NL191186C - Fotometrische inrichting voor meting van de dikte van een laag op een substraat. - Google Patents
Fotometrische inrichting voor meting van de dikte van een laag op een substraat.Info
- Publication number
- NL191186C NL191186C NL8203211A NL8203211A NL191186C NL 191186 C NL191186 C NL 191186C NL 8203211 A NL8203211 A NL 8203211A NL 8203211 A NL8203211 A NL 8203211A NL 191186 C NL191186 C NL 191186C
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- measuring
- substrate
- thickness
- layer
- photometric device
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
- G01B11/0633—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection using one or more discrete wavelengths
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813135443 DE3135443A1 (de) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | Verfahren und fotometrische anordnung zur dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer schichten |
DE3135443 | 1981-09-08 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL8203211A NL8203211A (nl) | 1983-04-05 |
NL191186B NL191186B (nl) | 1994-10-03 |
NL191186C true NL191186C (nl) | 1995-03-01 |
Family
ID=6141084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL8203211A NL191186C (nl) | 1981-09-08 | 1982-08-16 | Fotometrische inrichting voor meting van de dikte van een laag op een substraat. |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4469713A (ja) |
JP (2) | JPS5855706A (ja) |
CA (1) | CA1203598A (ja) |
CH (1) | CH669662A5 (ja) |
DE (1) | DE3135443A1 (ja) |
FR (1) | FR2512545B1 (ja) |
GB (1) | GB2105461B (ja) |
NL (1) | NL191186C (ja) |
SU (1) | SU1584759A3 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4643910A (en) * | 1985-04-01 | 1987-02-17 | Motorola Inc. | Process for curing polyimide |
EP0290657A1 (de) * | 1987-05-15 | 1988-11-17 | KSB Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der optischen Eigenschaften von dünnen Schichten |
US4837044A (en) * | 1987-01-23 | 1989-06-06 | Itt Research Institute | Rugate optical filter systems |
JPH02257929A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-10-18 | Makutaa Kk | 生体透過率測定器 |
US5101111A (en) * | 1989-07-13 | 1992-03-31 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Method of measuring thickness of film with a reference sample having a known reflectance |
US5009485A (en) * | 1989-08-17 | 1991-04-23 | Hughes Aircraft Company | Multiple-notch rugate filters and a controlled method of manufacture thereof |
NL9000323A (nl) * | 1990-02-12 | 1991-09-02 | Philips & Du Pont Optical | Werkwijze voor het vanuit een metalliseringsvloeistof stroomloos neerslaan van een metaallaag op een vlak voorwerp. |
US5384153A (en) * | 1993-03-10 | 1995-01-24 | At&T Corp. | Monitoring electroless plating baths |
EP0665577A1 (en) * | 1994-01-28 | 1995-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for monitoring the deposition rate of films during physical vapour deposition |
DE19522188C2 (de) * | 1995-06-19 | 1999-12-02 | Optisense Ges Fuer Optische Pr | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke und/oder des komplexen Brechungsindexes dünner Schichten und Verwendung zur Steuerung von Beschichtungsverfahren |
US6630998B1 (en) | 1998-08-13 | 2003-10-07 | Acushnet Company | Apparatus and method for automated game ball inspection |
US6052176A (en) * | 1999-03-31 | 2000-04-18 | Lam Research Corporation | Processing chamber with optical window cleaned using process gas |
US20040046969A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-11 | Honeywell International Inc. | System and method for monitoring thin film deposition on optical substrates |
JP4467571B2 (ja) * | 2003-09-19 | 2010-05-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 無電解堆積のエンドポイントを検出するための装置および方法 |
US9013450B1 (en) * | 2003-11-03 | 2015-04-21 | Imaging Systems Technology, Inc. | IR touch |
US20060062897A1 (en) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Applied Materials, Inc | Patterned wafer thickness detection system |
DE102005008889B4 (de) * | 2005-02-26 | 2016-07-07 | Leybold Optics Gmbh | Optisches Monitoringsystem für Beschichtungsprozesse |
FR2902514A1 (fr) * | 2006-06-15 | 2007-12-21 | Sidel Sas | Procede pour controler l'epaisseur d'un revetement sur un substrat |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1404573A (en) * | 1971-07-26 | 1975-09-03 | Vickers Ltd | Sensing of liquids on surfaces |
US3773548A (en) * | 1972-01-27 | 1973-11-20 | Optical Coating Laboratory Inc | Method of monitoring the rate of depositing a coating solely by its optical properties |
DE2220230C3 (de) * | 1972-04-25 | 1975-01-16 | Labtronic Ag Gesellschaft Fuer Klinischelabortechnik, Zuerich (Schweiz) | Schaltung zum automatischen Nullabgleich für ein Phonometer zur digitalen Anzeige der Lichtabsorption einer Messprobe |
DE2300922A1 (de) * | 1973-01-09 | 1974-07-18 | Fischer Gmbh & Co Helmut | Einrichtung zur optisch elektronischen messung der schichtdicke von farben |
