NL1027448C2 - Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een materiaallaag op een schijfvormig substraat. - Google Patents

Description

Titel: Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een materiaallaag op een schijfvormig substraat

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het aanbrengen van een laag materiaal op een schijfvormig substraat ten behoeve van het vervaardigen van een informatiedrager, zoals bijvoorbeeld een DVD-R of een CD-R.

5 Een dergelijke werkwijze is uit de praktijk bekend. DVD-R's en CD-R’s omvatten een materiaallaag van een organische dye. Nadat deze dye-laag op het substraat is opgebracht wordt deze bedekt met een metalen reflectielaag, meestal van zilver.

Het opbrengen van de dye-laag gebeurt gebruikelijk door de dye op 10 een draaiend substraat te brengen, waarbij de dye gedurende één of meer omwentelingen van het substraat over de informatiedrager wordt verspreid.

De informatiedrager moet voldoen aan technische standaardeisen vanuit de industrie. Daarnaast zijn klanteisen met betrekking tot de visuele aspecten van de informatiedragers van belang. Daartoe behoort onder meer 15 dat de dye-laag is voorzien van een gewenste binnenste en buitenste radius. Thans wordt bij het instellen van de machine de binnenste en de buitenste radius proefondervindelijk op de juiste waarden gebracht door de operator. De operator inspecteert hiertoe geproduceerde informatiedragers en controleert of deze aan de gewenste kwaliteitseisen voldoen. Indien dit niet 20 het geval is stelt hij handmatig de diverse procesparameters bij. Dat kan eenvoudig tot vergissingen leiden aangezien er sprake is van meerdere opbrengstations in een inrichting. De operator moet vaststellen uit welk opbrengstation de informatiedrager met de afwijkende kwaliteitseisen afkomstig is, waarbij de operator eenvoudig de parameters van het 25 verkeerde station kan bijstellen. Bij het aldus handmatig instellen van de diverse procesparameters wordt een aanzienlijk aantal ondeugdelijke 1027448 2 informatiedragers geproduceerd, hetgeen uit kostenoverwegingen ongunstig is. Bovendien is het handmatig instellen niet bijzonder nauwkeurig.

Het doel van onderhavige uitvinding is het verschaffen van een werkwijze waarbij substraten worden voorzien van een materiaallaag 5 waarbij de positie van de randen van het materiaal willekeurig instelbaar is en waarbij het productieproces tegelijkertijd zo efficiënt mogelijk is.

De uitvinding verschaft hiertoe een werkwijze van het in de aanhef beschreven type, die wordt gekenmerkt doordat het materiaal op het substraat wordt opgebracht in een opbrengproces, waarbij 10 kwaliteitsparameters van de opgebrachte laag en/of beïnvloedingsparameters met een in hoofdzaak bekende beïnvloedende werking op de kwaliteitsparameters worden gemeten en waarbij de meetgegevens worden verwerkt voor het aansturen van het opbrengproces.

Deze werkwijze voor het aanbrengen van materiaal, zoals bijvoorbeeld dye, 15 op een substraat bewerkstelligt een zo efficiënt mogelijk proces, doordat de meetresultaten worden gebruikt om het opbrengproces automatisch aan te sturen. Dit brengt met zich mee dat wanneer er afwijkingen gemeten zijn, de procesparameters zo snel mogelijk worden bijgestuurd. Dit is gunstig voor de productietijd, kosten en hoeveelheid uitval tijdens het proces, 20 bovendien is de kans dat het verkeerde opbrengstation wordt bijgeregeld tot nul gereduceerd. Verder is de invloed van de menselijke factor geëlimineerd.

