RU1838449C - Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство дл удалени полировочного состава, средство дл удалени флюса, средство дл удалени остаточной воды, средство дл удалени резиста и средство дл про влени резиста - Google Patents
Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство дл удалени полировочного состава, средство дл удалени флюса, средство дл удалени остаточной воды, средство дл удалени резиста и средство дл про влени резистаInfo
- Publication number
- RU1838449C RU1838449C SU894743271A SU4743271A RU1838449C RU 1838449 C RU1838449 C RU 1838449C SU 894743271 A SU894743271 A SU 894743271A SU 4743271 A SU4743271 A SU 4743271A RU 1838449 C RU1838449 C RU 1838449C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- agent
- resist
- value
- content
- acetone
- Prior art date
Links
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
Применение хлорфторпропанов, выбранных из группы CH2CF2CH2CI и СНаС1ьРсСГ-2СНхС1уР2, где a+b+сЗ, x+y+z3. а+х 1, Ь+у 2, 0 а. Ь, с, х. у, z 3, в качестве обезжиривающего средства, очищающего средства, средства дл удалени полировочного состава, средства дл удалени флюса, средства дл удалени остаточной воды, средства дл удалени резиста и средства дл про влени резиста. Данные растворители обладают низкой озоноразрушаю- щей способностью и более низкой токсичностью. 12 табл. Ј
Description
Изобретение касаетс новых галогени- рованных углеводородных растворителей и способов их применени . . 1,1,2-трихлор-1,2,2-трифторэтан (далее именуемый просто R 113) вл етс огнестойким , взрывобезопасным и химически стойким, поэтому он широко используетс в Качестве очищенного средства дл удалени флюса, примен емого в процессе сборки Электронных узлов или деталей прецизионных устройств, в качестве смазочно-охлаж- дающих эмульсий, очищающего средства Дл такой одежды, как меховые пальто или остюмы. Далее R 113 широко использует- дл удалени воды, оставшейс после Промывки водой деталей жидкокристалли- ч;еского диспле , электронных узлов или деталей прецизионных устройств. С другой Стороны, така промывочна жидкость, как
трихлорэтилен, может использоватьс в качестве средства дл у адени резиста, осажденного на кристаллической пластине. 1,1,1-трихлврэтан используетс в качестве очищающего средства дл удалени полировочного состава, оставшегос на прецизионных металлических детал х или декоративных детал х после их полировани . Далее 1,1..1-трихлорэтан используетс дл про влени резиста в процессе изготовлени печатных плат и полупроводниковых схем, а метиленхлорид или перхлорэтилен используетс дл удалени резиста после обработки травлением.
Несмотр на различные достоинства этого материала, было обнаружено, что НИЗ разрушает озон в стратосфере, что в свою очередь ведет к увеличению случаев заболевани раком кожи. С другой стороны,
00 GJ 00
fcb
О
СО
метиленхлорид, трихлорэтилен, перхлорэ- тилен и 1,1,1 -трихлорэтан, по-видимому, вызывают загр знение подземных вод, что требует сокращени до минимума их использовани .
При таких обсто тельствах целью насто щего изобретени вл етс решение таких проблем и создание нового галогени- рованного углеводородного растворител , вл ющегос заменителем используемых в насто щее врем растворителей.
Изложение сущности изобретени . Насто щим изобретением предусматриваетс галогенированный углеводородный растворитель, состо щий в основном из водородсодержащего хлорфторпропана, включающего дифторметиленовую группу, выраженную формулой: CHaClbFcCF2CHxClyFz в которой a+b+c 3, x+y+z 3. а+х 1; Ь+у 2 и 0 а, Ь, с, х. у, z 3.
Далее будет дано детальное описание насто щего изобретени со ссылкой на предпочтительные варианты его осуществлени .
Ниже привод тс типичные примеры соединени формулы 1:
CCIF2CF2CHCI2(R224ca) CCl2FCF2CHCI (R224cb) CF3CF2CHCl2 (R225ca) CCtF2CF2CHCI (R225cb) CCIF2CF2CH2CI (R 234cc) CHF2CF2CHIF (R235ca) CH3CF2CCI2F (R 243cc) CHF2CF2CH2CI (R244ca) CH2CICF2CH2GI (R 252ca) СНС12СР2СНз (R252cb) СНзСР2СН2С (R262ca) CHF2CF2CCf2F (R225cc) CHOFCFiCHCIF (R234ca) CHF2CF2CHCl2 (R234cb) CH2FCF2CCl2 (R234cd) GF3CF2CH2CI (R235cb) CCIF2CF2CH2F (R 235cc) CH2CICF2CHCIF (R243ca) CH2FCF2CHCl2 (R243cb) CH2FCF2CHCIF (R244cb) CCIF2CF2CH3 (R244cc) CH2FCF2CH2CI (R 253ca) CHaCIFCHCIF (R253cb) CF3CF2CHCIF (R 226ca) CCIF2CF2CH (R226cb) CCI3CF2CHCI2 (R 222c) CCI2FCF2CHCl2 (R 223ca) CCl3CF2CHCIF (R 223 cb) CCl3CF2CHF2 (R 224cc) CHCI2CF2CHCI2 (R232ca) CCl3CF2CH2CI (R232cb) CCl2FCF2CH2CI (R 233cb)
CHCI2CF2CHCIF(R 233ca) СС1зСР2СНаР (R 233cc) СС1зСР2СНз (R242cb) CHCI2CF2CH2CI (R242ca) Соединени по изобретению, представленные формулой 1, можно использовать по отдельности или в сочетании, например, в виде смеси двух или более соединений. Они вл ютс полезными в качестве различных
0 очищающих средств, включа очищающее средство дл химической чистки, обезжиривающее средство дл удалени полировочного состава, средство дл удалени флюса и промывочную жидкость, либо а качестве
5 вещества дл про влени резиста или вещества дл удалени резиста, либо в качестве растворител дл удалени оставшейс воды. Они также могут использоватьс дл следующих целей.
