KR100407537B1 - 유기전계발광소자와 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로, 특히 단순한 공정으로 서로 다른 빛을 발광하는 다수의 유기막 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.

기판 상에 다수의 화소를 정의하고, 각 화소마다 적색 빛과 녹색 빛과 청색빛을 발광하는 유기막 패턴을 형성하는데 있어서, 소정의 패턴(pattern)을 형성하기 위한 마스크와 개선된 고분자 유기물질 분사수단을 이용하여 유기막을 패턴한다.

이와 같이 하면, 단순한 공정으로 풀 컬러를 표시하는 유기전계발광소자를 제작하는 것이 가능하므로 제품의 수율을 개선할 수 있다.

Description

유기전계발광소자와 그 제조방법{The organic electro-luminescence device and method of fabricating the same}

본 발명은 유기전계발광소자(organic electro-luminescent)에 관한 것으로 특히, 컬러 유기전계발광소자에 관한 것이다.

일반적으로, 유기전계발광소자는 전자(electron) 주입전극(cathode)과 정공(hole) 주입전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.

이러한 원리로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다.

상기 유기전계 발광소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스형(passive matrix type)과 능동 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다.

상기 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자는 그 구성이 단순하여 제조방법 또한 단순 하나 높은 소비전력과 표시소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할 수록 개구율이 저하되는 단점이 있다.

따라서, 소형의 표시소자에 적용할 경우에는 상기 수동 매트릭스형 유기전계발광소자를 사용하는 반면, 대면적의 표시소자에 적용할 경우에는 상기 능동매트릭스형 유기전계 발광소자를 사용한다.

이하, 상기 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자와 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자를 개략적으로 설명한다.

도 1은 일반적인 컬러 수동 매트릭스형 유기전계발광소자의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.

일반적으로, 수동 매트릭스형 유기전계발광소자의 평면적인 구성은 기판(2) 상에 서로 이격하여 일 방향으로 구성된 다수의 제 1 전극(4)과, 상기 제 1 전극 (4)상부에 유기막(8)을 구성한다.

상기 유기막의 상부에는 상기 제 1 전극과 수직하게 교차하여 일 방향으로 소정간격 이격된 제 2 전극(10)이 구성된다.

이때, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 각각 겹치는 면적이 적색과 녹색과 청색을 표시하는 각 화소(R_P,G_P,B_P)로 정의된다.

전술한 구성에서, 상기 유기막(8)은 홀 수송층(8a)과 발광층(8b)과 전자 수송층(8c)으로 구성된다.

상기 제 1 전극(4)은 상기 홀 수송층(8a)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극이고, 상기 제 2 전극(10)은 상기 전자 수송층(8c)에 전자(electron)를 주입하는 전자 주입전극의 기능을 한다.

상기 발광층은 인가된 전기장에 의해 적색빛을 발광하는 적색 발광층과, 녹색빛을 발광하는 녹색 발광층과, 청색빛을 발광하는 청색발광층으로 구성되며 각 화소마다 독립적으로 패턴되어 형성된다.

이하, 도 2는 능동 매트릭스형(active matrix type) 유기전계발광소자의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.

도시한 바와 같이, 기판(11)상에 정의된 화소영역(R_P,G_P,B_P)마다 구동소자인 박막트랜지스터(T)가 구성된다.

상기 박막트랜지스터(T)는 게이트전극(12)과 소스전극(14)및 드레인전극(16)으로 구성되며, 상기 소스전극(14)및 드레인전극(16) 사이에는 액티브층(18)이 구성된다.

상기 화소영역(R_P,G_P,B_P)은 상기 드레인전극(16)과 접촉하고 유기막에 홀(hole)을 주입하는 제 1 전극(20)과, 상기 제 1 전극(20)의 상부에 구성되는 다층 또는 단층의 유기막(22)과, 상기 유기막(22)의 상부에는 전자(electron)를 주입하는 제 2 전극(24)이 구성된다.

상기 유기막(22)이 다층으로 구성될 경우에는 앞서 설명한 바와 같이, 홀 수송층(Hole Transporting Layer)(22a)과 발광체(22b)와 전자 수송층(Electron Transporting Layer : ETL)(22c)으로 구성된다.