Doordat tevens rekening kan worden gehouden met beïnvloedingsparameters die een in hoofdzaak bekende beïnvloedende werking op de kwaliteitsparameters hebben — bijvoorbeeld 25 procesveranderingen als gevolg van een periode van stilstand, temperatuursinvloeden en dergelijke - kunnen dergelijke invloeden direct worden gecompenseerd door bijstelling van de procesparameters.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het opbrengproces het met behulp van een materiaalspuitmond aanbrengen van 30 een streng materiaal op het substraat, waarbij de binnencontour van de 1027448 _____ _ 3 streng in hoofdzaak de binnenradius van de laag materiaal bepaalt, waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde binnenradius is. Dit brengt met zich mee dat de binnenradius aanpasbaar is aan de eisen van de klant. Deze radius kan zich op elke gewenste positie 5 vanaf het midden van de informatiedrager richting de rand van de informatiedrager bevinden. Bij het instellen van de procesparameters kan rekening worden gehouden met het uitvloeien van de binnencontour van de streng materiaal na aanbrengen van het materiaal, hetgeen afhankelijk is van viscositeit, tijd en rotatiesnelheid tijdens en na het opbrengen van het 10 materiaal.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het opbrengproces het met hoge snelheid roteren van het substraat voor het verdelen van de streng materiaal over het substraatoppervlak, waarbij vervolgens een buitenste randgedeelte van de materiaallaag wordt 15 verwijderd door een materiaalverwijderingsmiddel op het randgedeelte te spuiten met een verwijderingsmiddelspuitmond, zodat de materiaallaag een buitenradius op het substraat verkrijgt, waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde buitenradius is. Dit brengt met zich mee dat de buitenste radius zich op elke willekeurige positie 20 tussen de binnenste radius en de buitenrand van het substraat kan bevinden. Dit geheel resulteert in een flexibele wijze om de binnenste en de buitenste radius aan te passen aan de eisen van de klant. Daarnaast heeft deze werkwijze als voordeel dat met behulp van de resultaten van het meten van de kwaliteitsparameters de procesparameters kunnen worden 25 bij gestuurd. Hierdoor worden in een zo gering mogelijke tijd na opbrengen van het materiaal op de informatiedrager eventuele afwijkingen gesignaleerd, waarbij de procesparameters direct worden aangepast, zodat er zo min mogelijk afwijkende informatiedragers worden geproduceerd. Dit levert een besparing op de hoeveelheid uitval.

1027448 - ------- - -i 4

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het aansturen het positioneren van de materiaalspuitmond ten opzichte van het substraat. Afhankelijk van de gemeten waarden van de kwaliteitsparameters kan de positie van de materiaalspuitmond ten 5 opzichte van het substraat worden aangepast door deze in het horizontale vlak parallel aan het substraat te bewegen. Deze verplaatsing heeft effect op de grootte van de binnenste radius. Van handmatige instelling, met de daarbij onontkoombare door de operator veroorzaakte onnauwkeurigheid is derhalve geen sprake meer.

10 Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het aansturen het regelen van de rotatiesnelheid van het substraat tijdens het opbrengen van het materiaal. Wanneer de rotatiesnelheid wordt veranderd door het substraat langzamer of juist sneller te laten draaien, zal het materiaal langzamer of sneller naar de buitenste rand vloeien. Dit kan een 15 effect hebben op de laagdikte van het materiaal.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het aansturen het regelen van de druk van het materiaal tijdens het opbrengen op het substraat. Daarnaast omvat het aansturen ook het regelen van de opbrengtijd van het materiaal en/of het regelen van de hoeveelheid op te 20 brengen materiaal. Deze genoemde procesparameters zijn van invloed op de kwaliteit van de binnenste radius en de laag. Indien de kwaliteitsparameters een afwijking indiceren van één of enkele van deze procesparameters dan worden deze automatisch bijgesteld aan de hand van de meetresultaten.

25 Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het aansturen het positioneren van de verwijderingsmiddelspuitmond ten opzichte van het substraat, het regelen van de rotatiesnelheid van het i substraat tijdens het opbrengen van het materiaalverwijderingsmiddel, het regelen van de druk van het materiaalverwijderingsmiddel tijdens het 30 opbrengen op het substraat, het regelen van de opbrengtijd van het 1 027448_ _ 5 materiaalverwijderingsmiddel en/of het regelen van de hoeveelheid op te brengen materiaalverwijderingsmiddel. Deze procesparameters zijn vooral van belang voor de kwaliteit van de buitenste radius van de materiaallaag en hebben niet zozeer te maken met de materiaallaag zelf.