0 в качестве растворител дл экстракции никотина, содержащегос в листь х табака или дл экстракции фармацевтических веществ из животных или растений; в качестве разбавител дл различных хими5 ческих агентов, включа средство дл нанесени покрыти , антиадгезив, водо- и маслоотталкивающее средство, влагонепроницаемое покрытие, водостойкое вещество , средство дл придани блеска и
0 антистатик, с целью диспергировани или растворени этих веществ, что облегчает их нанесение на соответствующие объекты; в качестве аэрозольного растворител дл растворени химическрго агента или актив5 його агента, содержащегос в аэрозоле, используемом , например, в качестве материала дл нанесени покрыти , инсектицида , фармацевтического средства, дезодоранта , лака дл волос и косметического
0 средства, а также в качестве изолирующей среды дл изол ции и охлаждени в масл ном трансформаторе или в газоизолированном трансформаторе.
Если соединени по насто щему изо5 бретению примен ютс дл вышеуказанных целей в них предпочтительно ввод тс различные другие соединени в зависимости от определенных целей.
Например, такой органический раство0 ритель, как углеводород, спирт, кетон, хлорированный углеводород, сложный эфир или ароматическое соединение, либо поверхностно-активное вещество, можно включать с целью улучшени очищающего
5 действи при использовании в качестве очищающего растворител , или дл улучшени воздействи в других област х использовани . Такой органический растворитель может включатьс в количестве от 0 до 80 мас.% предпочтительно 0-50 мас.%, предпочтительнее 10-40 мас.%. Поверхностно- активное вещество можно использовать в Количестве от 0 до 10 весовых процентов, предпочтительно 0,1-5 мас.%, предпочтительнее 0,2-1 мас.%.
Углеводород предпочтительно представл ет линейный или циклический насыщенный или ненасыщенный углеводород, включающий 1-15 атомов углерода, который Обычно выбирают из группы, содержащей Н-пентан, изопентан, н-гексан, изогексан, -метилпентан, 2,2-диметилбутан, 2,3-диме- тилбутан, н-гептан, изогептан, 3-метилгек- Сан, 2,4-диметилпентан, н-октан, -метилгептан, 3-метилгептан, 4-метилгеп- taH, 2,2-диметилгексан, 2,5-диметилгексан, 3,3-диметилгексан, 2-метил-З-этилпентан, З-метил-3-этилпентан, 2,3,3-триметилпен- ан, 2,3,4-триметилпентан, 2,2,3-триметил- пентан, изооктан, нонан, 2,2,5- Триметилгексан, декан, додекан, 1-пен- ten,2-пентен, 1-гексен,1-октен,1-нонен, 1-децен, циклопентан, метилциклопен- tan, циклогексан, метилциклогексан,этил- циклогексан, бициклогексан, циклогексен, Э-пинен, дипентен, декалин, тетралин, амилен и амилнафталин. Более предпочтительными соединени ми вл ютс н-пентан, й-гексан, циклогексан и н-гептан.
Спирт предпочтительно представл ет алифатический или циклический насыщенный или ненасыщенный спирт, содержащий 1-17 атомов углерода, который обычно выбирают из группы, включающей метанол, эталон, н-пропиловый спирт, изопропило- бый спирт, н-бутиловый спирт, втор-бутило- рый спирт, изобутило.вый спирт, трет-бутиловый спирт, пентиловый спирт, ртор-амиловый спирт, 1-этил-1-пропанол, 2- |Цетил-1-бутанол, изопентиловый спирт, |рет-пентиловый спирт, З-метил-2-бута- «ол, неопентиловый спирт, 1-гексанол, 2- 1 етил-1-пентанол, 4-метил-2-пентанол, -этил-1-бутанол, 1-гептанол, 2-гептанол, 3-гептанол, 1-октанол, 2-октанол, 2-этил-1- гексанол, 1-нонанол, 3,5,5-триметил-1-гек- Санол, 1-де-канол, 1-ундеканол, j-додеканол, аллиловый спирт, пропар- 1 иловый спирт, бензиловый спирт, цикло- гексанол,1-метилциклогексанол, 2-метилциклогексанол, 3-метилциклогекса- нол, 4-метилциклогексанол. а-терпинеол, Йбиетинол, 2,6-диметил-4-гептанол, триме- Уилнониловый спирт, тетрадециловый Спирт и гептадециловый спирт. Более Предпочтительными вл ютс метанол, эта- нол и изопропиловый спирт.