전술한 수동 유기전계발광소자와 능동 유기전계발광소자의 공통적인 동작을 이하 개략적으로 설명한다.

(상기 유기막이 전술한 바와 같은 다층 구성일 경우를 예를 들어 설명한다.)

상기 제 1 전극(4, 20)과 제 2 전극(10, 24)사이에 전기장이 형성되면, 상기 제 1 전극(4, 20)을 통해 상기 유기막(8, 22)중 홀 수송층(8a,22a)에 주입된 홀과 상기 제 2 전극(10,24)을 통해 상기 전자 수송층(8c,22c)에 주입된 전자는 상기 발광층(8b, 22b)에서 만나게 되며, 이때 상기 발광층(8b, 22b)에서 전자와 홀이 결합하여 높은 에너지를 가지는 여기자를 생성하게 되고 이때, 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 고유의 빛을 발광하게 된다.

전술한 공정에서, 상기 발광층을 패턴하는 방법은 다양하며 상기 발광층을 고분자 유기물질로 형성할 경우는 도포(塗布)의 방법을 사용하게 된다.

기존에는 상기 고분자 물질을 도포하는 방법으로 스핀 코팅방법(spin coating method)을 사용하였다.

이하, 도 3은 스핀코팅방법을 사용한 고분자 유기물질 도포방법을 도시한 도면이다.

스핀코팅(spin coating)장치(100)는 개략적으로 기판(102)을 고정하는 고정수단(104)과, 상기 고정수단(104)을 회전하도록 하는 회전수단(106)과 도면에는 도시되지 않은 그 외의 장치로 구성된다.

상기 스핀코팅장치(100)를 이용한 스핀코팅방법은, 도시한 바와 같이, 상기 회전수단(104)의 상부에 위치한 노즐(nozzle)(108)을 통해 고분자 유기물질(110)을 상기 기판(102)의 중앙에 떨어뜨린다.

다음으로, 상기 스핀코팅장치(100)의 회전수단(106)을 통해 상기고정수단(104)을 임의의 속도로 회전시킨다.

동시에, 상기 기판(102)이 회전하면서 기판(102)상부에 있던 고분자 방울(110)이 기판(102)의 전면적으로 퍼지게 된다.

이와 같은 코팅방법으로, 상기 고분자의 농도에 따라 코팅횟수를 달리하여 기판(102)상에 고분자 유기막을 형성하게 된다.

종래에는 이와 같은 방법으로, 상기 고분자 유기막을 형성한 후 패턴하여 기판의 각 화소마다 원하는 색을 발광하는 유기막 패턴(발광패턴)을 별도로 형성하였다.

그러나, 전술한 바와 같은 스핀 코팅방법은 여러 제한적 요인들에 의해 대면적 기판에는 적합하지 않고, 또한 유기막을 기판에 형성하였다 하여도 다수의 화소에 개별적으로 유기막 패턴(발광패턴)을 형성하는 것이 쉽지 않은 문제가 있다.

도 1은 수동 매트릭스형 유기전계발광소자를 도시한 단면도이고,

도 2는 능동 매트릭스형 유기전계발광소자를 도시한 단면도이고,

도 3은 종래에 따라 유기막 패턴(발광패턴)을 형성하는 방법을 도시한 도면이고,

도 4는 본 발명에 따른 유기막패턴(발광패턴)을 형성하는 방법을 도시한 도면이고,

도 5는 본 발명에 따른 분사수단의 분사부를 도시한 도면이고,

도 6은 단면으로 표현된 분사수단의 각 영역과, 상기 각 영역을 통과한 고분자 물질이 기판에 도포된 분포를 도시한 도면이다.

