JPS5855706A - 基板へ被着物を被着する方法および測光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、特許請求の範囲第１項の上位概念に記載の光
学的に作用する層の厚さを測定しかつ制御する方法およ
び特許請求の範囲第３項の上位概念に記載の装置に関す
る。

この形式の対象物は殊に、ドイツ連邦共和国特許公開第
２６２７７５３号公報によって公知である。これまで公
知の方法では測定乃至評価は、装置の光学的および／ま
たは電気的な側において、所謂基準光線における連続的
または断続的な比較に基づいて行なわれた。例えば測定
光線の一部が、部分透過性の鏡によって分割されかつ特
別な基準光受信器に供給される。このようにして測定光
源の輝度変動が大幅に補償された（ドイツ連邦共和国特
許公開第２６２７７５３号公報）。しかしこの場合２つ
の光受信器の特性において異なった特性曲線乃至異なっ
た動作点が生じることによる影響が残る。

更に、分割された基準光線を、複数回転向させかつ鏡系
に反射させた後、本来の測定光線と同じ光受信器に供給
することが公知である。これは、チヨツＡ操作に基づい
て交互に行なわれるので、光受信器の出力側におｆＫ＆
相応に読出して評価回路によって、このように形成され
る、別個の・ぐルス列を所望の補償効果を考慮して評価
することができる。その際２つの・ぞルス列に対して同
じ増幅器を使用して、２つの別個の増幅器だと異なった
増幅特性乃至特性曲線を有するという欠点を排除するこ
とも公知である。

しかしこれまで公知のすべての方法は、所謂相対測定結
果、即ち所定の基、準値との比較においてのみ表セすこ
とができる結果しか出せない点で共通している。例えば
測定対象物の反射および／または透過のスペクトル分布
が検出されると、理想の特性が仮想されている・ぞター
ンとの比較によりのみ、測定対象物のノミターンとの的
な差異が形成される。

操作者にとって比較対象物（パターン）なしには検出し
得ないことだが、スペクトル内の個別測定により絶対測
定値を得ることが出来たとしても、このことは測定光の
別の波長における測定乃至選択された所定のスペクトル
範囲を越えた測定に対しては必ずしも当嵌らない。この
ことの理由は、一方においては最初多色の測定光の個々
の波長において強度分布が種々異なることであり、かつ
他方においてこの測定目的のだめにこれまで使用された
増幅器の特性曲線の直線性が不十分であることにもある
。

従って本発明の課題は、任意の層厚に被着された対象物
の透過および／または反射特性に対する絶対値゛の測定
および指示が可能であり、しかも例えば対象物のスペク
トル特性を絶対値を有する曲線の形式において表示でき
るように、使用の測定光の個々の波長に対しても一選択
的に一所定のスペクトルに対しても可能であるようにし
た、冒頭に述べた形式の方法および装置を提供すること
である。

この課題は、冒頭に述べた形式゛の方法において本発明
により、特許請求の範囲第１項の特徴部分に記載の構成
および冒頭に述べた形式の装置において特許請求の範囲
第３項の特徴部分に記載の構成によって解決される。

この場合、増幅度Ｇに対する特性曲線の直線性が極めて
重要であり、その際特性曲線は最高２％、有利には１チ
の偏差で少なくとも１０にわたってリニヤでなければな
ら′ない。この種の増幅器は、例えば短絡作動において
動作するシリコン−ホトセルおよび水晶で安定化された
ロック−イン−増幅器の使用によって形成することがで
きる。

この形式の増幅装置によって、１チ（絶対パーセント）
より小さな誤差しか有しない１０にわたる測光装置の直
線性を可能にすることができる。この形式の増幅器の使
用は決してありきたりでなく、特に従来適用されてきた
相対測定方法においてはこの形式の強い必要性は存在せ
ず、認識されてもいなかった。

増幅器の選択は、相互に著しい、即ち可能な最大の間隔
を有する第１の比較値化および第２の比較値１゜の形成
と因果関係がある。所謂比較値は、光受信器に当たる測
定光線部分の強度値であり、その際この部分は、後で更
に説明するように、０％と１００％の間を変動する。

