NL1018081C2 - Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen. Download PDF

Info

Publication number
NL1018081C2
NL1018081C2 NL1018081A NL1018081A NL1018081C2 NL 1018081 C2 NL1018081 C2 NL 1018081C2 NL 1018081 A NL1018081 A NL 1018081A NL 1018081 A NL1018081 A NL 1018081A NL 1018081 C2 NL1018081 C2 NL 1018081C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
layer
cathode
emitting
lif
cathode layer
Prior art date
Application number
NL1018081A
Other languages
English (en)
Other versions
NL1018081A1 (nl
Inventor
Werner Dr Humbs
Original Assignee
Samsung Sdi Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Sdi Co filed Critical Samsung Sdi Co
Publication of NL1018081A1 publication Critical patent/NL1018081A1/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL1018081C2 publication Critical patent/NL1018081C2/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
    • H10K71/221—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by lift-off techniques
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/82—Cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/10—Organic polymers or oligomers
    • H10K85/111—Organic polymers or oligomers comprising aromatic, heteroaromatic, or aryl chains, e.g. polyaniline, polyphenylene or polyphenylene vinylene
    • H10K85/113—Heteroaromatic compounds comprising sulfur or selene, e.g. polythiophene
    • H10K85/1135—Polyethylene dioxythiophene [PEDOT]; Derivatives thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/631—Amine compounds having at least two aryl rest on at least one amine-nitrogen atom, e.g. triphenylamine
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24273—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
    • Y10T428/24322—Composite web or sheet
    • Y10T428/24331—Composite web or sheet including nonapertured component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/2457—Parallel ribs and/or grooves
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
    • Y10T428/24612—Composite web or sheet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