5 Een afwijking in één van de hierboven genoemde kwaliteitsparameters kan vele oorzaken hebben. Zo kan bet schoonmaken van de spuitmonden of bet verwisselen van de spuitmonden gevolgen hebben voor de positionering van deze spuitmonden ten opzichte van het substraat. Maar ook externe factoren, zoals temperatuur, vochtigheid en het 10 stilvallen en opstarten van machines kunnen zorgen voor afwijkingen.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het aansturen van het opbrengproces het invoeren van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters in een fuzzy logic programma en het berekenen van procesparameters afhankelijk van deze 15 meetgegevens. Dit heeft als voordeel dat de besturing continu rekening houdt met het verschil tussen de doelwaarden van de kwaliteitsparameters en de daadwerkelijk gemeten waarden en aan de hand daarvan continu de te maken aanpassingen van de procesparameters bepaalt. Dit resulteert in een geleidelijke aanpassing van de instellingen, wat met zich meebrengt dat 20 zo min mogelijk informatiedragers met een afwijkende kwaliteit worden geproduceerd.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding is een genoemde beïnvloedingsparameter een informatiesignaal omtrent de voorgeschiedenis. Voordeel hiervan is dat bijstellen van de procesparameters ook mogelijk is 25 aan de hand van andere factoren dan de meetresultaten van reeds geproduceerde informatiedragers.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat het informatiesignaal informatie omtrent de stilstand en/of stilstandsduur van de inrichting. Dit brengt met zich mee dat de besturing de procesparameters 30 bij het opstarten van de inrichting gelijk kan instellen rekening houdend 1027448 6 met effecten van de stilstand en/of de stilstandsduur, waardoor de informatiedragers die worden geproduceerd na stilstand van de machine direct de gewenste kwaliteit bezitten.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding is een genoemde 5 beïnvloedingsparameter de omgevingstemperatuur. Een andere genoemde beïnvloedingsparameter is de vochtigheid. Dit brengt met zich mee dat wanneer er zich schommelingen in de omgevingstemperatuur en/of de vochtigheid voordoen, de besturing ervoor zorgt dat de procesparameters worden aangepast zodat de kwaliteit van de informatiedragers constant 10 blijft.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding omvat een informatiesignaal informatie omtrent de afloop van voorafgaande processtappen. Dit heeft als voordeel dat wanneer er zich een afwijking in voorafgaande processtappen voordoet de procesparameters van het 15 opbrengproces worden bijgesteld, waardoor de afwijking geen negatieve invloed heeft op de kwaliteit van op te brengen materiaallaag.

Naast de hierboven beschreven werkwijze heeft de uitvinding ook betrekking op een inrichting voor het aanbrengen van een materiaallaag op een schijfvormig substraat ten behoeve van het vervaardigen van een 20 informatiedrager, zoals bijvoorbeeld een DVD-R of een CD-R, voorzien van ten minste één opbrengstation voor het opbrengen van de materiaallaag op het substraat, één meetvoorziening voor het meten van ten minste één kwaliteitsparameter van de opgebrachte laag en/of beïnvloedingsparameters met een in hoofdzaak bekende beïnvloedende werking op de 25 kwaliteitsparameters, en van een besturing voor aansturing van het opbrengen van de materiaallaag in afhankelijkheid van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters.

Dit brengt met zich mee dat de operator niet meer is belast met het handmatig bijstellen van de parameters. Voordeel hiervan is dat het 30 proces minder afhankelijk is van de kennis van een operator. Om 1027448 7 productiedoorlooptijden zo minimaal mogelijk te houden kunnen verschillende opbrengstations worden gebruikt die in een parallelle opstelling in staat zijn om meerdere substraten tegelijkertijd te voorzien van een materiaallaag. De operator is hierdoor verantwoordelijk voor de 5 kwaliteit van de tegelijk geproduceerde informatiedragers uit de verschillende opbrengstations. Voordeel van de inrichting volgens de uitvinding is dat, doordat de procesparameters automatisch worden aangepast, de operator zich niet kan vergissen in het opbrengstation en de daarbij behorende instellingen. Een volgend voordeel is dat het automatisch 10 aanpassen veel sneller gaat dan het handmatig instellen, waardoor de hoeveelheid geproduceerde informatiedragers die niet aan de kwaliteitseisen voldoet beperkt blijft.

