PL224447B1 - Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej - Google Patents

Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej

Info

Publication number
PL224447B1
PL224447B1 PL400511A PL40051112A PL224447B1 PL 224447 B1 PL224447 B1 PL 224447B1 PL 400511 A PL400511 A PL 400511A PL 40051112 A PL40051112 A PL 40051112A PL 224447 B1 PL224447 B1 PL 224447B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
frame
liquid
liquid forming
forming die
intercepting
Prior art date
Application number
PL400511A
Other languages
English (en)
Other versions
PL400511A1 (pl
Inventor
Piotr Kula
Robert Pietrasik
Radomir Atraszkiewicz
Konrad Dybowski
Wojciech Modrzyk
Original Assignee
Advanced Graphene Products Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Graphene Products Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością filed Critical Advanced Graphene Products Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością
Priority to PL400511A priority Critical patent/PL224447B1/pl
Priority to EP12769768.8A priority patent/EP2888200A1/en
Priority to PCT/PL2012/000085 priority patent/WO2014035264A1/en
Publication of PL400511A1 publication Critical patent/PL400511A1/pl
Publication of PL224447B1 publication Critical patent/PL224447B1/pl

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/182Graphene
    • C01B32/184Preparation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/182Graphene
    • C01B32/194After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej.
Znane dotychczas metody wytwarzania jedno lub wielowarstwowego grafenu (opis patentowy US 2011/0108609, US 2011/0033688, US 2009/0155561, US 2011/0033688) zasadniczo polegają na nasycaniu metalicznego podłoża węglem i wydzielaniu mono lub polikrystalicznego grafenu w wyniku ograniczonej, malejącej wraz z temperaturą, rozpuszczalności węgla w metalicznym podłożu. Węgiel podczas nasycania, najczęściej z wykorzystaniem metod CVD, rozpuszcza się w podłożu metalicznym, tworząc roztwór stały, z którego w wyniku chłodzenia wydziela się w korzystnych warunkach grafen.
Innym sposobem wytwarzania grafenu jest epitaksjalny jego wzrost na podłożu będącym substratem o odpowiednio ukierunkowanych płaszczyznach (opis patentowy US 2011/0033688, EP 2 392 547). Wszystkie te sposoby, polegają na wytwarzaniu grafenu na podłożach katalitycznych w stanie stałym.
Znane są również metody otrzymywania grafenu na podłożach metalicznych będących w stanie ciekłym. Na przykład sposób przedstawiony w zgłoszeniu patentowym US 2012/0082787. Metoda ta polega na przeniesieniu wytworzonej uprzednio przez naparowanie na organiczny film warstwy amorficznego węgla na podłoże ciekłego galu (lub indu, cyny, antymonu) i wytworzeniu warstwy grafenowej w wyniku reakcji grafityzacji wywołanej na styku faza stała - faza ciekła. Inna ze znanych metod przedstawiona w opisie US2010/0055464 polega na tym, że z mieszaniny eutektycznej utworzonej przez czysty grafit i roztwór na bazie Ni (lub Cr, Mn, Fe, Co, Ta, Pd, Pt, La, Ce lub ich stopów), po dczas krystalizacji wydzielają się warstwy grafenowej. W tym celu na przykład na płytce czystego nik lu kładzie się dysk grafitowy, ogrzewa do temperatury 1500°C, wygrzewa w próżni i powoli chłodzi. Można do tego wykorzystać również stop żelaza z niklem lub Ni i Cu, których proszki wymieszane ze spektralnie czystym proszkiem grafitowym zasypuje się do formy grafitowej, następnie nagrzewa w podciśnieniu do temperatury topnienia stopu. Ponieważ gęstość grafitu jest niższa niż stopu, płatki grafitowe będą unosić się na powierzchni metalicznej cieczy, tworząc podczas chłodzenia grafen.
