NL194278C - Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan. - Google Patents
Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan. Download PDFInfo
- Publication number
- NL194278C NL194278C NL9201708A NL9201708A NL194278C NL 194278 C NL194278 C NL 194278C NL 9201708 A NL9201708 A NL 9201708A NL 9201708 A NL9201708 A NL 9201708A NL 194278 C NL194278 C NL 194278C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- etching
- meth
- shadow mask
- component
- coating
- Prior art date
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 36
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 22
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 20
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 claims description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims description 7
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 5
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 5
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 claims 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 26
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 19
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 17
- -1 acroyl groups Chemical group 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 11
- PMNLUUOXGOOLSP-UHFFFAOYSA-N 2-mercaptopropanoic acid Chemical compound CC(S)C(O)=O PMNLUUOXGOOLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- RKYJPYDJNQXILT-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxycarbonyl)benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCOC(=O)C=C RKYJPYDJNQXILT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 5
- UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 4-oxo-4-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)butanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC(=O)OCCOC(=O)C=C UZDMJPAQQFSMMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 4
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- ZVEZMVFBMOOHAT-UHFFFAOYSA-N nonane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCS ZVEZMVFBMOOHAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical class CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 229940096522 trimethylolpropane triacrylate Drugs 0.000 description 3
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 2
- XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 1-morpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCOCC1 XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SKIIKRJAQOSWFT-UHFFFAOYSA-N 2-[3-[1-(2,2-difluoroethyl)piperidin-4-yl]oxy-4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]pyrazol-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound FC(CN1CCC(CC1)OC1=NN(C=C1C=1C=NC(=NC=1)NC1CC2=CC=CC=C2C1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2)F SKIIKRJAQOSWFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 2
- JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P ammonium dichromate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 2
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 2
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical compound OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQEKPFRJQVRENQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxycarbonyl)cyclohex-3-ene-1-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(=O)OCCOC(=O)C=C KQEKPFRJQVRENQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BXPKASQEUYICBF-UHFFFAOYSA-N 2-(3-prop-2-enoyloxypropoxycarbonyl)benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCOC(=O)C=C BXPKASQEUYICBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DLBGDYWVGFRLNJ-UHFFFAOYSA-N 2-(3-prop-2-enoyloxypropoxycarbonyl)cyclohexane-1-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(=O)OCCCOC(=O)C=C DLBGDYWVGFRLNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJSGODDTWRXQRH-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl benzoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 KJSGODDTWRXQRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-2-enamide Chemical compound CC(C)=CC(N)=O WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYUZOYPRAQASLN-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoyloxypropanoic acid Chemical compound OC(=O)CCOC(=O)C=C CYUZOYPRAQASLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N Ipazine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(Cl)=NC(NC(C)C)=N1 OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFSAUHSCHWRZKM-UHFFFAOYSA-N Padimate A Chemical compound CC(C)CCOC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OFSAUHSCHWRZKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010040880 Skin irritation Diseases 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUFJABRJVFZFDU-UHFFFAOYSA-J [Sn](Cl)(Cl)(Cl)Cl.[Fe] Chemical compound [Sn](Cl)(Cl)(Cl)Cl.[Fe] GUFJABRJVFZFDU-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N bakuchiol Chemical group CC(C)=CCC[C@@](C)(C=C)\C=C\C1=CC=C(O)C=C1 LFYJSSARVMHQJB-QIXNEVBVSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N bis[4-(diethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(CC)CC)C=C1 VYHBFRJRBHMIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDFRDWFLWVCOGP-UHFFFAOYSA-N carbonothioic O,S-acid Chemical class OC(S)=O HDFRDWFLWVCOGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N decane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCS VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLNBQUAHERCLKT-UHFFFAOYSA-N dimethylamino benzoate Chemical compound CN(C)OC(=O)C1=CC=CC=C1 VLNBQUAHERCLKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000007407 health benefit Effects 0.000 description 1
- ORTRWBYBJVGVQC-UHFFFAOYSA-N hexadecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCS ORTRWBYBJVGVQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- DBQGARDMYOMOOS-UHFFFAOYSA-N methyl 4-(dimethylamino)benzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 DBQGARDMYOMOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N monothioglycerol Chemical compound OCC(O)CS PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N n-(2-methyl-4-oxopentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 description 1
- FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N parbenate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 FZUGPQWGEGAKET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920001281 polyalkylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000007761 roller coating Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000036556 skin irritation Effects 0.000 description 1
- 231100000475 skin irritation Toxicity 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N β‐Mercaptoethanol Chemical compound OCCS DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical group O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/04—Chromates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2229/00—Details of cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2229/07—Shadow masks
- H01J2229/0727—Aperture plate
- H01J2229/075—Beam passing apertures, e.g. geometrical arrangements
- H01J2229/0755—Beam passing apertures, e.g. geometrical arrangements characterised by aperture shape
- H01J2229/0761—Uniaxial masks having parallel slit apertures, i.e. Trinitron type
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
1 194278
Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan
De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker waarbij een 5 bekledingsstap wordt uitgevoerd met een bekledingsmateriaal van een met alkali verwijderbare, hardbare samenstelling omvattende: (a) een verbinding met een carboxylgroep en een (meth)acryloylgroep in het molecuul, (b) een verbinding met twee of meer (meth)acryloylgroepen in het molecuul, en (c) een nivelieringsmiddel.
Een dergelijke werkwijze is bekend uit de Japanse octrooiaanvrage 1.261.410 van Toa Gosei Chem. Ind.
10 Ltd. Hierin wordt een door straling hardbare harssamenstelling geopenbaard, die verbindingen omvat met zowel carboxylgroepen als (meth)acroylgroepen, verbindingen met een (meth)acroylgroep en met een lage viscositeit, verbindingen met twee of meer (meth)acroylgroepen en verder nivelleringsmiddelen. De samenstelling omvat polymeriseerbare componenten zoals een monomeer of oligomeer met een (meth)acryloylgroep, een monomeer met een carboxylgroep en een (meth)acryloylgroep en dergelijke, en 15 een hydrofiel organisch oplosmiddel (bijvoorbeeld een alcohol, keton of ester), welke samenstelling verhardt bij blootstelling aan ultravioletstralen of elektronenstralen en zo een laag kan vormen met nagenoeg dezelfde eigenschappen als een conventioneel materiaal, omvattende een verbinding met een groot molecuul bijvoorbeeld een alkydhars). Deze harssamenstelling kan gebruikt worden als dekkend membraan met een goede zuurresistentie, maar is wel oplosbaar in alkali. De samenstelling kan bijvoorbeeld toegepast 20 worden voor gietmaterialen of dekkende materialen, zoals bijvoorbeeld als grondlaag ter verbetering van de adhesie voor een schaduwmasker.