Werkwijze voor. het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen
De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een 5 werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen, bijv. meerkleuren lichtdiode displays bestaande uit elektroluminescente polymeren of laagmoleculaire lichtgevende stoffen (OLED), sensorvelden, e.d..
10 Voor het vervaardigen van organische lichtdioden op polymere basis zijn werkwijzen bijv. volgens EP 0423283, WO 90/13148 of ÜS 5,869,350 bekend.
Het vervaardigen van organische lichtdioden op basis van laagmoleculaire lichtgevende stoffen is bijv. uit US 15 4,769,292 en US 4,720,432 bekend.
Tot dusver geschiedt de vervaardiging van kleuren polymere OLED's door drukprocessen, zoals inkjetprinters. Overeenkomstige werkwijzen zijn beschreven in EP 0940796, EP 09406797, WO 99/43031, WO 99/66483, WO 98/28946, US 20 6,087,196, WO 00/12226 en WO 00/19776. Bij het inkjetprinten wordt door middel van een inkjetprinter een polymeerdruppel voor elke pixel op een substraat aangebracht. De ordening kan daarbij zo gekozen zijn, dat de polymeerdruppels tussen twee elektroden in een gemeenschappelijk vlak of elektroden 25 en polymeer op elkaar liggen, waarbij dan een elektrode van transparant materiaal is vervaardigd. Door verschillend gekleurde licht-emitterende pixels in een matrix te ordenen ontstaat zo een kleuren-OLED-beeldscherm.
Volgens EP 0908725 wordt op dezelfde wijze een sensor-30 veld met verschillende soorten polymeren vervaardigd, doordat polymeerdruppels door middel van een inkjetprinter tussen twee aan elkaar grenzende op een substraat aangebrachte micro-elektroden worden gestraald.
De efficiëntie van door inkjetprinten gemaakte polymere 35 films is veel geringer dan die van erop geslingerde polymere 1018081 ι 2 lagen. Bovendien, worden voor de inkjet-werkwijze speciale eisen aan de polymeeroplossing gesteld, zoals bijv. het gebruik van oplosmiddel met hoog kookpunt, een hoge mate van stabiliteit bij de druppelvorming, een goede bevochti-5 ging van het substraatoppervlak evenals bevochtiging van de drukkoppen. Dit vereist een kostbare optimalisering van aanwezige polymeeroplossingen. Bovendien moet het substraat, waarop de polymeren worden gestraald, pixels met caviteiten bezitten, waarin de druppel wordt gedrukt, opdat deze niet 10 uiteenvalt en een aangrenzende pixel inloopt. Bij steeds hogere resoluties bij beeldschermen moeten steeds kleinere pixels, die steeds dichter bij elkaar liggen, op de substraten worden aangebracht. Daarbij bereikt men de fysische . grens, wat de grootte van de druppels bij een bepaalde 15 viscositeit van de polymeeroplossing en de bijbehorende drukkoptechniek betreft. Dit heeft tot gevolg, dat een druppel onvermijdelijk de aangrenzende pixel raakt en het display onbruikbaar wordt.
Het vervaardigen van kleuren-OLED's op basis van laag-20 moleculaire lichtgevende stoffen wordt door het verdampen van de lichtgevende stoffen onder toepassing van schaduwmas-kers gerealiseerd. Deze techniek is beschreven in de US-octrooischriften US 6,153,254 en US 2,742,129.
Bij het verdampen van laagmoleculaire lichtgevende 25 stoffen gebruikt men schaduwmaskers voor het structureren van de afzonderlijke kleuren. Dit heeft tot gevolg, dat voor de verschillende verlangde kleuren rood, groen en blauw verschillende schaduwmaskers moeten worden gebruikt, hetgeen een aanvullende kostenfactor betekent. Deze schaduwmaskers 30 worden bij het verdampen blootgesteld aan een thermische spanning en bovendien worden ze mettertijd door de verdampte stoffen vervuild. Dit vereist kostbare reiniging van de schaduwmaskers en het regelmatig vervangen van deze schaduwmaskers. Wanneer grotere schaduwmaskers voor grotere sub-35 straten worden gebruikt, vormt de zwaartekracht een aanvul-j lend probleem, aangezien de schaduwmaskers neigen door te !_-. _________________.______.___________ 3 hangen en de resolutie in het midden van de te coaten substraten niet meer gewaarborgd is.
De toepassing van laserablatie bij organische lichtdio-den wordt beschreven in EP 0758192, WO 98/53510 evenals in 5 de publicatie van Noah et al., Applied Physics Letters, Vol. 69, nr. 24, 1996, pagina's 3650-3652. Door het gebruik van laserablatie kunnen OLED's worden vervaardigd, waarvan de lagenvolgorde anode, licht-emitterende laag en kathode op elkaar aangebracht is. Op een transparant substraat wordt 10 daarbij een eveneens transparante anodelaag aangebracht, daarop dan een samenhangende licht-emitterende laag en daarop een metallische kathodelaag. Door middel van laser wordt dan de kathodelaag en de licht-emitterende laag gescheiden in afzonderlijke pixels. De methode is vanwege de 15 gelijksoortige licht-emitterende laag alleen geschikt voor het vervaardigen van afzonderlijke OLED's of eenkleurige OLED-displays.
De uitvinding heeft tot doel, een werkwijze aan te geven, waarmee hoogwaardige matrixordeningen op basis van 20 organische, geleidende materialen, dat wil zeggen met een hoge pixel-resolutie, met eenvoudige technologische middelen kunnen worden vervaardigd.
Volgens de onderhavige uitvinding wordt dit doel bereikt door de. maatregelen van conclusie 1. Doelmatige uit-25 voeringsvormen zijn voorwerp van de volgconclusies.
De werkwijze bestaat uit een combinatie van het opslingeren (spin coating) of opdampen van organisch materiaal, bijv. elektroluminescente polymeren resp. laagmoleculaire lichtgevende stoffen, en laser-ablatie.
