NL2001005C2 - Artikelopslaginrichting. - Google Patents

Artikelopslaginrichting. Download PDF

Info

Publication number
NL2001005C2
NL2001005C2 NL2001005A NL2001005A NL2001005C2 NL 2001005 C2 NL2001005 C2 NL 2001005C2 NL 2001005 A NL2001005 A NL 2001005A NL 2001005 A NL2001005 A NL 2001005A NL 2001005 C2 NL2001005 C2 NL 2001005C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
article storage
article
container
storage device
adjustment
Prior art date
Application number
NL2001005A
Other languages
English (en)
Other versions
NL2001005A1 (nl
Inventor
Mitsuru Yoshida
Yoshitaka Inui
Original Assignee
Daifuku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Kk filed Critical Daifuku Kk
Publication of NL2001005A1 publication Critical patent/NL2001005A1/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL2001005C2 publication Critical patent/NL2001005C2/nl

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736Loading to or unloading from a conveyor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Description

Artikelopslaginrichting
ACHTERGROND VAN DE UITVINDING
Deze uitvinding heeft betrekking op een artikelop-slaginrichting voor het opslaan van artikelopslaghouders die elk een aantal instelboringen en een aantal standcor-5 rigeerboringen in een bodemoppervlak daarvan gevormd hebben .
Een tot dusver gebruikelijke artikelopslaginrichting zoals in het voorgaande vermeld heeft bijvoorbeeld de volgende constructie.
10 Een ondersteuningsonderdeeltransporteerorgaan trans porteert in een circulatiebeweging een aantal artikelopslaghouders zoals deze in een horizontale stand gehouden en in een tandemreeksorde gearrangeerd zijn, met tussenafstanden, langs eindloze roterende kettingen die verticaal 15 circuleren en om horizontale assen roteren. Een houder-transporteerorgaan omvat een mobiel rompbestanddeel dat beweegbaar is langs een rail die door het plafond van een gebouw of dergelijke ondersteund wordt, en een overbren-gingsorgaan voor het van boven vastgrijpen, ophouden en 20 ondersteunen van elke artikelopslaghouder om verticaal bewogen te worden. Bij het afzetten van een artikelopslaghouder op een van de houderondersteuningsonderdelen wordt het ondersteuningsonderdeeltransporteerorgaan aangedreven om het houderondersteuningsonderdeel, dat de artikelop-25 slaghouder opnemen moet, naar een afzet- en aflevering-stand te transporteren, en daarna plaatst het houdertrans-porteerorgaan de artikelopslaghouder op het houderondersteuningsonderdeel dat zich in de afzet- en aflevering-stand bevindt. Bij het af leveren van een door een houder- £ v 0 1 0 0 5 2 ondersteuningsonderdeel ondersteunde artikelopslaghouder wordt het ondersteuningsonderdeeltransporteerorgaan aangedreven om het houderondersteuningsonderdeel, dat de af te leveren artikelopslaghouder ondersteunt, naar de afzet- en 5 afleveringstand te transporteren, en wordt door het hou-dertransporteerorgaan de door het zich in de afzet- en af-leveringstand bevindende houderondersteuningsonderdeel ondersteunde artikelopslaghouder aangevat. Dat wil zeggen dat het houdertransporteerorgaan afzet- en afleveringsver-10 richtingen uitvoert voor het direct plaatsen en aanvatten van artikelopslaghouders op/van houderondersteuningsonder-delen die zich in de afzet- en af leveringstand bevinden (zie bijvoorbeeld de niet-vooronderzochte Japanse Ge-bruiksmodelpublicatie S60-75309).
15 Wanneer deze bijvoorbeeld geïnstalleerd is in een halfgeleideroutillage zorgt een dergelijke artikelopslag-inrichting bijvoorbeeld voor het opslaan van artikelopslaghouders die halfgeleidersubstraten opslaan. Elk van de voor het opslaan van halfgeleidersubstraten gebruikte ar-20 tikelopslaghouders heeft een aantal instelboringen op geschikte tussenafstanden in de bodem daarvan gevormd op een zodanige wijze dat deze wijd uitlopen naar de ingangen daarvan. Elk van de houderondersteuningsonderdelen voor het ondersteunen van de artikelopslaghouders heeft instel-25 uitsteeksels gevormd op een ondersteuningsoppervlak daarvan om met de instelboringen in ingrijping te verkeren. De artikelopslaghouder kan zodoende nauwkeurig in de horizontale richting ten opzichte van het houderondersteuningsonderdeel ingesteld worden (zie bijvoorbeeld de Japanse oc-30 trooiaanvrage 2000-223552).
Bij de in het voorgaande vermelde tot dusver gebruikelijke constructie wordt de mobiele rompbestanddeelonder-steuningsrail van het houdertransporteerorgaan vast ondersteund door het plafond van een gebouw. Wanneer de inrich-35 ting bijvoorbeeld in een halfgeleideroutillage geïnstalleerd is, moet het houdertransporteerorgaan. ook laad- en losverrichtingen uitvoeren voor artikellaad- en losgedeelten van en aantal bewerkingseenheden die verschillende be- 3 werkingsprocessen voor het vervaardigen van halfgeleider-substraten uitvoeren. De transporteerstanden van de arti-kelopslaghouders ten opzichte van beoogde locaties worden nauwkeurig geregeld om altijd constant te zijn.
5 Aan de andere kant kunnen het aantal houderonder- steuningsonderdelen die door het houderonderdeeltranspor-teerorgaan ondersteund worden om getransporteerd en gecirculeerd te worden enigszins verschoven worden uit de juiste transporteerstand ten opzichte van het houdertranspor-10 teerorgaan bij het transporteren daarvan naar een afzet-en afleveringstand voor het houdertransporteerorgaan om de artikelopslaghouders op/van de houderondersteuningsonder-delen af te zetten of af te leveren. De houderondersteu-ningsonderdelen kunnen bijvoorbeeld enigszins hellend 15 staan ten opzichte van een voor de afzet- en afleverings-verrichtingen door het houdertransporteerorgaan geschikte stand, of kunnen in de langsrichting van de roterende kettingen verplaatst worden door het in langsrichting strekken van de kettingen.
20 In het tot dusver gebruikelijke geval, zoals in het voorgaande beschreven, is het houdertransporteerorgaan zo geconstrueerd dat de artikelopslaghouders direct op/van het zich in de afzet- en afleveringstand bevindende hou-derondersteuningsonderdeel geplaatst en aangevat worden. 25 Zodoende treedt er een mogelijkheid van uit de verplaatsing resulterende transporteertouten op. Het houdertransporteerorgaan kan in gebreke blijven bij het op een betrouwbare wijze uitvoeren van de afzet- en afleveringsver-richtingen.
30 Ten aanzien van de artikelopslaginrichting wordt op gemerkt dat het, teneinde de instelnauwkeurigheid op het moment van het transporteren van de houderondersteunings-onderdelen naar de afzet- en afleveringstand te verbeteren, denkbaar is om het ondersteuningsonderdeeltranspor-35 teerorgaan in de artikelopslaginrichting op een zodanige wijze te construeren dat een hoogst nauwkeurige standrege-ling mogelijk gemaakt wordt. Een dergelijke constructie, die een hoogste nauwkeurige standregeling mogelijk maakt, 4 zou echter het nadeel dat de gehele uitrusting duur gemaakt wordt met zich mee brengen. Het was zodoende gewenst om de houdertransporteerinrichting de afzet- en afleve-ringsverrichtingen op een betrouwbare wijze te kunnen la-5 ten uitvoeren voor een houderondersteuningsonderdeel dat zich in de afzet- en afleveringstand bevindt, onder het vermijden van hoge kosten bij het construeren van het on-dersteuningsonderdeeltransporteerorgaan, dat een aantal houderondersteuningsonderdelen in een tandemreeksorde 10 transporteert en circuleert, om een betrekkelijk geringe instelnauwkeurigheid tegen geringe kosten te hebben.
SAMENVATTING VAN DE UITVINDING
Het oogmerk van deze uitvinding is om te zorgen voor 15 een artikelopslaginricht ing om een houder t ransporteeror -gaan op een betrouwbare wijze afzet- en afleveringsver-richtingen te kunnen laten uitvoeren voor een houderondersteuningsonderdeel dat zich in een afzetstand of een afle-veringstand bevindt, terwijl hoge kosten vermeden worden.