Het gebruik van een dergelijke samenstelling als gebruik van etsresistmateriaal in de vervaardiging van schaduwmaskers is onderzocht en er is gevonden dat er, afhankelijk van de typen gatenpatronen die gemaakt moesten worden in de schaduwmaskers, een relatief groot deel van de schaduwmaskers vervormd 25 raakte. Het percentage "defect” was bijvoorbeeld erg hoog in het geval van een schaduwmasker met zeer kleine spieetvormige gaten zoals getoond in figuur 1.
De uitvinding beoogt dit nadeel op te heffen. De uitvinding verschaft een actieve energiestraling-hardbare samenstelling die kan worden toegepast als secundair resistmateriaal zonder problemen in de productie van schaduwmaskers met verschillende kleine-gatenpatronen, waaronder een schaduwmasker met spleet-30 vormige kleine gaten. Er Is gevonden dat een hardbare samenstelling omvattende een verbinding met twee of meer (meth)acryloylgroepen in het molecuul als ultravioletstraling polymeriseerbare component, en een ketenoverdrachtsmiddel of een tertiair aminotype foto-initiator een geharde film kan leveren met een zeer grote etsweerstand en een normaal schaduwmasker zonder vervorming kan leveren. Derhalve wordt een werkwijze, zoals omschreven in de aanhef, volgens de uitvinding gekenmerkt, doordat 35 1. een primaire etstrap wordt uitgevoerd, waarbij op ten minste één zijde van een metalen vel voor een schaduwmasker, welk vel bestaat uit een dunne metalen plaat en op beide zijden van de plaat in een gewenst patroon gevormde etsresistfilms, etsing wordt aangebracht ter vorming van getande gedeelten op de geëxposeerde plaatsen, welke getande gedeelten voorzien zijn in de zijde van de metalen plaat, 2. in een bekledingstrap het bekledingsmateriaal wordt aangebracht als een secundair etsresistmateriaal, 40 op de zijde of een van de beide zijden van de metalen plaat met de getande gedeelten, die gevormd zijn in de primaire etsstap (1), waarbij het bekledingsmateriaal verder een (d) een ketenoverdrachtsmiddel omvat, _3._tijdens-een_secundaire_etstrap,.op_de.zijde_van.het.metaien_vel_waarop_geen.secundair_etsissistmateriaai_ in de bekledingsstap (2) bekleed was, etsing wordt aangebracht ter vorming van kleine perforaties welke communiceren met de in trap (1) gevormde getande gedeelten van de andere zijde van het metalen vel, en 45 4. alle etsresistfilms en materiaal wordt verwijderd door toepassing van een waterige alkalioplossing.
De uitvinding heeft voorts betrekking op een werkwijze, waarbij de hardbare samenstelling die als secundair etsresistmateriaal gebruikt wordt, in plaats van of in combinatie met het (d) ketenoverdrachtsmiddel, een (e) tertiair amine type fbtofnftiator omvat.
Een werkwijze volgens de uitvinding blijkt uitermate geschikt voor de vervaardiging van een schaduw-- - 50 masker zonder dat er vervorming van het masker optreedt, zeifs wanneer dit zeer kieine spieeivormige gaten bevat. Het secundaire etsresistmateriaal in een werkwijze volgens de uitvinding kan worden toegepast in een chloorvrij oplosmiddel. Het biedt hierdoor ook voordelen vanuit milieu-oogpunt en voor de gezondheid van de werknemers ten opzichte van conventionele etsresistmaterialen, waarbij wel gebruik gemaakt dient te worden van chioorhoudende oplosmiddelen.
55 Schaduwmaskers, toegepast in kleurbeeldbuizen, worden vervaardigd door in een vlakke ijzerplaat van ongeveer 0,1-0,25 mm dikte, maken van vele kleine gaten van 0,1-0,15 mm in diameter om passage van elektronenstralen mogelijk te maken. De kleine gaten hebben verschillende vormen en zijn normaliter 194278 2 cirkelvormig of rechthoekig.
Maken van kleine gaten in een schaduwmasker wordt uitgevoerd door aanbrengen van een etsresistfilm op oppervlakgedeelten van de bovenvermelde vlakke ijzerplaat anders dan kleine gedeelten waarin kleine gaten moeten worden gemaakt, en vervolgens in aanraking brengen van de ijzerplaat die de resistfilm bezit, 5 met een etsoplossing. Teneinde een schaduwmasker te verkrijgen dat in staat is tot levering van een helder televisiebeeld, is het nodig gewenste kleine gaten met grote precisie te maken. Als middelen om dit mogelijk te maken, is een werkwijze bekend welke omvat het uitvoeren van de etsbewerking in twee keren (USP 3,679,500). De hoofdlijn van de werkwijze wordt hieronder beschreven.
Eerst wordt op elke zijde van een ijzeren plaat met de bovenvermelde dikte een fbtogevoelige harsfilm 10 gevormd omvattende bijvoorbeeld caseïne of polyvinylalcohol en ammoniumbichromaat. Daarna wordt een negatieve film die een gewenst patroon daarin bezit in innige aanraking gebracht met elke film op de ijzerplaat en een straling (bijvoorbeeld ultravioietstralen) toegepast, waarbij gedeelten van de fbtogevoelige harsfilms, blootgesteld aan de straling, worden gehard. Niet-belichte en niet-geharde gedeelten van de fotogevoelige harsfilms worden verwijderd met warm water of dergelijke.
15 Vervolgens wordt een of worden beide zijden van de ijzerplaat (elke zijde bezit thans het daarop gevormde patroon) onderworpen aan etsen (dit etsen worden hierna aangeduid als primair etsen) met een etsoplossing (bijvoorbeeld ijzer(tri)chloride) ter vorming van getande gedeelten welke lader tot kleine gaten worden gemaakt. Daarna, wordt een nieuw etsresistmateriaal op slechts een zijde van de ijzerplaat die de getande gedeelten bezit als bekleding aangebracht, om de getande gedeelten op te vullen en een resistfilm 20 op het gehele oppervlak van de zijde te vormen.
De ijzerplaat waarvan de getande gedeelten beschermd zijn met een etsresistmateriaal aan een zijde wordt opnieuw in aanraking gebracht met een etsoplossing. Dat wil zeggen dat etsen (dit etsen wordt hierna aangeduid als secundaire etsen) op de niet-beschermde zijde van de ijzerplaat wordt uitgevoerd om kleine perforaties te maken. Daarna worden de resistfilm voor patroonvorming en de resistfilm voor getande· 25 gedeelten bescherming verwijderd met een waterige alkalioplossing, waarbij een schaduwmasker wordt verkregen.
