NL8902640A - Werkwijze en inrichting voor het detecteren van parameters van een digitaal stuurbare procesketen voor het sturen van de aftasting van een gegevensdrager. - Google Patents

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Werkwijze en inrichting voor het detecteren van parameters van een digitaal stuurbare procesketen voor het sturen van de aftasting van een gegevensdrager.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het detecteren van een of meer parameters van een digitaal stuurbare procesketen voor het sturen van de aftasting van een gegevensdrager, onder toepassing van excitatiemiddelen voor het met een detectiesignaal met bekende eigenschappen exciteren van de procesketen en detectiemiddelen voor het detecteren van de responsie van de procesketen op het aangelegde detectiesignaal.

Door het bijvoorbeeld vergelijken van de amplitude van het gedetecteerde responsiesignaal met de amplitude van het aangelegde detectiesignaal of met een vast ingesteld referentiesignaal kan een maat voor de versterking van de procesketen worden verkregen. Uit de energie-inhoud van het responsiesignaal kan bijvoorbeeld een maat voor een offset-fout worden afgeleid.

Een werkwijze van de bovengenoemde soort is op zichzelf bekend uit het Europese octrooischrift 0.021.510 en de Amerikaanse octrooischriften 4.471.477 en 4.482.989 welke alle betrekking hebben op inrichtingen voor het langs optische weg aftasten van een gegevensdrager.

In het genoemde Europese octrooischrift vormt het focusse-ringsstelsel van de optische aftastketen de digitaal gestuurde procesketen, terwijl aan de beide Amerikaanse octrooischriften het langs digitale weg sturen van het relatieve positioneringsstelsel van de optische aftastketen en de gegevensdrager bij het aftasten hiervan ten grondslag ligt.

Voor het sturen van de beide procesketens wordt gebruik gemaakt van het door de optische aftastketen opgewekte informatiesig-naal en/of van een of meer optisch opgewekte meetsignalen. De prestaties van de optische aftastketen en de hiermee samenwerkende stuurke-tens zijn onder meer afhankelijk van optische, mechanische en elektrische toleranties en andere onvolkomenheden, hetgeen aanleiding kan geven tot instabiliteiten of stuurfouten. Een asymmetrische intensi-teitsverdeling in de optische aftastketen kan de aanleiding zijn voor een offset-fout, terwijl bijvoorbeeld de eigenschappen van de gegevens drager zelf de sterkte van het informatiesignaal en de meetsignalen bepalen, hetgeen van invloed is op de totale versterking van de stuur-ketens en bijgevolg op de bandbreedte hiervan. Een te ruime stuurband-breedte kan bijvoorbeeld leiden tot een instabiele sturing van de aftastketen. Het is daarom zaak te streven naar stuurketens met zoveel mogelijk constante eigenschappen en prestaties.

Bij de genoemde, bekende aftastinrichtingen wordt met de, in de aanhef genoemde werkwijze o.a. informatie verkregen omtrent afwijkingen van de gewenste versterking en offset-fouten in de optische aftastketen. Het focusseringsstelsel en het positioneringsstelsel worden daartoe elk tijdens bedrijf continu met een sinusvormig detec-tiesignaal van bekende frequentie en amplitude geëxciteerd. De amplitude is daarbij bijvoorbeeld afgestemd op de afmetingen van de af te tasten gegevensvlakjes van de drager, terwijl de frequentiegrenzen met name worden bepaald door de in het betreffende proces toegepaste (mechanische) aandrijfmiddelen. Uit de stuursignalen van de stuurketens kan met op zich bekende technieken zoals amplitude- of fasedetectie de responsie op het aangelegde sinusvormige detectiesignaal worden gedetecteerd.

De keuze van de frequentie van het detectiesignaal wordt in hoofdzaak bepaald door de eis van een zo gering mogelijke warmte-ont-wikkeling en dus een zo gering mogelijk elektrisch vermogensverbruik, hetgeen in het bijzonder van belang is voor compacte draagbare aftastinrichtingen met voedingsmiddelen zoals batterijen of accu's. Gebleken is dat bij een in de praktijk toegepast detectiesignaal met een frequentie in de orde-grootte van 200 Hz reeds circa S0% van het, door bijvoorbeeld het positioneringsstelsel opgenomen elektrische vermogen voor het detectiesignaal bestemd is.