Кетон предпочтительно представл ет один из кетонов формул
R - СО - R1, R - СО. R - СО - R1 - СО - R,
I-гг-сн2R - СО- R1, R - CO- R ,
в который каждый из элементов R. R , R представл ет насыщенную или ненасыщенную углеводородную группу, имеющую от 1 до 9 атомов углерода, и обычно выбираетс
из группы, включающей, ацетон, метилэтил- кетон, 2-пентанон, 3-пентанон, 2-гексанон. метил-н-бутилкетор, метилбутилкетон, 2- гептанон, 4-гептанон, диизобутилкетон, ацетонитрил, ацетон, окись мезитила, форон , метил-н-амилкетон, этилбутилкетон, метилгексилкетон, циклогексанон, метил- циклогексанон, изофорон, 2,2-пентандион, диацетоновый спирт, ацетофетон и фенхон. Более предпочтительными соединени ми
вл ютс ацетон и метилэтилкетон.
Хлорированный углеводород предпочтительно представл ет насыщенный или ненасыщенный хлорированный углеводород, имеющий 1 или 2 атома углерода/который
обычно выбирают из группы, включающей метиленхлорид, четыреххлористый углерод, 1,1-дихлорэтан, 1,2-дихлорэтан; 1,1,1-трих- лорэтан, 1,1,2-трихлорэтан, 1,1,1,2-тетрах- лорэтан,1 ,1,2,2-тетрахлорэтан,
пентахлорэтан, 1,1-дихлорэтилен, 1,2-дих .лорэтилен, трихлорэтилен и тетрахлорэтилен . Более предпочтительными
соединени ми вл ютс метиленхлорид,
1,1,1-тетрахлорэтан, трихлорэтилен и тетрахлорэтилен .
Поверхностно-активное вещество, предназначенное дл растворител , используемого дл удалени оставшейс воды , предпочтительно.выбирают из группы,
включающей простой алкиловый эфир поли- оксиэтилена,- простой алкиловый эфир поли- оксиэтилео и полиоксипропилена, сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена, сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена
и полиоксипропилена, алкилфенол полиоксиэтилена , алкилфенол полиоксиэтилена и полипропилена, сложный эфир сорбита полиоксиэтилена , сложный эфир сорбита пс- лиоксиэтилена и полиоксипропилена,
каприламин каприловой кислоты и алкила- мид полиоксиэтилена. Более предпочтительными соединени ми вл ютс каприламин каприловой кислоты и алкила- мид полиоксиэтилена. В качестве поверхностно-активного вещества дл очищающего средства, предназначенного дл химической чистки, могут примен тьс различные неионные, катионные, анионные и амфотер- ные поверхностно-активные вещества. Такое вещество предпочтительно выбирают
из группы, включающей алкилбензолсуль- фонат с линейной цепью, сульфат спирта с длинной цепью, сульфат эфира полиоксиэ- тилена, фосфат алкилового эфира полиоксиэтилена , сульфат алкилового эфира полиоксиэтилена, фосфат алкилфениловогр эфира полиоксиэтилена, сульфонат а-олё- фина, алкилсульфосукцинат, простой алки- ловый эфир полиоксиэтилена, сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена, алкилал- лиловый эфир полиоксиэтилена, диэтанола- мина жирной кислоты, алкиламид полиоксиэтилена, сложный эфир жирной кислоты сорбита, сложный эфир жирной кислоты полиоксиэтилена, соль четвертич- ного аммониевого основани , оксилсульфо- бетаин, простой лауриловый эфир полиоксиэтилена, сульфат натри простого лауринового эфира полиоксиэтилена, доде- цилбензолсульфонат натри и сульфат на- три высшего спирта. Более предпочтительными соединени ми вл ютс простой лауриловый эфир полиоксиэтилена . сульфат натри простого лаурилового эфира полиоксиэтилена, додецилбензол- сульфонат натри и сульфат натри высшего спирта.
Ароматическим соединением предпочтительно вл етс производственное бензола или производное нафталина, которое обычно выбирают из группы, включающей бензол, толуол, ксилол, этилбензол, изопро- пилбензол, диэтилбензол, втор-бутилбен- зол. триэтилбензол, диизопропилбензол, стирол, алкилбензолсульфокислоту, фенол, мезитилен, нафталин, тетралин, бутилбен- зол, napa-цимен, циклогексилбензол, пен- тилбензол,дипентилбензол, додецилбензол, бифенил, о-крезол, т-кре- зол и ксиленол. Более предпочтительными соединени ми вл ютс алкилбензолсуль- фокислота и фенол.
Сложный эфир предпочтительно имеет одну из следующих формул; R -г.
