RU2005103322A - Способ получения изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности - Google Patents

Claims (12)

1. Способ получения изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности, включающий синтез пленки карбида кремния на поверхности подложки с использованием углерода, осаждаемого из углеродсодержащего материала на поверхность подложки при нагревании, отличающийся тем, что углерод на поверхности подложки осаждают в условиях, не обеспечивающих образование карбида кремния, после чего создают условия для синтеза карбида кремния.

2. Способ получения изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют, по меньшей мере, один газообразный углеводород, углерод на поверхности подложки осаждают в виде пироуглерода путем термического разложения указанного углеродсодержащего материала, а синтез карбида кремния осуществляют при последующем нагреве до 1100-1400°С в вакууме или в инертной атмосфере.

3. Способ получения изделия по п.2, отличающийся тем, что пироуглерод осаждают температуре 750-1000°С.

4. Способ получения изделия по п.1, отличающийся тем, что углерод на поверхности подложки осаждают конденсацией углеродных атомов и/или кластеров из газовой фазы, путем распыления углеродного материала в инертной среде, а синтез карбида кремния осуществляют при последующем нагреве до 1100-1400°С в вакууме или в инертной атмосфере.

5. Способ получения изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют раствор, по меньшей мере, одной органической смолы в органическом растворителе, который предварительно наносят на поверхность подложки, отверждают, осаждение углерода осуществляют путем карбонизации слоя смолы на поверхности подложки, а синтез карбида кремния осуществляют при последующем нагреве до 1100-1400°С в вакууме или в инертной атмосфере.

6. Способ получения изделия по п.5, отличающийся тем, что в качестве раствора органической смолы используют раствор фенол-формальдегидной смолы в спирте, отверждение осуществляют при 160°С, а карбонизацию осуществляют при подъеме температуры до 900°С.

7. Способ получения изделия по любому из пп.1-6, отличающийся тем, что после нагрева осуществляют дополнительное травление и/или термообработку.

8. Способ получения изделия по п.7, отличающийся тем, что травление осуществляют в кислотах-окислителях.

9. Способ получения изделия по п.8, отличающийся тем, что травление осуществляют в хлорной или азотной кислотах.

10. Способ получения изделия по п.7, отличающийся тем, что термообработку осуществляют в вакууме или среде инертного газа при температуре 1100-1400°С.

11 Способ получения изделия по п.7, отличающийся тем, что термообработку осуществляют в кислородсодержащей среде при температуре 500-800°С.

12. Способ получения изделия по п.11, отличающийся тем, что термообработку осуществляют на воздухе.