PL58164B1 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL58164B1 PL58164B1 PL121776A PL12177667A PL58164B1 PL 58164 B1 PL58164 B1 PL 58164B1 PL 121776 A PL121776 A PL 121776A PL 12177667 A PL12177667 A PL 12177667A PL 58164 B1 PL58164 B1 PL 58164B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- etching
- resistance
- solution
- nickel
- per minute
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 11
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910000570 Cupronickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N copper nickel Chemical compound [Ni].[Cu] YOCUPQPZWBBYIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 claims 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000029087 digestion Effects 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
Description
Pierwszenstwo: Opublikowano: 20.X.1969 58164 KI. 42 k, 45/03 MKP GOl./fltó UKD Wspóltwórcy wynalazku: mgr inz. Lucjan Bukowski, mgr inz. Henryk Majewski, mgr inz. Edward Sychowicz, inz.Czeslawa Wróblowa Wlasciciel patentu: Dowództwo Wojsk Lotniczych, Warszawa (Polska) Sposób wytwarzania foliowych tensometrów elektrooporowych do pomiaru odksztalcen i urzadzenie do stosowania tego sposobu Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarza-: nia foliowych tensometrów elektrooporowych me¬ toda chemigraficzna z folii sporzadzonych ze sto¬ pów oporowych, takich, jak stopy niklu z chro¬ mem lub niklu z miedzia, oraz urzadzenie do sto¬ sowania tego sposobu.Znane metody chemigraficzne, którymi wytwa¬ rza sie np. obwody drukowane; nie zapewniaja dostatecznej precyzji uzyskiwanych ksztaltów i opornosci.Tensometry, wytwarzane wedlug sposobów po¬ danych w literaturze zawierajacej opisy metod che- migraficznych, róznia sie miedzy soba opornoscia, która dla jednej serii waha sie w granicach od kilkunastu do kilkudziesieciu ohmów.Celem wynalazku jest opracowanie takiego spo¬ sobu i urzadzenia do stosowania tego sposobu, któ¬ re zapewniaja utrzymanie rozrzutu opornosci ten¬ sometrów w granicach 1 ohma dla jednej serii.Tensometry foliowe wytwarza sie, nanoszac na folie oporowa, znanymi metodami stosowanymi w chemigrafii, rysunek tensometru i nastepnie wy¬ trawia sie folie w roztworze chlorku zelazowego, uzyskujac siatke oporowa tensometru.W sposobie wedlug wynalazku, proces trawie¬ nia folii oporowych z naniesionym ochronnym ry¬ sunkiem, polega na tym, ze folia zostaje umiesz¬ czona na powierzchni roztworu trawiacego, który jest mieszany sprezonym powietrzem, a tym sa¬ mym tlen z powietrza dostarczany ject do roztwo- 10 15 20 30 ru, co zapewnia równomierne trawienie folii oraz mozliwosc regulacji procesu trawienia zmianami cisnienia powietrza doprowadzonego do roztworu.Dzieki temu, dla danej serii rozrzut opornosci co najmniej 90% wytwarzanych tensometrów utrzy¬ muje sie w granicach 1 ohma, Przedmiot wynalazku przedstawiony jest w przykladzie wykonania na rysunku, który przed¬ stawia przekrój poprzeczny urzadzenia wedlug wy¬ nalazku.Zbiornik 1 zawiera roztwór chlorku zelazowego 2, o gestosci okolo 1,36 g/cm8. Folie oporowa 6 z naniesionym rysunkiem ochronnym przymocowuje sie do plytki 4. Bezposrednio pod powierzchnia folii oporowej i równolegle do niej umieszczona jest belkotka 3, której plaska powierzchnia jest oddalona od powierzchni folii oporowej o 0,5 do 5 mm, najlepiej 3 mm. Powierzchnia belkotki po¬ siada otwory doprowadzajace powietrze o sredni¬ cy 0,1 do 0,5 mm, w ilosci 6 do 30 otworów na 1 cm2, najlepiej 15 otworów na 1 cm2. Do belkotki doprowadza sie powietrze przewodem 7 o nadcis¬ nieniu od 50 do 250 milimetrów slupa rteci, naj¬ lepiej okolo 150 mm slupa rteci. Cisnienie powie¬ trza doprowadzanego do belkotki jest mierzone manometrem 5.W opisanym urzadzeniu poddaje sie trawieniu folie oporowa wykonana ze znanych stopów niklu i miedzi, utrzymujac stala szybkosc trawienia od 2 do 3 mikronów na minute, najlepiej 2,5 mikrona 5816458164 3 na minute, przy czym szybkosc trawienia w gra¬ nicach ± 30% reguluje sie, zmieniajac cisnienie powietrza doprowadzonego do belkotki. Folie opo¬ rowa wykonana ze znanych