上記の比較値は、測定過程、即ち装置の目盛較正に対し
て重要である。装置は２点−目盛較正によって調整され
る。その′際透過測定の場合、ＩＬに対する第１の目盛
較正点を検出するだめに、光路に検査ガラスが配置され
ない。即ち測定光線は減衰されず、そのエネルギーは光
受信器において工、＝ｔＯＯ％であるか、或いは光路に
被着されていない検査ガラスが挿入される。使用の検査
ガラスの周知の屈折率によって、所定の透過率、例えば
屈折率ｎ　＝　１．５に対してＩＬ−９２１が生じる。

反射測定においては被着°されていない検査ガラスが使
用されるが、光が散乱されるように粗面化された裏面を
有する。

従って１表面における反射のみを考慮すればよい。検査
ガラスの周知の屈折率からこの場合も反射率が計算され
、例えばｎ　＝　１．５の屈折率において４．２チであ
る。

第２の比較値工。は同様、光受信器に到来する強度に関
するものだが、その際強度は極めて低くかつ最も有利な
場合にはＯである。第２の比較値Ｉ。を得るために、透
過測定においては増幅器入力側がアースに接続されるか
または所謂完全遮光板が光路に挿入される。これに対し
て反射測定において、測定光線中に完全遮光板を挿入す
ることだ、けが問題になる。１完全遮光板”とは、光を
透過せずおよび／または反射する不透明体である。最も
簡単な場合には、艶消しの表面を有する移動可能に支承
された黒板である。反射の残りをすべて抑圧するために
、黒板は有利には更に、少なくとも１つの表面が光路に
対して角度をなして延在するように楔形に形成される。

上述の説明から、比較値Ｉ　およびＩ。が相互り に著しい間隔を有することになる。この間隔は更に、被
着されていない検査ガラスに関連付けられた、増幅器の
増幅度（）Ｌを、第１の比較値ＩＬが実質的に最大にな
るまで高めることによって拡大されかつ測定値が出来る
だけ正確な指示が行なわれるように評価される。このこ
とは、増幅器が飽和領域に達することなく、第１の比較
値工、を出来るだけ大きくしだいことを意味する。

“本発明は、２つの点によって直線が確定されるという
考えに基づいている。第１の比較値と第２の比較値との
間隔に基づいて必要な直線性が、上記の特性を有する増
幅器を用いさえすれば得られる。

所属の波長に従って、場合によっては波長にも依存して
、値Ｇ　　　’Ｉ　　およびＩ。を曲線表示Ｌ’　　　
　Ｌ として記憶することによって、当該の値は如何なる場合
も計算ユニットから読出されかつマイクロプロセッサの
計算操作によって、被着されたまたは被着過程にある対
象物の測定値工と数学的に関係付けられる。装置の目盛
較正については既に説明したが、次に最終的な測定値の
形成に関して詳述する。目盛較正後−波長に依存して一
工、に対する値　（その都度の可能な最大値）およびＩ
。に対する値が、被着されていない検査ガラスに対する
増幅度ＧＬに対する値開様に記憶されて゛いる。増幅度
は自明のことながらスペクトル全体にわたって一定でな
い。増幅度はむしろ、測定光源の可視光線のスペクトル
領域の中央において丁度最小値を有する。というのは１
．即ち測定光源のスペクトル強度がこの個所において最
大値を有するからである。さて評価回路の計算ユニット
によって自動的に行なわれることだが、第１の比較値工
、が最大の可能値にセットされると、実質的に工、に対
する積の値が生じるが、　ＧＬに対しては生じない。こ
のことは更に後に、ダイヤグラムに基づいて詳細に説明
する。

さて数学的関係は、次のように生じる。

絶対透過値Ｔに対しては 工Ｌ−ＩＯ （０と１との間のディメンションのない数字として） 乃至 Ｏ （６と１との間のディメンションのない数字として） この場合、 ニー光受信器において測定される、被着された対象物の
測定値、 ＲＬ−周知の屈折率から計算される、被着されていない
検査ガラスで生じ得る反射値、 ＴＬ−周知の屈折率、または−検査ガラスが設けられて
いない場合は、１．０から計算される被着されていない
検査ガラスの透過値。

さて、上記の計算ユニットによって自動的に行なわれる
計算操作に続いて、　ＧＬに対して記憶されていた値が
計算ユニットによって読出され、かつ次の弐に基づいて
変化する増幅度Ｇが形成される。即ち 透過に対しては Ｇ＝ＧＬ−ＴＬ および 反射に対しては Ｇ＝ＧＬ−ＲＬ サテ計算ユニットにおいて測定値Ｉがその都度の増幅度
Ｇによって増幅乃至乗算されかつ波　　□長に依存して
表示される。この場合画像スクリーンを用いてグラフィ
ックのｍ１式でまたはプリンタまたはデジタル指示装置
を用いて数値として表示することができる絶対透過値Ｔ
および絶対反射値Ｒである。当該の値および曲線は−そ
れ自体で既に一当該の対象物の光学特性を完全に表示し
ておりかつパターンとの比較測定な必要としない。

