NL190671C - Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur. - Google Patents

Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur.

Info

Publication number
NL190671C
NL190671C NL8103499A NL8103499A NL190671C NL 190671 C NL190671 C NL 190671C NL 8103499 A NL8103499 A NL 8103499A NL 8103499 A NL8103499 A NL 8103499A NL 190671 C NL190671 C NL 190671C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
measuring
surface temperature
temperature
Prior art date
Application number
NL8103499A
Other languages
English (en)
Other versions
NL8103499A (nl
NL190671B (nl
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP10211480A external-priority patent/JPS5726721A/ja
Priority claimed from JP56084856A external-priority patent/JPS6059511B2/ja
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Publication of NL8103499A publication Critical patent/NL8103499A/nl
Publication of NL190671B publication Critical patent/NL190671B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL190671C publication Critical patent/NL190671C/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
NL8103499A 1980-07-25 1981-07-23 Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur. NL190671C (nl)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10211480 1980-07-25
JP10211480A JPS5726721A (en) 1980-07-25 1980-07-25 Surface temperature measuring device for object in furnace
JP56084856A JPS6059511B2 (ja) 1981-06-02 1981-06-02 炉内物体の表面温度測定装置
JP8485681 1981-06-02

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL8103499A NL8103499A (nl) 1982-02-16
NL190671B NL190671B (nl) 1994-01-17
NL190671C true NL190671C (nl) 1994-06-16

Family

ID=26425837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8103499A NL190671C (nl) 1980-07-25 1981-07-23 Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4435092A (nl)
CA (1) CA1158887A (nl)
DE (1) DE3129139C2 (nl)
FR (1) FR2487513A1 (nl)
GB (1) GB2082767B (nl)
NL (1) NL190671C (nl)