30 Voor een kleuren-beeldscherm zijn daarbij in principe acht stappen nodig. Voorwaarde is eerst een voor organische lichtdioden benodigd glassubstraat, dat reeds gecoat is met een transparante anode, in het algemeen indiumtinoxide (ITO), evenals doelmatig met een gaten-transportlaag, in het 35 algemeen polyethyleendioxythiofeen (PEDOT), polyaniline (PANI) of tetrafenyldiamine (TPD) en triarylamine en waarop 4 zich een voorgestructureerde fotolaklaag bevindt. Deze fotolaklaag vormt kanalen, waarin later de afzonderlijke licht-emitterende polymeren of laagmoleculaire lichtgevende stoffen worden opgebracht (rood, groen en blauw).
5 Bij het gebruik van licht-emitterende polymeer wordt bijv. eerst een van de polymeren, bijv. de rood emitterende, over het gehele oppervlak op het substraat geslingerd. Vervolgens wordt over het gehele oppervlak de kathode opgedampt. De kathode bestaat typisch uit LiF/Al, Ca/Ag, Ca/Al, 10 LiF/Ca/Ag, Yb/Al, Yb/Ag, LiF/Yb/Al, LiF/Yb/Ag of een ander geschikt kathodemateriaal. Daarna worden de lijnen, waarin later de een andere kleur emitterende polymeren worden opgebracht, met behulp van laser-ablatie vrijgemaakt. Daarbij wordt het vermogen van de laser zodanig ingesteld, dat 15 alleen metaal en licht-emitterende polymeer worden geabla-teerd, maar niet de gaten-transport laag. Dit geldt voor alle verdere ablatie-stappen. Als volgende wordt de tweede polymeer, bijv. de groen emitterende, over het gehele oppervlak op het substraat geslingerd. Vervolgens wordt weer over het 20 gehele oppervlak de kathode opgedampt. Daarna worden de lijnen, waarin later de laatste een andere kleur emitterende polymeer wordt opgebracht, met behulp van laser-ablatie vrijgemaakt. Als voorlaatste stap wordt bijv. de blauw emitterende polymeer over het gehele oppervlak op het sub-25 straat geslingerd. Tenslotte wordt weer over het gehele oppervlak de kathode opgedampt. Na het aansluiten van de contacten en het aansturen van de pixels verkrijgt men een kleuren OLED display.
Het erop slingeren (spin-coating) van polymere films is 3 0 een techniek, die ten aanzien van de efficiëntie en homogeniteit kwalitatief hoogwaardige licht emitterende polymeer-films oplevert. Verder valt het probleem van de positionering van . druppels weg, dat bij de inkjet-drukwerkwijze optrad. Bovendien kunnen in de handel verkrijgbare polymeren 35 of polymeeroplossingen worden gebruikt, zonder deze ten aanzien van de druppelvorming te hoeven optimaliseren of 5 veranderen. Bovendien is het met de beschikbare lasertechniek mogelijk, om structuren in het gebied van sub-microme-ters te ablateren. Dit heeft tot gevolg, dat zonder meer beeldschermen met de hoogste resolutie kunnen worden ver-5 vaardigd. Ook de toepassing op grotere substraten is gewaarborgd, aangezien enerzijds de' mogelijkheid bestaat, om de laser over het te structurerende substraat te laten scannen of anderzijds de laserstralen zover te verbreden, dat ze over het gehele substraat reiken.
10 De werkwijze zal vervolgens aan de hand van een in de tekeningen getoond uitvoeringsvoorbeeld nader worden toegelicht. Daarbij toont fig. l een voor de werkwijze voorbehandeld substraat van een OLED-display; 15 fig. 2 het OLED-display volgens de eerste werkwijze stap ; fig. 3 het OLED-display volgens de tweede werkwijzestap ; fig. 4 het OLED-display volgens de derde werkwijze- 20 stap; fig. 5 het OLED-display volgens de vierde werkwijzestap ; fig. 6 het OLED-display volgens de vijfde werkwijzestap ; 25 fig. 7 het OLED-display volgens de zesde werkwijze stap ; fig. 8 het OLED-display volgens de zevende werkwijzestap; en fig. 9 het voltooide OLED-display volgens de achtste 30 werkwijzestap.
Fig. 1 toont een voor organische lichtdioden benodigd glassubstraat l, dat is gecoat met een transparante anode van indiumtinoxide (ITO) evenals met een gaten-transportlaag van tetrafenyldiamine (TPD) en triarylamidine (laatstgenoem- 35 de niet weergegeven) en waarop zich een voorgestructureerde fotolaklaag 2 bevindt. De fotolaklaag 2 vormt kanalen, 6 waarin de afzonderlijke licht emitterende lagen (polymeren of laagmoleculaire lichtgevende stoffen) worden opgebracht (rood, groen en blauw). In het getoonde geval moet de licht emitterende laag een laagmoleculaire lichtgevende stof 3 5 zijn.
Eerst wordt een van de' laagmoleculaire lichtgevende stoffen, bijv. de rood emitterende lichtgevende stof 3, over het gehele oppervlak van het substraat 1 opgedampt (fig. 2) . Vervolgens wordt over het gehele oppervlak een kathodelaag 4 10 opgedampt (fig. 3). Daarna worden de lijnen, waarin later de een andere kleur emitterende laagmoleculaire lichtgevende stoffen moeten worden opgebracht, met behulp van laser-ablatie weer vrijgemaakt (fig. 4). Daarbij wordt het vermogen van de laser zo ingesteld, dat alleen metaal van de 15 kathodelaag 4 wordt geablateerd, maar niet de gaten-trans-portlaag. Dit geldt voor alle verdere ablatie-stappen. Als volgende wordt de tweede laagmoleculaire lichtgevende stof, bijv. de groen emitterende lichtgevende stof 5, over het gehele oppervlak van het substraat 1 opgedampt (fig. 5) . 20 Vervolgens wordt wederom over het gehele oppervlak de kathodelaag 4 opgedampt (fig. 6). Daarna worden de lijnen, waarin later de derde, een andere kleur emitterende laagmoleculaire lichtgevende stof moet worden opgebracht, met behulp van laser-ablatie vrijgemaakt (fig. 7) . Als voorlaatste stap 25 wordt de blauw emitterende laagmoleculaire lichtgevende stof 6 over het gehele oppervlak van het substraat 1 opgedampt (fig. 8) . Tenslotte wordt wederom over het gehele oppervlak de kathodelaag 4 opgedampt (fig. 9) . Na het aansluiten van de contacten en het aansturen van de afzonderlijke pixels 30 verkrijgt men een kleuren-OLED display.
- conclusies - 1018081