Bij het secundair etsen in het bovenvermelde proces, heeft men hoofdzakelijk als het materiaal ter bescherming van de getande gedeelten van een zijde van de ijzerplaat (welk materiaal wordt aangeduid als secundair resistmateriaal) een harsoplossing met een lage viscositeit toegepast, verkregen door oplossen 30 van een verbinding met een groot molecuul (bijvoorbeeld alkydhars) In een chloor-bevattend organisch oplosmiddel, omdat deze oplossing gemakkelijk het inwendige van elk getand gedeelte, gevormd in de primaire etsing, kan opvullen zonder luchtbellen achter te laten en bovendien uitstekende etsweerstand en uitstekende oplosbaarheid in waterige alkalioplossing bezit.
35 Figuur 1 is een schematisch aanzicht dat een schaduwmasker toont dat spieetvormige, zeer kleine openingen bezit en in de hierna beschreven voorbeelden uit een ijzerplaat vervaardigd is.
Figuur 2 is een aanzicht waarin de laterale afmeting van de spieetvormige, zeer kleine gaten volgens figuur 1 vergroot zijn.
40 Gedetailleerde beschrijving wordt hierna gegeven inzake de componenten die de hardbare samenstellingen vormen, die in een werkwijze volgens de uitvinding toegepast kunnen worden als secundair etsresistmateriaal.
De component (a) is een component, die er voor zorgt, dat de geharde film verkregen uit de samenstelling, die bij de werkwijze volgens de uitvinding gebatikt wordt, in waterige alkalioplossing oplosbaar is of dat 45 het substraat met waterige alkalioplossing verwijderd kan worden.
Voorkeursverbindingen van component (a) behoren tot de volgende (A1) en (A2).
(A1) Reactieproducten tussen een tweewaardig zuur of een anhydride daarvan en een (meth)acrylaat met een hydroxylgroep aan het einde van het molecuul.
Het tweewaardige zuur of het anhydride daarvan omvat bijvoorbeeld ftaafzuur, tetrahydroftaalzuur, 50 hexahydroftaalzuur, maleïnezuuranhydride en bamsteenzuur. Het (meth)acrylaat met een hydroxylgroep aan het einde van het molecuul omvat bijvoorbeeld hydroxyethyl(meth)acrylaat en hydraxypropyl(meth)acry!aat
Specifieke voorbeelden van de verbindingen (A1) zijn acryloyloxyethyl-monoftalaat [bijvoorbeeld ARONIX M-5400 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.], (meth)acryloyloxypropyl-monoftalaat, (meth)acryloyloxyethyl-monotetrahydroftalaat, (meth)acryloyloxypropyl-55 monotetrahydroftalaat, (meth)acryloyloxypropyl-monohexahydroftalaat, acryloyloxyethyl-monosuccinaat [bijvoorbeeld, ARONIX M-5500 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.], (meth)acryloyloxypropyl-monosuccinaat en maleïnezuuranhydride-monohydroxyethyl(meth)acrylaaL
3 194278 (A2) Reactieproducten tussen een lacton en (meth)acryizuur.
Een gebruikelijk lacton is epsilon-caprolacton.
Specifieke voorbeelden van verbindingen (A2) omvatten ARONIX M-5300 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.
5 (Meth)acryloyloxyethyl-monoftalaat en (meth)acryloyloxyethyl-monosuccinaat hebben voorkeur met het oog op de verwijderbaarheid van geharde film met waterige alkalioplossing.
Acrylzuur en methacrylzuur zijn ook bruikbaar maar hebben geuren en veroorzaken huidirritaties.
De hoeveelheid van de toegepaste component (a) is bij voorkeur 20-70 gewichtsdelen (gewichtsdelen worden hierna eenvoudig aangeduid als delen), met meer voorkeur 30-60 delen per 100 delen van het 10 totaal van de component (a) en de component (b). Wanneer de hoeveelheid minder is dan 20 delen, is de geharde film van de verkregen samenstelling niet voldoende oplosbaar in waterige alkalioplossing of verwijderbaar met waterige alkalioplossing. Wanneer de hoeveelheid meer is dan 70 delen, bezit de geharde film slechte etsweerstand.
De component (b) is een component, die er voor zorgt, dat de hardbare samenstelling, die bij de 15 werkwijze volgens de uitvinding gebruikt wordt een grote hardbaarheid en dat de uit de samenstelling verkregen geharde film een hoge etsweerstand heeft. Specifieke voorbeelden van de component (b) zijn verbindingen die behoren tot de volgende (B1), (B2) en (B3).
(B1) Polyol(meth)acrylaten
Voorbeelden zijn po!yethyleenglyco!di(meth)acrylaat, polypropyleenglycoldi(meth)acrylaat, verbindingen 20 verkregen door reactie van (meth)acrylzuur met een diol verkregen door toevoeging van ethyleenoxide aan hydroxylgroepen van bisfenol A [bijvoorbeeld ARONIX M-200 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO. LTD.], trimethylolpropaantri(meth)acrylaat en pentaerythritoltri(meth)acrylaat.
(B2) Polyester(meth)acrylaten
Dit zijn reactieproducten tussen een meerwaardige alcohol van het polyestertype en (meth)acrylzuur.
25 (B3) Epoxy(meth) acrylaten
Dit zijn verbindingen verkregen door reactie van (meth)acrylzuur met epoxygroepen van een epoxy* verbinding met twee of meer epoxygroepen in het molecuul. De epoxyverbinding is normaliter diglycidylether van bisfenol A.
De componenten (b) zijn bij voorkeur polyol(meth)acrylaten, met bijzondere voorkeur een verbinding 30 verkregen door reactie van (meth)acrylzuur met een diol verkregen door toevoeging van ethyleenoxide aan hydroxylgroepen van bisfenol A.
De hoeveelheid van de toegepaste component (b) is bij voorkeur 30-80 delen, met meer voorkeur 40-70 delen per 100 delen van de totale hoeveelheid van de component (a) en de component (b). Wanneer de hoeveelheid minder is dan 30 delen, bezit de geharde film van de verkregen samenstelling slechte 35 etsweerstand. Wanneer de hoeveelheid meer is dan 80 delen bezit de geharde film onvoldoende verwijderbaarheid met alkali.
De component (c) zorgt er voor, dat de geharde film van de verkregen samenstelling een grote oppervlaktegladheid bezit. Als de component (c) wordt voorkeur gegeven aan een fluor-bevattenda verbinding met oppervlakteactiviteit of een silicoonverbinding. Specifieke voorbeelden van de component (c) 40 omvatten Fluorad FC-430 (een product van SUMITOMO 3M LIMITED), Megafac F-177 (een product van DAINIPPON INK & CHEMICALS, INC.) en MEGAFAC F-179 (een product van DAINIPPON INK & -CHEMiCALSr-INO.)-welke-gefluoriseerde_alkylesters-van_nieyonogeen tvoe ziin en. als een siiiooon tvoe_ verbinding, NUC SILICONE L17002 (een product van NIPPON UNICAR CO., LTD.).