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58216921A (ja) * 1982-06-11 1983-12-16 Toshiba Corp 調理器の温度検知装置
JPS6022636A (ja) * 1983-07-19 1985-02-05 Daido Gakuen 物体の温度を測定する方法および装置
DE3408792A1 (de) * 1984-03-10 1985-09-19 Grün-Analysengeräte GmbH, 6330 Wetzlar Vorrichtung zur pyrometrischen temperaturmessung
US4609034A (en) * 1984-04-17 1986-09-02 Grumman Aerospace Corporation Infrared camouflage system
DE3422590A1 (de) * 1984-06-18 1985-12-19 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Verfahren zum pyrometrischen temperaturmessen
DE3445677A1 (de) * 1984-12-14 1986-06-19 Uranit GmbH, 5170 Jülich Strahlungsmesssonde zur beruehrungslosen, emissionsgradunabhaengigen temperaturmessung
DD254114A3 (de) * 1985-07-30 1988-02-17 Univ Dresden Tech Pyrometrisches messverfahren
US4722612A (en) * 1985-09-04 1988-02-02 Wahl Instruments, Inc. Infrared thermometers for minimizing errors associated with ambient temperature transients
US4776825A (en) * 1987-05-22 1988-10-11 Beckman Instruments, Inc. Differential temperature measuring radiometer
US4762425A (en) * 1987-10-15 1988-08-09 Parthasarathy Shakkottai System for temperature profile measurement in large furnances and kilns and method therefor
ATE107413T1 (de) * 1988-04-27 1994-07-15 Processing Technologies Inc Ag Verfahren und vorrichtung zur messung der temperatur eines fernen gegenstandes.
US5061084A (en) * 1988-04-27 1991-10-29 Ag Processing Technologies, Inc. Pyrometer apparatus and method
US5188458A (en) * 1988-04-27 1993-02-23 A G Processing Technologies, Inc. Pyrometer apparatus and method
US4883364A (en) * 1988-11-14 1989-11-28 Barnes Engineering Company Apparatus for accurately measuring temperature of materials of variable emissivity
US5249142A (en) * 1989-03-31 1993-09-28 Tokyo Electron Kyushu Limited Indirect temperature-measurement of films formed on semiconductor wafers
US4984902A (en) * 1989-04-13 1991-01-15 Peak Systems, Inc. Apparatus and method for compensating for errors in temperature measurement of semiconductor wafers during rapid thermal processing
DE4012087A1 (de) * 1989-04-19 1990-10-25 Weinert E Messgeraetewerk Verfahren und vorrichtung zur taktgesteuerten messsignalverarbeitung in wechsellichtpyrometern
DE3914709C1 (nl) * 1989-05-04 1990-10-25 Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De
DE4039007A1 (de) * 1989-12-06 1991-06-13 Hitachi Ltd Infrarottemperaturmessgeraet, eichverfahren fuer das geraet, infrarottemperaturbildmessmethode, geraet zur messung desselben, heizgeraet mit messgeraet, verfahren zur steuerung der erwaermungstemperatur, und vakuumbedampfungsgeraet mit infrarotem temperaturmessgeraet
DE4004408A1 (de) * 1990-02-13 1991-08-14 Ultrakust Electronic Gmbh Infrarot-temperatursensor
US5098198A (en) * 1990-04-19 1992-03-24 Applied Materials, Inc. Wafer heating and monitor module and method of operation
US5114242A (en) * 1990-12-07 1992-05-19 Ag Processing Technologies, Inc. Bichannel radiation detection method
US5165796A (en) * 1990-12-07 1992-11-24 Ag Processing Technologies, Inc. Bichannel radiation detection apparatus
US5178464A (en) * 1991-04-19 1993-01-12 Thermoscan Inc. Balance infrared thermometer and method for measuring temperature
US5226732A (en) * 1992-04-17 1993-07-13 International Business Machines Corporation Emissivity independent temperature measurement systems
GB9222082D0 (en) * 1992-10-21 1992-12-02 Davy Mckee Poole A radiation pyrometer assembly for sensing the temperature of an elongate body moving longitudinally
DE4309762C2 (de) * 1993-03-25 1995-11-16 Raytek Sensorik Gmbh Meßgerät
US5316385A (en) * 1993-03-30 1994-05-31 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Correction-free pyrometry in radiant wall furnaces
US5501637A (en) * 1993-08-10 1996-03-26 Texas Instruments Incorporated Temperature sensor and method
US5620254A (en) * 1995-03-08 1997-04-15 Servo Corporation Of America Thermal detector modulation scheme
DE19536236B4 (de) * 1995-09-28 2005-06-09 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Innenwandtemperaturen bei mehrwändigen Gefäßen, insbesondere von Hochtemperaturaggregaten, wie z. B. Öfen in der Metallurgie oder der chemischen Verfahrenstechnik
DE19536237B4 (de) * 1995-09-28 2005-06-09 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Innentemperaturen bei hüttentechnischen Anlagen
DE19549214C2 (de) * 1995-12-30 1999-11-04 Ego Elektro Geraetebau Gmbh Temperatursensoreinheit
US5893643A (en) * 1997-03-25 1999-04-13 Applied Materials, Inc. Apparatus for measuring pedestal temperature in a semiconductor wafer processing system
US6121061A (en) * 1997-11-03 2000-09-19 Asm America, Inc. Method of processing wafers with low mass support
US6191399B1 (en) 2000-02-01 2001-02-20 Asm America, Inc. System of controlling the temperature of a processing chamber
US6555823B2 (en) 2000-12-22 2003-04-29 3M Innovative Properties Company Energy collection instrument and method of use
US6952264B2 (en) 2001-12-13 2005-10-04 3M Innovative Properties Company Dose radiometer
US6596973B1 (en) 2002-03-07 2003-07-22 Asm America, Inc. Pyrometer calibrated wafer temperature estimator
US6818864B2 (en) * 2002-08-09 2004-11-16 Asm America, Inc. LED heat lamp arrays for CVD heating
US7148450B2 (en) * 2004-10-20 2006-12-12 Industrial Technology Research Institute Portable blackbody furnace
US7275861B2 (en) 2005-01-31 2007-10-02 Veeco Instruments Inc. Calibration wafer and method of calibrating in situ temperatures
JP5055756B2 (ja) * 2005-09-21 2012-10-24 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置及び記憶媒体
JP4940635B2 (ja) * 2005-11-14 2012-05-30 東京エレクトロン株式会社 加熱装置、熱処理装置及び記憶媒体
US7553070B2 (en) * 2006-11-06 2009-06-30 The Boeing Company Infrared NDI for detecting shallow irregularities
KR101622427B1 (ko) * 2008-10-23 2016-05-31 카즈 유럽 에스에이 표유 복사 차폐부를 갖는 비접촉식 의료용 온도계
US20100222699A1 (en) * 2009-02-27 2010-09-02 Turnquist Douglas G Method for monitoring internal tissue
JP5591565B2 (ja) * 2010-03-12 2014-09-17 東京エレクトロン株式会社 温度測定用プローブ、温度測定システム及びこれを用いた温度測定方法
JP5646207B2 (ja) * 2010-04-30 2014-12-24 株式会社ニューフレアテクノロジー 成膜装置および成膜方法
US9885123B2 (en) 2011-03-16 2018-02-06 Asm America, Inc. Rapid bake of semiconductor substrate with upper linear heating elements perpendicular to horizontal gas flow
US11815403B2 (en) 2020-07-16 2023-11-14 Solar Manufacturing, Inc. Specialty control thermocouple for vacuum heat treat furnaces