De onderhavige uitvinding zal aan de hand van een 15 uitvoeringsvoorbeeld, onder verwijzing naar de verschillende figuren verder worden verduidelijkt:

Figuur 1 toont een bovenaanzicht van het aanbrengen van het materiaal, in dit voorbeeld dye, op het substraat.

Figuur 2 toont een bovenaanzicht van het substraat met de dye- 20 laag.

Figuur 3 toont een bovenaanzicht van het substraat waarbij de buitenste rand van de dye wordt verwijderd.

In figuur 1 is een substraat 1 weergegeven, waarbij de 25 dyespuitmond 2 een streng dye 3 op het substraat aanbrengt, waarbij de binnencontour 4 van de streng de binnenradius 5 van de dye-laag 6 bepaalt, waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde binnenradius is. De dyespuitmond 2 bevindt zich in een opbrengstation van de inrichting. Daarnaast omvat de inrichting nog tenminste één 30 meetvoorziening 14 voor het meten van ten minste één kwaliteitsparameter 1 027448_____ 8 van de opgebrachte laag en/of beïnvloedingsparameter en een besturing 13 voor aansturing van het opbrengen van de dye-laag in afhankelijkheid van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters. Indien vanuit de meetvoorziening 14 gegevens worden doorgegeven met betrekking 5 tot de kwaliteitsparameters, kunnen procesparameters worden bij gesteld. Een kwaliteitsparameter is bijvoorbeeld de binnenradius of de buitenradius van de dye-laag (6). Een beïnvloedingsparameter is bijvoorbeeld informatie omtrent de voorgeschiedenis van het proces, zoals de stilstand en/of de stilstandsduur van de inrichting. Ook de omgevingstemperatuur, de 10 vochtigheid of informatie omtrent de afloop van voorgaande processtappen kunnen beïnvloedingsparameters zijn. Het bijstellen van de procesparameters op basis van de kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters kan inhouden dat bijvoorbeeld de positie van de dyespuitmond 2 ten opzichte van het substraat 1 wordt veranderd, waarbij 15 dit de meest belangrijke instelling is voor correctie van de radius. Daarnaast kan de rotatiesnelheid van het substraat 1 tijdens het opbrengen worden verhoogd of verlaagd, de druk van de dye tijdens het opbrengen op het substraat 1 wordt gewijzigd, maar ook de opbrengtijd van de dye of de hoeveelheid op te brengen dye worden aangepast.

20 In figuur 2 is hetzelfde substraat 1 weergegeven in een later stadium in het productieproces. De dye-laag 6 is door het met hoge snelheid roteren van het substraat 1 in de draairichting 7, door middel van een rotatievoorziening in het opbrengstation, over het substraatoppervlak in de richting van de buitenste rand 8 van het substraat 1 verdeeld; het 25 zogenaamde spin-coaten.

Figuur 3 toont het substraat 1 in een volgende productiestap waarbij een buitenste randgedeelte 9 van de dye-laag 6 wordt verwijderd door een dyeverwijderingsmiddel 10 op het randgedeelte 9 te spuiten met een verwijderingsmiddelspuitmond 11, zodat de dye-laag 6 een buitenradius 30 12 op het substraat verkrijgt, waarbij een meetvoorziening 14 is ingericht 1027448 9 voor het meten van de buitenradius als één van de genoemde kwaliteitsparameters. Ook voor deze bewerking geldt weer dat als er afwijkende metingen worden gedaan in de kwaliteitsparameters, deze metingen worden vertaald in het aanpassen van procesparameters. Deze 5 vertaalslag kan met behulp van fuzzy logic programmatuur worden gemaakt. Dit zou onder andere kunnen inhouden dat bijvoorbeeld de positie van de verwijderingsmiddelspuitmond of de rotatiesnelheid wordt veranderd. Maar dit zou ook kunnen betekenen dat de druk van het dyeverwijderingsmiddel tijdens het opbrengen op het substraat wordt 10 aangepast of de opbrengtijd van dyeverwijderingsmiddel wordt bijgesteld en eventueel zou ook de hoeveelheid op te brengen dyeverwijderingsmiddel kunnen worden veranderd

Het moge duidelijk zijn dat niet alleen bovenstaand uitvoeringsvoorbeeld binnen het raam van de uitvinding valt. Zo heeft de 15 onderhavige uitvinding ook betrekking op werkwijzen voor het aanbrengen van materiaallagen op substraten waarbij andere kwaliteitsparameters worden gebruikt als input voor het bijstellen van de procesparameters.