R COO-RZ,
RrC-R3-COO-r
OR6 R -C-COORa, R1-C00-Ra-C00-R3
0
R -CO /COOR.,),,, COO-R/
C - RZ
9 рз
OOK
R.,-COQ-R, R,- COO - R
U
CSC
б
R -COORj COOR,
COORg,
5 10 15 20 5
0 5 0
i
0
5
в которых каждый из элементов Ri, R2, Нз, R4, Rs, Re представл ет Н, ОН или насыщенную или ненасыщенную углеводородную группу, имеющую от 1 до 19 атомов углерода . В частности, это соединение выбирают из группы, включающей метилформиат, этилформиат, пропилформиат, бутилформи- ат, изобутилформиат, пентилформиат, мети- лацетат, этилацетат, пропилацетат, изопропилацетат, бутилацетат. изобутила- цетат, втор-бутилацетат, пентилацетат; изо- пентилацетат, 3-метоксибутилацетат, вторгексилацетат, 2-этилбутилацетат, 2- этилгекеилацетат, циклогексилацетат, бен- зилацетат,метилпропионат, этилпропионат, бутилпропионат, изопен- тилпропионат, метилбутират. этилбутират, бутилбутират, изопентилбутират, иэобути- лизобутират, этил-2-окси-2-метилпропио- нат, бутилстеарат, метилбензоат, этил-бензонат, пропилбензоат, бутилбен- зоат, изопентилбензоат, бензилбензоат, этилабиетат, бензилабиетат, бис-2-этилгек- силадипинат, у-бути рол актом, диэтилокса- лат, дибутилоксалат, дипентилоксалат, диэтилмалонат, диметилмалеат, диэтилма- леат, дибутилмалеат, дибутилтэртрат, три- бутилцитрат, дибутилсебацинат, бис-2-этилгексилсебацинат, диметилфта- лат, диэтилфталат, дибутилфталат, бис-2- этилгексилфталат и диоктилфталат. Более предпочтительными соединени ми вл ютс метилацетат и этилацетат.
Соединение по насто щему изобретению может включать хлорфторированный углеводород, отличающийс от соединени формулы 1. При наличии азеотропии или псевдоазеотропии у композиции, полученной при сочетании соединени по этому изобретению с другим соединением, предпочтительно использовать их в азеотропных или псевдоазеотропных услови х, с тем чтобы избежать изменений в композиции при использовании в процессе рециркул ции или не допустить значительных отклонений от обычного метода.
Очищающее средство дл химической чистки по насто щему изобретению может содержать различные добавки, такие как антистатику,, пластификатор, п тновыводитель , водо- и маслоотталкивающее средство или стабилизатор. В качестве Стабилизатора, различные типы которого обычно используютс в очищающем средстве дл химической чистки, могут примен тьс нитроалкэны, эпоксиды, амины или фенолы.
Различные очищающие Добавки или Стабилизаторы также могут вводитьс в безжиривающее средство, в очищающее средство дл удалени полировочного состава или в очищающее средство дл удалени флюса. В случае очищающего средства &п удалени полировочного состава в эту Композицию также может включатьс вода. качестве способа очистки может пример тьс ручна протирка, погружение, распыление , встр хивание, ультразвукова чистка, парова очистка или любой другой Известный метод.
При .необходимости стабилизировать Промывочную жидкость предпочтительно использовать такой нитроалкан, как нитро- метан или нитропропан, либо такой простой циклический эфир, как пропиленоксид, 1,2- )утиленоксид, 2,3-бутиленоксид. эпихлор- гидрин, окись с5ирола, бутилглицидный Эфир, фенилглицидный эфир, глицидол, 1,4- диоксан, 1,3,5-триоксан, 1,3-диоксолан, ди- метоксиметан или 1,2-диметоксиэтан, в количестве 0,001-5,0 мае.%.
Не существует каких-либо аграничений В отношении про влени или удалени ре- Зиста в соответствии со способом по насто- йщему изобретению. Резист -может быть позитивным или негативным резистом дл . Экспонировани , резистом дл рентгеновского или электронно-лучевого экспонировани . Резист дл оптического Экспонировани состоит из хинондиазида С использованием фенолоальдегидной и крезолоформальдегидной новолачной, смо- Лы, служащей в качестве материала основы.; он может быть из циклозованного каучука, Включающего цис-1,4-полиизопропен в качестве основного компонента, а также из Нолициннамата. Аналогичным образом ре- зист дл экспонировани ультрафиолетовымизлучением включает полиметилметакрилат и полиметилизоп- ропенилкетон. Резист дл электронно-лучевого или рентгеновского экспонировани Включает поли/метилметакрилат/, сополи- Мер глицидилметакрилата и этил а к рил эта и Сополимер метилме.такрилата и метакрило- вой кислоты.
Дл удалени оставшейс воды с помощью растворител по насто щему изобретению можно примен ть метод распылени или орошени , либо метод погружени в прохладную ванну, в теплую ванну, в паровую ванну или в ультразвуковую ванну,
либо метод погружени с сочетанием этих ванн.
Изолирующа среда по насто щему изобретению может использоватьс в сочетании с изолирующей средой на основе минерального масла, с изолирующей средой полностью гал-огенированного углеводородного типа или с изолирующей средой на основе силиконового масла, которые обычно примен ютс в этой области. Кроме того
с целью стабилизации в композицию может включатьс такой стабилизатор, как соединение фосфита, соединение сернистого фосфина или соединение простого глицид- ного эфира, либо в эту композицию может
добавл тьс фенольный или аминовый ан- тиоксидант.
Примеры с 1-1 - 1-16. Испытани по очистке с целью определени очищающей способности проводились с использовзнием средств химической чистки, представленных в табл. 1. Шерст ную ткань (5x5 см), испачканную сажей, закрепленной по методу Юкагаку Киокаи, помещали в чистильнс- щеточную машину и промывали при
- температуре 25°С в течение 25 мин, после
. чего результат чистки измер ли при помощи
измерител фотоэлектрического отражени
Элрефо. Результаты приведены в табл. 1
Примеры 2-1 до 2-6, примеры 2-8
до 2-16 и сравнительный пример 2-7.