De hoeveelheid van de gebruikte component (c) is bij voorkeur ongeveer 0,01-6 delen per 100 delen van 45 de totale hoeveelheid van de component (a) en de component (b).
De als de component (d) bruikbare verbindingen omvatten mercaptanen zoals octylmercapten, nonylmer* captan, decylmercaptan, dodecylmercaptan en cetylmercaptan; mercaptanen die een hydroxylgroep bevatten zoals monothioethyleenglycol en alfa-monothioglycerine; en mercaptocarbonzuren zoals mercap-topropionzuur, 2-mercaptopropionzuur, thiomelkzuur en thloappelzuur.
50 De hoeveelheid van de gebruikte verbinding (d) is bij voorkeur 0,01-5 deien, met meer voorkeur 0,3-3 delen per 100 delen van de totale hoeveelheid van de component (a) en de component (b).
Wanneer de hoeveelheid minder is dan 0,01 deel, neigt het schaduwmasker verkregen door verwijdering van de geharde film van de resulterende samenstelling daarvan met een waterige alkalioplossing tot het hebben van problemen dat afstanden tussen de kleine gaten gemaakt in het schaduwmasker niet-unifórm 55 zijn en dat de metaalplaat vervorming bezit. Wanneer de hoeveelheid groter Is dan 5 delen, bezit de verkregen samenstelling geringe stabiliteit en kan aanleiding geven tot viscositeitsverandering.
De hardbare samenstelling kan worden gepolymeriseerd ter vorming van een verknoopt gehard product 194278 4 omdat hi] de component (b) omvat. Het molecuulgewicht van het polymeer is echter relatief laag omdat de samenstelling de component (d) omvat, dat wil zeggen een ketenoverdrachtsmiddel. Derhalve wordt aangenomen dat de volumecontractie tijdens polymerisatie klein is en de dunne metaalplaat voor schaduw· masker geen deformatie ondergaat.
5 De hardbare samenstelling omvat in een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding de component (e) die een bepaalde fotoinitiator is, in plaats van de component (d) in de samenstelling. Wegens het gebruik van de component (e), heeft de hardingsreactie van de hardbare samenstelling, veroorzaakt door ultraviolette stralen, uniform in alle gedeelten van de bekledingsfilm plaats, waardoor de vervorming veroorzaakt door verharding en contractie onderdrukt wordt De component (d) en de component (e) kunnen in 10 combinatie in de hardbare samenstelling worden gebruikt
Specifieke voorbeelden van de component (e) zijn 2-methyl-1 -[4-(methylthio)fenyl]-2-morfolinopropan-1 -on [de handelsproducten omvatten Irgacure 907, bereid door Chiba-Geigy (Japan) Limited], 4,4'-bisdiethylaminobenzofenon, 4,4'-bisdimethylaminobenzofënon, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-morfolinofenyl)-butan-1 -on [de handelsproducten omvatten Irgacure 369, bereid door Chiba-Geigy (Japan) 15 Limited], methyl-p-dimethylaminobenzoaat, ethyl-p-dimethylaminobenzoaat isoamyl-p- dimethylaminobenzoaat, 2-dimethylaminoethylbenzoaat en 2-butoxyethyl-4-dimethylaminobenzoaat.
De hoeveelheid van de gebruikte component (e) is bij voorkeur 1-10 delen per 100 delen van de totale hoeveelheid van de component (a) en de component (b).
De hardbare samenstellingen omvatten, als de essentiële componenten, de componenten (a), (b), (c) en 20 (d) en respectievelijk de componenten (a), (b), (c) en (e). De samenstellingen kunnen verder de volgende toevoegsels omvatten.
De samenstellingen kunnen zo nodig als een reactief verdunningsmiddel, een polymeriseerbare component omvatten zoals hydroxyethyl-(meth)acrylaat, hydroxypropyl-(meth)acrylaat, acrylamide, diacetonacrylamide, dimethylacrylamide, benzyl(meth)acrylaat, acryloylmorfoline, tetrahydrofurfuryl-25 (meth)acrylaai, 2-ethylhexyl-(meth)acrylaat, mono-(meth)acrylaat van polyalkyleen (2-3 koolstofatomen) glycol-monoalkyl(1-9 koolstofatomen)ether, polyethyleenglycol-mono(meth)acrylaat en fenoxyethaxyethyla-crylaat [ARONIX M-101 (handelsnaam), bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.].
De hardbare samenstelling kan worden gehard door bestraling met een actieve energiestraling, zoals ultravioletstralen, zichtbaar licht of elektronenbundels, of door verwarmen. De samenstelling kan de 30 volgende toevoegsels omvatten, afhankelijk van de toegepaste hardingsmiddelen, teneinde de hardingsreactie te versnellen.
Wanneer harding wordt uitgevoerd door bestraling met ultravioletstralen of zichtbaar licht, heeft het voorkeur een fotoinitiator toe te passen zoals benzofenon of het derivaat daarvan, benzoien, benzoienalkyle-ther, 2-methyl-[4-methyl-4-fenyl]-2-morfolino-1-propaan, benzyldimethylketaal of 35 1-hydroxycyclohexylfenylketon (Irgacure 184 bereid door Chiba-Geigy (Japan) Limited). De component (e) (een fotoinitiator) kan ook bij voorkeur worden gebruikt
De hoeveelheid van de gebruikte fotoinitiator bedraagt bij voorkeur 1-10 delen per 100 delen van de totale hoeveelheid van de component (a) en de component (b).
Wanneer harding wordt uitgevoerd door verwarmen met een oven, infrarood-stralen of microgolf, heeft 40 het voorkeur een polymerisatie-initiator te gebruiker die in staat is tot genereren van een radicaal door verwarming, zoals azobisisobutyronitril, een keton-peroxide, waterstofperoxide, een alkylperoxide, een acylperoxide of een peroxyester.
Een organisch oplosmiddel kan zonodig verder worden gebruikt. Organische oplosmiddelen die de voorkeur verdienen, zijn alcoholen zoals methanol, ethanol, butanol en isopropylalcohol (IRA); cellosolves 45 zoals butylcellosolve, methylcellosotve en ethylcellosolve; cellosolve-acetaten zoals methylcellosolve-acetaat, ethylcellosolve-acetaat en butylcellosolve-acetaat; propyleenglycolmonomethylethen tolueen en xyleen.
De viscositeit bij 25°C van de samenstellingen, die volgens de uitvinding gebruikt worden, is bij voorkeur 5.000 cp of minder, met meer voorkeur 2.000 cp of minder.
50 Vervolgens wordt een beschrijving gegeven van een werkwijze voor het vervaardigen van een schaduw-masker onder toepassing van een van de bovenvermelde hardbare samenstellingen. Gebruikelijke technieken kunnen geschikt worden toegepast tot de trap waarbij een patroon wordt gevormd op een metaalplaat door gebruik te maken van een fotogevoelige hars zodat oppervlaktegedeelten van de metaalplaat anders dan gedeelten waarop kleine gaten dienen te worden gemaakt, kunnen worden bedekt 55 met een geharde film van de hars.
De diepte van de getande gedeelten, gevormd bij het primair etsen, bedraagt bij voorkeur ongeveer 1/3 van de dikte van de dunne metaalplaat die gebruikt wordt en is specifiek ongeveer 30-80 mm. Vorming van 5 194278 getande gedeelten die een dergelijke diepte bezitten, kan worden bereikt door de metaalplaat gedurende ongeveer 20-30 minuten in een waterige ferrichlorideoplossing (concentratie ongeveer 43%) van 40-60°C te dompelen.
Als werkwijzen ter bekleding van de hardbare samenstelling, die volgens de uitvinding gebruikt wordt, 5 aan een zijde van de dunne metaalplaat voorafgaande aan de tweede etsing, worden genoemd wals· bekleding, sproeibekleding, vloeibekleding en dompelbekleding. Bij deze bekleding is het nodig dat het inwendige van elk getand gedeelte volledig gevuld is met de hardbare samenstelling. Derhalve bezit de hardbare samenstelling bij voorkeur een lage viscositeit. De voorkeurverdienende dikte waarin de hardbare samenstelling wordt bekleed, bedraagt ongeveer 30 mm op de gedeelten anders dan de getande gedeelten.
10 De harding van de hierboven gevormde bekledingsfilm kan worden uitgevoerd door verwarming of bestraling met een actieve energiestraling. De harding door middel van bestraling met ultravioletstralen is gemakkelijk werkbaar en is gewoonlijk voltooid in 5 seconden. Een hogedrukkwiktamp kan als een lichtbron voor ultravioletstralen worden gebruikt
De secundaire etsing kan worden uitgevoerd onder toepassing van een etsoplossing die vergelijkbaar is 15 met die, toegepast bij de primaire etsing, onder nagenoeg dezelfde omstandigheden als gebruikt in de primaire etsing.
Tenslotte worden alle resistfilms verwijderd ter verkrijging van een schaduwmasker. Een waterige alkali* (bijvoorbeeld NaOH) -oplossing wordt toegepast ter verwijdering van de resistlilm gevormd in een gewenst patroon onder toepassing van een fotogevoelige hars en de resistfilm gevormd met de hardbare samenstel·· 20 ling, die volgens de uitvinding gebruikt wordt.
De samenstellingen voor gebruik als secundaire etsresistmaterialen in een werkwijze volgens de uitvinding kunnen gemakkelijk en snel worden gehard door bestraling met een actieve energiestraling, bijvoorbeeld ultravioletstralen ter vorming van een geharde film met grote weerstand tegen een etsoplossing zoals een ijzertinchloride-oplossing. Voorts kan de geharde film worden opgelost in een waterige alkaff-25 oplossing en kan het substraat worden verwijderd.
Voorts bezitten de onderhavige samenstellingen een geringe volumecontractie tijdens harding en dientengevolge ondergaat het substraat weinig vervorming; derhalve kunnen de samenstellingen geschikt worden aangebracht op substraten die zelfs bij zeer zwakke kracht worden vervormd. Aldus zijn de samenstellingen zeer geschikt, in het bijzonder als een resistmateriaal voor het secundair etsen in 30 schaduwmaskerproductle.
De uitvinding wordt hierna meer in detail beschreven met behulp van voorbeelden en vergelijkings-voorbeelden.
Voorbeeld 1 35 De volgende 5 componenten werden opgelost en gemengd ter verkrijging van een actieve energiestraling-hardbare samenstelling.
Component (a): acryloyloxyethylmonoftalaat [ARONIX M-5400 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO., LTD.] 60 delen 40 Component (b): trimethylolpropaantriacrylaat [ARONIX M-309 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO., LTD.] 40 delen __ Component fci: Megafac F-177 bereid door DAINIPPGN INK & CHEMICALS, INC.__0,1 deel_
Component (d): dodecylmercaptan 0,5 deel
Fotoinitiaton 1-hydroxycyclohexytfenylketon [Irgacure 184 (handelsnaam) bereid door 45 Chiba-Geigy (Japan) Limited] 5 delen
Onder toepassing van de bovenvermelde samenstelling als een resistmateriaal voor secundair etsen, werd als volgt een schaduwmasker vervaardigd.
Een ijzerplaat met een dikte van 0,15 mm werd gedompeld in een oplossing van fotogevoelige hars 50 bestaande uit caseine en ammoniumbichromaat, om-de fotogevoelige harsoplossing ais bekleding op beide zijden vein de ijzerplaat aan te brengen. De beklede oplossing werd gedurende 10 minuten bij 90°C gedroogd.
De ijzerplaat met op beide zijden daarvan de harsfilm werd ingelegd tussen een paar negatieve films elk bezittende een patroon zoals weergegeven in figuren 1 en 2, en uit een xenonlamp geëmitteerde ultraviolet-55 stralen werden op de negatieve films aangebracht voor harden van de bestraalde gedeelten van de harsfilm. De niet-bestraalde gedeelten van de harsfilm werden verwijderd door wassen met warm water.
Verhitten werd uitgevoerd gedurende 20 minuten bij 180°C voor het volledig harden van de resterende 194276 6 harsfilmgedeelten. De dikte van de resulterende film was 9 μπι.
Daarna werd etsen op beide zijden van de ijzerplaat met daarop het hierboven gevormde patroon aangebracht onder toepassing van een waterige ferrichloride-oplossing (concentratie: 43%) van 50°C ter vorming van getande gedeelten van ongeveer 50 μπι in diepte op de belichte gedeelten van de ijzerplaat.
5 Op een zijde van de resulterende ijzerplaat werd het ovenvermelde resistmaleriaal ais bekleding aangebracht onder toepassing van een walsbekteder voor opvullen van het inwendige vein eik getand gedeelte en vormen van een film met een gemiddelde dikte van 30 μπι. De film (resistmateriaalfiim) werd bestraald met ultravioletstraling geëmitteerd met een hogedrukkwiklamp met een intensiteit van 120 W/cm voor harden van de resistmateriaalfiim.