20 Bij één uitvoering van een artikelopslaginrichting voor het opslaan van artikelopslaghouders, die elk een aantal instelboringen en een aantal standcorrigeerboringen in een bodemoppervlak daarvan gevormd hebben, omvat deze inrichting: 25 een aantal houderondersteuningsonderdelen voor het opnemen en ondersteunen van de genoemde artikelopslaghouders, waarbij elk van deze houderondersteuningsonderdelen een ondersteuningsoppervlak met insteluitsteeksels daarop gevormd heeft om met de genoemde instelboringen in ingrij-30 ping te verkeren; ondersteuningsonderdeeltransportorganen voor het transporteren van de genoemde houderondersteuningsonderdelen langs een circulerende eindloze baan; houde'rtransportorganen voor het overbrengen van de 35 genoemde artikelopslaghouders naar en van de genoemde houderondersteuningsonderdelen die zich in een afzet- en af-leveringstand bevinden; en een instelonderdeel dat zich in een met de genoemde 5 afzet- en afleveringstand corresponderende stand bevindt, en een aantal standcorrigeeruitsteeksels om met de genoemde standcorrigeerboringen in ingrijping te verkeren heeft, waarbij dit instelonderdeel er qua vormgeving op berekend 5 is om tussen een bovengelegen stand en een lager gelegen stand te bewegen en dit instelonderdeel, wanneer het naar de genoemde bovengelegen stand bewogen wordt, een arti-kelopslaghouder opneemt van het zich in de genoemde afzet-en afleveringstand bevindende houderondersteuningsonder-10 deel, en wanneer het naar de genoemde lager gelegen stand bewogen wordt, deze artikelopslaghouders aan een zich in de genoemde afzet- en afleveringstand bevindend houderon-dersteuningsonderdeel aflevert, waarbij het genoemde houdertransportorgaan er qua 15 vormgeving op berekend is om de genoemde artikelopslaghouders naar en van het genoemde instelonderdeel in de genoemde bovengelegen stand over te brengen.
Zodoende wordt het instelonderdeel, dat een aantal standcorrigeeruitsteeksels om in ingrijping te verkeren 2 0 met een aantal in het bodemoppervlak van elke artikelop-slaghouder gevormde standcorrigeerboringen heeft, in een met de afzet- en afleveringstand corresponderende stand gebracht. Dit instelonderdeel neemt, wanneer het naar de bovengelegen stand bewogen wordt, de artikelopslaghouders 25 van de zich in de afzet- en af leveringstand bevindende houderondersteuningsonderdelen op, en levert wanneer het naar de lager gelegen stand bewogen wordt de artikelopslaghouders aan de zich in de afzet- en af leveringstand bevindende houderondersteuningsonderdelen af.
30 Het houdertransporteerorgaan is er qua constructie op berekend om de artikelopslaghouders naar het instelonderdeel in de bovengelegen stand te voeren. Het houdertransporteerorgaan voert de artikelopslaghouders dus niet direct naar het zich in de afzet- en af leveringstand be-35 vindende houderondersteuningsonderdeel. In plaats daarvan voert het houdertransporteerorgaan de artikelopslaghouders altijd naar het instelonderdeel in de bovengelegen stand.
Als gevolg hiervan wordt bij het afzetten van een 6 artikelopslaghouder in de artikelopslaginrichting bijvoorbeeld met het ondersteuningsonderdeeltransporteerorgaan gewerkt om een houderondersteuningsonderdeel, dat de artikelopslaghouder opnemen moet, naar de afzet- en afleve-5 ringstand te circuleren en te transporteren. Het instelon-derdeel wordt dan omhoog gebracht. Nadat het houdertrans-porteerorgaan de artikelopslaghouder geplaatst heeft op het instelonderdeel in de bovengelegen stand, wordt het instelonderdeel neergelaten om de artikelopslaghouder naar 10 het houderondersteuningsonderdeel te voeren.
Aan de andere kant wordt bij het afleveren van een artikelopslaghouder van de artikelopslaginrichting met het ondersteuningsonderdeeltransporteerorgaan gewerkt om het houderondersteuningsonderdeel, dat de af te leveren arti-15 kelopslaghouder ondersteunt, naar de afzet- en aflevering-stand te transporteren. Het instelonderdeel wordt dan omhoog gebracht. Het instelonderdeel, dat omhoog gebracht is, neemt de artikelopslaghouder van het houderondersteuningsonderdeel op. Het houdertransporteerorgaan neemt de 20 artikelopslaghouder van het instelonderdeel in de bovengelegen stand op.
Dat wil zeggen dat zelfs indien het ondersteunings-onderdeeltransporteerorgaan, dat de houderondersteunings-onderdelen circuleert en transporteert, zo geconstrueerd 25 is dat het een betrekkelijk geringe instelnauwkeurigheid heeft, het houdertransporteerorgaan altijd de artikelop-slaghouders van/aan het instelonderdeel opneemt en aflevert. Zodoende treedt er geen mogelijkheid voor transpor-teerfouten die uit een verplaatsing van het zich in de af-30 zet- en afleveringstand bevindende houderondersteuningsonderdeel resulteren op. Het houdertransporteerorgaan kan de artikelopslaghouders op een betrouwbare wijze afleveren.
KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN 35 Fig. 1 is een schematisch planaanzicht dat een in- stallatietoestand van een artikelopslaginrichting weergeeft; fig.. 2 is een afbeelding in perspectief van een ar- 7 tikelopslaginrichting; fig. 3 is een afbeelding in verticale doorsnede van de artikelopslaginrichting; fig. 4 is een afbeelding in perspectief die een con-5 structie van een ondersteuningtransporteerorgaan weergeeft ; fig. 5 is een zijaanzicht dat een f rameconstruct ie weergeeft; fig. 6 is een planaanzicht dat de f rameconstruct ie 10 weergeeft; fig. 7 is een afbeelding die een f rameverbindings-toestand weergeeft; fig. 8 is een afbeelding die een frameverbindings-toestand weergeeft; 15 fig. 9 is een vooraanzicht in verticale doorsnede van de artikelopslaginrichting; fig. 10 is een afbeelding in perspectief die een on-dersteuningsconstructie voor een artikelopslagbak weergeeft ; 20 fig. 11 is een afbeelding die de verticale beweging van een instelonderdeel weergeeft; fig. 12 is een zijaanzicht in verticale doorsnede van een instelonderdeelarrangeeergedeelte; fig. 13 is een planaanzicht van het instelonder-25 deelarrangeergedeelte; fig. 14 is een planaanzicht dat een standregeltoe-stand van het instelonderdeel weergeeft; fig. 15 is een in doorsnede weergegeven afbeelding die de ingrijping tussen een instelboring en een instel-30 uitsteeksel weergeeft; en fig. 16 is een voor de toelichting dienende afbeelding die- afzet- en toeleveringsverrichtingen weergeeft.
GEDETAILLEERDE BESCHRIJVING VAN VERKOZEN UITVOERINGEN 35 Een artikelopslaginrichting volgens deze uitvinding zal hier in het volgende aan de hand van de tekeningen beschreven worden. De gehele onthulling van het Amerikaanse octrooi 7.210.589 ten name van dezelfde aanvrager wordt 8 geacht hier als referentie opgenomen te zijn.
Zoals in fig. 1 weergegeven is, zijn een aantal be-werkingseenheden 1 voor het uitvoeren van verscheidene bewerkingen op halfgeleidersubstraten in twee rijen gearran-5 geerd in een halfgeleideroutillage die uit een schone ruimte bestaat. Elke bewerkingseenheid 1 is zijdelings lang gevormd in planaanzicht, en heeft een paar ondersteu-ningstafels la gearrangeerd aan één einde in de langsrich-ting daarvan voor het opnemen van artikelopslaghouders C 10 die halfgeleidersubstraten opslaan. De bewerkingseenheden 1 in elke rij zijn uiteen gelegen, waarbij de ondersteu-ningstafels la aan hetzelfde einde aangebracht zijn. De twee rijen zijn met de respectieve ondersteuningstafels la tegenover elkaar gearrangeerd. Een ruimte 2, die tussen 15 elk aangrenzend paar bewerkingseenheden 1 gevormd is, wordt als onderhoudsruimte voor het uitvoeren van het onderhoud van deze bewerkingseenheden 1 gebruikt.
Teneinde verscheidene bewerkingen op halfgeleidersubstraten uit te voeren, is een artikeltransportorgaan H 20 als een containertransporteerorgaan voor het achtereenvolgens transporteren van de artikelopslaghouders C naar en van de bewerkingseenheden 1 voorzien. Een verschil kan optreden in de verwerkingshoeveelheid van halfgeleidersubstraten tussen zich aangrenzend aan elkaar op een trans-25 portbaan van het transportorgaan H bevindende bewerkingseenheden 1. Zodoende zijn een aantal (vijf bij deze uitvoering) artikelopslaginrichtingen S voor het tijdelijk opslaan van de artikelopslaghouders C op geschikte tussenafstanden langs de transportbaan van het artikeltransport-30 orgaan H gearrangeerd.