Испытани по очистке охлаждаемого масла проводились путем применени обезжиривающих агентов как показано в таблице 2.
Взвешенный тестируемый образец SUS-304 был погружен в веретенное масло и затем был взвешен. Обратный таким образом тестируемый образец затем погружалс в обезжиривающий агент на 5 мин дл удалени веретенного масла и очищенный таким образом тестируемый образец снова взвешивалс . Скорость очистки определ лась согласно следующему уравнению. Ре- зультаты представлены в табл. 2.
Гвес погруженного тестируемого образца до очистки -1 вес погруженного тест; образца после очисткиJ
скорость очистки
---х
Вес погруженного тестируемого образца до очистки - (исходный вес тестируемого образца.
---х 100
Примеры 3-1- 3-6, примеры 3-8 - 3-16 и сравнительный п р и м е р.
Испытани по удалению полировочного агента проводились при использовании очищающих агентов дл удалени полировочного агента как представлено в табл, 3.
Взвешенный .каркас ручных часов был отполирован полировочным агентом (GS-1, выпускаемым Soken Kogyo К. К) и отполированный испытуемый образец был взвешен. Взвешенный тестируемый образец был затем погружен в очищающий агент дл удалени полировочного агента, и обработан ультразвуком в течение 3 мин. Тестируемый образец, очищенный таким образом, снова взвешивалс .
Процедура, аналогична описанной выше , была повторена, за исключением того, что в качестве контрольного очищающего агента использовалс R 113.
Степень очистки определ лась согласно следующему управлению. Результаты представлены в табл, 3.
Степень очистки
вес отполированного тестирующего образца до очистки вес отполированного тестируемого образца данным очищающим агентом
вес отполированного тестируемого образца до очистки - вес отполированного тестируемого образца после очистки R 113
гружали в раствор дл удалени резиста о- дихлорбензольного типа (раствор дл удалени резиста 502, изготовленный фирмой Токио Окаша) при температуре 120°С с течение 10 мин, а потом погружали в промывочную жидкость, указанную в таблице 5, при температуре 25°С в течение 3 минут. Далее эту пластину погружали и очищали в растворе, состо щем из смеси изофталевой кислоты (IF5А) и метилэтилкетона (MEК), а затем в сверхчистой воде, после чего эту пластину высушивали и под микроскопом провер ли состо ние поверхности.
Примеры с 6-16. Испытани по про влению резиста проводили с использованием веществ дл про влени резиста, указанных в таблице 6.
Печатную плату (слоистый пластик, плакированный медью) с нанесенной на нее пленкой фоторезиста (Ламинер, изготовленный фирмой Димакем компани) экспонировали с целью получени заранее определенного рисунка схемы, а затем про влени с помощью вещества дл про влени резиста, после чего поверхность исследовали под микроскопом с целью проверки правильности формировани рисунка схемы.
Результаты приведены в табл. 6.
Приме р ы с 4-1 по 4-15. Испытани по очистке флюса проводили с использованием очищающих средств дл удалени флюса, указанных в таблице 4.
Флюс (Тамура F AI-4, изготовленный фирмой Кабушики Каиша Тамура Сейсаку- шо) наносили в виде покрыти на всю по-, верхность печатной платы (слоистый пластик, плакированный медью) и обжигатели в электрической печи при температуре 200°С в течение 2 мин. Потому плату погружали на одну минуту в очищающее средство дл удалени флюса. Степень удалени флюса показана в табл. 4.
П р и м е р ы 5-1 по 5-7. Позитивный резист (OFPR-800, изготовленный фирмой Токио Окаша) или негативный резист (OMR-83, изготовленный фирмой Токио
Окаша) наносили в виде покрыти на пластину из кристаллического кремни с последующей обработкой травлением, затем пластину из кристаллического кремни по
х 100
П р и м е р ы с 7-1 по 7-17. Испытани по
удалению резиста проводили с использованием веществ дл удалени резиста, указанных в таблице 7.
Печатную плату (слоистый пластик, плакированный медью) с нанесенной на нее
пленкой фоторезиста (Ламинер, изготовленный фирмой Динакем компани) экспонировали , про вл ли и протравливали с образованием печатной схемы, а затем noj гружали в вещество дл удалени резиста
при комнатной температуре в течение 15 минут. Плату вынимали из этого вещества и исследовали под микроскопом с целью проверки степени удалени отвержденной пленки. Результаты приведены в табл. 7.
Примеры с 8-1 по 8-16. Испытани по удалению оставшейс воды проводили с использованием растворителей, предназначенных дл удалени оставшейс воды, которые указаны в таблице 8.
Стекл нную пластину размером 30мм х 18 мм х 5 мм сначала погружали в чистую воду, а затем погружали в растворитель дл удалени оставшейс воды на 20 секунд. После этого стекл нную пластину вынимали
из раствора и погружали в сухой метанол, и вслед за этим определ ли степень удалени
оставшейс воды посредством измерени увеличени содержани воды.
Результаты приведены в табл. 8.