Aangetoond kan worden dat het elektrische vermogen ten behoeve van het detectiesignaal lineair evenredig is met de vierde macht van de frequentie van het detectiesignaal. Vanuit het oogpunt van energieverbruik heeft een relatief lage frequentie derhalve de voorkeur. Gebleken is echter dat er in het geval van bijvoorbeeld draagbare aftastinrichtingen, voorzien van een eigen geluidweergeefstelsel, akoestische terugkoppeling optreedt welke het sterkst is in het gebied tussen 100 en 400 Hz. Vooral in situaties met relatief hoge geluidssterkte kan een ongewenste verstoring van de stuursignalen van de stuurketens optreden, ongeacht de toepassing van amplitude- of fasede- tectie.

Aan de uitvinding ligt nu de opgave ten grondslag om de, in de aanhef genoemde werkwijze zodanig te verbeteren dat de beoogde detectie van de parameters met een detectiesignaal van relatief hoge frequentie kan worden uitgevoerd, zonder dat het opgenomen elektrische vermogen significant hoger is in vergelijking tot een detectiesignaal met lagere frequentie. Een vermindering van het opgenomen elektrische vermogen geniet uiteraard de voorkeur.

Volgens de uitvinding wordt dit daardoor bereikt, dat de procesketen intermitterend met het detectiesignaal wordt geëxciteerd.

Aan de uitvinding ligt het inzicht ten grondslag dat de aftasting van een gegevensdrager een relatief langzaam variërend proces is, waarvoor in wezen geen continue procesbewaking noodzakelijk is, en dat bij digitaal gestuurde procesketens de bijvoorbeeld ingestelde versterkings- en offset-waarden niet "weglekken” wanneer de stuurketen buiten bedrijf is.

Het zal duidelijk zijn dat door het intermitterend c.q. discontinu exciteren van de procesketens het totale vermogensverbruik en de ongewenste warmte-ontwikkeling beperkt kunnen worden, waardoor het mogelijk is om een relatief hoge detectiefrequentie te kiezen, buiten het gebied waarin stoorsignalen optreden. In het geval van de genoemde draagbare optische aftastinrichtingen kan bijvoorbeeld met een detectiefrequentie in de orde-grootte van 500 Hz worden gewerkt, waarmee een verminderde gevoeligheid van de stuurketens voor de genoemde akoestische terugkoppeling wordt bereikt.

Een relatief hoge excitatiefrequentie heeft verder als voordeel dat door toepassing van fasedetectie een gevoeligere detectie van de responsie op het aangelegde detectiesignaal kan worden verwezenlijkt dan onder toepassing van amplitudedetectie. Fasedetectie is eenvoudig te realiseren met behulp van de op zichzelf bekende synchrone detectie-techniek, welke ook voor het detecteren van offset-fouten wordt toegepast. Het excitatiesignaal kan bijvoorbeeld periodiek worden aangelegd.

De werkwijze volgens de uitvinding is in wezen geschikt voor toepassing bij alle adaptieve, digitaal stuurbare processtelsels waarbij van een bekend, extern detectiesignaal voor het identificeren van stelselparameters gebruik wordt gemaakt.