Claims (16)

1. Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordenin-gen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen, waarbij op een substraat (1) over het gehele 5 oppervlak een anodelaag evenals een gestructureerde fotolak-laag (2) , waarvan de structuur overeenkomt met een pixelma-trix, worden aangebracht, vervolgens een eerste laag (3) van een organisch materiaal wordt opgebracht en een metallische kathodelaag (4) wordt opgedampt, daarna door middel van 10 laser-ablatie in de gebieden, die voor andersoortige pixels zijn verschaft, de kathodelaag (4) en de zich daaronder bevindende eerste laag (3) van het organische materiaal weer worden weggehaald, vervolgens een laag (5) van een verder, andersoortig organisch materiaal wordt opgebracht en wederom 15 een metallische kathodelaag (4) wordt opgedampt en het proces van laser-ablatie in de gebieden, die voor andersoortige pixels zijn verschaft, en het opbrengen van een verdere organische laag (6) en het opdampen van een kathodelaag (4) overeenkomstig het aantal verschillende soorten pixels wordt 20 herhaald.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat voor de anodelaag een transparant materiaal wordt gebruikt.
3. Werkwijze volgens conclusie 1 en 2, met het kenmerk, dat als organisch materiaal polymere of laagmoleculai- 25 re lichtgevende stoffen (3, 5, 6) worden gebruikt.
4. Werkwijze volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat tussen anodelaag en de licht emitterende lagen (3, 5, 6) een gaten-transportlaag wordt opgebracht.
5. Werkwijze volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat 30 de licht emitterende laag (3, 5, 6) een erop geslingerde elektroluminescente polymeer is. 1018081
6. Werkwijze volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de licht emitterende laag (3, 5, 6) een opgedampte laagmo- leculaire lichtgevende stof is.
7. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat 5 de gaten-transportlaag uit polyethyleendioxythiofeen bestaat .
8. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat de gaten-transportlaag uit polyaniline bestaat.
9. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat 10 de gaten-transportlaag bestaat uit tetrafenyldiamine en triarylamine.
10. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de kathodelaag (4) bestaat uit LiF/Al.
11. Werkwijze volgens een der conclusies 1 tot 9, met 15 het kenmerk, dat de kathodelaag (4) bestaat uit Ca/Ag of Ca/Al.
12. Werkwijze volgens een der conclusies 1 tot 9, met het kenmerk, dat de kathodelaag (4) bestaat uit LiF/Ca/Al of LiF/Ca/Ag bestaat.
13. Werkwijze volgens een der conclusies 1 tot 9, met het kenmerk, dat de kathodelaag (4) bestaat uit Yb/Al of Yb/Ag.
14. Werkwijze volgens een der conclusies 1 tot 9, met het kenmerk, dat de kathode uit Lif/Yb/Al of LiF/Yb/Ag 25 bestaat.
15. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het vermogen van de laser bij de laser- ablatie zodanig wordt ingesteld, dat alleen de kathodelaag (4) en de zich daaronder bevindende organische laag (3, 5, 6. worden weggehaald.
16. Werkwijze volgens een der conclusies 2 tot 15, met 5 het kenmerk, dat als anodelaagmateriaal indiumtinoxide wordt gebruikt. 1018081
NL1018081A 2001-04-09 2001-05-15 Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen. NL1018081C2 (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10117663A DE10117663B4 (de) 2001-04-09 2001-04-09 Verfahren zur Herstellung von Matrixanordnungen auf Basis verschiedenartiger organischer leitfähiger Materialien
DE10117663 2001-04-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL1018081A1 NL1018081A1 (nl) 2002-10-10
NL1018081C2 true NL1018081C2 (nl) 2006-10-09