도 7은 본 발명에 따른 고분자 유기물질 분사수단을 도시한 도면이고,

도 8a 내지 도 8b는 본 발명에 따른 수동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제작공정을 순서대로 도시한 공정 단면도이고,

도 9a 내지 도 9d는 본 발명에 따른 능동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제 작공정을 순서대로 도시한 공정 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>

200 : 어레이 구성기판 202 : 마스크

204 : 고분자 유기물질 206 : 고분자 유기물질 분사수단.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제 1 특징에 다른 수동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계와; 상기 기판을 각각 적색, 녹색, 청색을 표현하기 위한 다수의 화소로 정의하는 단계와; 상기 기판 상에 가로방향으로 서로 이격하여 구성된 홀 주입전 극인 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극의 상부에 적색을 표시하는 화소에 대응하는 부분이 투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와; 상기 마스크의 상부에 고분자 유기물질이 높은 압력으로 통과하는 소정높이를 가지는 원통형상의 통과부와, 상기 통과부의 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 소정간격 이격하여 하나로 겹쳐진 분사부로 구성된 분사수단과; 상기 분사수단을 통해 고분자 유기물질을 상기 마스크에 분사함으로써 적색을 표시하는 화소에 적색 발광패턴을 형성하는 단계와; 상기 적색 발광패턴을 형성한 공정과 동일한 공정으로 상기 녹색과 청색을 표시하는 화소에 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴을 형성하는 단계와; 상기 적색 발광패턴과 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴의 상부에 각각 전자를 주입하는 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 제 2 특징에 따른 능동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계와; 기판에 청색과 녹색과 적색을 표시하는 다수의 화소를 정의하는 단계와; 상기 다수의 화소가 정의된 기판 상에 액티브층과 게이트전극과 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 구동소자를 형성하는 단계와; 상기 구동소자의 드레인전극과 접촉하는 홀 주입전극인 제 1 전극을 상기 각 화소마다 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극의 상부에, 적색을 표시하는 화소에 대응하는 부분이 투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와; 상기 마스크의 상부에 고분자 유기물질이 높은 압력으로 통과하는 소정높이를 가지는 원통형상의 통과부와, 상기 통과부의 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 소정간격 이격하여 하나로 겹쳐진 분사부로 구성된 분사수단과; 상기 분사수단을 통해 고분자 유기물질을 상기 마스크에 분사함으로써 적색을 표시하는 화소에 적색 발광패턴을 형성하는 단계와; 상기 적색 발광패턴를 형성한 공정과 동일한 공정으로 상기 녹색과 청색을 표시하는 화소에 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴을 형성하는 단계와; 상기 적색 발광패턴과 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴이 형성된 기판의 전면에 전자 주입전극인 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

상기 제 1 전극은 일 함수가 높은 금속 중 투명 도전성 금속물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성한다.

상기 제 2 전극은 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중 선택된 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중금속층으로 형성할 수 있다.

상기 제 1 전극과 발광체 사이에 유기물질로 홀 수송층을 더욱 형성하고, 상기 제 2 전극과 발광체 사이에 유기물질로 전자 수송층을 더욱 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 제 3 특징에 따른 고분자 유기물질을 분사하는 분사수단은 액상용액이 높은 압력으로 통과하는 소정높이를 가지는 원통형상의 통과부와, 상기 통과부의 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 소정간격 이격하여 하나로 겹쳐진 분사부로 구성한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.

-- 실시예 --

본 발명은 각 화소마다 유기막패턴을 형성할 경우, 마스크와 개선된 형상의 유기물질 분사수단을 이용하는 것을 특징으로 한다.

이하, 도 4는 본 발명에 따른 유기막 형성방법을 도시한 도면이다.

도시한 바와 같이, 다수의 화소(P)가 정의된 기판(200)상에 임의의 화소영역(P)에 대응한 부분이 투과부(D)로 구성된 마스크(202)를 위치시킨다.

상기 마스크(202)의 상부에는 고분자 물질(204)을 분사하는 분사수단(206)이 위치한다. 상기 분사수단(206)은 고분자 물질이 높은 압력으로 통과하는 통과부(E)와, 상기 통과부(E)를 지난 고분자 유기물질이 분사되는 분사부(F)로 나눌 수 있다.

이때, 상기 분사수단(206)은 기판(200)의 전면적에 대해 고분자 유기물질이 골고루 분포되도록 개선된 형상으로 제작된다.

도 5는상기 분사수단의 분사부를 확대한 도면이다.

도시한 바와 같이, 상기 분사수단의 분사부(F)는 단면이 사다리꼴 형상인 원통형상을 다수개 구성하여 제작한다.