Zoals in fig. 1, 2 en 3 weergegeven is, omvat het artikeltransportorgaan H een met een lusvlucht uitgevoerde leirail 3 die op het plafond geïnstalleerd is om zich uit te strekken rond en boven het aantal bewerkingseenheden 1 35 die in twee rijen geïnstalleerd zijn zoals in het voorgaande vermeld is, waarbij artikeltransportwagens 4, die als mobiele bestanddelen dienen, zo ondersteund worden dat deze langs de leirail 3 beweegbaar zijn, en een artikel- 9 grijper 5 die verticaal beweegbaar is op elke artikel-transportwagen 4 voorzien is. De artikelgrijper 5 is om te schakelen tussen een vasthoudtoestand voor het in een opgehangen toestand houden van een te transporteren arti-5 kelopslaghouder C door het vastgrijpen van een vastgegrepen gedeelte Ca bovenop de houder C, en een vrijgeeftoe-stand om de vasthoudtoestand op te heffen.
Het artikeltransportorgaan H, dat geconstrueerd is zoals in het voorgaande beschreven is, voert een hijsver-10 richting uit voor het hijsen van de artikelgri jper 5 die een artikelopslaghouder C van een ondersteuningstafel la van een bewerkingseenheid 1 grijpt zoals in fig. 2 weergegeven is, een bewegingsverrichting voor het bewegen van de artikeltransportwagen 4 langs de leirail 3, en een neer-15 laatverrichting voor het neerlaten van de vastgegrepen artikelopslaghouder C naar een ondersteuningstaf el la van een bewerkingseenheid 1. Op deze wijze kan het artikel-transportorgaan H artikelopslaghouders C achtereenvolgens naar het aantal bewerkingseenheden 1 transporteren.
20 In 1t kort wordt, wanneer de artikeltransportwagen 4 stil staat in een beoogde stopstand tegenover een ondersteuningstaf el la van een bewerkingseenheid 1, de artikelgri jper 5 verticaal bewogen door het op en af winden van draden 7. Zodoende kan de artikelgri jper 5, die een arti-25 kelopslaghouder C grijpt, omhoog gebracht worden om de artikelopslaghouder C uit een artikelopslagbak 6 van een ar-tikelopslaginrichting S of van een ondersteuningstafel la van een bewerkingseenheid 1 op te vatten. De artikelgrij-per 5, die een artikelopslaghouder C grijpt, kan neergela-3 0 ten worden om de artikelopslaghouder C op een artikelopslagbak 6 van een artikelopslaginrichting S of een ondersteuningstaf el la van een bewerkingseenheid 1 te plaatsen.
Zoals in fig. 1 en 2 weergegeven is, heeft de leirail 3 van het artikeltransportorgaan H een dubbele lus-35 constructie waardoor omvat worden een buitenste lusgedeel-te 3a, dat zich over de ondersteuningstafels la van de bewerkingseenheden 1 en toeleveringspoorten 9 en de artikelopslaginrichting S uitstrekt, en een binnenste lusge- 10 deelte 3b dat zich over afzetpoorten 8 van de artikelop-slaginrichting S uitstrekt. De leirail 3 omvat voorts overbrengingsbaangedeelten 3c om de artikeltransportwagens 4 van het buitenste lusgedeelte 3a naar het binnenste lus-5 gedeelte 3b en omgekeerd te kunnen laten bewegen. De twee artikeltransportwagens 4 zijn er op berekend om langs deze leirail 3 te bewegen.
Vervolgens zal de artikelopslaginrichting S beschreven worden.
10 Zoals in fig. 2 weergegeven is, is elke artikelop slaginrichting S horizontaal lang gevormd in planaanzicht, en is deze aan het plafond opgehangen door middel van een aantal hangerbouten 10 die als langgerekte ondersteuningen dienen. De langsrichting van de artikelopslaginrichting S 15 strekt zich langs de langsrichting van de bewerkingseenhe-den 1 uit. Een onbezette ruimte is tussen de bodem van de artikelopslaginrichting S en de vloer gevormd. De hangerbouten 10 kunnen gevormd zijn van een metaal zoals ijzer, staal of aluminium, of kunnen van een composietmateriaal 20 gevormd zijn. De hangerbouten 10 kunnen een cirkelvormige, vierzijdige of andere veelhoekige doorsnede hebben. In deze beschrijving betekent "langgerekt" zoals wenselijk is dat de lengte in de langsrichting twee of meer maal de breedte over de langsrichting bedraagt, en betekent dit 25 zoals nog wenselijker is dat de lengte in de langsrichting 5 of meer maal of 10 of meer maal de breedte over de langsrichting bedraagt.
Vervolgens zal de constructie van de artikelopslaginrichting S en de frameconstructie daarvan beschreven 30 worden.
Zoals in fig. 5, 6 en 9 weergegeven is, omvat de f rameconstructie F van de artikelopslaginrichting S een aantal frames die verbonden zijn om een in hoofdzaak rechthoekige parallellepipedumvormige ruimte voor de arti-3 5 kelopslag af te bakenen. Dat wil zeggen, dat bovenste horizontale frames 11, onderste horizontale frames 12, en verticale verbindingsframes 13, die deze frames 11 en 12 verbinden, respectievelijk lang gevormd zijn. De verbin- 11 dingsframes 13 zijn met de bovenste frames 11 verbonden in een aanliggende toestand op de onderoppervlakken van de bovenste frames 11, en met de onderste frames 12 verbonden in een aanliggende toestand ing op de bovenoppervlakken 5 van de onderste frames 12. Deze onderste frames 12 en bovenste frames 11, die met de verbindingsframes 13 verbonden zijn, vormen een paar rechter en linker zij frames 14 en 15 die onderling verbonden zijn door een aantal voeg-frames 16 die zich in dwarsrichting uitstrekken.
10 Zoals in fig. 7 en 8 weergegeven is, is elk van de onderste frames 12, bovenste frames 11, verbindingsframes 13 en voegframes 16 rechthoekig in verticale doorsnede beschouwd, en hebben deze een aangrijpingsgroef 17 (die ook een pasgroef genoemd wordt) die in elk van de vier opper-15 vlakken gevormd is om een achtergedeelte te hebben dat breder is dan een ingangsgedeelte. Een verbindingstuk 18 met een contactoppervlak 21 en een contactoppervlak 22 dat zich onder een hoek van 90 graden ten opzichte van het contactoppervlak 21 uit strekt, is met elk van de aangren-20 zende frames verbonden door een bevestiging 19 die in aangri jping verkeert met en opgenomen wordt door de aangrij-pingsgroef 17. Dergelijke verbindingstukken 18 zijn aangebracht in verbindingslocaties van de onderste frames 12 en verbindingsframes 13, verbindingslocaties van de bovenste 25 frames 11 en verbindingsframes 13, verbindingslocaties van de onderste frames 12 en voegframes 16, en verbindingslocaties van de bovenste frames 11 en voegframes 16. Elk van de onderste frames 12 van de bovenste frames 11, verbindingsf rames 13 en voegframes 16, zoals voorgesteld, heeft 30 zoals wenselijk is een vaste breedte loodrecht op de langsrichting, van het ene einde tot het andere.
Om de frames verder te beschrijven, is elk van· de onderste frames 12, bovenste frames 11, verbindingsframes 13 en voegframes 16 gevormd van een aluminium framemateri-35 aal dat uit een aluminium extrusieproduct bestaat. Dit aluminium framemateriaal is rechthoekig in verticale doorsnede beschouwd (d.w.z. in de langsrichting beschouwd), en heeft aan aangri jpingsgroef 17 gevormd in elk van de vier 12 oppervlakken om een achtergedeelte te hebben dat breder is dan een ingangsgedeelte. Al deze frames hebben dezelfde doorsnedevorm die de aangrijpingsgroeven 71 omvat, en hebben een middellijn FC (fig. 8 (B) ) die zich in de langs- 5 richting van de frames uitstrekt. De doorsnedevorm van de frames is rotatiesymmetrisch ten opzichte van deze middellijn FC. De ingang van elke aangrijpingsgroef 71 heeft een ingestelde dikte D, en de kortste afstand W tussen twee aangrenzende aangrijpingsgroeven is groter dan de inge-10 stelde dikte D. De kortste afstand W tussen twee aangrenzende aangrijpingsgroeven bedraagt zoals wenselijk is 5% of meer van de lengte L van één zijde van elk frame. Elk frame heeft een aantal cilindrische boringen TB die over de volle lengte van het ene einde tot het andere einde van 15 het frame gevormd zijn. Een van de boringen TB bevat zoals wenselijk is de middellijn FC. De andere boringen TB zijn zoals wenselijk is nabij de respectieve hoeken van het rechthoekige frame gevormd. Derhalve is elke aangrijpingsgroef 71 tussen twee boringen TB in de langsrichting be-20 schouwd gevormd. Deze boringen TB dragen tot de lichtheid van de frames bij.