Family

ID=7680950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1018081A NL1018081C2 (nl) 2001-04-09 2001-05-15 Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6924025B2 (nl)
JP (1) JP4092126B2 (nl)
KR (1) KR100580537B1 (nl)
DE (1) DE10117663B4 (nl)
NL (1) NL1018081C2 (nl)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004506985A (ja) 2000-08-18 2004-03-04 シーメンス　アクチエンゲゼルシヤフト 封入された有機電子構成素子、その製造方法および使用
DE10061299A1 (de) 2000-12-08 2002-06-27 Siemens Ag Vorrichtung zur Feststellung und/oder Weiterleitung zumindest eines Umwelteinflusses, Herstellungsverfahren und Verwendung dazu
DE10226370B4 (de) 2002-06-13 2008-12-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Substrat für ein elektronisches Bauteil, Verwendung des Substrates, Verfahren zur Erhöhung der Ladungsträgermobilität und Organischer Feld-Effekt Transistor (OFET)
US8044517B2 (en) 2002-07-29 2011-10-25 Polyic Gmbh & Co. Kg Electronic component comprising predominantly organic functional materials and a method for the production thereof
DE50306538D1 (de) 2002-11-19 2007-03-29 Polyic Gmbh & Co Kg Organische elektronische schaltung mit stukturierter halbleitender funktionsschicht und herstellungsverfahren dazu
DE10302149A1 (de) 2003-01-21 2005-08-25 Siemens Ag Verwendung leitfähiger Carbon-black/Graphit-Mischungen für die Herstellung von low-cost Elektronik
GB0302550D0 (en) * 2003-02-05 2003-03-12 Cambridge Display Tech Ltd Organic optoelectronic device
DE10321152A1 (de) * 2003-05-12 2004-12-23 Schreiner Group Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Bearbeiten eines elektrolumineszierenden Elements und nach diesem Verfahren bearbeitetes elektrolumineszierendes Element
DE10324880B4 (de) * 2003-05-30 2007-04-05 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von OLEDs
DE10340643B4 (de) 2003-09-03 2009-04-16 Polyic Gmbh & Co. Kg Druckverfahren zur Herstellung einer Doppelschicht für Polymerelektronik-Schaltungen, sowie dadurch hergestelltes elektronisches Bauelement mit Doppelschicht
US8119254B2 (en) * 2003-09-05 2012-02-21 City University Of Hong Kong Organic electroluminescent devices formed with rare-earth metal containing cathode
KR20050068860A (ko) * 2003-12-30 2005-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 듀얼 플레이트 유기전계 발광소자용 상부기판 및 그의제조방법
GB0408569D0 (en) * 2004-04-16 2004-05-19 Exitech Ltd Method of patterning a functional material on to a substrate
DE102004040831A1 (de) 2004-08-23 2006-03-09 Polyic Gmbh & Co. Kg Funketikettfähige Umverpackung
DE102004059465A1 (de) 2004-12-10 2006-06-14 Polyic Gmbh & Co. Kg Erkennungssystem
DE102004059464A1 (de) 2004-12-10 2006-06-29 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbauteil mit Modulator
DE102004063435A1 (de) 2004-12-23 2006-07-27 Polyic Gmbh & Co. Kg Organischer Gleichrichter
KR100611673B1 (ko) * 2005-01-31 2006-08-10 삼성에스디아이 주식회사 박막 형성 방법 및 유기전계발광소자의 제조 방법
DE102005009819A1 (de) 2005-03-01 2006-09-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbaugruppe
US20060250079A1 (en) * 2005-04-05 2006-11-09 The Hong Kong University Of Science And Technology Intermediate layers treated by cf4-plasma for stacked organic light-emitting devices
DE102005017655B4 (de) 2005-04-15 2008-12-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Mehrschichtiger Verbundkörper mit elektronischer Funktion
GB2426376B (en) * 2005-05-19 2008-12-03 Cdt Oxford Ltd Light-emitting device
DE102005031448A1 (de) 2005-07-04 2007-01-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Aktivierbare optische Schicht
DE102005035589A1 (de) 2005-07-29 2007-02-01 Polyic Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements
DE102005044306A1 (de) 2005-09-16 2007-03-22 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronische Schaltung und Verfahren zur Herstellung einer solchen
EP1775780A1 (en) * 2005-10-14 2007-04-18 STMicroelectronics S.r.l. Organic electroluminescent device and process for manufacturing the device
US7808177B2 (en) * 2006-01-16 2010-10-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Display device and method of manufacturing
KR100825753B1 (ko) * 2006-11-21 2008-04-29 한국전자통신연구원 전도성 고분자를 포함하는 도전 패턴 형성 방법 및 이를이용한 분자 전자소자의 제조 방법
KR100843552B1 (ko) * 2007-07-19 2008-07-04 한국전자통신연구원 나노 임프린트 공정을 이용한 나노 전극선 제조 방법
KR100993426B1 (ko) * 2008-11-10 2010-11-09 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법
KR101213498B1 (ko) * 2010-10-25 2012-12-20 삼성디스플레이 주식회사 유기 전계 발광 장치
KR101429725B1 (ko) * 2012-10-31 2014-08-12 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 이의 제조방법
KR102085153B1 (ko) * 2013-11-29 2020-03-05 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 장치
CN114089597A (zh) * 2013-12-19 2022-02-25 Illumina公司 包括纳米图案化表面的基底及其制备方法
KR102126382B1 (ko) * 2014-02-19 2020-06-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102299838B1 (ko) * 2014-10-31 2021-09-07 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 소자 및 그의 제조 방법
WO2017010488A1 (ja) * 2015-07-14 2017-01-19 シャープ株式会社 表示装置および表示装置の製造方法
DE102017119311B4 (de) * 2017-08-23 2019-03-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines mehrfarbig leuchtenden Bauelements
CN107785504B (zh) * 2017-10-20 2020-08-25 东莞理工学院 一种oled器件的制备方法
KR102450340B1 (ko) 2017-11-30 2022-10-04 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 소자 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치
CN109860433B (zh) * 2019-01-09 2021-06-11 云谷（固安）科技有限公司 显示面板、其制作方法及显示装置
CN109801562B (zh) * 2019-02-27 2021-06-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示基板、显示面板及其制作方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08222371A (ja) * 1995-02-13 1996-08-30 Idemitsu Kosan Co Ltd エレクトロルミネッセンス素子の微細パターン化方法及びそれより得られた素子
WO1999003157A1 (en) * 1997-07-11 1999-01-21 Fed Corporation Laser ablation method to fabricate color organic light emitting diode displays
EP0966182A1 (en) * 1998-06-17 1999-12-22 Lg Electronics Inc. Method of fabricating organic electroluminescent display panel