Znany jest też sposób wytwarzania opisany w zgłoszeniu patentowym nr P.399096 polegający na tym, że grafen krystalizuje się z matrycy stopionego metalu na stałym podłożu metalowym lub ceramicznym. Matrycą formującą grafen jest warstwa metalu lub stopu metali o temperaturze topnienia z zakresu od 1051°C do 1150°C (np. Cu) na podłożu stałym wielowarstwowym, o warstwach 1 do 5 utworzonych z materiałów o temperaturach topnienia od 1151°C do 3410°C (tj. Pt, Pd, Ni, Si lub SiO2). Tak przygotowaną strukturę nawęgla się w atmosferze węglowodorów (mieszanina etylenu i acetylenu oraz wodoru) dodatkowo rozcieńczonej argonem w temperaturze od 0,5°C do 50°C powyżej temperatury topnienia matrycy formującej. Następnie chłodzi w argonie, z szybkością w przedziale od 0,1 do 2°C/min.
Wszystkie opisane powyżej metody otrzymywania grafenu z fazy ciekłej zasadniczo nie przedstawiają sposobu oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej (chociaż jest to zauważalny pr oblem - opis US2010/0055464), co może powodować istotne trudności w szerokim wykor zystaniu wytworzonych w ten sposób płatów grafenowych, szczególnie o większych powierzchniach.
Istota sposobu według wynalazku polega na tym, po zakończeniu procesu schładzania ciekłej matrycy formującej oddzielanie warstwy grafenu prowadzi się według następujących etapów:
- pozycjonowanie nad lustrem ciekłej matrycy formującej ramy przechwytującej, zawierającej napięte przewodzące włókna węglowe, w układzie siatkowym, podczas etapu schładzania,
- obniżanie, w trakcie dalszego schładzania, ramy przechwytującej aż do momentu styku i z lustrem ciekłej matrycy formującej i/lub zanurzenia ramy przechwytującej w ciekłej matrycy formującej,
- unoszenie ramy przechwytującej z przyłączoną warstwą grafenu na wysokość od 1 do 100 mm powyżej ciekłej matrycy formującej.
Korzystnym jest gdy zamiast ramy przechwytującej stosuje się zespół ramy dociskowej oraz przesuwnej taśmy przechwytującej z przewodzących włókien węglowych, przy czym taśma przechw ytująca jest usytuowana pomiędzy lustrem ciekłej matrycy formującej a ramą dociskową, którą - poprzez docisk - stabilizuje się taśmę przechwytującą.
Korzystnym jest także gdy ramę przechwytującą i/lub dociskową przesuwa się w kierunku pionowym z prędkością od 0,001 do 10 mm/s i dokładnością pozycjonowania od 0,001 do 1 mm.
PL 224 447 B1
Następnie korzystnym jest gdy ramy przechwytująca i/lub dociskowa charakteryzują się geom etrią okręgu lub wieloboku, przy czym układ włókien węglowych jest oparty o geometrię wieloboku o wymiarach od 0,1 do 250 mm.
Dalej korzystnym jest gdy pierwsze dwa etapy prowadzi się następująco:
- pozycjonowanie ramy przechwytującej o średnicy 50 mm, z napiętymi włóknami węglowymi o wzorze plastra miodu i wielkości pojedynczego oka plastra około 1 mm, na wysokości 5 mm powyżej lustra ciekłej matrycy formującej,
- opuszczanie ramy przechwytującej, aż do momentu styku z lustrem ciekłej matrycy formującej, z prędkością 1 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,01 mm.
Korzystnym jest także gdy pierwsze dwa etapy prowadzi się następująco:
- pozycjonowanie ramy dociskowej o wymiarach 50 x 25 mm na wysokości 5 mm powyżej lustra ciekłej matrycy formującej, przy czym rama dociskowa współdziała z przesuwną taśmą przechw ytującą z odpowiednio napiętymi włóknami węglowymi o wzorze dającym oka o geometrii prostokąta i wielkości pojedynczego oka 0,5 x 1 mm,
- opuszczanie ramy dociskowej, aż do momentu styku z lustrem ciekłej matrycy formującej, prędkością 0,5 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,005 mm.