Zoals in fig. 7 weergegeven is, bevat elk verbin-dingstuk 18, als één geheel daarmee verbonden, één contai-nertactoppervlak 20, het andere contactoppervlak 21 lood-25 recht op het ene contactoppervlak 20, en een versterkings-ribbe 22 die zich tussen deze contactoppervlakken 20 en 21 uitstrekt. Elk van de contactoppervlakken 20 en 21 heeft een boutopneemboring 24 daarin gevormd voor het opnemen van een bevestigingsbout 23. De contactoppervlakken 20 en 30 21 van het verbindingstuk 18 zijn in aanliggend verband geplaatst met oppervlakken, die zich loodrecht op elkaar uitstrekken, van de te verbinden frames, en met bouten 23 en moeren 25 bevestigd worden om de frames met elkaar te verbinden. Dat wil zeggen, dat in al de verbindingsloca-35 ties van de onderste frames 12 en verbindingsframes 13, verbindingslocaties van het bovenste frame 12 en verbin-dingsframes 13, verbindingslocaties van de onderste frames 12 en voegframes 16, en verbindingslocaties van de boven- 13 ste frames 11 en voegframes 16, de verbindingstukken 18 in aanliggend verband met aangrenzende frames geplaatst zijn, en met de aangrenzende frames verbonden zijn door de bouten 23 en moeren 25 die als bevestigingen dienen die in-5 grijpen en opgenomen worden in de aangrijpingsgroeven 17, onder het zodoende met elkaar verbinden van de frames.
Fig. 7 toont een verbinding tussen een bovenste frame 11 en een verbindingsframe 13. De contactoppervlakken 20 en 21 worden in contact gebracht met de oppervlak-10 ken, die zich loodrecht op elkaar uitstrekken, van het bovenste frame 11 en verbindingsframe 13. Moeren 25 worden geplaatst en vastgehouden in de grote achtergedeelten van de aangri jpingsgroeven 17 die in het bovenste frame 11 en verbindingsframe 13 gevormd zijn. Bouten 23 worden door de 15 boutopneemboringen 24 ingezet om stevig aangehaald te worden met de moeren 25, onder het zodoende verbinden van het bovenste frame 11 en verbindingsf rame 13 die van het aluminium framemateriaal gevormd zijn.
De bovenste frames 11 hebben opneemboringen 27 daar-20 in gevormd voor het verticaal opnemen van de hangerbouten 11 die als langgerekte ondersteuningen voor het ophangen en ondersteunen van de onderste frames 12 dienen. Meer in het bijzonder hebben, zoals in fig. 6 en 8 (A) weergegeven is, de bovenste frames 11 opneemboringen 27 van geschikte 25 afmeting gevormd in posities daarvan die corresponderen met de posities van de hangerbouten 10 (waarbij een totaal van tien hangerbouten bij deze uitvoering voorzien zijn) voor het verticaal opnemen van de hangerbouten 10. De hangerbouten 10 worden zo vastgehecht dat deze zich door deze 30 opneemboringen 27 uitstrekken. Zoals in fig. 3 weergegeven is, hebben de hangerbouten 10 de boveneinden daarvan aan het plafond T bevestigd door middel van steunklampen 28.
Zoals in fig. 5, 8 en 9 weergegeven is, zijn de on dereinden van de hangerbouten 10 aan de onderste frames 12 35 verbonden door middel van steunklampen 29. Deze steunklampen 29 hebben een in hoofdzaak kanaalvormige doorsnede in de langsrichting van de onderste frames 12 beschouwd, en hebben een grote breedte in de langsrichting van de onder- 14 ste frames 12. Het ondereinde van elke hangerbout 10 wordt door een bovenoppervlak 29a van de steunklamp 29 gevoerd, en daaraan van boven en onder bevestigd met moeren 30. Aan de andere kant wordt het onderoppervlak 29b van de steun-5 klamp 29 in aanliggend verband met het bovenoppervlak van het onderste frame 12 geplaatst en wordt daaraan verbonden met de bevestiging 19 die uit de bout 23 en moer 25 bestaat, zoals bij de verbinding van het verbindingstuk 18. Vier van dergelijke bevestigingen 19 zijn in de langsrich-10 ting van elk onderste frame 12 gearrangeerd om de onder-steuningsterkte in de verbindingslocaties van de steun-klampen 29 en onderste frames 12 die het gewicht van de artikelopslaginrichting S opnemen te vergroten.
Zodoende worden de onderste frame 12 opgehangen aan 15 en ondersteund door de hangerbouten 10 welke zich uitstrekken door de opneemboringen 27 die in de bovenste frames 11 gevormd zijn. Deze constructie kan de hangerbouten 10 in een buitendimensie in de dwarsrichting van de artikelopslaginrichting S bevatten, onder het zodoende reali-20 seren van een zeer compacte dimensie in de dwarsrichting. Daarenboven van het gewicht van de artikelopslaginrichting S opgehouden door het aantal hangerbouten 10 door tussenkomst van de onderste frames 12. Geen voornaamste belasting wordt uitgeoefend op de verbindingslocaties van de 25 bovenste frames 11 en verbindingsframes 13 bijvoorbeeld.
Zoals in fig. 2 en 3 weergegeven is, omvat de artikelopslaginrichting S een omhulsel 31 dat de framecon-structie F omgeeft om de ongeveer rechthoekige parallellepipedumvormige artikelopslagruimte die door de framecon-30 structie F afgebakend wordt af te scheiden. In het omhulsel 31 zijn een paar rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 ondergebracht die horizontaal van elkaar afgelegen zijn op een voorbestemde afstand om verticaal en langs een horizontale lange circulatiebaan te roteren. Een 35 aantal artikelopslagbakken 6 worden ondersteund door de rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 en zijn gearrangeerd op tussenafstanden in de langsrichting van de eindloze roterende kettingen 32. Zodoende wordt een onder- 15 steuningtransporteerorgaan A gevormd voor het circuleren en transporteren van de artikelopslagbakken 6 in een tan-demreeksorde.
De constructie van het ondersteuningstransporteeror-5 gaan A zal vervolgens beschreven worden.
Zoals in fig. 3, 4 en 9 weergegeven is, zijn de eindloze roterende kettingen 32 gewonden rond aandrijfket-tingwielen en aangedreven kettingwielen die respectievelijk horizontaal uiteen gelegen gearrangeerd zijn. De 10 rechter en linker aandrijfkettingwielen 33 zijn gemonteerd op een gemeenschappelijke aandrijfas 35 die te roteren is door een circuleermotor M, om de rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 synchroon te roteren. De aangedreven kettingwielen worden roteerbaar ondersteund door 15 een ondersteuningsas 34. Ofschoon dit niet weergegeven is, is een roteerbaar codeerorgaan aangebracht om de maten van rotatie van de aandrijfas 35 vast te stellen.
Zoals in fig. 10 weergegeven is, omvat elke arti-kelopslagbak 6, zoals deze in samenhang als één geheel ge-20 vormd zijn, een bodemplaat 6a, die zich horizontaal uitstrekt, een paar zijplaten 6b, die zich aan de rechter- en linkereinden van de bodemplaat 6a bevinden, en een achter-oppervlakgedeelte 6c dat zich aan één zijde in de trans-portrichting van de bodemplaat 6a bevindt. Voorts is een 25 smal opneemonderdeel 6d aan de andere zijde in de trans-portrichting aangebracht om zich tussen het paar zijplaten 6b uit te strekken.
Zoals in fig. 9 en 10 weergegeven is, heeft elke ar-tikelopslagbak 6 zwenksteunen 36 in de bovenste middelste 30 posities in de transportrichting op het paar zijplaten 6b gevormd. In zijaanzicht in hoofdzaak V-vormige koppelingen 37 zijn zwenkbaar opgenomen tussen de zwenksteunen 36 en rechter en linker eindloze roterende kettingen 32. De koppelingen 37 zijn zwenkbaar verbonden door ondersteunings-35 pennen 38 met de eindloze roterende kettingen 32, en zwenkbaar verbonden met de artikelopslagbak 6 om relatief zwenkbaar te zijn om een dwarsas X van de zwenksteunen 36. De steunpennen 38 hebben rollen 39 die in aangrijping ver- 16 keren met en geleid worden langs leirails 40 die op rechtlijnige baangedeelten van de eindloze roterende kettingen 32 voorzien zijn. De leirails 14 worden ondersteund door ondersteuningsframes 41 die aan het aantal verbindings-5 frames 13 vastgehecht zijn om zich langs de rechtlijnige baangedeelten van de eindloze roterende kettingen 32 uit te strekken. Bijgevolg kunnen de artikelopslagbakken 6 gestadig langs de rechtlijnige baangedeelten bewegen zonder dat de steunpennen 38, d.w.z. de verbindingslocaties van 10 de eindloze roterende kettingen 32 en koppelingen 37, op en neer schommelen.