Daarnaast kan de uitvinding ook worden gebruikt om de radius van andere j lakken zoals UV lakken te bepalen en te regelen.

20 De meetvoorziening kan in een apart station zijn ondergebracht en kan bijvoorbeeld zijn uitgevoerd als een commercieel verkrijgbare dyescanner. Het behoort echter tevens tot de mogelijkheden om de meetvoorziening in het opbrengstation onder te brengen. Ook de verwijderingsmiddelspuitmond kan zowel in het opbrengstation als in een 25 apart materiaalverwijderingsstation zijn ondergebracht. In plaats van fuzzy logic programmatuur kunnen andere programma talen worden toegepast voor het realiseren van de besturing.

1027448

Claims (28)

1. Werkwijze voor het aanbrengen van een materiaallaag (6) op een schijfvormig substraat (1) ten behoeve van het vervaardigen van een informatiedrager, zoals bijvoorbeeld een DVD-R of een CD-R, waarbij het materiaal op het substraat (1) wordt opgebracht in een opbrengproces, 5 waarbij kwaliteitsparameters van de opgebrachte laag (6) en/of beïnvloedingsparameters met een in hoofdzaak bekende beïnvloedende werking op de kwaliteitsparameters worden gemeten en waarbij de meetgegevens worden verwerkt voor het aansturen van het opbrengproces.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij het opbrengproces het met 10 behulp van een materiaalspuitmond (2) aanbrengen van een streng materiaal (3) op het substraat (1) omvat, waarbij de binnencontour van de streng in hoofdzaak de binnenradius (5) van de laag materiaal (6) bepaalt, waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde binnenradius (5) is.

3. Werkwijze volgens conclusie 2, waarbij het opbrengproces het met hoge snelheid roteren van het substraat omvat voor het verdelen van de streng materiaal (3) over het substraatoppervlak, waarbij vervolgens een buitenste randgedeelte van de materiaallaag wordt verwijderd door een materiaalverwijderingsmiddel (10) op het randgedeelte (9) te spuiten met 20 een verwijderingsmiddelspuitmond (11), zodat de materiaallaag (6) een buitenradius (12) op het substraat (1) verkrijgt, waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde buitenradius (12) is.

4. Werkwijze volgens althans conclusie 2, waarbij het aansturen het positioneren van een materiaalspuitmond (2) ten opzichte van het substraat 25 (1) omvat. 1 0 27 44¾____ _

5. Werkwijze volgens één der conclusies 1-4, waarbij het aansturen het regelen van de rotatiesnelheid van het substraat (1) tijdens het opbrengen van het materiaal omvat.

6. Werkwijze volgens één der conclusies 1-5, waarbij het aansturen 5 het regelen van de druk van het materiaal (6) tijdens het opbrengen op het substraat (1) omvat.

7. Werkwijze volgens één der conclusies 1-6, waarbij het aansturen het regelen van de opbrengtijd van het materiaal omvat.

8. Werkwijze volgens één der conclusies 1-7, waarbij het aansturen 10 het regelen van de hoeveelheid op te brengen materiaal omvat.

9. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij het aansturen het positioneren van de verwijderingsmiddelspuitmond (11) ten opzichte van het substraat (1) omvat.

10. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij het aansturen het regelen 15 van de rotatiesnelheid van het substraat (1) tijdens het opbrengen van het materiaalverwijderingsmiddel (10) omvat.

11. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij het aansturen het regelen van de druk van het materiaalverwijderingsmiddel (10) tijdens het opbrengen op het substraat (1) omvat.

12. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij het aansturen het regelen van de opbrengtijd van het materiaalverwijderingsmiddel (10) omvat.

13. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij het aansturen het regelen van de hoeveelheid op te brengen materiaalverwijderingsmiddel (10) omvat.

14. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij het 25 aansturen van het opbrengproces het invoeren van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters in een fuzzy logic programma en het berekenen van procesparameters afhankelijk van deze meetgegevens omvat. _ 1 027 448_____

15. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij een genoemde beïnvloedingsparameter een informatiesignaal omtrent de voorgeschiedenis is.