Sposób według wynalazku umożliwia wytworzenie materiału o prawie perfekcyjnej ciągłej strukturze i bardzo wysokiej wytrzymałości. Osadzony na stopionym metalu grafen ma - jak każda ciecz doskonale płaską powierzchnię. Uzyskany grafen ma uporządkowaną strukturę na dużych powierzchniach, co pozwala zbliżyć się do właściwości funkcjonalnych czy elektrycznych takich, jakie teoretycznie ma doskonała struktura grafenu.
Wynalazek zostanie przybliżony za pomocą przykładów i rysunków, na których poszczególne figury przedstawiają:
fig. 1 - schemat ideowy urządzenia do wytwarzania grafenu, fig. 2 - przykłady splotów włókien przewodzących, fig. 3 - schemat ideowy ramowego systemu włókien przewodzących, przeznaczonego do pracy cyklicznej bądź ciągłej, przy czym na poszczególnych figurach wprowadzono następujące oznaczenia:
indukcyjny lub oporowy system grzania
2a. rama kształtująca z układem włókien przewodzących
2b. rama przechwytująca taśmę włókien przewodzących
3. podłoże metalowe
4. ciekła matryca formująca grafen
5. system chłodzenia
6. termoelement
7. zespół dysz nawęglających
8. taśma włókien przewodzących prąd
9. zespół rolek prowadzących taśmę włókien przewodzących
P r z y k ł a d 1
Po zakończeniu etapów nagrzewania ciekłej matrycy formującej 4 na podłożu metalowym 3 za pośrednictwem indukcyjnego wzbudnika jako systemu grzania 1 z termoelementem 6, oraz dozowania mieszaniny węglowodorów poprzez zespół dysz nawęglających 7, w trakcie schładzania matrycy formującej 4 za pośrednictwem systemu chłodzenia 5, w temperaturze 1085°C i w ciśnieniu argonu 1063 hPa, na lustro matrycy formującej 4 nasunięto, przy użyciu mechanizmu dźwigniowego, ramę kształtującą 2a z układem odpowiednio napiętych węglowych włókien przewodzących o splocie dającym oka o geometrii plastra miodu. Wielkość pojedynczego oka splotu wynosiła 1 mm, zaś średnica ramy formującej 4-50 mm, przy czym odległość od lustra matrycy formującej 4 wynosiła 5 mm. W trakcie dalszego schładzania, rama kształtująca 2a była obniżana z prędkością 1 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,01 mm, aż do momentu styku z lustrem ciekłego metalu. W wyniku oddziaływań pomiędzy włóknami a warstwą grafenu oraz krystalizacji ciekłej matrycy formującej 4, nastąpiło przyczepienie i utrzymanie się monowarstwy grafenu na układzie włókien węglowych rozpiętych na ramie kształtującej 2a.
P r z y k ł a d 2
Po zakończeniu etapów nagrzewania ciekłej matrycy formującej 4 na podłożu metalowym 3 za pośrednictwem systemu grzania 1 z termoelementem 6, oraz dozowania mieszaniny węglowodorów poprzez zespół dysz nawęglających 7, w trakcie schładzania matrycy formującej 4 za pośrednictwem
PL 224 447 B1 systemu chłodzenia 5, w temperaturze 1088°C i w ciśnieniu argonu 1100 hPa, nad lustro matrycy formującej 4 nasunięto, przy użyciu mechanizmu dźwigniowego, ramę przechwytującą 2b o wymiarach 50 x 25 mm, która umocowała i ustabilizowała taśmę 8 odpowiednio napiętych włókien przewodzących węglowych, o splocie dającym oka o geometrii prostokąta i wielkości pojedynczego oka splotu 0,5 x 1 mm, napędzaną za pośrednictwem zespołu rolek prowadzących 9. W trakcie dalszego schładzania, rama kształtująca 2b była obniżana z prędkością 0,5 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,005 mm, aż do momentu styku z lustrem ciekłego metalu W wyniku oddziaływań pomiędzy włóknami a warstwą grafenową oraz krystalizacji ciekłej matrycy formującej 4, nastąpiło przyczepienie i utrzymanie się monowarstwy grafenu na taśmie 8.