Een standgeleidingsmechanisme is aangebracht om elke artikelopslagbak 6 in een nagenoeg horizontale stand te houden wanneer de artikelopslagbak 6 bij de circulatie 15 langs de transportbaan van rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 getransporteerd wordt. Dat wil zeggen dat elke artikelopslagbak 6 aan de rechter en linker zijden daarvan rolondersteuningsarmen 43 verbonden heeft die leirollen 42 ondersteunen die aan afgelegen einden daarvan 20 vastgehecht zijn, waarbij de rolondersteuningsarmen 43 met de artikelopslagbak 6 om de dwarsas X schommelen kunnen. Eindloze leirails 44 om met de leirails 42 in aangrijping te verkeren en deze te geleiden zijn zijdelings van de rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 gearran-25 geerd om zich in hoofdzaak langs de transportbaan van de eindloze roterende kettingen 32 uit te strekken.
Zoals in fig. 3 en 10 weergegeven is, nemen wanneer elke artikelopslagbak 6 zich in de horizontale stand bevindt, de aan de rechter en linker zijden van de arti-30 kelopslagbak 6 aangebrachte rolondersteuningsarmen 43 schuinstaande standen in die in tegengestelde richtingen hellend verlopen vanuit de loodrechte stand onder een ingestelde hoek. De rechter en linker leirails 44 zijn zo gevormd dat elke artikelopslagbak 6 hierdoor geleid en in 35 de horizontale stand gehouden wordt voor het ophouden van een artikelopslaghouder C wanneer de artikelopslagbak 6 bij de circulatie getransporteerd wordt langs de transportbaan van de rechter en linker eindloze roterende ket- 17 tingen 32. Zodoende wordt, terwijl de leirollen 42, die door de leirails 44 geleid worden, zelfs wanneer de rechter en linker eindloze roterende kettingen 32 boogvormig draaien, elke artikelopslagbak 6 geleid om de horizontale 5 stand te bewaren terwijl de artikelopslaghouder C hierdoor ondersteund wordt. Met het verwijzingscijfer 45 in fig. 9 zijn begrenzingsgeleidingen voor het beperken van de slingerbeweging in de dwarsrichting van de artikelopslagbakken 6 aangegeven.
10 Zoals in fig. 2 weergegeven is, heeft het omhulsel 31 van elke artikelopslaginrichting S in het bovenoppervlak daarvan een afzetpoort 8 voor het artikeltransportor-gaan H gevormd om de artikelopslaghouders C op de artikelopslagbakken 6 af te zetten, en een afleveringspoort 99 15 voor het artikeltransportorgaan H om de artikelopslaghouders C uit de artikelopslagbakken 6 af te leveren.
Zoals in fig. 14 en 15 weergegeven is, heeft elke artikelopslaghouder C drie instelboringen 46 met geschikte tussenruimten in het bodemoppervlak daarvan gevormd, welke 20 boringen 46 zo gevormd zijn dat deze naar de ingang daarvan toe wijd uitlopen. Aan de andere kant heeft, zoals in fig. 13, 14 en 15 weergegeven is, elke artikelopslagbak 6 drie insteluitsteeksels 47 gevormd op de bodemplaat 6a die als ondersteuningsoppervlak dient om met de instelboringen 25 46 in ingrijping te verkeren. Zoals in het voorgaande ver meld is, zijn de instelboringen 46 zo gevormd dat deze naar de ingang toe wijd uitlopen. Om dit omgekeerd te stellen, verlopen de instelboringen 46 schuin om naar binnen toe te lopen. Zodoende verkeert, zoals in fig. 15 30 weergegeven is, elk insteluitsteeksel 47 in ingrijping met een corresponderend exemplaar van de instelboringen 46 als dit geleid wordt door de schuinte zelfs wanneer het enigszins uit het midden van de boring 46 verplaatst is. Wanneer de drie insteluitsteeksels 47 diep in de daarmee cor-35 responderende instelboringen 46 passen, wordt een relatieve horizontale stand tussen de artikelopslaghouder C en artikelopslagbak 6 altijd afgesteld om nagenoeg gelijk te zijn.
18
Op deze wijze kan de relatieve stand tussen de arti-kelopslaghouder C en artikelopslagbak 6 nauwkeurig afgesteld worden. Maar wanneer de eindloze roterende kettingen 32 geroteerd worden om een van de artikelopslagbakken 6 5 aan te brengen in een afzetstand die met de afzetpoort 8 correspondeert of een afleveringstand die met de afleve-ringspoort 9 correspondeert, kan de artikelopslagbak 6 enigszins verplaatst worden uit een juiste positie die voor een afzet- of toeleveringsverrichting van het arti-10 keltransportorgaan H geschikt is. Een dergelijk ongerief kan ontstaan door speling tussen de leirollen 42 en lei-rails 44 of een afwijking van het gewicht van artikelop-slaghouders C. De afzetstand, die met de afzetpoort 8 correspondeert, en de af leveringstand, die met de afleve-15 ringspoort 9 correspondeert, corresponderen met de afzet-en afleveringstanden voor het artikeltransportorgaan H om de afzet- en afleveringsverrichtingen uit te voeren.
Om de in het voorgaande vermelde situatie het hoofd te bieden, heeft deze artikelopslaginrichting S een mechanis-2 0 me voor het zo instellen van de artikelopslaghouders dat het artikeltransportorgaan H in staat gesteld wordt om de afzet- en afleveringsverrichtingen op een betrouwbare wijze uit te voeren.
Nader gesteld, heeft een instelonderdeel 49 een aan-25 tal standcorrigeeruitsteeksels 48 om in aangrijping te verkeren met een aantal standcorrigeerboringen die in de bodem van elke artikelopslaghouder C gevormd zijn om naar de ingang wijd uit te lopen. Het instelonderdeel 4 9 wordt geïnstalleerd in de positie die met de afzet- of afleve-30 ringstand correspondeert om omhoog te kunnen bewegen om een artikelopslaghouder C die geplaatst is op de artikelopslagbak 6, die zich in de afzet- of af leveringstand bevindt, op te nemen en te ondersteunen en is omlaag te bewegen om een op het instelonderdeel 49 geplaatste arti-35 kelopslaghouder C over te brengen naar de artikelopslagbak 6 die zich in de af zet- of af leveringstand bevindt. Het artikeltransportorgaan H laadt en lost de artikelopslaghouder C op/van het instelonderdeel 49 in de omhoog ge- 19 brachte stand. Bij deze uitvoering worden de instelborin-gen en standcorrigeerboringen in één ingrijpingsleuf opgenomen. Dat wil zeggen, dat de instelboringen 46 voor het afstellen van de stand met betrekking tot de artikelop-5 slagbakken 6 ook gebruikt worden als de standcorrigeerboringen waarop door het instelonderdeel 49 ingewerkt wordt.
Een specifieke constructie voor het instellen van de artikelopslaghouders C zal hier in het volgende beschreven worden.
10 Zoals in fig. 3 weergegeven is, is een instelling- controlemechanisme B telkens voorzien in de afzetstand en afleveringstand die als de afzet- en afleveringsposities dienen. De twee instellingcontrolemechanismen B hebben dezelfde constructie. De instellingregelmechanismen B, die 15 in de afzetstand aangebracht zijn, zullen hier in het volgende beschreven worden, en een beschrijving van datgene dat zich in de afleveringstand bevindt zal achterwege gelaten worden.
Zoals in fig. 13 weergegeven is, heeft de bodemplaat 20 6a van elke artikelopslagbak 6 een ongeveer driehoekige opneemboring 50 in een middelste gedeelte daarvan gevormd. De hier in het voorgaande vermelde inzetuitsteeksels 47 steken omhoog uit vanaf nabij de respectieve hoeken van de driehoek van de opneemboring 50. Zoals in fig. 12 weerge-25 geven is, omvat het instellingcontrolemechanisme B het instelonderdeel 49 dat zich verticaal uitstrekken kan door de opneemboring 50 die gevormd is in de bodemplaat 6a van de artikelopslagbak 6 die zich in de afzetstand bevindt, en een elektromotorisch hijsmechanisme 51 voor het bewegen 30 van het instelonderdeel 49 tussen een teruggetrokken stand onder de bodemplaat 6a van de artikelopslagbak 6 en een bovenste enigszins boven de bodemplaat 6a van de artikelopslagbak 6.