Een verder voordeel van de werkwijze volgens de uitvinding ligt daarin dat de excitatiemiddelen en de detectiemiddelen gemeen schappelijk voor het detecteren van een of meer parameters van afzonderlijke procesketens kunnen worden ingezet. Dit betekent dat voor het sturen van meerdere procesketens slechts een minimum aan extra schake-lingscomponenten en, in het geval van langs programmatische weg gestuurde componenten, een minimum aan extra programmatuur is vereist.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het optisch aftasten van een gegevensdrager, waarin met voordeel van de werkwijze volgens de uitvinding gebruik wordt gemaakt, omvattende een stralingsbron voor het afgeven van een aftaststraal, focusseringsmidde-len voor het naar de gegevensdrager richten van de aftaststraal, aandrijf middelen voor het verschaffen van een relatieve beweging tussen de gegevensdrager en de aftaststraal voor het aftasten van de gegevensdrager, leesmiddelen voor het detecteren van de informatie in de aftaststraal als gevolg van het aftasten van de gegevensdrager, middelen voor het opwekken van een meetsignaal representatief voor de afwijking tussen de momentane plaats waar de aftaststraal de gegevensdrager treft en het gewenste aftastpunt, eerste en tweede stuurmiddelen voor het aan de hand van het meetsignaal respectievelijk opwekken van een eerste stuursignaal voor de focusseringsmiddelen en een tweede stuursignaal voor de aandrijfmiddelen, ten behoeve van het reduceren van de genoemde afwijking, waarbij de meetmiddelen, de eerste stuurmiddelen en de focusseringsmiddelen deel uitmaken van een digitaal stuurbare eerste procesketen, waarbij de meetmiddelen, de tweede stuurmiddelen en de aandrijfmiddelen deel uitmaken van een digitaal stuurbare tweede procesketen, en waarbij verder excitatiemiddelen voor het met een detec-tiesignaal exciteren van althans een van de procesketens, detectiemid-delen voor het detecteren van de responsie van de betreffende procesketen op het detectiesignaal en met althans een van de stuurmiddelen verknoopte middelen voor het aan de hand van het detectiesignaal opwekken van een correctiesignaal voor het corrigeren van de genoemde afwijking zijn verschaft, met het kenmerk, dat met de excitatiemiddelen gekoppelde eerste schakelmiddelen zijn verschaft, voor het intermitterend met het detectiesignaal exciteren van de betreffende procesketen.

Een schakelingstechnisch voordelige verdere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat tweede schakelmiddelen zijn verschaft, voor het met de eerste of de tweede procesketen koppelen van de excitatiemiddelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van een correctiesignaal.

Zoals in het voorgaande reeds beschreven, zijn de prestaties van de optische aftastketen en de hiermee samenwerkende stuurketens afhankelijk van toleranties en andere onvolkomenheden, waaronder de eigenschappen van de af te tasten gegevensdrager zelf, hetgeen noodzaakt tot een adaptieve sturing van de eigenschappen van de procesketens, zoals de versterking en de bandbreedte.

Over het algemeen zal een gegevensdrager, in het af te tasten gebied hiervan, constante eigenschappen bezitten, bijvoorbeeld met betrekking tot de reflectiviteit hiervan. In een dergelijk geval kan meestal volstaan worden met een eenmalige instelling van het focusse-ringsstelsel.

De voorkeursuitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding heeft bijgevolg het kenmerk, dat de schakelmiddelen zijn ingericht voor het met de eerste procesketen koppelen van de excitatie-middelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van het correctiesignaal tijdens het starten van de inrichting, voor het instellen van de focusseringsmiddelen.

De meest optimale correctie van het aftaststelsel wordt met een nog weer verdere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding aldus bereikt, dat de schakelmiddelen zijn ingericht voor het afwisselend met de eerste en tweede procesketen koppelen van de excitatiemiddelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van het correctiesignaal. Met deze uitvoeringsvorm wordt de invloed van plaatselijke verstoringen van bijvoorbeeld de reflectiviteit van de gegevensdrager, als gevolg van vlekken en dergelijke, effectief gereduceerd.

Bij intermitterende excitatie van een of beide procesketens met een detectiesignaal van tweemaal hogere frequentie in vergelijking tot de stand van de techniek waarbij een of meer van de procesketens continu wordt geëxciteerd, kan een vermindering van het opgenomen elektrische vermogen worden bewerkstelligd wanneer, volgens een verdere uitvoeringsvorm van de inrichting volgens de uitvinding, de verhouding tussen de inschakel- en uitschakelperiode van de eerste schakelmiddelen gelijk aan of groter dan 0,05 is.

De uitvinding wordt in het navolgende met behulp van de tekening aan de hand van de toepassing in een optische aftastinrichting geïllustreerd.

De tekening toont het principeschema van een op de werkwijze volgens de uitvinding gebaseerde digitale stuurketen voor het optische aftaststelsel van een inrichting voor het optisch aftasten van een gegevensdrager, bijvoorbeeld een schijfvormige gegevensdrager zoals beschreven in de genoemde Europese octrooiaanvrage 0.021.510 en de beide Amerikaanse octrooischriften 4.471.477 en 4.482.989, welke door verwijzing als hier ingelast dienen te worden beschouwd.

Bij in de praktijk bekende schijfvormige gegevensdragers is de af te tasten informatie gerangschikt in sporen, met een spiraalvormig of concentrisch patroon. De schijf heeft zodanige eigenschappen dat een hierop treffende aftaststraal wordt gereflecteerd. De af te tasten informatie bestaat uit het wel of niet aanwezig zijn van reeksen van putjes in het af te tasten oppervlak van de schijf.