10 De aldus verkregen ijzerplaat, beschermd aan een zijde van de geharde film, werd opnieuw onderworpen aan etsen onder toepassing van de bovenvermelde waterige ferrichloride-oplossing ter vorming van spieetvormige kleine perforaties op de getande gedeelten.
Daarna werden alle resistfilms verwijderd met behulp van een waterige nabiumhydroxideoplossing (concentratie: 15%) van 80°C ter verkrijging van een schaduwmasker.
15 De eigenschappen van de hardbare samenstelling, toegepast bij de bovenvermelde productie van een schaduwmasker, werden beoordeeld overeenkomstig de onderstaande methoden.
1. Viscositeit
De viscositeit van de samenstelling bij 25°C werd gemeten onder toepassing van een E-type viscometer.
2. Etsweerstand 20 De toestand van de geharde film van de samenstelling na secundair etsen werd visueel beoordeeld.
De resultaten zijn weergegeven als volgt.
O Geen verandering Δ: Er was verkleuring te zien X: Zwelling, afschilferen, of iets dergelijks was te zien.
25 3. Oplosbaarheid in alkali en verwijderbaarheid
De oplosbaarheid van de geharde resistfilm in de eindtrap ter verwijdering van de film werd visueel beoordeeld. De resultaten zijn als volgt weergegeven.
©: De geharde film was volledig opgelost en verwijderd Δ: De geharde film was niet volledig opgelost maar verwijderd 30 X: De geharde film kon niet worden verwijderd.
4. Patroon normaliteit
Er werd licht aangebracht op de achterzijde van het verkregen schaduwmasker, om de uniformiteit van de helderheden van de lichten welke uit de spfeetvormige rechthoekige gaten, gevormd in het schaduwmasker, te onderzoeken en daarbij de normaliteit van gatvorm en gat-tot-gat afstand te onderzoeken.
35 ®: Normaal in alle opzichten O: Bij onderzoek van schaduwmaskerproducten werd, gemiddeld, ongeveer een scheur in een schaduw-maskerproduct gevonden Δ: Bij onderzoek van tien schaduwmaskerproducten werden, gemiddeld, ongeveer een tot twee scheuren in elk van drie schaduwmaskerproducten gevonden 40 X: Er waren een aantal scheuren.
De resultaten zijn weergegeven in tabel 1.
Voorbeelden 2-5
Er werden met actieve energiestraling-hardbare samenstellingen verkregen op de wijze zoals voorbeeld 1 45 behalve dat dë component (d) werd gewijzigd zoals weergegeven in tabellen 1 en 2. Onder toepassing van de samenstellingen, werden schaduwmaskers op dezelfde wijze als in voorbeeld 1 vervaardigd. Resultaten van de beoordelingen van de eigenschappen zijn weergegeven in tabellen 1 en 2.
Vergelijkingsvoorbeeld 1 50 Er werd een schaduwmasker vervaardigd door gebruik te maken van een samenstelling onder uitsluiting van de component (d) uit de samenstelling volgens voorbeeld 1. Resultaten van de beoordelingen van de eigenschappen zijn weergegeven in tabel 2.
4 7 194278 TABEL 1
Voorbeeld 1 Voorbeeld 2 Voorbeeld 3 5 Component (d) Dodecylmercaptan 0,5 0,02 0
Nonylmercaptan 0 0 0,3
Octylmercaptan 0 0 0
Thiomelkzuur 0 0 0
Eigenschappen Viscositeit bij 25°C (cp) 1600 1620 1620 10 Etsweerstand
Oplosbaarheid in alkali en verwijderbaarheid o o
Patroonnormalitelt o o 15 TABEL 2
Voorbeeld 4 Voorbeeld 5 Vergelijkings- voorbeeld 1 20 Component (d) Dodecylmercaptan 0 0 0
Nonylmercaptan 0 0 0
Octylmercaptan 2,8 0 0
Thiomelkzuur 0 5,0 0
Eigenschappen Viscositeit bij 25°C (cp) 1590 1660 1610 25 Etsweerstand
Oplosbaarheid in alkali en verwijderbaarheid o o
Patroonnormalitelt o x 30
Voorbeelden 6-9
Er werden met actieve energiestraling-hardbare samenstellingen verkregen op de wijze als in voorbeeld 1 behalve dat de component (a) en de component (b) waren gewijzigd als is getoond in tabel 3.
De daaropvolgende procedure werd op dezelfde wijze uitgevoerd als hierboven, en de verkregen 35 geharde resistfilms werden op hun eigenschappen beoordeeld. De resultaten zijn weergegeven in tabel 3. In alle voorbeelden 6-9, was de etsweerstand O.
TABEL 3 40 Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld 6 7 8 9
Component (a) ARONIX M-5300 (polycaprolactonacrylaat) 15 15 0 35 45 ARONIX M-5400 (acryloyloxyethyl- monoftalaat) 5 0 30 0 ARONIX M-5500 (acryloyloxyethyl- 50 monosucdnaat) 0 15 0 35 ARONIX M-5600 (acrylzuurdimeer) 0 0 30 0
Component (b) ARONIX M-210 (diacrylaat van bisfenol 55 A-ethyleenoxide addukt) 40 0 20 15 » 194278 8 TABEL 3 (vervolg)
Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld 6 7 8 9 5 -—- ARONIX M-215 (tris(2- hydroxyethyl) isocyanu- raat diacrylaat) 0 35 0 15 10 ARONIX M-305 (pentaerytritoltriacrylaat) 40 35 0 0 ARONIX M-309 (trimethylolpropaan- triacrylaat) 0 0 20 0 15 Viscositeit bl] 25eC (cp) 730 1120 740 420
Oplosbaarheid in alkali en verwijderbaarheid O © ® ®
Patroonnormaliteit © © © ® 20
Voorbeeld 10
De volgende zes componenten werden opgelost en gemengd ter verkrijging van een met actieve energiestraling-hardbare samenstelling.
25
Component (a): acryloyloxyethyl-monoftalaat [ARONIX M-5400 (handelsnaam) bereid 50 delen door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO., LTD.]
Component (b): diacrylaat en ethyleenoxide addukt van bisfenol A [ARONIX M-210 50 delen (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO., LTD.] 30 Component (c): Megafac F-177 bereid door DAINIPPON INK & CHEMICALS, INC. 0,01 deel Component (d): mercaptoproplonzuur 1 deel
Fotoinitiator: benzyldimethylketaal [Irgacure 651 (handelsnaam) bereid door Chiba- 5 delen
Geigy (Japan) Umited]
Verdunningsmiddel: hydroxyethylacrylaat 10 delen 35
Voorbeelden 11-13
Er werden met actieve energiestraling-hardbare samenstellingen verkregen op de wijze als in voorbeeld 10 behalve dat de component (c) en het verdunningsmiddel waren gewijzigd zoals getoond in tabel 4.