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4720432A (en) * 1987-02-11 1988-01-19 Eastman Kodak Company Electroluminescent device with organic luminescent medium
US4769292A (en) * 1987-03-02 1988-09-06 Eastman Kodak Company Electroluminescent device with modified thin film luminescent zone
GB8909011D0 (en) 1989-04-20 1989-06-07 Friend Richard H Electroluminescent devices
US5408109A (en) * 1991-02-27 1995-04-18 The Regents Of The University Of California Visible light emitting diodes fabricated from soluble semiconducting polymers
US5707745A (en) * 1994-12-13 1998-01-13 The Trustees Of Princeton University Multicolor organic light emitting devices
JP3401356B2 (ja) * 1995-02-21 2003-04-28 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
US5693962A (en) * 1995-03-22 1997-12-02 Motorola Full color organic light emitting diode array
JP4124379B2 (ja) 1995-08-08 2008-07-23 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネセンス素子
US6013982A (en) 1996-12-23 2000-01-11 The Trustees Of Princeton University Multicolor display devices
GB9710344D0 (en) 1997-05-21 1997-07-16 Cambridge Display Tech Ltd Patterning of organic light-emitting devices
JP3580092B2 (ja) 1997-08-21 2004-10-20 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
WO1999010862A1 (fr) 1997-08-21 1999-03-04 Seiko Epson Corporation Afficheur a matrice active
US6278237B1 (en) * 1997-09-22 2001-08-21 Emagin Corporation Laterally structured high resolution multicolor organic electroluminescence display device
US6087196A (en) * 1998-01-30 2000-07-11 The Trustees Of Princeton University Fabrication of organic semiconductor devices using ink jet printing
GB9803763D0 (en) 1998-02-23 1998-04-15 Cambridge Display Tech Ltd Display devices
CN1293784C (zh) 1998-03-17 2007-01-03 精工爱普生株式会社 薄膜构图衬底、薄膜形成方法和薄膜元件
GB9813326D0 (en) 1998-06-19 1998-08-19 Cambridge Display Tech Ltd Backlit displays
US6127693A (en) * 1998-07-02 2000-10-03 National Science Council Of Republic Of China Light emitting diode with blue light and red light emitting polymers
WO2000012226A1 (en) 1998-08-28 2000-03-09 Fed Corporation Full color organic light emitting diode display and method for making the same using inkjet fabrication
TW431117B (en) * 1998-09-30 2001-04-21 Koninkl Philips Electronics Nv Method and device for manufacturing an electroluminescent display screen