DE2412729C3 (de) * | 1974-03-16 | 1982-04-29 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und Anordnung zur Regelung der Verdampfungsrate und des Schichtaufbaus bei der Erzeugung optisch wirksamer Dünnschichten |
US4135006A (en) * | 1974-07-29 | 1979-01-16 | United States Steel Corporation | Automatic coating weight controls for automatic coating processes |
US4024291A (en) * | 1975-06-17 | 1977-05-17 | Leybold-Heraeus Gmbh & Co. Kg | Control of vapor deposition |
DE2627753C2 (de) * | 1976-06-21 | 1983-09-01 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Anordnung zur Dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer Dünnschichten |
GB1594710A (en) * | 1977-12-21 | 1981-08-05 | Lippke Gmbh Co Kg Paul | Manufacture of films of plastics material |
JPS5535214A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method and device for film-thickness measurement making use of infrared-ray interference |
DE2913879C2 (de) * | 1979-04-06 | 1982-10-28 | Frieseke & Hoepfner Gmbh, 8520 Erlangen | Verfahren zur Regelung der Dicke von laufenden Meßgutbahnen |
-
1981
- 1981-09-08 DE DE19813135443 patent/DE3135443A1/de active Granted
-
1982
- 1982-07-16 CH CH4339/82A patent/CH669662A5/de not_active IP Right Cessation
- 1982-08-16 NL NL8203211A patent/NL191186C/xx not_active IP Right Cessation
- 1982-08-23 SU SU823482210A patent/SU1584759A3/ru active
- 1982-08-25 US US06/411,238 patent/US4469713A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-09-07 CA CA000410882A patent/CA1203598A/en not_active Expired
- 1982-09-07 GB GB08225491A patent/GB2105461B/en not_active Expired
- 1982-09-08 FR FR8215245A patent/FR2512545B1/fr not_active Expired
- 1982-09-08 JP JP57155296A patent/JPS5855706A/ja active Granted
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2135534A patent/JPH03135703A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4469713A (en) | 1984-09-04 |
JPH0439004B2 (ja) | 1992-06-26 |
NL191186B (nl) | 1994-10-03 |
DE3135443C2 (ja) | 1988-09-15 |
CA1203598A (en) | 1986-04-22 |
DE3135443A1 (de) | 1983-03-24 |
FR2512545A1 (fr) | 1983-03-11 |
NL8203211A (nl) | 1983-04-05 |
GB2105461A (en) | 1983-03-23 |
JPH0318121B2 (ja) | 1991-03-11 |
JPH03135703A (ja) | 1991-06-10 |
SU1584759A3 (ru) | 1990-08-07 |
GB2105461B (en) | 1985-09-25 |
JPS5855706A (ja) | 1983-04-02 |
FR2512545B1 (fr) | 1986-12-26 |
CH669662A5 (ja) | 1989-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL191186C (nl) | Fotometrische inrichting voor meting van de dikte van een laag op een substraat. | |
NL194832B (nl) | Werkwijze voor het vormen van een dunne-halfgeleiderfilm. | |
NL190419C (nl) | Inrichting voor het opbrengen van een parti le oppervlaktebekleding. | |
NL193801B (nl) | Inrichting voor het verwarmen van een cirkelvormig substraat. | |
NL7710659A (nl) | Werkwijze voor het vormen van een epitaxiale laag op het oppervlak van een substraat. | |
NL190645B (nl) | Werkwijze voor het vormen van een beschermende diffussielaag. | |
AU548963B2 (en) | Multilayer element for ligand assay | |
NL190671C (nl) | Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur. | |
NL191267C (nl) | Inrichting voor het met plasma bewerken van een substraat. | |
NL191241B (nl) | Kleefvel voor halfgeleiders. | |
NL8007022A (nl) | Pijpplaat; werkwijze voor het vervaardigen van een pijpplaat. | |
BR8206297A (pt) | Pelicula de camadas multiplas | |
DE69011956D1 (de) | An der Oberfläche poröser Film. | |
NL188550C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidersubstraat. | |
NL191639C (nl) | Inrichting voor de contactvrije meting van de snelheid van een bewegend medium. | |
MX162167A (es) | Metodo mejorado para revestir un substrato con una pelicula de multiisocianato-fenolico | |
ES266631Y (es) | Dispositivo para la produccion de ranuras en un filamento alargado. | |
MX163517B (es) | Deteccion de la presencia de un revestimiento sobre un substrato | |
NL190983C (nl) | Inrichting voor het aanhechten van labelpennen. | |
NL7700641A (nl) | Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding voor halfgeleidersubstraten. | |
NL7706712A (nl) | Inrichting voor het meten en regelen van de dikte val een laag. | |
NL174281B (nl) | Inrichting voor het opnemen van een laag elementen met een cilindrisch opneemorgaan, waarvan een, als klep uitgevoerd gedeelte de elementen opneemt. | |
NL179301C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een aanhechtend metaaloppervlak op een substraat. | |
BE888841A (nl) | Stelsel voor het meten van de wanddikte van een meetobject. | |
NL193722B (nl) | Werkwijze voor het bekleden van een substraat. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
BB | A search report has been drawn up | ||
BC | A request for examination has been filed | ||
CNR | Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection) |
Free format text: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT TE HANAU A.D. MAIN |
|
TNT | Modifications of names of proprietors of patents or applicants of examined patent applications |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESE |
|
V4 | Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent |
Free format text: 20020816 |