40 De bovenvermelde samenstellingen verkregen in voorbeelden 10-13, werden aan dezelfde procedure onderworpen als hierboven ter verkrijging van de respectieve geharde films. De films werden op eigenschappen beoordeeld. De resultaten zijn weergegeven in tabel 4.
TABEL 4 45 -
Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld 10 11 12 13
Component (c) Megafac F-179 0,01 0 0,1 0 50 Fluorad FC-430 0 0,06 0 0,9 NUC Silicone L7002 0 0 0,1 0
Verdunningsmiddel Hydroxyethylacrylaat 10 0 0 0
Butanol 0 20 0 0
Acryloylmorfoline 0 0 10 0 55 Eigenschappen Viscositeit bij 25°C (cp) 1900 1950 2300 4800
Etsweerstand O O O O
« 9 194278 TABEL 4 (vervolg)
Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld 10 11 12 13 5 ---
Oplosbaarheid in alkali en verwijderbaarheid © © © Θ
Patroonnormalitelt O © © © 10
Voorbeeld 14
De volgende vier componenten werden opgelost en gemengd ter verkrijging van een met uttravioletstraling-hardbare samenstelling.
15 Component (a): acryloyloxyethyl-monoftalaat [ARONIX M-5400 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO. LTD.] 60 delen
Component (b): trimethylolpropaan-triacrylaat [ARONIX M-309 (handelsnaam) bereid door TOAGOSEI CHEMICAL INDUSTRY, CO. LTD.] 40 delen
Component (c): Megafac F-177 bereid door DAINIPPON INK & CHEMICALS, INC. 0,1 deel 20 Component (e): 2-methyl-[4-(methylthio)fenyl]-2-morfolino-1-propanon [Irgacure 907 (handelsnaam) bereid door Chiba-Geigy (Japan) Limited] 5 delen
Voorbeelden 15-17
Met ultravioletstraling-hardbare samenstellingen werden verkregen in dezelfde toestand als in voorbeeld 14 25 behalve dat de component (e) was gewijzigd in verbindingen als weergegeven in tabel 5.
Onder toepassing van deze samenstellingen werden de respectieve schaduwmaskers geproduceerd. De resultaten zijn weergegeven in tabel 5.
In voorbeeld 16 werden twee delen Irgacure 651 (handelsnaam van benzyldimethylketaal) bereid door Chiba-Geigy (Japan) Limited gebruikt als een fotoinitiator, naast de component (e).
30 TABEL 5
Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld Voorbeeld 14 15 16 17 35 --
Component (e) Irgacure 907 5 0 0 3
Irgacure 369 0 5 0 0
Methyl-p- 0 0 3 2 dimethylaminobenzoaat 40 Andere Irgacure 651 0 0 2 0 fotoinitiator -—-Eigenschappen-ViscosfteH-bij-25?C-2500_ 2500_2500_2500_
Etsweerstand O O O O
Oplosbaarheid in alkali O O © © 45 en verwijderbaarheid patroonnormalitelt © © Θ Θ
Vergelijkingsvoorbeeld 2-4 50 Inde hardbare samenstelling volgens voorbeeld 14, werd geen fotoinitiator behorende tot de component (e) gebruikt en in plaats daarvan werden de andere fotoinitiatoren gebruikt
Vergelijkingsvoorbeeld 2: Irgacure 184 (handelsnaam van 5 delen 1-hydroxycyclohexylfenylketon) bereid door Chiba-Geigy 55 (Japan) Limited
Vergelijkingsvoorbeeld 3: Irgacure 651 5 delen
Claims (2)
1. Werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker waarbij een bekledingsstap wordt uitgevoerd met een bekledingsmateriaal van een met alkali verwijderbare, hardbare samenstelling omvattende: (a) een verbinding met een carboxylgroep en een (meth)acryloylgroep in het molecuul, (b) een verbinding met twee of meer (meth)acryloylgroepen in het molecuul, en (c) een nivelleringsmiddel, met het kenmerk, dat 1. een primaire etstrap wordt uitgevoerd, waarbij op ten minste één zijde van een metalen vel voor een schaduwmasker, welk vel bestaat uit een dunne metalen plaat en op beide zijden van de plaat in een gewenst patroon gevormde etsresistfilms, etsing wordt aangebracht ter vorming van getande gedeelten op de geëxposeerde plaatsen, welke getande gedeelten voorzien zijn in de zijde van de metalen plaat, 2. in een bekledingstrap het bekledingsmateriaal wordt aangebracht als een secundair etsresistmateriaal, 20 op de zijde of een van de beide zijden van de metalen plaat met de getande gedeelten, die gevormd zijn in de primaire etsstap (1), waarbij het bekledingsmateriaal verder een (d) een ketenoverdrachtsmiddel omvat, 3. tijdens een secundaire etstrap, op de zijde van het metalen vel waarop geen secundair etsresistmateriaal in de bekledingsstap (2) bekleed was, etsing wordt aangebracht ter vorming van kleine perforaties 25 welke communiceren met de in trap (1) gevormde getande gedeelten van de andere zijde van het metalen vel, en 4. alle etsresistfilms en materiaal wordt verwijderd door toepassing van een waterige alkaiioplossing.
2. Werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker waarbij een bekledingsstap wordt uitgevoerd met een bekledingsmateriaal van een met alkali verwijderbare, hardbare samenstelling omvattende: (a) een 30 verbinding met een carboxylgroep en een (meth)acryloylgroep in het molecuul, (b) een verbinding met twee of meer (meth)acryloylgroepen in het molecuul, en (c) een nivelleringsmiddel, met het kenmerk, dat 1. een primaire etstrap wordt uitgevoerd, waarbij op ten minste één zijde van een metalen vel voor een schaduwmasker, welke vel bestaat uit een dunne metalen plaat en op beide zijden van de plaat in een gewenst patroon gevormde etsresistfilms, etsing wordt aangebracht ter vorming van getande gedeelten op 35 de geëxposeerde plaatsen, welke getande gedeelten voorzien zijn in de zijde van de metalen plaat, 2. in een bekledingstrap het bekledingsmateriaal wordt aangebracht als een secundair etsresistmateriaal, op de zijde of een van de beide zijden van de metalen plaat met de getande gedeelten, die gevormd zijn in de primaire etsstap (1), waarbij het bekledingsmateriaal verder en (e) tertiair amine type fotoinitiator omvat, 3. tijdens een secundaire etsstrap, op de zijde van het metalen vel waarop geen secundair etsresistmate riaal in de bekledingsstap (2) bekleed was, etsing wordt aangebracht ter vorming van kleine perforaties welke communiceren met de In trap 91) gevormde getande gedeelten van de andere zijde van het metalen vel, en 4. alle etsresistfilms en materiaal wordt verwijderd door toepassing van een waterige alkaiioplossing. Hierbij 1 blad tekening (
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28402091 | 1991-10-04 | ||
| JP3284020A JP2592733B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 硬化性樹脂組成物 |
| JP3284021A JP2649621B2 (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 裏止め材用紫外線硬化型樹脂組成物及びシャドウマスクの製造方法 |
| JP28402191 | 1991-10-04 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL9201708A NL9201708A (nl) | 1993-05-03 |
| NL194278B NL194278B (nl) | 2001-07-02 |
| NL194278C true NL194278C (nl) | 2001-11-05 |
Family
ID=26555286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL9201708A NL194278C (nl) | 1991-10-04 | 1992-10-01 | Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan. |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5336574A (nl) |
| KR (1) | KR100257206B1 (nl) |
| NL (1) | NL194278C (nl) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6010824A (en) * | 1992-11-10 | 2000-01-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Photosensitive resin composition containing a triazine compound and a pre-sensitized plate using the same, and photosensitive resin composition containing acridine and triazine compounds and a color filter and a pre-sensitized plate using the same |
| JP2001092129A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Toshiba Corp | 紫外線硬化性樹脂組成物 |
| KR100400489B1 (ko) * | 2000-06-27 | 2003-10-01 | 에스에스씨피 주식회사 | 고온에서 내에칭성이 우수한 섀도우 마스크용 광경화성감광성 수지 조성물 및 그를 사용하여 제조된 섀도우 마스크 |
| KR100546492B1 (ko) * | 2001-08-17 | 2006-01-26 | 에스에스씨피 주식회사 | 섀도우 마스크용 광경화형 에칭저항제 조성물 |
| JP2004210932A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Daicel Chem Ind Ltd | 硬化性樹脂組成物及び硬化物 |
| JP6010352B2 (ja) * | 2012-06-07 | 2016-10-19 | 株式会社オートネットワーク技術研究所 | 硬化性増感剤、光硬化材料、硬化物及びワイヤーハーネス材料 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3689427A (en) * | 1969-08-27 | 1972-09-05 | Okura Industrial Co Ltd | Polymerizable mixtures comprising a bivalent metal salt of an acrylate- or methacrylate-phthalate ester of an alkylene glycol |
| US3679500A (en) * | 1970-08-07 | 1972-07-25 | Dainippon Screen Mfg | Method for forming perforations in metal sheets by etching |
| US4180598A (en) * | 1978-07-13 | 1979-12-25 | Rohm And Haas Company | Radiation-curable coating compositions and method of coating metal substrates therewith |
| DE3071155D1 (en) * | 1979-12-22 | 1985-11-07 | Ciba Geigy Ag | Compositions containing acrylate and their polymerisation |
| US4391686A (en) * | 1980-08-25 | 1983-07-05 | Lord Corporation | Actinic radiation curable formulations |
| US4632726A (en) * | 1984-07-13 | 1986-12-30 | Bmc Industries, Inc. | Multi-graded aperture mask method |
| JPS6317908A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-25 | Toagosei Chem Ind Co Ltd | 紫外線又は電子線硬化性組成物 |
| JPH0679463B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1994-10-05 | 東亞合成化学工業株式会社 | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 |
| JPH0730270B2 (ja) * | 1988-10-20 | 1995-04-05 | 東亞合成株式会社 | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 |
| JPH0651736B2 (ja) * | 1988-11-15 | 1994-07-06 | 東亞合成化学工業株式会社 | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 |
| JPH03272537A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-04 | Dainippon Printing Co Ltd | シャドウマスクの製造方法 |
-
1992
- 1992-10-01 NL NL9201708A patent/NL194278C/nl not_active IP Right Cessation
- 1992-10-02 US US07/955,206 patent/US5336574A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-10-02 KR KR1019920018147A patent/KR100257206B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL9201708A (nl) | 1993-05-03 |
| US5336574A (en) | 1994-08-09 |
| KR100257206B1 (ko) | 2000-06-01 |
| NL194278B (nl) | 2001-07-02 |
| KR930008519A (ko) | 1993-05-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6322952B1 (en) | Photosensitive resin composition and photoresist ink for manufacturing printed wiring boards | |
| US5246816A (en) | Cationic electrodeposition negative type resist composition | |
| NL194278C (nl) | Hardbare samenstelling en werkwijze ter vervaardiging van een schaduwmasker onder toepassing daarvan. | |
| EP0496203A2 (de) | Lagerstabile Lösung eines carboxylgruppenhaltigen Copolymerisats sowie Verfahren zur Herstellung von photoempfindlichen Lacken und Offsetdruckplatten | |
| EP2127896B1 (en) | Method for producing photosensitive resin plate or relief printing plate having recessed and projected pattern, and plate surface treating liquid used in the production method | |
| JP2592733B2 (ja) | 硬化性樹脂組成物 | |
| JP2527271B2 (ja) | ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物及びこれを用いた電着塗装浴 | |
| JP2649621B2 (ja) | 裏止め材用紫外線硬化型樹脂組成物及びシャドウマスクの製造方法 | |
| JPH0655794B2 (ja) | 紫外線硬化樹脂組成物 | |
| JP2003221420A (ja) | 活性エネルギー線硬化性組成物および硬化被膜 | |
| JP3491532B2 (ja) | シャドウマスク製造時の裏止め材用硬化型組成物 | |
| US6143803A (en) | Curable composition for back-protecting material in making shadow mask | |
| JPH01261410A (ja) | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 | |
| KR20000047878A (ko) | 액상 광경화성 조성물, 수계 광경화성 조성물 및 이들을사용하는 레지스트 패턴 형성 방법 | |
| JP3509653B2 (ja) | 硬化型組成物 | |
| JP3491531B2 (ja) | シャドウマスク製造時の裏止め材用硬化性組成物 | |
| JPH0730270B2 (ja) | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 | |
| JP2000256585A (ja) | シャドウマスク製造時の裏止め材用硬化性組成物 | |
| JP2003021899A (ja) | エッチングレジスト用硬化型組成物 | |
| JPH07281439A (ja) | 導電体パターンを有する基板の製造方法 | |
| JP2001125264A (ja) | 硬化型組成物 | |
| KR950012545B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 | |
| JP3242734B2 (ja) | 光重合性組成物 | |
| JPH07219221A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム | |
| JP2000256425A (ja) | シャドウマスク製造時の裏止め材用硬化性組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A1A | A request for search or an international-type search has been filed | ||
| BB | A search report has been drawn up | ||
| BC | A request for examination has been filed | ||
| V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20090501 |