NL7802010A - Werkwijze en inrichting voor het vormen van een elektronenbundel met variabele afmetingen. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het vormen van een elektronenbundel met variabele afmetingen.

Info

Publication number
NL7802010A
NL7802010A NL7802010A NL7802010A NL7802010A NL 7802010 A NL7802010 A NL 7802010A NL 7802010 A NL7802010 A NL 7802010A NL 7802010 A NL7802010 A NL 7802010A NL 7802010 A NL7802010 A NL 7802010A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
forming
electronic beam
variable dimensions
dimensions
variable
Prior art date
Application number
NL7802010A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Publication of NL7802010A publication Critical patent/NL7802010A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
NL7802010A 1977-02-23 1978-02-22 Werkwijze en inrichting voor het vormen van een elektronenbundel met variabele afmetingen. NL7802010A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US77123577A 1977-02-23 1977-02-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7802010A true NL7802010A (nl) 1978-08-25

Family

ID=25091155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7802010A NL7802010A (nl) 1977-02-23 1978-02-22 Werkwijze en inrichting voor het vormen van een elektronenbundel met variabele afmetingen.

Country Status (9)

Country Link
JP (1) JPS53124078A (fr)
BR (1) BR7801031A (fr)
CA (1) CA1166766A (fr)
DE (1) DE2805371C2 (fr)
FR (1) FR2382091A1 (fr)
GB (1) GB1587852A (fr)
IT (1) IT1158434B (fr)
NL (1) NL7802010A (fr)
SE (1) SE437441B (fr)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS543476A (en) * 1977-06-09 1979-01-11 Jeol Ltd Electron beam exposure device
GB1598219A (en) * 1977-08-10 1981-09-16 Ibm Electron beam system
JPS5679429A (en) * 1979-12-03 1981-06-30 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Electron beam exposure process
DE3169257D1 (en) * 1980-11-28 1985-04-18 Ibm Electron beam system and method
US4423305A (en) * 1981-07-30 1983-12-27 International Business Machines Corporation Method and apparatus for controlling alignment of an electron beam of a variable shape
JPS5928336A (ja) * 1982-08-09 1984-02-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> パタ−ン形成法
CN116441562B (zh) * 2023-06-16 2023-08-15 西安赛隆增材技术股份有限公司 一种电子束的束斑的校准装置及校准方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL6807439A (fr) * 1968-05-27 1969-12-01
US3644700A (en) * 1969-12-15 1972-02-22 Ibm Method and apparatus for controlling an electron beam
US3801792A (en) * 1973-05-23 1974-04-02 Bell Telephone Labor Inc Electron beam apparatus
JPS5251871A (en) * 1975-10-23 1977-04-26 Rikagaku Kenkyusho Projecting method for charge particle beams
JPS5283177A (en) * 1975-12-31 1977-07-11 Fujitsu Ltd Electron beam exposure device
GB1557924A (en) * 1976-02-05 1979-12-19 Western Electric Co Irradiation apparatus and methods
NL177578C (nl) * 1976-05-14 1985-10-16 Thomson Csf Inrichting voor het beschrijven van een voorwerp met een deeltjesbundel.
FR2351497A1 (fr) * 1976-05-14 1977-12-09 Thomson Csf Dispositif permettant le trace programme de figures de formes differentes
DE2627632A1 (de) * 1976-06-19 1977-12-22 Jenoptik Jena Gmbh Verfahren und einrichtung zur nichtthermischen elektronenstrahlbearbeitung
JPS5320391A (en) * 1976-08-09 1978-02-24 Becton Dickinson Co Blood inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
GB1587852A (en) 1981-04-08
FR2382091B1 (fr) 1982-04-09
JPS53124078A (en) 1978-10-30
CA1166766A (fr) 1984-05-01
JPS5424833B2 (fr) 1979-08-23
DE2805371A1 (de) 1978-08-24
SE7801728L (sv) 1978-08-24
FR2382091A1 (fr) 1978-09-22
SE437441B (sv) 1985-02-25
IT1158434B (it) 1987-02-18
IT7820143A0 (it) 1978-02-10
DE2805371C2 (de) 1984-02-16
BR7801031A (pt) 1978-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7805031A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van beeldcombinaties.
NL7702647A (nl) Analyse-inrichting en werkwijze voor het analy- seren.
NL7704126A (nl) Werkwijze voor het bepalen van een aminoglyco- side antibioticum en daartoe geschikte inrich- ting.
NL7700521A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een con- servenblik en inrichting voor de uitvoering van deze werkwijze.
NL7703591A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bekleden van onderdelen.
NL7810111A (nl) Regelinrichting voor een elektronisch apparaat.
NL7603672A (nl) Werkwijze en inrichting voor het monteren van komponenten.
NL7810925A (nl) Inrichting voor het controleren van metalen delen.
NL7702910A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwarmen van voorwerpen.
NL7812283A (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van een elektrolyseproces.
NL185972C (nl) Plaat voor gedrukte bedrading en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke plaat.
NL7601876A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bakken van chips.
NL189052C (nl) Correlatievolginrichting voor het volgen van een object.
NL7804090A (nl) Werkwijze voor het pekelen van vlees en daartoe ge- schikte inrichting.
NL7808357A (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van gas.
NL7801248A (nl) Werkwijze en apparaat voor het verwerken van documenten.
NL188438C (nl) Inrichting voor het verwijderen van de bekleding van een in hoofdzaak staafvormig voorwerp.
NL7811577A (nl) Inrichting voor lithografie met behulp van een elek- tronenbundel.
NL7807136A (nl) Werkwijze voor bladtransport bij een automatische lees- inrichting en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7711457A (nl) Werkwijze en inrichting voor het omwikkelen van een voorwerp.
NL7803184A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van vliezen.
NL7703028A (nl) Werkwijze en inrichting voor het onderdrukken van sluier in een radar-doelsignaalverwerkings- inrichting.
NL7811768A (nl) Werkwijze en inrichting voor het combineren van een hulpstreng met meerdere strengen.
NL7811391A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van tandwielen.
NL7801340A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bereiden van kooks.

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
BV The patent application has lapsed