Zoals in fig. 13 weergegeven is, zijn een paar mon-35 teerframes 52 opgenomen tussen de rechter en linker onder-steuningsframes 41. Een ondersteuningsdek 53 is tussen het paar monteerframes 52 opgenomen. Het ~ elektromotorische hijsmechanisme 51 is bevestigd aan en wordt ondersteund 20 door het ondersteuningsdek 54. Het elektromotorische hijsmechanisme 51 wordt zodoende stevig ondersteund door de frameconstructie F, en de stand van het instelonderdeel 49 wanneer hiermee in de bovenste stand gewerkt wordt, wordt 5 nauwkeurig gecontroleerd ongeacht de stand van de artikel op slagbak 6.
Het instelonderdeel 49 heeft een ongeveer driehoekige buitenvorm die in planaanzicht enigszins smaller is dan de opneemboring 50. Een totaal van drie standcorrigeeruit-10 steeksels 48 zijn nabij de respectieve hoeken van deze driehoek gevormd. Het elektromotorische hijsmechanisme 51 bevat een elektromotor en een niet weergegeven schroeftoe-voermechanisme, voor het bewegen van het instelonderdeel 49 in een ingestelde mate tussen de teruggetrokken stand 15 en de bovenste stand.
Wanneer met het elektromotorische hijsmechanisme 51 gewerkt wordt om het instelonderdeel 49 naar de teruggetrokken stand zoals weergegeven in fig. 11(A) te bewegen, wordt het instelonderdeel 49 onder de bodemplaat 6a van de 20 artikelopslagbak 6 teruggetrokken. Wanneer het instelonderdeel 49 bewogen wordt naar de bovenste posities zoals weergegeven in fig. 11(B), bevindt het instelonderdeel 49 zich boven de bodemplaat 6a van de artikelopslagbak 6, om de artikelopslaghouder C uit de artikelopslagbak 6 op te 25 nemen.
Op deze wijze neemt het instelonderdeel 49, dat omhoog gebracht is van de teruggetrokken stand naar de bovenste stand, de artikelopslaghouder C uit de artikelopslagbak 6 op. Op dit moment, net als op het moment van de 30 ingrijping tussen de instelboringen 46 en insteluitsteek-sels 47, zoals in fig. 14 en 15 weergegeven is, komt elk insteluitsteeksel 48 in ingrijping met een corresponderend exemplaar van de instelboringen 46 als het geleid wordt door de schuinte zelfs wanneer het enigszins uit het mid-35 den van de boring 46 verplaatst is. Wanneer de drie in-steluitsteeksels 48 die in de daarmee corresponderende instelboringen 46 passen, wordt 'een relatief horizontale stand tussen de artikelopslaghouder C en het instelonder- 21 deel 49 altijd zo afgesteld dat deze nagenoeg gelijk blijft.
Zoals in fig. 16(C) weergegeven is, wordt een op het instelonderdeel 49 geplaatste en daardoor ondersteunde ar-5 tikelopslaghouder C door het artikeltransportorgaan H gegrepen en opgevat. Bij het opnemen van een artikelopslag-houder C van het artikeltransportorgaan H, zoals in fig. 11 en 16 (B) weergegeven, wordt het instelonderdeel 46 in de bovenste stand geplaatst om de artikelopslaghouder C 10 van het artikeltransportorgaan H op te nemen. Het instelonderdeel 49 wordt dan neergelaten om de artikelopslaghouder C op een artikelopslagbak 6 te voeren.
Zoals in fig. 12 weergegeven is, wordt een stand-vaststelorgaan 54 nabij het elektromotorische hijsmecha-15 nisme 51 aangebracht om vast te stellen dat het instelonderdeel 4 9 bediend is en in de teruggetrokken stand of de bovenste stand gebracht is. Het instelonderdeel 49 heeft een plaat 54A voor de standvaststelling die verticaal beweegbaar is met het instelonderdeel 49. Een de onderste 20 grensstand vaststellend element 54B en een de bovenste grensstand vaststellend element 54C worden door het onder-steuningsdek 53 ondersteund voor het vaststellen van een onderste grensstand en een bovenste grensstand gebaseerd op het al dan niet optreden van de plaat 54A.
25 Zoals in fig. 9 weergegeven is, is een standvast- stelsensor 55 van het uitgezonden lichttype aangebracht om vast te stellen dat een artikelopslagbak 6 zich in de af-zetstand bevindt door het vaststellen van het optreden van een vastgestelde plaat 56 die van het onderoppervlak van 30 de bodemplaat 6a afhangt. Zoals in fig. 12 weergegeven is, is een artikelsensor 57 van het weerkaatste lichttype ook berekend op het vaststellen van het - al dan niet optreden van een artikelopslaghouder C.
Zoals in fig. 1 weergegeven is, is een hoogterege-35 laar 58 aangebracht voor het regelen van de verrichting van het artikeltransportorgaan H, en opslagregelaars 59 voor het regelen van de verrichting van de artikelopslag-inrichting S. Deze hoofdregelaar 58 en opslagregelaars 59 22 zijn qua constructie berekend op het doorgeven van regel-informatie daartussen.
Vervolgens zullen details van de regelingen door de hoofdregelaar 58 en opslagregelaars 59 en de verrichtingen 5 van het artikeltransportorgaan H en de artikelopslagin-richting S beschreven worden.
Ofschoon dit niet weergegeven is, heeft elke arti-kelopslaghouder C een IC-etiket (d.w.z. een RFID-etiket) daaraan verbonden voor het overbrengen van houderidentifi-10 catie-informatie zoals een partijnummer tot een voorbestemd bereik. Zoals in fig. 12 weergegeven is, heeft elke artikelopslaginrichting S een ontvanger 60 voor het ontvangen van houderidentificatie-informatie die uitgezonden wordt van het IC-etiket van een artikelopslaghouder C die 15 pas geplaatst is op de artikelopslagbak 6 die zich onder de afzetpoort 8 bevindt. Elk van de artikelopslagbakken 6 heeft bakidentificatie-informatie (bijvoorbeeld een bak-nummer) vooraf ingesteld met gebruikmaking van een IC-etiket zoals in het voorgaande vermeld, voor het identifi-20 ceren van elke artikelopslagbak 6.
De opslagregelaars 59 besturen een correspondentie-verband tussen standen op de circuleerbaan van het aantal artikelopslagbakken 6 en de bakidentificatie-informatie op de artikelopslagbakken 6 gebaseerd op de vaststelling van 25 informatie van de roterende codeerders, een corresponden-tieverband tussen de bakidentificatie-informatie op de artikelopslagbakken 6, die artikelopslaghouders C dragen, en houderidentificatie-informatie op de artikelopslaghouder C die op dat moment op de artikelopslagbakken 6 geplaatst is 30 gebaseerd op de door de ontvangers 60 ontvangen informatie, en bakidentificatie-informatie op artikelopslagbakken 6 die niet met artikelopslaghouders C geladen zijn. De opslagregelaars 59 besturen*«ook de standen van de instelon-derdelen 49 gebaseerd op de vaststelling van informatie 35 van de positievaststelorganen 54, om de verrichting van de elektromotorische hijsmechanismen 51 te regelen.
De hoofdregelaar 58 zendt bij ontvangst van een hou-derafvoeropdracht van een bewerkingseenheidregelaar (niet 23 weergegeven) die de verrichting van een bewerkingseenheid 1 regelt, een afzetopdracht naar de opslagregelaar 59 van een artikelopslaginrichting S welke de artikelopslaghouder C, die met de houderafvoeropdracht correspondeert, opslaan 5 moet. De hoofdregelaar 58 regelt dan het artikeltransport-orgaan H om een van de artikeltransportwagens 4 te bewegen naar een beoogde stopstand die correspondeert met de on-dersteuningstafel la van de bewerkingseenheid 1 welke de houderafvoeropdracht uitgezonden heeft, stopt de artikel-10 transportwagen 4 in de beoogde stopstand, bedient de arti-kelgrijper 5 om de artikelopslaghouder C van de ondersteu-ningstafel la te grijpen en op te vatten, en beweegt dan de artikeltransporteerwagen 4 naar een beoogde stopstand die correspondeert met de afzetpoort 8 van de artikelop-15 slaginrichting S die de artikelopslaghouder C moet opslaan .
Bij het niet optreden van enige opdracht van de hoofdregelaar 58 voert de opslagregelaar 59 een lege bak-oproepproces uit om de positie van een ingeladen arti-20 kelopslagbak 6 die zich het dichtst bij de afzetpoort 8 bevindt vast te stellen en de circuleermotor M te regelen om de eindloze roterende kettingen 32 in een richting te bewegen die de kortste weg van de ongeladen artikelopslag-bak 6 naar de afzetpoort 8 oplevert, en de ongeladen arti-25 kelopslagbak 6 in de afzetstand aan te brengen. De opslagregelaar 59 levert bijstand aan de ongeladen artikelop-slagbak 6 in de afzetstand, en het instelonderdeel 49 van het instellingregelmechanisme in de afzetstand die bij de bovenste stand optreedt.