このことは、−既述のように一増幅器の使用によって、
光受信器の出力側における信号および増幅度が、１０の
何乗かにわたって直線的°な関係にあるようにしたとき
にのみ可能である。

本発明によって、反射測定に対して１チ以上の、測定結
果の非常に高い精度が得られる。

光受信器において測定される、被着されている対象物の
測定値工も同様メモリに記憶することは必ずしも必要で
ない。装置の目盛較正後直ちに、測定値工を上記の計算
操作によって変換しかつ指示することができる。しかし
測定値工を同様メモリに記憶し、種々異なった計算操作
に対してまたは後の時点においても読出すことができる
ようにすると特に有利である。

本発明の別の有利な実施例および殊に測光装置の有利な
個々の実施例は、特許請求の範囲の実施態様項から明ら
かである。

次に本発明を図示の実施例を用いて詳細に説明する。

第１図には、真空蒸着装置まだは陰極スパッタリング装
置として構成することができる真空−被着装置１が図示
されている。被着材料の発生源（蒸発器またはス・ぐツ
タリング陰極）は、図示されていない。つまりとれらは
公知である。真空−被着装置に、真空室２が所属する。

真空室は、透光性の窓３および４を備えている。

真空室２には、最初まだ被着されていない検査ガラス５
が配置されている。測定対象物と見做される検査ガラス
は、真空室２において同時にまたは順次に被着すること
ができる複数の対象物を代表して図示されている。層に
対する支持体は基板とも称され、かつ測定を基板で行な
うことも、特別な検査ガラスで行なうこともできる。被
着方法は実際には大抵検査ガラスを用いて監視されるの
で、この場合は検査ガラスと関連付けて説明する。通例
は検査ガラスの領域に設けられる基板保持体も、図示さ
れていない。

真空室２の外側に、光源６が配置されておシ、光源から
測定光線７の束が窓３および４の方向において延びてい
る。測定光線７は、光路８を規定する。光路８にはまず
４５°の角度において一方の側が透明な鏡９が配置され
ている。光路８にはその他に集束レンズｌＯが設けられ
ている。この場合、反射測定に対して窓３が、そこから
出る反射光が光路８に反射することがないように斜めに
組込まれていることが重要である。

窓３の後方において測定光線７は検査ガラス５に当たり
、その際（最初）測定光の極めて僅かな部分が反射測定
光線７ａとして部分透光性の鏡９まで反射される。この
場合は反射測定である。このために検査ガラス５は平ら
な前面５ａを有するが、前面５ａで反射された光のみが
鏡９に戻るように、粗面化された面、即ち散乱する裏面
５ｂを有する。

鏡９において、残っている測定光線７ａが９０°の角度
で反射されかつそれから調節可能なモノクロメータ１１
に当たる。モノクロメータ１１を介して、モノクロメー
タにおいてセットされている波長を有する測定光線部分
のみが、光受信器１２の方向において透過される。この
場合はシリコン光受信器であり、その出力側は図示され
ていない評価回路を介して指示装置１３に接続されてい
る。

図示の装置においては、測定光線７−が検査ガラス５に
絶対的に垂直に当たることが重要である。というのは垂
直からずれる度に、反射特性に関して制御できない状態
を来たすからである。

光源６から見て窓４の後方に、モノクロメータ１１と同
じ機能を有する別のモノクロメータ１４が配置されてい
る。モノクロメータとして、干渉フィルタ、干渉グラブ
ユニライドフィルタまたは格子モノクロメータが使用さ
れる。干渉グラブユニライドフィルタ並びに格子モノク
ロメータの透過波長は、ステップモータを用いて変える
ことができるが、簡単にするためステップモータはここ
では図示されていない。

検査ガラス５の後方に残る測定光線は、破線７ｂによっ
て図示されている。この場合は所謂透過測定である。即
ち検査ガラス５を透過した、測定光部分は、モノクロメ
ータを介して所定の波長線の光としイ光受信器１５に達
する。この光受信器は、−光受信器１２と同じ特性を有
する。この光受信器の出力側は、同じく図示されていな
い評価回路を介して指示装置に接続されている。

検査ガラス５は透過測定に対しては、２つの平坦な、即
ち平滑な表面を有する。検査ガラスは、冒頭に述べた実
施例によれば、透過測定に。

おいて目盛較正の間取除くこともでき、その結果数パー
セントだけ大きな光成分が光受信器１５に達する。

第１図には更に、２つの完全遮光板１７ａおよび１７ｂ
が図示されている。しかし測定のためにはその都度これ
らのうち一方のみが必要である。誤測定を回避するだめ
に、斜めに組込まれた窓３を使用する場合にはこの完全
遮光板は完全遮光板１７ａとして、即ちレンズ１０と窓
３との間に挿入されなければならないか或いは完全遮光
板は完全遮光板１７ｂとして検査ガラス５の直前に、即
ち窓４と検査ガラス５との間に配置されなければならな
い。完全遮光板は上記の位置において必要である。とい
うのは反射は検査ガラス乃至測定対象物においてのみ行
なわれるのではなく、斜めに使用することができないレ
ンズでも行なわれるからである。

第２の比較値工。の測定の際２つの完全遮光板１７ａま
たは１７ｂのうち一方が、図示の矢印の方向において光
路８に挿入され、その結果測定光線の大部分の吸収が行
なわれる。既述のように完全遮光板は有利には、光の吸
収を最大に行なう楔形の艶消し黒板からなる。

第２図において、第１図と同じ部分には同じ番号が付け
られている。２つの光受信器１２および１５の出力側は
、切換スイッチ１８に接続されている。図示の切換位置
においては反射測定が行なわれ、別の位置への切換後光
受信器１５を用いた透過測定を実施することができる。

切換スイッチ１８から線１９が制御可能な増幅器２０に
導かれている。この増幅器は、上記の特性を有する。所
定の増幅度九を設定するために、増幅器２０に線２１を
介して発生器２２が前置接続されている。発生器の出力
側は線２３を介して増幅度ＧＬを記憶するだめのメモリ
２４に接続されている。その際増幅度は被着されていな
い検査ガラスにおいて（または検査ガラスが設けられて
いない際に）既述したように第１の比較値■Ｌを最大化
したときに求められたものである。

増幅器２０の出力側から線２５が切換スイッチ２６に通
じている。切換スイッチの出力側は線２７．２８および
２９を介してメモリ３０゜３１および３２に接続されて
いる。メモＩＪ　３０は、最大可能な増幅において増幅
器が飽和領域に陥入ることなしに求められた第１の比較
値工。

に対する記憶のために用いられる。メモリ３１は、完全
遮光板を用いて（または、相応に、増幅器入力端の接地
によって）得られかつ第１の比較値ＩＬと同じ増幅度Ｇ
Ｌによって増幅された第２の比較値Ｉ。を記憶するため
に用いられる。

メモリ３２は、被着された対象物が光受信器において測
定されたその本来の測定値工を記憶するために用いられ
る。

全部のメモリ２４，３０，３１および３２は、相応の線
を介して評価回路３３に接続されている。評価回路には
、既述の計算を行なう計算ユニットが図示されてはいな
いが設けられている。

評価回路３３から、制御線３４が２つのモノクロメータ
１１および１４に、これらが所定の波長に設定されるか
または所定の波長スペクトルを力・ζ−するだめに制御
されるように、導かれている。帰還路３５が、増幅度用
の発生器２２に導かれている。このようＫして、評価回
路３３によって増幅度がまさに第１の比較値■１が増幅
器２０が飽和領琥に移行する前に許容値に達する程度に
高く選択されるようにできる。

評価回路３３は、線３６を介して指示装置１３に接続さ
れている。指示装置は画像スクリーンとして図示されそ
いるが、例えば所定の波長において唯一の測定値のみを
指示することが重要であるときは、座標−記録装置、プ
リンタまたはデジタル指示装置を代わりに使用すること
もできる。

第３図では、横座標が波長を示し、一方縦座標には第１
の比較値および第２の比較値並びに増幅度ＧＬが経過に
応じて図示されている。測定原理のみを明らかにすれば
よいので、測定単位は省略されている。第１の比較値工
。に対する曲線３６は、相応の増幅による保持により殆
んど水平方向に延びていることがわかる。大体類似の経
過を、第′２の比較値Ｉ。に対する曲線３７も有する。

これに対して全く別の経過を有するのはＩＬに対する可
能な最大値を得るだめに設定されなければならない必要
な増幅度を表わす、増幅度ＧＬＶｃ対する曲線３８であ
る。この曲線は、顕著な最小値を有する。

第４図において横座標はここでも波長を表わし、一方縦
座標は、被着されている検査ガラスにおいて測光装置出
力側で測定される測定値Ｉの経過並びに絶対透過Ｔ乃至
反射値Ｒを示す。

曲線３９は、反射乃至透過のスペクトル依存性を表わす
測定値工のスペクトル経過・を示すが、その際被着方法
の結果の基本的な判断のみを可能にする相対値でしかな
い。しかし既述の計算プルセスに基づいて曲線４０とし
て、透過乃至反射値Ｔ、Ｈのスペクトル依存度が絶対値
として示される。曲線４０は曲線３９に類似しているが
、変化する増幅度（第３図の曲線３Ｂ）に基づいて相応
に校正されており、即ち曲線３９は絶対曲線４０に比べ
ると１歪んでいる”。

【図面の簡単な説明】

第１図は、真空−被着装置に接続されている本発明の測
光装置の実施例の概略を示す図であり、第２図は評価回
路および指示装置に接続されている第１図の装置の重要
゛な部分を示す図および所属の回路のブロック図であり
、第３図は、被着されていない検査ガラスにおける第１
の比較値および第２の比較値並びに増幅度の間の関係が
、波長に関連して図示されている曲線図であり、第４図
は、光受信器において測定された、被着された対象物の
測定値と、指示装置によって表示される、絶対透過乃至
反射値との関係が、第３図と同じく波長に関して図示さ
れている曲線図である。 ｌ・・・真空−蒸着装置、２・・・真空室、５，５ａ、
５ｂ・・・検査ガラス、７，７ａ、７ｂ・・・測定光線
、１１．１４・・・皐ノクロメータ、１２，１５・・・
光受信器、１３．１６・・・指示装置、１７ａ。 １７ｂ・・・遮光板、１８．２６・・・切換スイッチ、
２０・・・増幅器、２２・・・増幅度発生器、２４．３
０．３１，３２・・・メモリ、３３・・・評価回路、３
４・・・制御線、３５・・・帰還路、九−・・増幅度、
■、・・・第１の比較値、Ｉｏ・・・第２の比較値、■
・・・測定値λ ＦＩＧ、３ λ ＦＩＧ、　４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 、　１　測定光線、モノクロメータ、光受信器、増幅器
   および評価回路を使用して、少なくとも１つの比較値お
   よび被着された対象物の透過乃至反射特性に対する少な
   くとも１つの測定値を検出することによって、真空−被
   着装置において光学的に作用する層を、基板に形成する
   間その厚さを測定しかつ制御する方法において、 １、１　　最高２弧の備差で少なくとも１０２にわたっ
   てリニヤな特性曲線を有する増幅度Ｇの調節可能な増幅
   器を使用し、かつそれぞれの波長における目盛較正のた
   めに １．２　　第１の比較値ＩＬを、 ａ）透過形測定の場合は、減衰されないまたは被着され
   ていない検査ガラスのみを透過した測定光線の測定によ
   って ｂ）反射形測定の場合は、散乱する裏面を有する被着さ
   れていない検査ガラスから反射される測定光線の測定に
   よって 形成し、 １．３　　被着されていない検査ガラスにおいて増幅度
   Ｇを、第１の比較値ＩＬが実質定に最大値に達するまで
   高め、 １．４　　Ｘ、に対する最大比較値および被着されてい
   ない検査ガラスに対するそれぞれ所属の増幅度ＧＬをそ
   れぞれ１つのメモリに記憶し、 １．５　　第２の比較値工。を ａ）透過形測定の場合は、増幅器入力側を遮断するかま
   たは測定光線中に完全遮光板を挿入することによって、 ｂ）反射形測定の場合は測定光線中に完全遮光板を挿入
   することによって 形成し、 １．６　　第２の比較値Ｉ。を、第１の比較値ＩＬと同
   じ増幅度で増幅して別のメモリに記憶し、その結果その
   後すべての値ＧＬ１１ＬおよびＩ。が所属の波長に応じ
   て記憶されているようにし、かつそれぞれの波長におけ
   る測定のために １．７　　測定値工（透過値Ｔまたは反射値Ｒ）を形成
   し、 工、および工。に対して記憶されている値並びに工に対