Voor het opwekken van de aftaststraal wordt in het algemeen een stralingsbron zoals een halfgeleiderlaser of helium-neonlaser toegepast. De door deze stralingsbron opgewekte lichtstraal wordt via instelbare focusseringsmiddelen, bestaande uit een of meer lenzen, tot een aftaststraal van gewenste doorsnede verwerkt. Voor het aftasten van de genoemde sporen is het aftaststelsel, via aandrijf- en positione-ringsmiddelen, in radiale richting ten opzichte van het schijfoppervlak beweegbaar uitgevoerd.

De door de gegevensdrager gereflecteerde aftaststraal bevat informatie over het wel of niet aanwezig zijn van een putje in het schijfoppervlak, welke informatie middels een leesdetector en verwer-kingsmiddelen overeenkomstig de stand van de techniek kan worden verwerkt .

In de praktijk bekende gegevensdragers hebben een spiraalvormig informatiespoor met een breedte van ca. 0,6 pm en een spoorafstand van 1,6 μ®· De gemiddelde diepte van de putjes bedraagt ca. 0,12 pm. Voor het aftasten van een dergelijke informatiestructuur dient de aftaststraal nauwkeurig het informatiespoor te volgen en scherp gefo-cusseerd te zijn. Voor het sturen van de focusserings- en positione-ringsmiddelen is daartoe voorzien in middelen welke een meetsignaal opwekken dat representatief is voor de afwijking tussen de momentane plaats waar de aftaststraal de gegevensdrager treft en het gewenste aftastpunt. Volgens de stand van de techniek kunnen deze middelen zijn opgebouwd uit twee verdere detectoren, welke samen met de leesdetector voor het detecteren van de gereflecteerde aftaststraal in één vlak zijn gerangschikt. Uit het licht dat op de beide verdere detectoren terecht komt kan, zoals bekend uit de stand van de techniek, een meetsignaal voor het sturen van de positionerings- en focusseringsmiddelen worden afgeleid.

Zoals in de inleiding reeds genoemd zijn de focusserings- en positioneringsmiddelen behept met optische, mechanische en elektrische toleranties en is hun werking voorts afhankelijk van de eigenschappen van de af te tasten gegevensdrager, zoals de reflectiviteit, de diepte van de putjes en dergelijke. Als gevolg van deze afwijkingen varieert de versterking van de stuurketens voor de focusserings- en positioneringsmiddelen en bijgevolg de bandbreedte, zoals uitvoerig beschreven en geïllustreerd in de beide genoemde Amerikaanse octrooischriften. Bandbreedtevariaties kunnen de aanleiding zijn voor instabiliteiten in de sturing van de optische aftastketen. Met name de afwijkingen als gevolg van de eigenschappen van de af te tasten gegevensdrager vereisen het adaptief instellen van de gewenste stuurbandbreedtes.

Het op de tekening getoonde principeschema is gebaseerd op de volgens de stand van de techniek bekende werkwijze, waarbij voor het adaptief bepalen van de versterking en de offset-fouten van een procesketen deze door middel van een excitatiesignaal wordt geëxciteerd, waarbij uit de responsie op dit signaal een maat voor de betreffende parameters wordt afgeleid en waarbij deze parameters zonodig kunnen worden gecorrigeerd.

Het blok Hf representeert de overdrachtsfunctie van de focus-seringsmiddelen, terwijl het blok Hp de overdrachtsfunctie van de positioneringsmiddelen van de aftastinrichting representeert. Het van de genoemde verdere detectoren verkregen meetsignaal levert een maat voor de totale versterking van de stuurketens voor de focusserings- en positioneringsmiddelen, hetgeen in de figuur is aangeduid door de blokken kf respectievelijk kp. Voor het instellen van de versterking van de stuurketens zijn voorts de met ok aangeduide blokken in de terugkoppellussen van de betreffende procesketens opgenomen welke blokken elk van een stuuringang 10 respectievelijk 11 zijn voorzien. Zoals geïllustreerd in de beide genoemde Amerikaanse octrooischriften kan door het op deze wijze variëren van de versterking de bandbreedte van de betreffende procesketen worden ingesteld.