즉, 제 1 원통(210)의 내부에는 상기 제 1 원통(210)보다 작은 제 2 원통(212)이 구성되며, 상기 제 2 원통(212)의 내부에는 이보다 작은 제 3 원통(214)형상을 구성한다. 이때 상기 원통의 수는 조건에 따라 변할 수 있으며, 각 원통은 소정간격 이격하여 구성한다.

이하, 도 6은 단면으로 표현된 상기 분사수단의 각 영역과, 상기 각 영역을 통과한 고분자 물질이 기판에 도포된 분포를 도시한 도면이다.

전술한 바와 같은 형상으로 상기 분사부를 구성하게 되면, 상기 분사부(E)의 가운데 영역(G)은 넓은 반면 가장자리 영역(H,I)은 좁게 구성됨을 알 수 있다.

이와 같은 구성은, 상기 제 1 원통(210)과 제 2 원통(212)과 제 3 원통(214)의 사이의 이격된 영역(H,I)을 통과하는 유기물질은 상기 중앙영역(G)을 통과하는 유기물질에 비해 높은 압력을 받기 때문에 순간적으로 분사될 때의 분사각도가 크고, 분사량도 상기 중앙영역을 통과한 고분자 유기물질의 양과 거의 동일하다.

따라서, 상기 분사부(F)에서 기판(미도시)으로 분사되는 고분자 유기물질의 분포는 일반적인 가우시안 분포(Gausian distribution)가 아닌 기판(미도시)의 전 영역에 대해 고른 분포를 나타내는 변형된 가우시안 분포(211)를 보이게 된다.

전술한 분사수단의 분사부의 구성은 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 원통(210)과 제 2 원통(212)과 제 3 원통(214)을 연결수단(216)으로 서로 연결하여 구성할 수 있다.

따라서, 분사수단(206)은 상기 서로 연결된 원통(210, 212, 214)으로 구성된 분사부(F)와 상기 통과부(E)를 별도로 제작하고, 상기 분사부(F)와 통과부(E)를 소정의 방법으로 부착하여 제작할 수 있다.

이하, 전술한 본 발명에 따른 분사수단을 이용한 유기전계발광소자의 제조방법을 설명한다.

도 8a 내지 도 8b는 일반적인 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 제조방법을 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.

먼저, 도 8a에 도시한 바와 같이, 플라스틱 또는 유리와 같은 투명한 절연기판(300)에 다수의 화소(R_P,G_P,B_P)를 정의하고, 상기 절연기판(300)의 상부에 서로 이격하여 일 방향으로 구성된 다수의 제 1 전극(302)을 형성한다.

상기 제 1 전극(302)은 일함수가 높은 도전성 물질을 사용하며, 이러한 도전성 금속물질로는 대표적으로 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide)가 있다.

다음으로, 상기 제 1 전극(302)의 상부에 유기물질로 홀 수송층(304)을 형성한다.

상기 홀 수송층(304)의 상부에 적색 빛과 녹색 빛과 청색 빛을 각각 발광하는 발광패턴을 각 화소마다(R_P,G_P,B_P)형성한다.

상세히 설명하면, 상기 홀 수송층(304)의 상부에 적색을 표시하는 화소(R_P)에 대응한 부분에 투과부(D)를 가지는 마스크(202)를 위치시킨다.

다음으로, 본 발명에 따른 분사수단(206)을 통해 상기 마스크(202)의 상부에 전기장에 의해 적색발광을 하는 고분자 유기물질(204)을 분사한다.

이와 같이하면, 상기 분사된 고분자 유기물질(204)은 상기 마스크(202)의 투과부(D)에 대응하는 기판(300)의 화소(R_P)에 적색 발광패턴(306)이 형성된다.

다음으로, 도 8b에 도시한 바와 같이, 전술한 공정과 동일한 공정으로 녹색색을 표시하는 화소(G_P)와 청색을 표시하는 화소(B_P)에 각각 녹색 발광패턴(308)과 청색 발광패턴(310)을 형성한다.

다음으로, 상기 각 발광패턴(306,308,310)이 형성된 기판(300)의 전면에 유기물질을 도포 또는 증착하여 전자 수송층(312)을 형성한다.

