Co Ltd キャパシタ、回路基板、キャパシタの形成方法および回路基板の製造方法
DE10303316A1 (de) * 2003-01-28 2004-08-12 Forschungszentrum Jülich GmbH Schneller remanenter Speicher
WO2004068534A2 (de) * 2003-01-29 2004-08-12 Polyic Gmbh & Co. Kg Organisches speicherbauelement und ansteuerungsschaltung dazu
US7001821B2 (en) * 2003-11-10 2006-02-21 Texas Instruments Incorporated Method of forming and using a hardmask for forming ferroelectric capacitors in a semiconductor device
US7205595B2 (en) * 2004-03-31 2007-04-17 Intel Corporation Polymer memory device with electron traps
US20050230725A1 (en) * 2004-04-20 2005-10-20 Texas Instruments Incorporated Ferroelectric capacitor having an oxide electrode template and a method of manufacture therefor

Also Published As

Publication number Publication date
NO20041733L (no) 2005-10-31
WO2005106890A8 (en) 2006-01-19
JP2007535166A (ja) 2007-11-29
CA2563551A1 (en) 2005-11-10
AU2005239266A1 (en) 2005-11-10
WO2005106890A1 (en) 2005-11-10
CN1973332A (zh) 2007-05-30
US20050242343A1 (en) 2005-11-03
NO20041733D0 (no) 2004-04-28
EP1743342A1 (en) 2007-01-17
KR20070006930A (ko) 2007-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006141387A (ru) Органический электронный контур с функциональным промежуточным слоем и способ изготовления такого контура
Zhang et al. Humidity effect on resistive switching characteristics of the CH3NH3PbI3 memristor
US7026702B2 (en) Memory device
KR102519699B1 (ko) 메모리 장치 및 용량성 에너지 저장 장치
US7580276B2 (en) Nonvolatile memory element
US7482624B2 (en) Organic electronic circuit and method for making the same
JP2005520348A5 (ru)
CN1662994A (zh) 用于在铁电存储器件中制造铁电存储单元的方法,以及铁电存储器件
US20150053909A1 (en) Nonlinear memristors
Al-Haddad et al. Highly-ordered 3D vertical resistive switching memory arrays with ultralow power consumption and ultrahigh density
CN103050622A (zh) 一种基于AgInSbTe硫系化合物的忆阻器及其制备方法
JP2012525016A (ja) ヘテロ接合酸化物の不揮発性メモリデバイス
Dawson et al. Nature of Cu interstitials in Al2O3 and the implications for filament formation in conductive bridge random access memory devices
Ren et al. Self‐rectifying memristors for three‐dimensional in‐memory computing
US6380553B2 (en) Multilayer matrix-addressable logic device with a plurality of individually matrix-addressable and stacked thin films of an active material
JPH06325970A (ja) コンデンサ及びその製造方法
WO2017019068A1 (en) Non-volatile resistance memory devices including a volatile selector with copper and tantalum oxide
Brenna et al. Memristive anodic oxides: Production, properties and applications in neuromorphic computing
JP2019195022A (ja) 抵抗変化素子及びその製造方法、記憶装置
JP4883672B2 (ja) 強誘電体記憶素子及び強誘電体記憶装置
US11437570B2 (en) Resistive switching memory device based on multi-inputs
US7419579B2 (en) Method for manufacturing a ferroelectric film
US20090309090A1 (en) Nanostructures and a Method for the Manufacture of the Same
Lyapunov Study of resistive switching in GeSx/Ag system for neuromorphic computing applications
Valov et al. Rainer Waser–A Pioneer of Fundamentals of Resistive Switching Memories.