Voor het bepalen van de gewenste parameters, zoals bijvoorbeeld de totale versterking van een procesketen, zijn de excitatiemid-delen in de vorm van een signaalbron E verschaft, welke een bij voor- keur sinusvormig detectiesignaal d met bekende eigenschappen, dat wil zeggen amplitude en frequentie, afgeeft voor het exciteren van de betreffende procesketens Hf respectievelijk Hp. Het via een opteller 12 respectievelijk 13 aan een procesketen toegevoerde detectiesignaal wordt verder aan detectiemiddelen bestaande uit een serieketen van een laagdoorlaatfilter 14, een detectieschakeling 15, een vergelijker 16 en een integrator 17 toegevoerd. De detectieschakeling 15 kan een op zich bekende schakeling voor amplitude- of fasedetectie zijn, waarbij in het laatste geval een ingang voor het toevoeren van het detectiesignaal d is verschaft, zoals met een enkele onderbroken lijn in de figuur is aangegeven. Het van de detectieschakeling 15 afkomstige signaal wordt aan een ingang (+) van de vergelijker 16 toegevoerd, aan de andere ingang (-) waarvan een geschikt referentiesignaal is aangesloten, respectievelijk afkomstig van een referentiebron REf of REp. Het door de vergelijker 16 afgegeven signaal wordt middels de integrator 17 geïntegreerd, hetgeen resulteert in een stuursignaal voor het instellen van de versterking en bijgevolg de stuurbandbreedte van de betreffende procesketen.

Door gebruik te maken van digitaal werkende componenten kan er voor worden gezorgd dat een eenmaal ingestelde versterking c.q. offset-correctie gehandhaafd blijft en niet weglekt zoals dit, zoals bekend, bij analoog werkende componenten wel het geval.

Overeenkomstig de uitvinding zijn nu schakelmiddelen en S2 verschaft, welke laatste in de figuur uit vier samenwerkende scha-kelelementen S21, S22* S23 en S24 zijn opgebouwd, waarbij de onderlinge koppeling door middel van dubbele onderbroken lijnen is aangeduid. De betreffende schakelmiddelen zijn in de figuur als mechanische schakelaars weergegeven. Het zal duidelijk zijn dat in de praktijk van digitale schakelmiddelen of -principes gebruik wordt gemaakt, hetgeen in voorkomende gevallen ook het langs programmatische weg uitvoeren van schakelfuncties kan omvatten.

Met behulp van de eerste schakelmiddelen Sf kan het detectiesignaal d van de signaalbron E intermitterend c.q. periodiek worden aangelegd. Door middel van de tweede schakelmiddelen, in casu S21 kan het detectiesignaal aan de (+)-ingang van de opteller 12 respectievelijk 13 worden toegevoerd. De detectiemiddelen worden daarbij middels de schakelaar S22 aan de betreffende procesketen toegewezen. Het geschikte referentiesignaal wordt door de schakelaar S24 ingesteld, terwijl het signaal aan de uitgang van de integrator 17 via de schakelaar S23 aan ofwel de ingang 10 van de middelen ük van de ene of aan de ingang 11 van de middelen ök voor het instellen van de versterking van de andere procesketen wordt toegevoerd. Voor het aan de afzonderlijke procesketens aanpassen van de amplitude van het detectiesignaal d kunnen afzonderlijke middelen zijn verschaft, zoals het met onderbroken lijnen aangegeven blok 18. Dit blok 18 kan bijvoorbeeld een verzwakker zijn.

Met behulp van de tweede schakelmiddelen S2 kan het detectiesignaal aan de ene Hf of de andere Hp procesketen worden toegevoerd. Wanneer de af te tasten gegevensdrager over het gehele af te tasten oppervlak nagenoeg optisch homogene eigenschappen heeft, kan met een eenmalige instelling van de focusseringsmiddelen bij het starten van de aftasting worden volstaan. De detectiemiddelen kunnen dan vervolgens tijdens het aftasten van de gegevensdrager continu aan de positione-ringsketen worden toegewezen, voor het nauwkeurig door de aftaststraal volgen van het informatiespoor op de gegevensdrager.