stopów niklu z chro¬ mem trawi sie w tym samym urzadzeniu, stosu¬ jac dodatek kwasu solnego do chlorku zelazowego, przy czym utrzymuje sie szybkosc trawienia w granicach od 0,3 do 0,8 mikrona na minute, naj¬ lepiej 0,5 mikrona na min. PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wytwarzania foliowych tensometrów elektrooporowych do pomiaru odksztalcen przez trawienie folii oporowej z rysunkiem ochron¬ nym, w roztworze chlorku zelazowego, zna¬ mienny tym, ze folie oporowa umieszcza sie na powierzchni roztworu trawiacego, a roztwór trawiacy miesza sie i utlenia doprowadzanym powietrzem o regulowanym cisnieniu. 10 15 20 Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze utrzymuje sie stala szybkosa trawienia folii oporowych ze stopów miedzi z niklem w grani¬ cach od 2 do 3 mikronów na minute, a szyb¬ kosc trawienia folii ze stopów oporowych niklu z chromem w granicach od 0,3 do 0,8 mikrona na minute, przy czym szybkosc trawienia w granicach ± 30% reguluje sie zmianami cisnie¬ nia powietrza doprowadzanego do roztworu tra¬ wiacego, które to cisnienie utrzymuje sie na poziomie wyzszym od cisnienia atmosferyczne¬ go o 50 do 250 milimetrów slupa rteci. Urzadzenie do stosowania sposobu wedlug zastrz. 1 i 2, skladajace sie ze zbiornika na roz¬ twór chlorku zelazowego i przewodu doprowa¬ dzajacego powietrze, znamienne tym, ze plaska powierzchnia belkotki (3) umieszczona jest rów¬ nolegle do folii oporowej (6) i posiada na swej powierzchni od 6 do 30 otworów na 1 centy¬ metr kwadratowy. j^+jm^y^+*^^w^^^+x&*s WDA-l. Zam. 305
- 2. Naklad 230 e?7. PL
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL58164B1 true PL58164B1 (pl) | 1969-06-25 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2152943B2 (de) | Verfahren zum Abtragen von Material | |
| DE2554536C2 (de) | Verfahren zum Bestimmen der Breite und/oder des Schichtwiderstandes von flächenhaften Leiterzügen integrierter Schaltungen | |
| DE102011013398A1 (de) | Magnetisches Ortungssystem | |
| DE3885901T2 (de) | Messvorrichtung zur überprüfung von strahlungsfeldern radiotherapeutischer behandlungsapparate. | |
| DE236285T1 (de) | Einrichtung fuer die hyperthermische behandlung von tumoren. | |
| PL58164B1 (pl) | ||
| DE2344008C3 (de) | Meßgerät zum Messen von Veränderungen der physikalischen Eigenschaften eines magnetisch oder elektrisch leitenden Untersuchungsobjekts | |
| DE102018115763A1 (de) | Dampfauftragsmaskensubstrat, Verfahren zum Herstellen eines Dampfauftragsmaskensubstrats, Verfahren zum Herstellen einer Dampfauftragsmaske und Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung | |
| DE2120910B2 (de) | Positionstableau mit markierungsstift | |
| US5259920A (en) | Manufacturing method, including etch-rate monitoring | |
| EP2966432A1 (de) | Vorrichtung zur messung einer durch diffusion durch ein probenmaterial abgegebenen menge eines stoffes | |
| DE2726223C2 (de) | Verfahren zur Herstelung einer Mischung verdünnter Schwefelsäure bestimmter Dichte | |
| DE3328536A1 (de) | Druckmessverfahren und -vorrichtung | |
| FR2458202B1 (fr) | Procede, matiere et appareil de fabrication de circuits imprimes | |
| DE3642067A1 (de) | Stroemungsmesser mit elektronischer einstellbarkeit von messmodul und anzeige | |
| DE2734842B2 (de) | Verfahren zur Feststellung des Durchbrechens von öffnungen beim Ätzen | |
| WO2008152506A2 (en) | A method and a device for depositing or removing a layer on/from a workpiece, an analysis method and device for analysing an expected layer thickness, a method for setting up a database for such an analysis method or device, as well as such a database | |
| CN115164803B (zh) | 一种快速计算pcb面铜厚度方法 | |
| JP2022165816A5 (pl) | ||
| JP6355980B2 (ja) | 歪測定装置および歪測定方法 | |
| DE319680C (de) | Vorrichtung zur Berechnung der Stabspannungen raeumlicher Fachwerke | |
| DE1924469C3 (pl) | ||
| DE112009004710B4 (de) | Werkstückmessverfahren, Elektroerosions-Bearbeitungsverfahrenund Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung | |
| US1256029A (en) | Corset-pattern system. | |
| CH347022A (de) | Wärmeleitungsmanometer |