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08222371A (ja) * 1995-02-13 1996-08-30 Idemitsu Kosan Co Ltd エレクトロルミネッセンス素子の微細パターン化方法及びそれより得られた素子
WO1999003157A1 (en) * 1997-07-11 1999-01-21 Fed Corporation Laser ablation method to fabricate color organic light emitting diode displays
EP0966182A1 (en) * 1998-06-17 1999-12-22 Lg Electronics Inc. Method of fabricating organic electroluminescent display panel

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Microfabrication of an electroluminescent polymer light emitting diode pixel array", APPLIED PHYSICS LETTERS, AIP, AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS, MELVILLE, NY, US, vol. 69, no. 24, 9 December 1996 (1996-12-09), pages 3650, XP012016774, ISSN: 0003-6951 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 12 26 December 1996 (1996-12-26) *

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002324672A (ja) 2002-11-08
NL1018081A1 (nl) 2002-10-10
DE10117663B4 (de) 2004-09-02
US6924025B2 (en) 2005-08-02
KR20020079342A (ko) 2002-10-19
US20020145381A1 (en) 2002-10-10
KR100580537B1 (ko) 2006-05-16
JP4092126B2 (ja) 2008-05-28
DE10117663A1 (de) 2002-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1018081C2 (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van matrixordeningen op basis van verschillende soorten organische geleidende materialen.
KR100495744B1 (ko) 유기 ｅｌ 소자의 제조 방법 및 유기 ｅｌ 소자
JP3900724B2 (ja) 有機ｅｌ素子の製造方法および有機ｅｌ表示装置
US6395328B1 (en) Organic light emitting diode color display
KR100403544B1 (ko) 유기발광소자의 제조방법
EP2151867B1 (en) Organic el display panel
US6774392B2 (en) Organic light emitting diode and method for producing the same
US6939732B2 (en) Organic, colored, electroluminescent display and the production thereof
JP2004516641A (ja) 電解発光装置およびその製造方法
JP2004534676A (ja) 基板−帯材に連続的に印刷を行う装置および方法
WO2010048269A2 (en) Multicolor electronic devices and processes of forming the same by printing
JP4427321B2 (ja) 有機エレクトロルミネセンスディスプレー及びその製造
US20060156972A1 (en) Organic light-emitting panel, package process for organic light-emitting panel and coating apparatus thereof
WO2013043537A1 (en) Ovjp patterning of electronic devices
KR20060033554A (ko) 레이저 열전사 장치 및 이를 이용한 유기전계 발광 소자의제조 방법
JP2001195012A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法
JP2001291584A (ja) 電気光学装置部品の製造方法
JP2004535044A (ja) 有機エレクトロルミネセンスディスプレー及びその製造
US7619243B2 (en) Color organic electroluminescent display and method for fabricating the same
JP2002343567A (ja) 有機ｅｌ素子、露光装置、発光装置の製造方法
KR100515822B1 (ko) 고분자 유기 전자발광소자의 제조방법
JP2009302016A (ja) 有機ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法
KR100407537B1 (ko) 유기전계발광소자와 그 제조방법
Wolk Patterning of OLED Device Materials
JP2008204888A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AD1A A request for search or an international type search has been filed
RD2N Patents in respect of which a decision has been taken or a report has been made (novelty report)

Effective date: 20060731

PD2B A search report has been drawn up
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20101201