Claims (6)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Sposób oddzielania warstwy grafenu od ciekłej matrycy formującej podczas procesu wytwarzania grafenu, polegającego na tym że płytę wielowarstwową, zawierającą, jako ciekłą matrycę formującą, stopioną warstwę zewnętrzną metalu lub stopu metali o temperaturze topnienia w przedziale od 1051°C do 1150°C oraz, jako podłoże, od 1 do 5 warstw z metali przejściowych i/lub ich stopów i/lub metaloidów i/lub ich roztworów oraz związków o temperaturach topnienia w przedziale od 1 1 51°C do 3410°C, obrabia się termicznie w następujących etapach:
    - nagrzewanie do momentu osiągnięciu przez płytę temperatury od 0,5°C do 50°C powyżej temperatury topnienia matrycy formującej,
    - wygrzewanie w stałej lub zmiennej temperaturze z tego zakresu przez okres od 60 do 600 s ekund, dozując przy tym do atmosfery mieszaninę węglowodorów, korzystnie acetylen przy ciśnieniu cząstkowym od 0 do 4 hPa, etylen przy ciśnieniu cząstkowym od 0 do 4 hPa oraz wodór przy ciśnieniu cząstkowym od 0 do 2 hPa przez czas od 10 do 300 sekund,
    - schładzanie, podczas którego, w przedziale temperatur od 1200°C do 1050°C, utrzymuje się szybkość schładzania w zakresie od 0,1 do 2°C/min, przy czym poszczególne etapy nagrzewania, wygrzewania oraz schładzania przeprowadza się w atmosferze czystego argonu o stałym ciśnieniu cząstkowym nie większym niż 1100 hPa, znamienny tym, że po zakończeniu procesu schładzania ciekłej matrycy formującej (4), oddzielanie warstwy grafenu prowadzi się według następujących etapów:
    a/ pozycjonowanie nad lustrem ciekłej matrycy formującej (4) ramy przechwytującej (2a), zawierającej napięte przewodzące włókna węglowe, w układzie siatkowym, podczas etapu schładzania, b/ obniżanie, w trakcie dalszego schładzania, ramy przechwytującej (2a) aż do momentu styku i z lustrem ciekłej matrycy formującej (4) i/lub zanurzenia ramy przechwytującej (2a) w ciekłej matrycy formującej (4), c/ unoszenie ramy przechwytującej (2a) z przyłączoną warstwą grafenu na wysokość od 1 do 100 mm powyżej ciekłej matrycy formującej (4).
  2. 2. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że zamiast ramy przechwytującej (2a) stosuje się zespół ramy dociskowej (2b) oraz przesuwnej taśmy przechwytującej (8) z przewodzących włókien węglowych, przy czym taśma przechwytująca (8) jest usytuowana pomiędzy lustrem ciekłej matrycy formującej (4) a ramą dociskową (2b), którą - poprzez docisk - stabilizuje się taśmę przechwytującą (8).
  3. 3. Sposób według zastrz. 1 albo 2, znamienny tym, że ramę przechwytującą (2a) i/lub dociskową (2b) przesuwa się w kierunku pionowym z prędkością od 0,001 do 10 mm/s i dokładnością pozycjonowania od 0,001 do 1 mm.
  4. 4. Sposób według jednego z zastrz. 1 albo 2, albo 3, znamienny tym, że ramy przechwytująca (2a) i/lub dociskowa (2b) charakteryzują się geometrią okręgu lub wieloboku, przy czym układ włókien węglowych jest oparty o geometrię wieloboku o wymiarach od 0,1 do 250 mm.
  5. 5. Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że pierwsze dwa etapy prowadzi się następująco: a/ pozycjonowanie ramy przechwytującej (2a) o średnicy 50 mm, z napiętymi włóknami węglowymi o wzorze plastra miodu i wielkości pojedynczego oka plastra około 1 mm, na wysokości 5 mm powyżej lustra ciekłej matrycy formującej (4).
    b/ opuszczanie ramy przechwytującej (2a), aż do momentu styku z lustrem ciekłej matrycy formującej (4), z prędkością 1 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,01 mm.
  6. 6. Sposób według zastrz. 2, znamienny tym, że pierwsze dwa etapy prowadzi się następująco:
    PL 224 447 B1 a/ pozycjonowanie ramy dociskowej (2b) o wymiarach 50 x 25 mm na wysokości 5 mm powyżej lustra ciekłej matrycy formującej (4), przy czym rama dociskowa (2b) współdziała z przesuwną taśmą przechwytującą (8) z odpowiednio napiętymi włóknami węglowymi o wzorze dającym oka o geometrii prostokąta i wielkości pojedynczego oka 0,5 x 1 mm, b/ opuszczanie ramy dociskowej (2b), aż do momentu styku z lustrem ciekłej matrycy formującej (4), prędkością 0,5 mm/s i dokładnością pozycjonowania 0,005 mm.
PL400511A 2012-08-25 2012-08-25 Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej PL224447B1 (pl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL400511A PL224447B1 (pl) 2012-08-25 2012-08-25 Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej
EP12769768.8A EP2888200A1 (en) 2012-08-25 2012-09-11 Method for separating graphene from the liquid forming matrix
PCT/PL2012/000085 WO2014035264A1 (en) 2012-08-25 2012-09-11 Method for separating graphene from the liquid forming matrix