П р и м е р ы с 9-1 по 9-11. Испытани по Экстракции никотина, содержащегос в ли- Сть х табака, проводили с использованием составов экстракционных растворителей по насто щему изобретению, которые указаны в таблице 9.
Заранее определенное количество табака (Хилит, промышленный продукт) помещали в экстрактор Сохлета и нагревали с обратным холодильником при использовании состава экстракционного растворител по насто щему изобретению в течение 8 часов.
После дефлегмации раствор выпаривали до сухого состо ни и измер ли количество экстракта. Результаты приведены в Таблице 9. Аналогичное испытание проводили с использованием метанола в качестве Сравнительного растворител . Количество экстракта в этом случае определ ли равным 100 и результаты других испытаний выражали в виде относительных значений.
В качестве других сравнительных примеров аналогичные испытани осуществл -. ли в отношении ацетона и гексана.
Остатки при выпаривании, полученные в соответствующих испытани х, исследова- с помощью газовой хроматографии, котора позволила установить количество никотина, содержащегос в каждом остатке .
Примеры с 10-1 по 10-51. В результате использовани разбавителей, указан- н|ых в таблицах с 10-1 по 10-3., производили разбавление средства дл нанесени влаго- н епроницаемого покрыти , содержащего г|олимер, включающий полифторалкиловую фуппу. Полученный таким образом разбав- л енный состав наносили в виде покрыти на поверхность печатной платы и сушили на воздухе с образованием влагонепроницае- .мой пленки на поверхности печатной платы. Сухое состо ние этой влагонепроницаемой пленки определ ли визуальным путем.
Результаты приведены в табл. с 10-1 по 10-3.
Примеры с 11-1 по 11-51.
Композицией, полученной путем смешени 3 частей состава растворител , указанного в таблицах с 11-1 по 11-3, 9,4 части чистой воды, 0,4 части поверхностно-активного вещества, 1,6 части изопропилмири- стата, 0,4 части молотого талька, 0,2 части духов и 85 частей распыл ющего вещества
(1,1-дихлор-, 2,2-трифторэтана), наполн ли аэрозольный баллон и несколько раз встр хивали , после чего визуально провер ли диспергируемость аэрозольной компози- ции.
Результаты приведены в табл, с 11-1 по 11-3.
П р и м е р ы с 12-1 по 12-11. Наиболее важным изолирующим свойством среди других свойств изолирующей среды вл етс удельное объемное сопротивление. Обычно считаетс , что среда вл етс пригодной в качестве изолирующей среды, если она имеет удельное объемное сопротивле- ние, равное 1013 Ом.см.
Значение удельного объемного сопротивлени композиций на насто щему изобретению , представл ющих изолирующую среду, приведены в таблице 12, которые в каждом случае удовлетвор ют требовани м , предъ вл емым к удельному объемному сопротивлению.
Новые гелогенированные углеводородные растворители по насто щему изобрете- нию вл ютс великолепными в том отношении, что они обладают очень низкой разрушающей способностью в отношении озона по сравнению с R 113, который обычно использовали в качестве растворител , при этом их токсичность значительно ниже, .чем у обычного хлорированного углеводородного растворител /такого как трихлорэ- тилен или перхлорэтилена, в результате чего не возникает значительных проблем. св занных с загр знением подземных вод.
Кроме того, при применении дл различных целей они позвол ют достичь аналогичных или даже более высоких результатов по сравнению с обычным R 113 или хлори- рованными углеводородными растворител ми .
Claims (1)
- Формула изобретениПрименение хлорфторпропанов, выбранных из группыСНзСР2СН2С и CHaClbFcCFaCHxClyFz. где a+b+с 3;x+y+z 3;а+х 1;Ь+у 2; 0 a,b,c,x,y,z 3в качестве обезжиривающего средства, очищающего средства, средства дл удалени полировочного состава, средства дл удалени флюса, средства дл удалени ос- таточной воды, средства дл удалени рези- ста и средства дл про влени резиста.ПримерСредство дл химической чисткиR225ca(100)R 225 со(100)R224ca(Юр)R224cb(100)R235ca(100)R 234 ее(100)R244ca(100)R 243 ее(100)R252ca(100)R252cb(100)R262ca(100)R 225 ca (75)(н-гептан (25)R 225 ca (75)(этанол (25)R 225 ca (75) (перхлорэтилен(25)R 225 ca (75)(ацетон (25)R 225 ca (75) (додецилбензол- сульфонат натри (25)Значение в скобках указывает содержание данного компонента (мае.%).Показатели оценки: (S) П тно полностью удалено. О П тно почти полностью удалено. Д П тно сохранилось в незначительной степени. X П тно почти полностью сохранилось.,Таблица 1Результаты чистки© © ©)Значение в скобках / / представл ет количественное содержание (в весовых %).