16. Werkwijze volgens conclusie 15, met het kenmerk dat het 5 informatiesignaal informatie omtrent de stilstand en/of stilstandsduur van de inrichting omvat.

17. Werkwijze volgens één der conclusies 1-16, waarbij een genoemde beïnvloedingsparameter de omgevingstemperatuur is.

18. Werkwijze volgens één der conclusies 1-17, waarbij een genoemde 10 beïnvloedingsparameter de vochtigheid is.

19. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij een informatiesignaal informatie omtrent de afloop van voorafgaande processtappen omvat.

20. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij het 15 materiaal dye is.

21. Inrichting voor het aanbrengen van een materiaallaag op een schijfvormig substraat ten behoeve van het vervaardigen van een informatiedrager, zoals bijvoorbeeld een DVD-R of een CD-R, voorzien van ten minste één opbrengstation (O) voor het opbrengen van de materiaallaag 20 (6) op het substraat (1), één meetvoorziening (14) voor het meten van ten minste één kwaliteitsparameter van de opgebrachte laag (6) en/of beïnvloedingsparameters met een in hoofdzaak bekende beïnvloedende werking op de kwaliteitsparameters, en van een besturing (13) voor aansturing van het opbrengen van de materiaallaag (6) in afhankelijkheid 25 van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters.

22. Inrichting volgens conclusie 21, waarbij het opbrengstation (O), ten minste één materiaalspuitmond (2) omvat voor het aanbrengen van een streng materiaal (3) op het substraat (1), waarbij de binnencontour van de streng in hoofdzaak de binnenradius (5) van de laag materiaal (6) bepaalt, 1027448 waarbij één van de kwaliteitsparameters die wordt gemeten de genoemde binnenradius (5) is.

23. Inrichting volgens conclusie 22, waarbij het opbrengstation (O) een rotatievoorziening omvat voor het met hoge snelheid roteren van het 5 substraat voor het verdelen van de streng materiaal over het substraatoppervlak.

24. Inrichting volgens één der conclusies 21-23, voorzien van ten minste één verwijderingsmiddelspuitmond (11), die is ingericht voor het spuiten van een materiaalverwijderingsmiddel (10) op een buitenste 10 randgedeelte van de materiaallaag (6), ter verwijdering van de materiaallaag (6) aldaar, zodat de materiaallaag (6) een buitenradius (12) op het substraat (1) verkrijgt, waarbij de meetvoorziening (14) is ingericht voor het meten van de buitenradius (12) als één van de genoemde kwaliteitsparameters. 15 25-, Inrichting volgens één der conclusies 21-24, waarbij de besturing (13) fuzzy logic programmatuur bevat voor het in afhankelijkheid van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters aansturen van het opbrengproces.

26. Inrichting volgens één der conclusies 21-25, waarbij de besturing 20 (13) is ingericht voor het aan de hand van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters aansturen van althans één van de hierna volgende opbrengproces-beïnvloedende factoren: de rotatiesnelheid van het substraat (1) tijdens het opbrengen; de druk van het materiaal tijdens het opbrengen op het substraat; 25 - de opbrengtijd van het materiaal; en de opbrenghoeveelheid.

27. Inrichting volgens althans conclusie 22, waarbij de besturing (13) is ingericht voor het aan de hand van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters aansturen van althans de positie van de 30 materiaalspuitmond (2) 1027448

28. Inrichting volgens althans conclusie 23, waarbij de besturing (13) is ingericht voor het aan de hand van de gemeten kwaliteitsparameters en/of beïnvloedingsparameters aansturen van althans één van de hierna volgende opbrengproces-beïnvloedende factoren: 5. de positie van de verwijderingsmiddelspuitmond (11); de rotatiesnelheid van het substraat (1) tijdens het opbrengen van het materiaalverwijderingsmiddel (10); de druk van het dyeverwijderingsmiddel (10) tijdens het opbrengen daarvan; 10. de opbrengtijd van het materiaalverwijderingsmiddel (10); en de hoeveelheid op te brengen materiaalverwijderingsmiddel (10).

29. Inrichting volgens één der conclusies 21-28, waarbij het materiaal dye is. 15 1 027448 ..... ....