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL400511A PL224447B1 (pl) 2012-08-25 2012-08-25 Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL400511A1 PL400511A1 (pl) 2014-03-03
PL224447B1 true PL224447B1 (pl) 2016-12-30

Family

ID=47003188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL400511A PL224447B1 (pl) 2012-08-25 2012-08-25 Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2888200A1 (pl)
PL (1) PL224447B1 (pl)
WO (1) WO2014035264A1 (pl)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3748038A2 (en) 2020-06-29 2020-12-09 Advanced Graphene Products Sp. z o.o. Method for manufacturing large-area graphene on polymer supports by hydrogen delamination

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101344493B1 (ko) 2007-12-17 2013-12-24 삼성전자주식회사 단결정 그라펜 시트 및 그의 제조방법
US20100055464A1 (en) 2008-07-08 2010-03-04 Chien-Min Sung Graphene and Hexagonal Boron Nitride Planes and Associated Methods
FR2937343B1 (fr) * 2008-10-17 2011-09-02 Ecole Polytech Procede de croissance controlee de film de graphene
WO2010110153A1 (ja) 2009-03-27 2010-09-30 独立行政法人科学技術振興機構 グラフェン膜の製造方法、電子素子の製造方法および基板へのグラフェン膜の転写方法
US10167572B2 (en) 2009-08-07 2019-01-01 Guardian Glass, LLC Large area deposition of graphene via hetero-epitaxial growth, and products including the same
KR101636442B1 (ko) 2009-11-10 2016-07-21 삼성전자주식회사 촉매합금을 이용한 그라핀의 제조방법
PL213291B1 (pl) 2010-06-07 2013-02-28 Inst Tech Material Elekt Sposób wytwarzania grafenu
KR101793684B1 (ko) * 2010-11-19 2017-11-03 한화테크윈 주식회사 그래핀 전사장치
PL224409B1 (pl) 2012-05-04 2016-12-30 Politechnika Łódzka Sposób wytwarzania grafenu z ciekłego metalu

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3748038A2 (en) 2020-06-29 2020-12-09 Advanced Graphene Products Sp. z o.o. Method for manufacturing large-area graphene on polymer supports by hydrogen delamination

Also Published As

Publication number Publication date
EP2888200A1 (en) 2015-07-01
WO2014035264A8 (en) 2014-05-30
PL400511A1 (pl) 2014-03-03
WO2014035264A1 (en) 2014-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101513136B1 (ko) 그래핀 필름의 제조방법, 그래핀 필름, 및 이를 포함하는 전자 소자
KR101456837B1 (ko) 증발 재료 및 증발 재료의 제조 방법
US20140120270A1 (en) Direct growth of graphene films on non-catalyst surfaces
US9284640B2 (en) Method of producing graphene from liquid metal
JP2013501695A5 (pl)
CN108728813B (zh) 一种快速连续制备超大单晶薄膜的方法及装置
US20170190579A1 (en) Carbon nanotube compositions
CN103938130B (zh) 纳米多孔镍块体的制备方法
CN102627275B (zh) 一种通过熔融含碳合金在凝固过程中析出碳制备石墨烯的方法
JP3673436B2 (ja) 炭素基金属複合材料およびその製造方法
CN110295357B (zh) 一种快速宏量制备超大尺寸二维材料薄膜的方法及装置
CN109402530B (zh) 一种硼基非晶合金材料及其制备方法
TW201245040A (en) Method of producing graphite film
CN114951646B (zh) 一种金属纳米颗粒负载的石墨烯材料的一步超快制备方法
JP5248916B2 (ja) クラスレート化合物の製造方法
US20140202389A1 (en) Apparatus for fabricating ingot
PL224447B1 (pl) Sposób oddzielania grafenu od ciekłej matrycy formującej
WO2010125674A1 (ja) SiC基板の作製方法
EP2865646A1 (en) Method of producing graphene from liquid metal
KR101529235B1 (ko) 저마찰 특성을 가지는 나노구조 복합박막, 그 제조방법 및 저마찰 특성 부재 및 그 제조방법
KR101539647B1 (ko) 비정질 형성능을 가지는 결정질 합금, 그 제조방법, 스퍼터링용 합금타겟 및 그 제조방법
KR102396215B1 (ko) 단결정 금속포일 및 이의 제조방법
KR101517146B1 (ko) 저마찰 특성을 가지는 나노구조 복합박막, 그 제조방법 및 저마찰 특성 부재 및 그 제조방법
EP3425073A1 (en) Method for producing carbon composite material, and carbon composite material
CN112941356A (zh) 一种Cu-MoNbTaVW难熔高熵合金双连续结构材料及其制备方法