Таблица 2Значение в скобках / / представл ет количественное содержание (в весовых %).Таблица 3ПримерОчищающие средства -дл удалени флюсаR225ca(100)R225cb(100)R224ca(100)R224cb(100)R235ca(100TR234cc(100)R244ca(100)R243cc(100)R252ca(100)R252cb(100)R262ca(100)R 225 ca (75)(н-гептан (25)R225ca (75)(метанол (25)R 225 ca (75)(ацетон (25)R 225 ca (75) (трихлорэтилен (25)Значение в скобках (( указывает содержание данного компонента (весовые проценты).Показатели оценки:© Удовлетворительное удаление флюса. О Достаточно удовлетворительное удаление флюса.4 Незначительное сохранение флюса.X Почти полное1 сохранение флюса.Таблица 4Результаты очисткиТаблица 5ПримерВещество дл про влени рези- ста6-16-26-36-46-56-66-76-86-9 6-10.6-11 6-12 6-13 6-14 6-15 6-16 равнительный 6-11R 225 са (100)R225cb (100)R224ca (100)R 224 cb (100)R235ca (100)R 234 ее (100)R244ca (100)R 243 ее (100)R252ca (100)R 252 cb (100)R 262ca (ГОО)R 225 ca (75) (н-пентан (25)R 225 ca (75) (этанол (25)R 225 ca (75) (ацетон (25)R 225 ca (75)(1,1,1-трихлорэтан(25)R 225 ca (75) (метилацетат (25)1,и-трихлорэтан (100)Значение в скобках ()указывает содержание данного компонента (весовые проценты)Показатели оценки: ® Удовлетворительное про вление. О Достаточно удовлетворительное про вление, Л Несколько худшее про вление. X Плохое про влениеТаблица 6Результаты проверкиПримерВещество дл удалени резиста7-17-27-37-47-57-67-77-87-97-107-117-127-13 7-14 7-157-16 7-17равнительный 7-17-2R225ca(100)R 225 со(100)R224ca(100)R 224 cb(100)R235ca(100)R 234 со(100)R 244 ca R 243 cc R 252 ca R 252 cb R 262ca(100)(100).(100)(100)(100)R225ca (75) (н-гептан (15) алкилбензолсульфокислота (10)R 225 ca (75) (этанол (15) алкилбензолсульфокислота (10)R225ca (75) (ацетон (15) фенол (10)R 225 ca (75) (метиленхлорид (15) фенол (10)R 225 ca (75) (фенол (25) R 225 ca (75) (метилацетзт (25)Тетрахлорэтилен (100) о-дихлорбензол (100)Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты)Показатели оценки:© Удовлетворительное удаление резиста. О Достаточно удовлетворительное удаление резиста. и Незначительное сохранение резиста.X. Почти полное сохранение резисгэ.Таблица 7Результаты проверки(100)(100).(100)(100)(100)Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).Показатели оценки:g)Удовлетворительное удаление оставшейс воды. О Достаточно удовлетворительное удаление оставшейс воды. Д Незначительное сохранение оставшейс воды. X Почти полное сохранение оставшейс воды.Таблица 8Таблица 9ПримерРазбавители..R224ca (100)R 224 cb (100)R225ca (100)R 225 cb (100)R 234 cc (100)R235ca (100)R243cc (100)R244ca (100)R252ca (100)R 252 cb (100)R 262ca (100)R 225 ca (75) (н-гептан (25)R 225 ca (75) (этанол (25)R 225 ca (75) (ацетон (25) R 225 ca (75) (трихлорэтилен (25) , R 225 ca (75) этилацетат (25) iЗначение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).Показатели оценки: О Великолепные- 0 ХорошиеЛ Наблюдалась незначительна неоднородность.X Наблюдалась значительна неоднородностьТаблица 10-1Пленкообразующие свойстваПримерРазбавителиR 225 ее (100)R234ca (100)R234cb (100)R 234 ссГ (100)R2345cb (100)R235cc (100)R243ca (100)R 243 cb (100)R 244 cb (100)R244cc (100)R 253 ca (100)R 253 ca (100)R 244 cb (75) (н-гептан (25)R 244 cb (75) (этанол (25)R244cb f75) (ацетон (25)R 244 cb (75) (трихлорэтилен (25)R 244 cb (p9Ј) этилацетаЬ (25)Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).Показатели оценки: ©Великолепные О Хорошие4 Наблюдалась незначительна неоднородность х Наблюдалась значительна неоднородностьТаблица 10-2Пленкообразующие свойстваПримерРазбавители.R226ca (100)R 226 cb (100)R222cb (100)R 223 ca (100)R223cb (100)R224cc (100)R232ca (100)R232cb (100)R233cb (100)R233ca (100)R 233 cc (100)R 242 cb (100)R 242 ca (100)R 226 ca (75) (н-гептан (25)R226ca (75)- (этанол (25)R 226 ca (75) (ацетон (25)R 226 ca (75) (трихлорэтилен (25)R226ca (75) (эти л ацетат (25)Показатели оценки:© ВеликолепныеО ХорошиеД Наблюдалась незначительна неоднородностьх Наблюдалась значительна неоднородностьТаблица 10-3Пленкообразующие свойстваПримерСоставы растворителейR 224 ca (100)R224cb (100)R225ca (100)R 225 cb (100)R.234cc (100)R235ca (100)R243CC (100)R244ca (100)R252ca (100)R252cb (100)R 262ca (100)R225ca (75) (н-гептан.