NL7706712A - Inrichting voor het meten en regelen van de dikte val een laag. - Google Patents

Inrichting voor het meten en regelen van de dikte val een laag.

Info

Publication number
NL7706712A
NL7706712A NL7706712A NL7706712A NL7706712A NL 7706712 A NL7706712 A NL 7706712A NL 7706712 A NL7706712 A NL 7706712A NL 7706712 A NL7706712 A NL 7706712A NL 7706712 A NL7706712 A NL 7706712A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
measuring
adjusting
layer
thickness fall
fall
Prior art date
Application number
NL7706712A
Other languages
English (en)
Other versions
NL186235B (nl
NL186235C (nl
Original Assignee
Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg filed Critical Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
Publication of NL7706712A publication Critical patent/NL7706712A/nl
Publication of NL186235B publication Critical patent/NL186235B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL186235C publication Critical patent/NL186235C/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0683—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating measurement during deposition or removal of the layer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/545—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material
    • C23C14/547—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on deposited material using optical methods
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D5/00—Control of dimensions of material
    • G05D5/02—Control of dimensions of material of thickness, e.g. of rolled material
    • G05D5/03—Control of dimensions of material of thickness, e.g. of rolled material characterised by the use of electric means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
NLAANVRAGE7706712,A 1976-06-21 1977-06-17 Inrichting voor diktemeting en dikteregeling van optisch werkzame dunne lagen tijdens de opbouw daarvan. NL186235C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2627753A DE2627753C2 (de) 1976-06-21 1976-06-21 Anordnung zur Dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer Dünnschichten

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7706712A true NL7706712A (nl) 1977-12-23
NL186235B NL186235B (nl) 1990-05-16
NL186235C NL186235C (nl) 1990-10-16

Family

ID=5981051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7706712,A NL186235C (nl) 1976-06-21 1977-06-17 Inrichting voor diktemeting en dikteregeling van optisch werkzame dunne lagen tijdens de opbouw daarvan.

Country Status (16)

Country Link
US (1) US4207835A (nl)
JP (1) JPS5322456A (nl)
AT (1) AT366505B (nl)
AU (1) AU520695B2 (nl)
BE (1) BE855932A (nl)
CA (1) CA1082486A (nl)
CH (1) CH616502A5 (nl)
DE (1) DE2627753C2 (nl)
ES (2) ES459933A1 (nl)
FR (1) FR2356191A1 (nl)
GB (2) GB1567556A (nl)
IT (1) IT1086231B (nl)
NL (1) NL186235C (nl)
SE (2) SE433003B (nl)
SU (1) SU845804A3 (nl)
ZA (1) ZA773609B (nl)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52102783A (en) * 1976-02-25 1977-08-29 Kanagawa Prefecture Method of measuring maximum diameter of bruise in brinell hardness test
FI69370C (fi) * 1981-08-18 1986-01-10 Topwave Instr Oy Foerfarande foer maetning av egenskaperna hos ett plastskikt med hjaelp av infraroed straolning
DE3135443A1 (de) * 1981-09-08 1983-03-24 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und fotometrische anordnung zur dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer schichten
DE3234534C2 (de) * 1982-09-17 1986-09-11 Kievskoe naučno-proizvodstvennoe obiedinenie "Analitpribor", Kiev Anordnung zum Aufstäuben von optischen Filmschichten
DE3220282C3 (de) * 1982-05-28 1995-05-18 Roland Man Druckmasch Vorrichtung zum betrieblichen Erfassen eines Maßes für die Feuchtmittelmenge auf der rotierenden Druckplatte in Offset-Druckmaschinen
FR2531775A1 (fr) * 1982-08-12 1984-02-17 Cit Alcatel Dispositif de mesure de l'epaisseur d'une couche deposee sur un substrat transparent
US4676883A (en) * 1986-03-03 1987-06-30 Sierracin Corporation Optical disk transmission monitor for deposited films
EP0290657A1 (de) * 1987-05-15 1988-11-17 KSB Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Messung der optischen Eigenschaften von dünnen Schichten
US4669418A (en) * 1986-05-19 1987-06-02 Gte Laboratories Incorporated Optical coating apparatus
DE3623106C1 (en) * 1986-07-09 1987-12-10 Hewlett Packard Gmbh Optoelectronic measuring device having a light (optical) chopper
DE3803840A1 (de) * 1988-02-09 1989-08-17 Leybold Ag Fotometer
DE4123589C2 (de) * 1991-07-17 2001-03-29 Leybold Ag Vorrichtung zum Messen der Lichtstrahlung eines Plasmas
US5504695A (en) * 1992-11-17 1996-04-02 Nissan Motor Co., Ltd. Apparatus for measuring paint film thickness based on dynamic levelling property of wet paint film surface
DE4314251C2 (de) * 1993-04-30 2002-02-21 Unaxis Deutschland Holding Verfahren und Vorrichtung zum Aufdampfen absorbierender dünner Schichten auf ein Substrat
DE102005008889B4 (de) * 2005-02-26 2016-07-07 Leybold Optics Gmbh Optisches Monitoringsystem für Beschichtungsprozesse
US8958156B1 (en) 2007-05-30 2015-02-17 Semrock, Inc. Interference filter for non-zero angle of incidence spectroscopy
DE102018205236A1 (de) * 2018-04-06 2019-10-10 Bhs-Sonthofen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Filterkuchendicke