30 Bij ontvangst van een af zetopdracht van de hoofdre gelaar 58 zendt de opslagregelaar 59 naar de hoofdregelaar 58 informatie dat de afzetting gereed is waardoor de toestand aangegeven wordt van de ongeladen artikelopslagbak 6 t die in de afzetstand stilstaat. Bij ontvangst van de in- 35 formatie dat de afzetting gereed is van de opslagregelaar 59 zorgt de hoofdregelaar 58 voor het neerlaten en overbrengen van de door de artikelgri jper 5 gegrepen artikelopslaghouder C in de afzetstand naar het instelonder- 24 deel 49 in de bovenste stand.
Verder laat, wanneer de artikelopslaghouder C overgebracht is in de afzetstand naar het instelonderdeel 49 en het optreden van de artikelopslaghouder C door de arti-5 kelsensor bevestigd is, de opslagregelaar 59 het instelonderdeel 59 neer. Bij het neerlaten van het instelonderdeel 49 wordt de artikelopslaghouder C overgebracht naar de ar-tikelopslagbak 6 die zich in de afzetstand bevindt. Op deze wijze wordt de artikelopslaghouder C dan pas geplaatst 10 op de lege artikelopslagbak 6 die zich in de afzetstand bevindt. Wanneer de ontvanger 60 de identificatie-informatie over de artikelopslaghouder C ontvangt, bestuurt de opslagregelaar 59 een correspondentieverband tussen de bakidentificatie-informatie op de artikelopslag-15 bak 6 die zich in de afzetstand bevindt en de houderiden-tificatie-informatie op de daarop geplaatste artikelopslaghouder C.
Bij de ontvangst van een houderinvoeropdracht van een verwerkingseenheidregelaar en identificatie-informatie 2 0 over een in te voeren artikelopslaghouder C zendt de hoofdregelaar 58 een afleveringsopdracht en de identificatie- informatie over een af te leveren artikelopslaghouder C naar de opslagregelaar 59 van de artikelopslaginrichting S welke de artikelopslaghouder C opslaat die bij de ont-25 vangen identificatie-informatie past, en wordt hierdoor een van de artikeltransportwagens 4 naar een beoogde stop-stand die met de afleveringspoort 9 van de artikelopslaginrichting S correspondeert bewogen en stopt dan de arti-keltransportwagen 4 in de beoogde stopstand.
30 Bij ontvangst van de hoofdregelaar 58 van de afleve ringsopdracht en de identificatie-informatie over de af te leveren artikelopslaghouder C, voert de opslagregelaar 59 een afleverbakoproepproces uit voor het vaststellen van de stand van de artikelopslagbak 6 waarin de artikelopslag-35 houder C opgeslagen is die bij de ontvangen identificatie-informatie past, en wordt dan de circuleermotor M geregeld om de eindloze roterende kettingen 32 in een zodanige richting te roteren dat voor de kortere weg van de arti- 25 kelopslagbak 6 naar de afleveringspoort 9 en het brengen van de artikelopslagbak 6 in de afleveringstand gezorgd wordt. Voorts beweegt de opslagregelaar 59 het instelon-derdeel 49 van het instelregelmechanisme B in de afleve-5 ringstand naar de bovenste stand, om de artikelopslaghou-der C van de artikelopslagbak 6 naar het omhoog te brengen instelonderdeel 49 over te brengen. De opslagregelaar 59 zendt dan informatie dat men voor de aflevering gereed is uit die de toestand van de af te leveren artikelopslaghou-10 der C die in de met de afleveringspoort 9 corresponderende stand stilstaat aangeeft.
Bij ontvangst van de informatie dat men voor de aflevering gereed is van de opslagregelaar 59 zorgt de hoofdregelaar 58 er voor dat de artikelgrijper 5 de arti-15 kelopslaghouder C grijpt en van het instelonderdeel 49 opvat, en wordt hierdoor dan de artikeltransportwagen 4 bewogen naar een beoogde stopstand die correspondeert met de ondersteuningstafel la van de bewerkingseenheid 1 die de houderinvoeropdracht uitgezonden heeft, wordt de artikel-20 transportwagen 4 in de beoogde stopstand gestopt en de door de artikelgrijper 5 gegrepen artikelopslaghouder C op de ondersteuningstafel la van de bewerkingseenheid 1 geplaatst .
De opslagregelaar 59 voert, wanneer een afzetop-25 dracht van de hoofdregelaar 58 ontvangen is bij een toestand van geen ongeladen artikelopslagbak 6 die zich in de afzetstand bevindt, eerst het lege bakoproepproces uit, en zendt daarna informatie dat men voor de afzetting gereed is naar de hoofdregelaar 58. De opslagregelaar 59 voert 30 het afleverbakoproepproces uit wanneer een afleveringsop-dracht ontvangen wordt gedurende de uitvoering van een lege bakoproepproces dat noch door een afleveringsopdracht noch een afzettingsopdracht ingeleid wordt.
[Andere Uitvoeringen] 35 (1) Bij de voorgaande uitvoering zijn de instelbo- ringen en instelcorrigeerboringen in één. daarmee in in-grijping te brengen sleuf opgenomen. Dat wil zeggen dat de instelboringen die in elke artikelopslaghouder C gevormd 26 zijn teneinde een horizontale stand van een als een ondersteuning dienende artikelopslagbak af te stellen en de artikel opslaghouder C op een doeltreffende wijze aangewend worden om in ingrijping te verkeren met de standcorrigeer-5 uitsteeksels die op het instelonderdeel 49 gevormd zijn. In plaats van een dergelijke constructie kan elke arti-kelopslaghouder C gescheiden van de instelboringen gevormde exclusieve standcorrigeerboringen voor de ingrijping met de standcorrigeeruitsteeksels van het instelonderdeel 10 49 gevormd hebben.
(2) Bij de voorgaande uitvoering wordt de artikelop-slaginrichting aan het plafond opgehangen door middel van een aantal hangerbouten. In plaats daarvan kan de arti-kelopslaginrichting ondersteund worden door op de vloer 15 opgerichte poten. Ofschoon dit niet weergegeven is, kan de artikelopslaginrichting geplaatst worden op en ondersteund worden door een overhangende constructie die door een wand op een zodanige wijze ondersteund wordt dat deze horizontaal van de wand uitsteekt.
20 (3) Bij de voorgaande uitvoering worden een aantal artikelopslaghouders in een circulatiebeweging in een tan-demreeksorde verticaal getransporteerd langs de circula-tiebewegingsbaan die om dwarsassen te roteren is. In plaats daarvan kunnen het aantal ondersteuningen, waardoor 25 artikelopslaghouders opgehouden worden, gecirculeerd en getransporteerd worden in een tandemreeksorde langs een horizontale circulatiebewegingsbaan die om verticale assen te roteren is.
(4) Bij de voorgaande uitvoering wordt door de af-30 zet- en afleveringstanden één met de afzetpoort 8 corresponderende afzetstand en één met de afleveringspoort 9 corresponderende afleveringstand omvat. Dit arrangement kan gewijzigd uitgevoerd worden om te zorgen voor een aantal afzetstanden en een aantal afleveringstanden, of om te 35 zorgen voor een of meer af zet- en af leveringstanden die corresponderen met een afzet- en afleveringspoort waarbij de afzetpoort en afleveringspoort gecombineerd zijn.
(5) Het orgaan voor het verticaal bewegen van de ar- 27 tikelgrijper 5 ten opzichte van de artikeltransportwagen 4 kan een opneemonderdeel, dat door de artikeltransportwagen 4 ondersteund wordt en voorzien is van een aan de grijper verbonden kabel, en een motor, die door de artikeltrans-5 portwagen 4 ondersteund wordt en aan het opneemonderdeel verbonden is voor het roteren van dit laatste om de grijper verticaal te bewegen, omvatten.
(6) Met de uitdrukking "instelonderdeel" wordt een element bedoeld dat de instelling van het object in kwes-10 tie zonodig corrigeert en met de uitdrukking kunnen zowel de instelonderdelen 49 als elk van de instelonderdelen 49 aangegeven worden.