Het zal duidelijk zijn dat door het volgens de uitvinding geschikt schakelen van de detectiemiddelen en de excitatiemiddelen een adaptieve, optimale instelling van de focusseringsmiddelen en de posi-tioneringsmiddelen met een minimum aan afzonderlijke, dure componenten kan worden bewerkstelligd. Door het intermitterend schakelen van de excitatiemiddelen, in casu de signaalbron E, kan met een detectiesignaal d van gewenste hoge frequentie worden gewerkt, met een gelijk of zelfs verminderd vermogensverbruik ten opzichte van de bekende optische aftastinrichtingen.

Claims (10)

1. Werkwijze voor het detecteren van een of meer parameters van een digitaal stuurbare procesketen voor het sturen van de aftasting van een gegevensdrager, onder toepassing van excitatiemiddelen voor het met een detectiesignaal met bekende eigenschappen exciteren van de procesketen en detectiemiddelen voor het detecteren van de responsie van de procesketen op het aangelegde detectiesignaal, met het kenmerk, dat de procesketen intermitterend met het detectiesignaal wordt geëxciteerd.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de procesketen periodiek met het detectiesignaal wordt geëexciteerd.

3- Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de excitatiemiddelen en de detectiemiddelen gemeenschappelijk voor het detecteren van een of meer parameters van afzonderlijke procesketens worden ingezet.

4. Inrichting voor het optisch aftasten van een gegevensdrager, omvattende een stralingsbron voor het afgeven van een aftaststraal, focusseringsmiddelen voor het naar de gegevensdrager richten van de aftaststraal, aandrijfmiddelen voor het verschaffen van een relatieve beweging tussen de gegevensdrager en de aftaststraal voor het aftasten van de gegevensdrager, leesmiddelen voor het detecteren van de informatie in de aftaststraal als gevolg van het aftasten van de gegevensdrager, middelen voor het opwekken van een meetsignaal representatief voor de afwijking tussen de momentane plaats waar de aftaststraal de gegevensdrager treft en het gewenste aftastpunt, eerste en tweede stuurmid-delen voor het aan de hand van het meetsignaal respectievelijk opwekken van een eerste stuursignaal voor de focusseringsmiddelen en een tweede stuursignaal voor de aandrijfmiddelen ten behoeve van het reduceren van de genoemde afwijking, waarbij de meetmiddelen, de eerste stuurmiddelen en de focusseringsmiddelen deel uitmaken van een digitaal stuurbare eerste procesketen, waarbij de meetmiddelen, de tweede stuurmiddelen en de aandrijfmiddelen deel uitmaken van een digitaal stuurbare tweede procesketen, en waarbij verder excitatiemiddelen voor het met een detectiesignaal exciteren van althans een van de procesketens, detectiemiddelen voor het detecteren van de responsie van de betreffende procesketen op het detectiesignaal en met althans een van de stuurmiddelen verknoopte middelen voor het aan de hand van het detectiesignaal opwekken van een correctiesignaal voor het corrigeren van de genoemde afwijking zijn verschaft, met het kenmerk, dat met de excitatiemiddelen gekoppelde eerste schakelmiddelen zijn verschaft, voor het intermitterend met het detectiesignaal exciteren van de betreffende procesketen.

5. Inrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat tweede schakelmiddelen zijn verschaft, voor het met de eerste of de tweede procesketen koppelen van de excitatiemiddelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van een correctiesignaal.

6. Inrichting volgens conclusie 5. met het kenmerk, dat de eerste schakelmiddelen deel uitmaken van de tweede schakelmiddelen.

7. Inrichting volgens conclusie 5 of 6, met het kenmerk, dat de excitatiemiddelen van instelmiddelen zijn voorzien, voor het instellen van de amplitude van het detectiesignaal.

8. Inrichting volgens conclusie 5» 6 of 7» met het kenmerk, dat de schakelmiddelen zijn ingericht voor het met de eerste procesketen koppelen van de excitatiemiddelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van het correctiesignaal tijdens het starten van de inrichting, voor het instellen van de focusseringsmiddelen.

9· Inrichting volgens conclusie 5, 6, 7 of 8, met het kenmerk, dat de schakelmiddelen zijn ingericht voor het afwisselend met de eerste en tweede procesketen koppelen van de excitatiemiddelen, de detectiemiddelen en de middelen voor het opwekken van het correctiesignaal.

10. Inrichting volgens een of meer van de conclusies 4 tot en met 9. met het kenmerk, dat de verhouding tussen de inschakel- en uitscha-kelduur van de eerste schakelmiddelen gelijk aan of groter dan 0,05 is.