상기 전자 수송층(312)의 상부에는 알루미늄(Al), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg)과같은 낮은 일 함수를 가지는 도전성 금속을 사용하거나, 리튬플로우린(LIF)/알루미늄(Al)과 같은 이중 금속층으로 제 2 전극(314)을 형성할 수 있다.

이때, 상기 유기막(전자 수송층과 발광층)을 보호하기 위해, 상기 제 2 전극(314)은 화학적 식각방식을 이용하지 않고, 마스크를 이용한 증착 방식을 통해 원하는 모양을 형성할 수 있다.

전술한 바와 같은 공정으로 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자를 제작할 수 있다.

전술한 바와 같은 발광패턴을 형성하는 방식은 능동 매트릭스형 유기전계발광소자를 제작할 경우에도 사용한다.

이하, 도 9a 내지 도 9d는 를 참조하여 설명한다. 도 9a 내지 도 9d는 능동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제조방법을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.

먼저, 도 9a에 도시한 바와 같이, 플라스틱 또는 유리와 같이 투명한 절연기판(400)에 다수의 화소(R_P,G_P,B_P)를 정의하고, 상기 각 화소(R_P,G_P,B_P)마다 액티브층(402)과 게이트전극(404)과 소스전극(406)및 드레인전극(408)으로 구성된 박막트랜지스터(T)를 형성한다.

상기 박막트랜지스터(T)의 상부에 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함한 투명한 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 드레인전극(408)의 일부를 노출하는 보호막(410)을 형성한다.

다음으로, 도 9b에 도시한 바와 같이, 상기 노출된 드레인전극(408)과 접촉한 제 1 전극(412)을 화소(R_P,G_P,B_P)마다 독립적으로 형성한다.

상기 제 1 전극(412)은 앞서도 설명한 바와 같이, 일 함수가 높은 금속을 사용하여 형성한다.

이와 같은 금속은 대표적으로 투명전극인 인듐-틴-옥사이드(ITO)를 들 수 있다. 연속하여, 상기 제 1 전극(412)의 상부에 유기물질을 사용하여 홀 수송층(414)을 형성한다.

도 9c는 상기 홀 수송층(414)의 상부에 적색 발광패턴와 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴을 형성하는 공정이다.

이를 위해, 상기 홀 수송층(414)이 형성된 기판(400)의 상부의 상기 임의의 화소에 대응하는 부분에 투과부(D)가 구성된 마스크(202)를 위치시킨 후, 상기 마스크(202)의 상부에 고분자 물질을 분사하는 분사수단(206)을 위치시킨다.

(이때, 상기 마스크(202)는 적색을 표시하는 화소(R_P)에 대응하는 부분이 투과부(D)로 구성되었다고 가정한다.)

다음으로, 분사수단(206)을 통해 마스크(202)의 상부에 고분자 물질을 분사하는 공정을 진행한다. 이와 같이 하면 상기 마스크(202)의 투과부(D)를 통해 고분자 유기물질이 도포되어 적색을 표시하는 화소(R_P)에 적색 발광패턴(416)이 형성된다.

다음으로, 도 9d에 도시한 바와 같이, 상기 적색 발광패턴(416)을 형성한 공정과 동일하게 녹색을 표시하는 화소(G_P)와 청색을 표시하는 화소(B_P)에 각각 녹색 발광패턴(418)과 청색 발광패턴(420)를 형성한다.

상기 다수의 발광패턴(416,418,420)이 형성된 기판(400)의 상부에 유기물질을 이용하여 전자 수송층(422)을 형성한다.

연속하여, 상기 전자 수송층(422)의 상부에 일 함수가 작은 제 2 전극(424)을 형성한다.

상기 제 2 전극(424)은 전술한 바와 같은 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al)등으로 형성할 수 있고, 리튬플루오린(LiF)/알루미늄(Al)과 같은 이중 금속층으로 형성할 수 있다.

전술한 바와 같은 발광체 형성방법을 통해 본 발명에 따른 컬러 수동매트릭스형 유기전계발광소자와 컬러 능동 매트릭스형 유기전계발광소자를 제작할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따라 컬러 유기전계발광소자를 제작하게 되면 대면적의 풀컬러 표시소자를 제작할 수 있다.

또한, 단순한 공정으로 각 화소마다 발광체를 패턴할 수 있기 때문에 제품의 수율을 개선할 수 있다.