1 0 o 5 J

Claims (5)

1. Artikelopslaginrichting voor het opslaan van ar-tikelopslaghouders die elk een aantal instelboringen en een aantal standcorrigeerboringen in een bodemoppervlak daarvan gevormd hebben, door welke inrichting omvat wor-5 den: een aantal houderondersteuningsonderdelen voor het opnemen en ondersteunen van de genoemde artikelopslaghouders, waarbij elk van deze houderondersteuningsonderdelen een ondersteuningsoppervlak met insteluitsteeksels daarop 10 gevormd heeft om met de genoemde instelboringen in ingrij-ping te verkeren; ondersteuningsonderdeeltransportorganen voor het transporteren van de genoemde houderondersteuningsonderdelen langs een circulerende eindloze baan; 15 houdertransportorganen voor het overbrengen van de genoemde artikelopslaghouders naar en van de genoemde houderondersteuningsonderdelen die zich in een afzet- en af-leveringstand bevinden; gekenmerkt door 2. een instelonderdeel dat zich in een met de genoemde afzet- en afleveringstand corresponderende stand bevindt, en een aantal standcorrigeeruitsteeksels om met de genoemde standcorrigeerboringen in ingrijping te verkeren heeft, waarbij dit instelonderdeel is ingericht om tussen een bo-25 vengelegen stand en een lager gelegen stand te bewegen en dit instelonderdeel, wanneer het naar de genoemde bovengelegen stand bewogen wordt, een artikelopslaghouder opneemt van het zich in de genoemde af zet- en af leveringstand bevindende houderondersteuningsonderdeel, en wanneer het 30 naar de genoemde lager gelegen stand bewogen wordt, deze artikelopslaghouders aan een zich in de genoemde afzet- en afleveringstand bevindend houderondersteuningsonderdeel aflevert, waarbij het genoemde houdertransportorgaan is inge- "*0 1 0 0 5 J richt om de genoemde artikelopslaghouders naar en van het genoemde instelonderdeel in de genoemde bovengelegen stand over te brengen.
2. Artikelopslaginrichting zoals omschreven in con clusie 1, gekenmerkt doordat deze artikelopslaginrichting de genoemde artikelopslaghouders omvat, waarbij elk van de genoemde instelboringen en de genoemde standcorrigeerbo-ringen zodanig gevormd zijn dat deze wijd uitlopen naar 10 een ingang daarvan.
3. Artikelopslaginrichting zoals omschreven in conclusie 2, gekenmerkt doordat elk van de genoemde instelboringen en een corresponderend exemplaar van de genoemde 15 standcorrigeerboringen als één geheel daarmee in één daarmee in ingrijping te brengen sleuf opgenomen zijn.
4. Artikelopslaginrichting zoals omschreven in een van de conclusies 1-3, gekenmerkt doordat deze artikelop- 20 slaginrichting aan een plafond opgehangen is door tussenkomst van door het plafond opgehouden ondersteuningen.
5. Artikelopslaginrichting zoals omschreven in een van de conclusies 1-3, gekenmerkt doordat een met de ge- 25 noemde afzet- en afleveringstand corresponderende opening in een bovenoppervlak van de artikelopslaginrichting gevormd is. ' 1 005
NL2001005A 2006-11-15 2007-11-14 Artikelopslaginrichting. NL2001005C2 (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006309401 2006-11-15
JP2006309401A JP2008120586A (ja) 2006-11-15 2006-11-15 物品収納装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL2001005A1 NL2001005A1 (nl) 2008-05-27
NL2001005C2 true NL2001005C2 (nl) 2012-06-07

Family

ID=39311451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2001005A NL2001005C2 (nl) 2006-11-15 2007-11-14 Artikelopslaginrichting.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20080135551A1 (nl)
JP (1) JP2008120586A (nl)
KR (1) KR20080044186A (nl)
CN (1) CN101181954A (nl)
DE (1) DE102007054013A1 (nl)
IE (1) IE20070815A1 (nl)
NL (1) NL2001005C2 (nl)
SG (1) SG143154A1 (nl)
TW (1) TW200833575A (nl)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5131558B2 (ja) * 2008-12-02 2013-01-30 株式会社ダイフク 物品搬送装置
US8882433B2 (en) 2009-05-18 2014-11-11 Brooks Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
KR101755047B1 (ko) 2009-05-18 2017-07-06 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템
EP2433299B1 (en) * 2009-05-18 2022-10-26 Brooks Automation US, LLC Substrate container storage system
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP2011035022A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Murata Machinery Ltd 天井搬送車
SG189232A1 (en) * 2010-11-04 2013-05-31 Murata Machinery Ltd Conveying system and conveying method
CN102060163B (zh) * 2010-11-17 2012-08-08 湖州德能物流设备有限公司 托盘链式输送机多层多通道先进先出货架
US9385019B2 (en) 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
CN105540126B (zh) * 2016-01-08 2017-10-24 江苏海阳化纤有限公司 一种自动型化工储料桶移动装置
KR20200003104A (ko) * 2017-06-06 2020-01-08 무라다기카이가부시끼가이샤 층간 반송 시스템 및 층간 반송 방법
GB201900653D0 (en) * 2019-01-17 2019-03-06 Ocado Innovation Ltd RFID tags
CN111792316A (zh) * 2019-04-08 2020-10-20 鸿劲精密股份有限公司 转运装置及其应用的电子元件作业设备
CN113023564A (zh) * 2021-03-29 2021-06-25 中核能源科技有限公司 环形吊车
CN117022974B (zh) * 2023-10-09 2023-12-19 山西迎才物流设备科技有限公司 一种车间用超长件储存设备

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3861541A (en) * 1969-02-03 1975-01-21 George H Taft Intermodal unitized cargo control system
US3754632A (en) * 1970-11-09 1973-08-28 Clark Equipment Co Pallet storage system
US4010840A (en) * 1974-05-31 1977-03-08 General Battery Corporation Automatic air leak testing apparatus for multiple chambered containers
JPS6075309A (ja) * 1983-09-30 1985-04-27 Nitto Electric Ind Co Ltd ポリキナゾロン系重合体薄膜の製造方法
US4877121A (en) * 1986-10-30 1989-10-31 Okamura Corporation Vertical excursion accommodation apparatus
JP2983163B2 (ja) * 1995-12-27 1999-11-29 株式会社しなのエレクトロニクス Icハンドラ
US6073342A (en) * 1996-11-27 2000-06-13 Fuji Machine Mfg., Co., Ltd. Circuit-substrate-related-operation performing system
JP4168724B2 (ja) * 2002-10-15 2008-10-22 神鋼電機株式会社 ロードポート
US7360985B2 (en) * 2002-12-30 2008-04-22 Tdk Corporation Wafer processing apparatus including clean box stopping mechanism
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
US7101138B2 (en) * 2003-12-03 2006-09-05 Brooks Automation, Inc. Extractor/buffer
US7168905B1 (en) * 2005-08-01 2007-01-30 Worthwhile Products Storage and retrieval system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080044186A (ko) 2008-05-20
JP2008120586A (ja) 2008-05-29
DE102007054013A1 (de) 2008-05-21
US20080135551A1 (en) 2008-06-12
NL2001005A1 (nl) 2008-05-27
TW200833575A (en) 2008-08-16
IE20070815A1 (en) 2008-08-20
CN101181954A (zh) 2008-05-21
SG143154A1 (en) 2008-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL2001005C2 (nl) Artikelopslaginrichting.
US11167924B2 (en) Shelving system and power transfer device
US10106322B2 (en) Bot payload alignment and sensing
TWI314542B (nl)
CN106477217B (zh) 物品搬运设备
US8322282B2 (en) Apparatus and process for transporting lithographic plates to a press cylinder
JP5514393B2 (ja) 容器搬送装置
US11760578B2 (en) Device and method for transferring units of goods into and out of conveyor units of a suspended conveyer system
KR101473279B1 (ko) 물품 이송탑재 장치 및 이것을 구비한 스태커 크레인
US10633195B2 (en) Device for loading and unloading rail-guided suspended conveyor systems
NL2001004C2 (nl) Framestelsel voor een artikelopslaginrichting.
US20080217268A1 (en) Frame system for an article storage apparatus
KR0183493B1 (ko) 강판의 격납 및 입출고 설비
US3851778A (en) Transport system for goods carriers
JP3835189B2 (ja) 物品供給設備
RU2041142C1 (ru) Механизированный склад длинномерных изделий
JP3807147B2 (ja) 搬送設備
JP2021127235A (ja) 荷物積付装置及び荷物積付方法
TW202327967A (zh) 埠口倉庫
JP3872835B2 (ja) 壁パネル搬送装置
JP2004142888A (ja) コンテナへの物品積み込み設備
JP2831242B2 (ja) 管の段積み用の輪木の供給装置
JP2002019968A (ja) 被搬送物の積み付け装置および被搬送物の取り扱い設備
KR20020078142A (ko) 자중식 차륜축적장치
JPH09278122A (ja) 物品保管装置

Legal Events

Date Code Title Description
AD1A A request for search or an international type search has been filed
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20130601