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3969943A (en) * 1974-03-06 1976-07-20 Nippon Steel Corporation Method of measuring the temperature of furnace hot stock and apparatus therefor
JPS5244861A (en) * 1975-10-07 1977-04-08 Hirono Kagaku Kogyo Kk Process for preparing crosslinked products of liquid diene rubbers hav ing terminal hydroxyl groups and improved physical properties
US4144758A (en) * 1977-09-12 1979-03-20 Jones & Laughlin Steel Corporation Radiation measurement of a product temperature in a furnace

Also Published As

Publication number Publication date
NL8103499A (nl) 1982-02-16
US4435092A (en) 1984-03-06
GB2082767B (en) 1984-04-26
DE3129139A1 (de) 1982-03-18
CA1158887A (en) 1983-12-20
DE3129139C2 (de) 1986-06-05
GB2082767A (en) 1982-03-10
FR2487513A1 (fr) 1982-01-29
NL190671B (nl) 1994-01-17
FR2487513B1 (nl) 1984-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL190671C (nl) Inrichting voor het meten van een oppervlaktetemperatuur.
NL181755C (nl) Inrichting voor het meten van het uitbreiden van een scheur.
NL191447C (nl) Inrichting voor het meten van de oppervlaktetemperatuur en de emissiviteit van een verwarmd voorwerp.
NL192008C (nl) Meetinrichting voor het meten van een vloeistofhoeveelheid.
NL193015B (nl) Inrichting voor het meten van stofwisselingsgrootheden.
NL187033C (nl) Inrichting voor het meten van een massastroomsnelheid.
NL7709039A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van anti- genen en antilichamen.
NL7710690A (nl) Inrichting voor het meten van de vrije ruimte.
NL7610858A (nl) Apparaat voor het meten van lokale absorptie- verschillen.
NL183387C (nl) Doseerinrichting voor het doseren van reagentia.
NL7810882A (nl) Inrichting voor het meten van een urinelozing.
NL186405C (nl) Meetinrichting voor het meten van een afmeting van de dwarsdoorsnede van een langwerpig voorwerp.
NL7707166A (nl) Inrichting voor het meten van ultrageluid.
BE888146A (nl) Inrichting voor het calibreren van meters
NL7708825A (nl) Werkwijze voor het meten van doorstromende hoe- veelheden.
NL7801796A (nl) Inrichting voor het behandelen van vloeistoffen.
NL185304C (nl) Inrichting voor het meten van een kracht.
BE888147A (nl) Inrichting voor het calibreren van meters
NL7902327A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van een oppervlaktespanning.
NL7706443A (nl) Inrichting voor het meten van de stromings- snelheid.
NL7803551A (nl) Inrichting voor het meten van een drukverschil.
NL7702480A (nl) Inrichting voor het meten van de hardheid van een rubbermonster.
NL7710108A (nl) Inrichting voor het meten van een neutronen- flux.
NL7713452A (nl) Inrichting voor het meten van de viscositeit of consistentie van een fluidum.
NL176101C (nl) Inrichting voor het meten van trillingen.

Legal Events

Date Code Title Description
A85 Still pending on 85-01-01
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 19970201