   する値を計算ユニットによって読出し、 その際まず ａ）絶対透過値〒を次の式 ％式％ に従って、乃至 ｂ）絶対反射値Ｒを次の式 求め、その際 ■は、光受信器において測定された被着された対象物の
   測定値であり、 ＲＬは、被着されていない検査ガラスの反射値であり、
   および ＴＬは、被着されていない検査ガラスまたは検査ガラス
   の設けられていない場合の透過値、即ち１，０であり、 １、ｇ　　＋）Ｌに対して記憶されている値を計算ユニ
   ットによって読出しかつ変化する増幅度Ｇを次の式、即
   ち ａ）透過形測定に対するＧ：ＧＬ−ＴＬｂ）反射形測定
   に対するＧ＝ＯＬ−ＲＬに従って求め、かつ測定値工を
   増幅度Ｇによって増幅しかつ波長に依存して表示するこ
   とを特徴とする光学的に作用する層の厚さを測定しかつ
   制御する方法。 ２、測定値Ｉを同じくメモリに記憶しかつ同じく計算ユ
   ニットから読出される■１および■。 に対する値と共に絶対透過値Ｔ乃至反射透過値Ｒを求め
   る計算操作のために計算ユニットによって読出す特許請
   求の範囲第１項記載の方法。 ３、測定光線を放射するための光源、モノクロメータ、
   光受信器、増幅器および指示装置に対する出力側を有す
   る評価回路および／または調整回路が設けられている、
   少なくとも１つの比較値および被着された対象物の透過
   乃至反射特性に対する少なくとも１つの測定値の検出に
   よって、真空−被着装置において光学的に作用する層を
   、基板に形成する間その厚さを測定しかつ制御する方法
   を実施子るための装置において、 ３．１　　増幅器（２０）はその増幅度に関して、最高
   ２％の偏差で少なくとも１０２にわたってリコヤである
   特性曲線を有し、 ３．２　光受信器（，１２，１５）によって受信される
   測定光の一強度に関する第１の比較値ＩＣを形成するた
   めに光路（８）に挿入可能な被着されていない検査ガラ
   ス（５）が設けられており、該検査ガラスは反射測定の
   場合には散乱する裏面を備えておぜ、 ３．３　　同じ光受信器によって受信された測定光の強
   度に対する第２の比較値■。を形成するために、光路（
   ８）に挿入可能な完全遮光板（１７ａ、１７ｂ）が設け
   られており、該遮光板は光受信器（１２，１５）に当た
   る測定光を実際に完全に吸収する作用をし、 ３．４　　第１の比較値化に対するメモリ（八〇）およ
   び第２の比較値工。に対するメモリ（３１）並びに増幅
   度に比例する信号に対するメモリ（２４）が設けられて
   おり、その際２つの比較値に対するメモ！Ｊ（３０，３
   １）は増幅器（２０）に後置接続されており、および増
   幅度に対するメモＵ　（２４）は、増幅度用の発生器（
   ２２）に後置接続されており、 ３．５２つの比較値に対するメモＩＪ（３０゜３１）お
   よび増幅度に対するメモリ（２４）は、評価回路（３３
   ）に所属する計算ユニットに接続されており、 ３．６　　計算ユニットは、増幅度がＩＬに対する可能
   な最大値に相応して設定可能であるように、増幅度用の
   発生器（２２）への帰還路（３５）を有し、 ３．７　　計算ユニットは、メモリ（３０，３１）に存
   在する第１の比較値および第２の比　　３較値に対する
   信号並びに測定値工から、その都度同じ増幅度に対する
   絶対透過値乃至反射値が検出可能であり、かつメモリ（
   ２４）に存在する、増幅度ＧＬに対する信号から、第１
   の比較値に対する透過および反射値を考慮して、測定値
   工と増幅度Ｇとの乗算によって絶対透過および反射値が
   検出可能であるように構成されていることを特徴とする
   装置。 ４、増幅器（２０）と計算ユニット（評価回路）（３３
   ）との間に、測定値工に対する別のメモリ（３２）が設
   けられている特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５、評価回路（３３）は制御線（３４）を介して、選択
   的に測定光線の所定の波長を設定可能であるかまたは選
   択されたスペクトルをカッ々−可能であるように、モノ
   クロメータ（１１，１４）に接続されている特許請求の
   範囲第３項記載の装置。