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1079920B (de) * 1952-04-25 1960-04-14 Technicolor Corp Verfahren und Vorrichtung zum Aufdampfen von mehrschichtigen dichromatischen Interferenzueberzuegen im Vakuum
DE1797108U (de) 1959-07-17 1959-10-01 Schubert & Salzer Maschinen Speisevorrichtung fuer karden schlagmaschinen u. dgl.
DE1276976B (de) * 1962-01-29 1968-09-05 Lab Pristroje Narodni Podnik Verfahren und Vorrichtung zur optischen Schichtdickenmessung duenner Schichten waehrend ihrer Herstellung durch Aufdampfen im Vakuum
DE1548262B2 (de) * 1966-10-13 1970-05-06 Leybold-Heraeus GmbH & Co KG, 5OOO Köln-Bayenthal Optisches Gerät zur Messung von Schichtdicken in Vakuumaufdampfprozessen
US3491240A (en) * 1967-03-29 1970-01-20 Itek Corp Noncontacting surface sensor
US3526460A (en) * 1967-06-27 1970-09-01 Webb James E Optical characteristics measuring apparatus
FR1539538A (fr) * 1967-10-05 1968-09-13 Leybold Hochvakuum Anlagen Gmb Instrument optique de mesure de l'épaisseur de couches déposées par métallisationsous vide
US3654109A (en) * 1968-04-25 1972-04-04 Ibm Apparatus and method for measuring rate in flow processes
US3737237A (en) * 1971-11-18 1973-06-05 Nasa Monitoring deposition of films
DE2220231A1 (de) * 1972-04-25 1973-11-08 Serv Anstalt Photometer zur digitalen anzeige der lichtabsorption einer messprobe in einer kuevette
US3869211A (en) * 1972-06-29 1975-03-04 Canon Kk Instrument for measuring thickness of thin film
US3892490A (en) * 1974-03-06 1975-07-01 Minolta Camera Kk Monitoring system for coating a substrate
US4024291A (en) * 1975-06-17 1977-05-17 Leybold-Heraeus Gmbh & Co. Kg Control of vapor deposition

Also Published As

Publication number Publication date
SE8204900D0 (sv) 1982-08-27
FR2356191B1 (nl) 1984-06-22
AU2625977A (en) 1979-01-04
DE2627753A1 (de) 1977-12-29
NL186235B (nl) 1990-05-16
SE8204900L (sv) 1982-08-27
CA1082486A (en) 1980-07-29
SU845804A3 (ru) 1981-07-07
US4207835A (en) 1980-06-17
SE433003B (sv) 1984-04-30
JPS5322456A (en) 1978-03-01
SE7707141L (sv) 1977-12-22
SE456775B (sv) 1988-10-31
GB1567556A (en) 1980-05-14
ZA773609B (en) 1978-06-28
CH616502A5 (nl) 1980-03-31
AU520695B2 (en) 1982-02-25
IT1086231B (it) 1985-05-28
NL186235C (nl) 1990-10-16
FR2356191A1 (fr) 1978-01-20
ES459933A1 (es) 1978-04-16
AT366505B (de) 1982-04-26
GB1567555A (en) 1980-05-14
ES462916A1 (es) 1978-06-16
ATA434977A (de) 1981-08-15
DE2627753C2 (de) 1983-09-01
BE855932A (fr) 1977-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7703555A (nl) Werkwijze en inrichting voor het waarnemen van ijs op een oppervlak.
NL190671C (nl) Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur.
NL7709039A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van anti- genen en antilichamen.
NL7709441A (nl) Inrichting voor het vergelijken van vinger- afdrukken.
NL7704126A (nl) Werkwijze voor het bepalen van een aminoglyco- side antibioticum en daartoe geschikte inrich- ting.
NL7700521A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een con- servenblik en inrichting voor de uitvoering van deze werkwijze.
NL7610463A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bepalen van het alkoholgehalte in de adem.
NL7702647A (nl) Analyse-inrichting en werkwijze voor het analy- seren.
NL7706712A (nl) Inrichting voor het meten en regelen van de dikte val een laag.
NL181755C (nl) Inrichting voor het meten van het uitbreiden van een scheur.
NL174988C (nl) Inrichting voor het detecteren van geioniseerde stoffen.
NL7610858A (nl) Apparaat voor het meten van lokale absorptie- verschillen.
NL7712043A (nl) Werkwijze en inrichting voor het controleren van bankbiljetten.
NL7701496A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van de waarde van een verontreiniging door ionen.
NL7700993A (nl) Inrichting voor het diffunderen van stoffen tus- sen twee media via semi-doorlaatbare membranen.
NL7707166A (nl) Inrichting voor het meten van ultrageluid.
NL7710712A (nl) Elektrochemische inrichting en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7607558A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van soft-ice.
NL7613321A (nl) Inrichting voor het meten van de snelheid van een videoband gebruikt in een registreer-weer- geefstelsel.
NL7713162A (nl) Inrichting voor het constateren van het in wer- king gebracht zijn van een vingergrendel.
NL7703427A (nl) Werkwijze en inrichting voor het maken van gegalvaniseerde plaat.
NL7706443A (nl) Inrichting voor het meten van de stromings- snelheid.
NL7806810A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bepalen van karakte- ristieken van een in een boorgat gecementeerde boor- buis.
NL7902327A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van een oppervlaktespanning.
NL7703454A (nl) Inrichting voor het meten van de hoek tussen een lichaam en een referentiepunt.

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BT A notification was added to the application dossier and made available to the public
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
CNR Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)

Free format text: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT TE HANAU A.D. MAIN

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee