RU2005113246A - Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования - Google Patents

Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования Download PDF

Info

Publication number
RU2005113246A
RU2005113246A RU2005113246/12A RU2005113246A RU2005113246A RU 2005113246 A RU2005113246 A RU 2005113246A RU 2005113246/12 A RU2005113246/12 A RU 2005113246/12A RU 2005113246 A RU2005113246 A RU 2005113246A RU 2005113246 A RU2005113246 A RU 2005113246A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
carrier
substrate
coated
molecular weight
low molecular
Prior art date
Application number
RU2005113246/12A
Other languages
English (en)
Inventor
Айке БЕККЕР (DE)
Айке БЕККЕР
Дирк ХАЙТЕККЕР (DE)
Дирк ХАЙТЕККЕР
Дирк МЕТЦДОРФ (DE)
Дирк МЕТЦДОРФ
Ханс Херманн ЙОХАННЕС (DE)
Ханс Херманн ЙОХАННЕС
Томас ДОББЕРТИН (DE)
Томас ДОББЕРТИН
Даниэль ШНАЙДЕР (DE)
Даниэль Шнайдер
Вольфганг КОВАЛЬСКИ (DE)
Вольфганг КОВАЛЬСКИ
Original Assignee
Технише Универзитет Брауншвайг (De)
Технише Универзитет Брауншвайг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Технише Универзитет Брауншвайг (De), Технише Универзитет Брауншвайг filed Critical Технише Универзитет Брауншвайг (De)
Publication of RU2005113246A publication Critical patent/RU2005113246A/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/18—Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/30—Coordination compounds
    • H10K85/321—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3]
    • H10K85/324—Metal complexes comprising a group IIIA element, e.g. Tris (8-hydroxyquinoline) gallium [Gaq3] comprising aluminium, e.g. Alq3
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight

Claims (5)

1. Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования, при котором для изготовления узоров или картинок из органических электоролюминесцентных компонентов присутствующий на носителе низкомолекулярный излучающий материал благодаря сублимации наносят на места на подложке, которые соответствуют созданному узору или картине, при этом сначала носитель (1) из термостойкого материала ровно покрывают излучающим материалом, затем покрытый носитель (1) и подложку (3) располагают в вакуумной камере (4) напротив и близко друг к другу, причем покрытую сторону носителя (1) обращают к подложке (3), а после этого носитель (1) с непокрытой стороны локально и кратковременно нагревают в местах, соответствующих производимому на подложке узору или картинке, до достаточной для сублимации излучающего материала температуры, отличающийся тем, что в качестве излучающего материала используется низкомолекулярный излучающий материал, при этом носитель (1) покрыт по меньшей мере двумя следующими друг за другом слоями различных низкомолекулярных материалов, причем различные материалы слоев не смешаны, при этом в процессе сублимирования различные материалы образуют смешанный слой на подложке (3).
2. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве носителя (1) используют полиимидную фольгу.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для локального нагревания носителя (1) используют структурированный электрический нагревательный элемент.
4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для локального нагревания носителя (1) используют лазерное излучение или излучение лампы при соответствующей оптике.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве низкомолекулрных материалов используют материалы, которые улучшают инжекцию носителей заряда.
RU2005113246/12A 2002-10-04 2003-10-01 Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования RU2005113246A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10246425A DE10246425A1 (de) 2002-10-04 2002-10-04 Verfahren zur Mikrostrukturierung mittels ortsselektiver Sublimation
DE10246425.1 2002-10-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2005113246A true RU2005113246A (ru) 2005-10-10

Family

ID=32010244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005113246/12A RU2005113246A (ru) 2002-10-04 2003-10-01 Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования

Country Status (11)