Claims (9)

1. 기판을 준비하는 단계와;

   상기 기판을 각각 적색, 녹색, 청색을 표현하기 위한 다수의 화소로 정의하는 단계와;

   상기 기판 상에 가로방향으로 서로 이격하여 구성된 홀 주입전극인 제 1 전극을 형성하는 단계와;

   상기 제 1 전극의 상부에 적색을 표시하는 화소에 대응하는 부분이 투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와;

   상기 마스크의 상부에 고분자 유기물질이 높은 압력으로 통과하는 소정높이를 가지는 원통형상의 통과부와, 상기 통과부의 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 소정간격 이격하여 하나로 겹쳐진 분사부로 구성된 분사수단과;

   상기 분사수단을 통해 고분자 유기물질을 상기 마스크에 분사함으로써 적색을 표시하는 화소에 적색 발광패턴을 형성하는 단계와;

   상기 적색 발광패턴을 형성한 공정과 동일한 공정으로 상기 녹색과 청색을 표시하는 화소에 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴을 형성하는 단계와;

   상기 적색 발광패턴과 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴의 상부에 각각 전자를 주입하는 제 2 전극을 형성하는 단계를

   포함하는 컬러 수동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성한 수동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 2 전극은 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중 선택된 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중금속층으로 형성한 수동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 1 전극과 발광체 사이에 유기물질로 홀 수송층을 더욱 형성하고, 상기 제 2 전극과 발광체 사이에 유기물질로 전자 수송층을 더욱 형성하는 단계를 포함하는 수동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
5. 기판을 준비하는 단계와;

   기판에 청색과 녹색과 적색을 표시하는 다수의 화소를 정의하는 단계와;

   상기 다수의 화소가 정의된 기판 상에 액티브층과 게이트전극과 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 구동소자를 형성하는 단계와;

   상기 구동소자의 드레인전극과 접촉하는 홀 주입전극인 제 1 전극을 상기 각 화소마다 형성하는 단계와;

   상기 제 1 전극의 상부에, 적색을 표시하는 화소에 대응하는 부분이 투과부로 구성된 마스크를 위치시키는 단계와;

   상기 마스크의 상부에 고분자 유기물질이 높은 압력으로 통과하는 소정높이를 가지는 원통형상의 통과부와, 상기 통과부의 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 소정간격 이격하여 하나로 겹쳐진 분사부로 구성된 분사수단과;

   상기 분사수단을 통해 고분자 유기물질을 상기 마스크에 분사함으로써 적색을 표시하는 화소에 적색 발광패턴을 형성하는 단계와;

   상기 적색 발광패턴를 형성한 공정과 동일한 공정으로 상기 녹색과 청색을 표시하는 화소에 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴을 형성하는 단계와;

   상기 적색 발광패턴과 녹색 발광패턴과 청색 발광패턴이 형성된 기판의 전면에 전자 주입전극인 제 2 전극을 형성하는 단계를

   포함하는 능동 매트릭스형 유기전계발광소자의 제조방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 선택된 하나로 형성한 능동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 제 2 전극은 알루미늄(Al)과 칼슘(Ca)과 마그네슘(Mg)중 선택된 하나로 형성하거나 리튬플루오린/알루미늄(LIF/Al)의 이중금속층으로 형성한 능동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 제 1 전극과 발광체 사이에 유기물질로 홀 수송층을 더욱 형성하고, 상기 제 2 전극과 발광체 사이에 유기물질로 전자 수송층을 더욱 형성하는 단계를 포함하는 능동 매트릭스형 유기전계발광소자 제조방법.
9. 일 끝단으로부터 주입된 액상용액이 높은 압력으로 통과하는 단면이 사각형상인 원통형상의 통과부와;

   상기 통과부의 타 측 끝단에 구성되며 단면이 사다리꼴 형상인 원통 다수개가 안쪽에서 바깥쪽으로 소정간격 이격하여 겹쳐 구성되고, 상기 바깥 쪽에 구성된 원통은 상기 통과부와 연결된 분사부와;

   상기 다수개의 분사부를 이격하는 기능과 함께 각각의 인접한 원통을 연결하는 다수개의 고정수단

   을 포함하는 액상용액 분사수단.