(25)R2.25.ca (75) (этанол (25)R 225 ca (75) (ацетон (25) R225ca (75) (трихлорэтилбн (25) R 226 ca (75) (этилацетат (25)Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты). Показатели оценки:@ Однородное диспергирование(У Почта однородное диспергирование.А Наблюдалось незначительна неоднородность.у. Наблюдалось незначительна неоднородность.Таблица 11-1Результаты диспергированиПримерСоставы растворителейR 225 ее(100)R234ca(100)R234cb(100)(100)R 235 cb(100)R235cc(100)R243ca(100)R243cb .(100)R244cb.(100)1R244cc (100)R 253 ca (100)R 253 ca (100)R244cb (75) (н-гептан (25)R244cb (75) (этанол (25).R244cb (75) (ацетон (25)R244cb (75) (трихлорэтилен (25)R 244 (75) этилацетат (25) , .Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).Показатели оценки: §) Однородное диспергирование О Почти однородное диспергирование. Д Наблюдалось незначительна неоднородность.х Наблюдалась значительна неоднородность.Таблица 11-2Результаты диспергированиПримерСоставы растворителейR226ca (100)R226cb (100)R 222 с. (100)R 223 са (100)R223cb (100)R224cc (100)R 232 са (100)R232cb (100)R 233 cb (TOO)R233ca (100)R 233 cc (100)R 242 cb (100)R 242 ca (100) .R 226 ca (75) (н-гептан (25)R226ca (75) (этанол (25)R 226 ca (75) (ацетон (25)R 226 ca (75) (трихлорэтилен (25)R 226 (75) этилацетат (25)Значение в скобках указывает содержание данного компонента (весовые проценты) Показатели оценки:© Однородное диспергирование.Q Почти однородное диспергирование.& Наблюдалась незначительна неоднородность.X Наблюдалась значительна неоднородность.Таблица 11-3Результаты диспергировани13 ,Удельные объемные сопротивлени равн ютс по крайней мере 1 х 10 Ом. см.Таблица 1213 ,О
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63152276A JPH0813994B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | フラツクス洗浄剤 |
JP63152271A JPH0794678B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | ドライクリーニング用洗浄剤 |
JP63152274A JPH0824805B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 付着水除去用溶剤 |
JP15227388A JPH07107160B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 脱脂洗浄剤 |
JP63152272A JPH024266A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | レジスト現像剤 |
JP63152275A JPH01319597A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | バフ研磨洗浄剤 |
PCT/JP1989/000617 WO1989012674A1 (en) | 1988-06-22 | 1989-06-21 | Halogenated hydrocarbon solvents and use thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1838449C true RU1838449C (ru) | 1993-08-30 |
Family
ID=27553096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894743271A RU1838449C (ru) | 1988-06-22 | 1989-06-21 | Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство дл удалени полировочного состава, средство дл удалени флюса, средство дл удалени остаточной воды, средство дл удалени резиста и средство дл про влени резиста |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1838449C (ru) |
-
1989
- 1989-06-21 RU SU894743271A patent/RU1838449C/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR950013923B1 (ko) | 할로겐화 탄화수소 용매 및 그의 용도 | |
US5302313A (en) | Halogenated hydrocarbon solvents | |
US5271775A (en) | Methods for treating substrates by applying a halogenated hydrocarbon thereto | |
EP0629671B1 (en) | Solvent composition | |
JPH08117685A (ja) | シロキサン共沸混合物を用いた二段階の清浄又は脱水法 | |
TW200402411A (en) | Solvent composition | |
JP3323697B2 (ja) | オクタメチルトリシロキサンの共沸混合物を含む及び共沸混合物様組成物を含む組成物並びにこの組成物の使用方法 | |
WO1995005448A1 (fr) | Composition de solvant de nettoyage et procede pour nettoyer ou secher un article | |
JP2809386B2 (ja) | オクタメチルトリシロキサンとn−プロポキシプロパノールの共沸組成物及びこれを使用する物品表面洗浄方法 | |
RU1838449C (ru) | Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство дл удалени полировочного состава, средство дл удалени флюса, средство дл удалени остаточной воды, средство дл удалени резиста и средство дл про влени резиста | |
JP3209450B2 (ja) | 洗浄用溶剤組成物 | |
KR20000065084A (ko) | 데카플루오로펜탄조성물 | |
JP2869432B2 (ja) | 溶剤及びそれを用いる物品表面の清浄化方法 | |
JPH04224899A (ja) | フルオロ炭化水素とアセトンとからなる共沸混合物様組成物、清浄剤、溶剤、表面の清浄化法、及びトナーの定着法 | |
JPH0617096A (ja) | 混合系溶剤組成物 | |
JPH11503782A (ja) | アルカンまたはシクロアルカンとケトン基を有する有機化合物とをベースにした低温洗浄用組成物 | |
JP3661361B2 (ja) | 溶剤組成物 | |
JP3443628B2 (ja) | 付着水除去用溶剤組成物 | |
JPH04234497A (ja) | 清浄化組成物、および清浄化および水分離の方法 | |
JP2005281326A (ja) | 溶剤組成物 | |
JPH11503783A (ja) | シクロアルカンを主成分とする洗浄剤 | |
JPH01132693A (ja) | フラツクス洗浄剤 | |
JP3497647B2 (ja) | 洗浄組成物および洗浄方法 | |
JPH0649492A (ja) | 洗浄溶剤の組成物 | |
JPH01139104A (ja) | 付着水除去用溶剤 |