Country Link
US (1) US20060127565A1 (ru)
EP (1) EP1545895B1 (ru)
JP (1) JP2006502543A (ru)
KR (1) KR20050083708A (ru)
CN (1) CN1703323A (ru)
AT (1) ATE322990T1 (ru)
AU (1) AU2003276013A1 (ru)
DE (2) DE10246425A1 (ru)
PL (1) PL374763A1 (ru)
RU (1) RU2005113246A (ru)
WO (1) WO2004033223A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100699993B1 (ko) * 2004-08-30 2007-03-26 삼성에스디아이 주식회사 레이저 열전사 방법
JP2008174783A (ja) * 2007-01-17 2008-07-31 Fuji Electric Holdings Co Ltd パターン状の蒸着膜の製造方法
TW201431155A (zh) * 2013-01-23 2014-08-01 Au Optronics Corp 形成圖案化結構層之方法
KR102065763B1 (ko) * 2013-03-27 2020-01-14 삼성디스플레이 주식회사 승화형 열전사 방법을 이용하는 유기 전계 발광 표시 장치의 유기 발광 패턴 형성 방법 및 유기 발광 패턴 형성 장치
CN105633302B (zh) * 2015-12-29 2017-08-04 昆山国显光电有限公司 一种图形化有机功能层的制备方法及应用
CN108944110B (zh) * 2018-07-05 2020-02-07 浙江大学 高速高分辨率的选择性转移印刷方法
CN112553930B (zh) * 2020-12-31 2023-04-07 濮阳圣恺环保新材料科技股份有限公司 一种利用可控温激光照射进行分散染料印花染色的工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5688551A (en) * 1995-11-13 1997-11-18 Eastman Kodak Company Method of forming an organic electroluminescent display panel
US5756240A (en) * 1997-01-24 1998-05-26 Eastman Kodak Company Method of making color filter arrays by transferring colorant material
US5904961A (en) * 1997-01-24 1999-05-18 Eastman Kodak Company Method of depositing organic layers in organic light emitting devices
US5937272A (en) * 1997-06-06 1999-08-10 Eastman Kodak Company Patterned organic layers in a full-color organic electroluminescent display array on a thin film transistor array substrate
JP2918037B1 (ja) * 1998-06-18 1999-07-12 日本電気株式会社 カラー有機ｅｌディスプレイとその製造方法
JP2000195665A (ja) * 1998-12-25 2000-07-14 Toyota Motor Corp 有機膜の形成方法
JP2000192231A (ja) * 1998-12-25 2000-07-11 Sanyo Electric Co Ltd 薄膜パタ―ン形成方法及び有機ｅｌディスプレイの製造方法
EP1144197B1 (en) * 1999-01-15 2003-06-11 3M Innovative Properties Company Thermal Transfer Method.
JP2001196166A (ja) * 2000-01-07 2001-07-19 Dainippon Printing Co Ltd エレクトロルミネッセント基板およびエレクトロルミネッセント素子の製造方法
US6855384B1 (en) * 2000-09-15 2005-02-15 3M Innovative Properties Company Selective thermal transfer of light emitting polymer blends
US6358664B1 (en) * 2000-09-15 2002-03-19 3M Innovative Properties Company Electronically active primer layers for thermal patterning of materials for electronic devices
JP2002222694A (ja) * 2001-01-25 2002-08-09 Sharp Corp レーザー加工装置及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス表示パネル

Also Published As

Publication number Publication date
DE10246425A1 (de) 2004-04-15
EP1545895B1 (de) 2006-04-12
JP2006502543A (ja) 2006-01-19
ATE322990T1 (de) 2006-04-15
CN1703323A (zh) 2005-11-30
EP1545895A1 (de) 2005-06-29
WO2004033223A1 (de) 2004-04-22
AU2003276013A1 (en) 2004-05-04
US20060127565A1 (en) 2006-06-15
DE50302969D1 (de) 2006-05-24
PL374763A1 (en) 2005-10-31
KR20050083708A (ko) 2005-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100952464B1 (ko) 감습성 또는 산소-민감성인 유기발광 다이오드(ｏｌｅｄ)장치의 동일반응계 제조방법
CA2832543C (en) Method for drying thin films in an energy efficient manner
TWI295857B (en) In situ vacuum method for making oled devices
DE60143926D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Vakuum-Ausdampfen
JP2004527075A5 (ru)
CN1838843A (zh) 用于制作图案化的有机电致发光器件的方法
JP2000195665A (ja) 有機膜の形成方法
ATE540437T1 (de) Herstellungsverfahren einer organischen dünnschicht-vorrichtung
TW200302679A (en) Making electroluminescent display devices
RU2005113246A (ru) Способ микроструктурирования посредством местного избирательного сублимирования
WO2006015328A3 (en) Pulse thermal processing of functional materials using directed plasma arc
JP4941297B2 (ja) 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP2009211890A (ja) 有機ｅｌ表示装置
US10011104B2 (en) Method for performing delamination of a polymer film
ATE141306T1 (de) Beschichtungsverfahren
EP1162673B1 (en) Method of making an emissive layer for an organic light-emitting device
US4686114A (en) Selective electroless plating
JP5715802B2 (ja) 成膜装置
JP6830279B2 (ja) ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法
JPH03174307A (ja) 酸化物超電導体の製造方法
KR100905282B1 (ko) 반도체 및/또는 전계발광 디스플레이 유기층 구조의생산을 위한 방법 및 장치
JP2020192815A (ja) ポリマーフィルムの剥離を実施するための方法
TW200926476A (en) Light- emitting component with wavelength converter and manufacturing method thereof
JPS63245920A (ja) 半導体アニ−ル方法
NL1023125C2 (nl) Methode voor het bewerkstelligen van een gestructureerde polymere halfgeleider, en een lichtemitterende diode, transistor, fotodiode of sensor omvattende een gestructureerde polymere halfgeleider zoals verkregen met de methode.

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20070301