LT2017083A - Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys - Google Patents
Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginysInfo
- Publication number
- LT2017083A LT2017083A LT2017083A LT2017083A LT2017083A LT 2017083 A LT2017083 A LT 2017083A LT 2017083 A LT2017083 A LT 2017083A LT 2017083 A LT2017083 A LT 2017083A LT 2017083 A LT2017083 A LT 2017083A
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- ring
- cored
- case
- aim
- nozzles
- Prior art date
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys priklauso tikslių prietaisų gamybos įrenginių grupei. Jis gali būti naudojamas plokščių paviršių, kuriems keliami aukšti tikslumo ir glotnumo reikalavimai, apdorojimui. Pačios detalės, kurių paviršiai apdorojami šiuo įrenginiu, gaminamos iš padidinto atsparumo medžiagų, taip pat ir kristalinių. Išradimo tikslas - gerinti poliravimo kokybę ir didinti našumą. Šis tikslas yra pasiekiamas tuščiavidurio įrenginio korpuso dugne suformuojant praplatėjimą, statmeną korpuso ir ežektoriaus ašių kryptimis ir pritvirtinant prie jo tuščiavidurį stačiakampio profilio žiedą, kuriame laisvai patalpintas tuščiaviduris poliruoklio laikiklis, mažesnio skersmens, nei vidinio žiedo skersmuo, su ekscentriškai pritvirtintu prie jo poliruokliu. Žiedo vidinėje sienelėje korpuso ašies atžvilgiu suformuojamos tangentinės tūtos, kurių kryptis priešinga tangentinėms tūtoms, įeinančioms į ertmę tarp korpuso ir Venturi vamzdžio sienelių.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2017083A LT6564B (lt) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2017083A LT6564B (lt) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2017083A true LT2017083A (lt) | 2018-07-10 |
| LT6564B LT6564B (lt) | 2018-11-12 |
Family
ID=62750686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2017083A LT6564B (lt) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT6564B (lt) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6055648B2 (ja) | 2012-10-26 | 2016-12-27 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び研磨方法 |
-
2017
- 2017-12-19 LT LT2017083A patent/LT6564B/lt not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT6564B (lt) | 2018-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWM533308U (en) | CMP system and retaining ring for lower wafer defects | |
| TWD175855S (zh) | 電漿處理裝置用下腔室 | |
| TWD179672S (zh) | 基板保持環之部分 | |
| PH12015502480A1 (en) | A grinding apparatus | |
| TWD179095S (zh) | 基板保持環 | |
| EP3556534A3 (en) | Preform coating device and preform coating method | |
| SG10201902983VA (en) | Archimedes brush for semiconductor cleaning | |
| TW201612131A (en) | Manufacturing method of glass substrate and manufacturing apparatus of glass substrate | |
| TWD187175S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| TW201614091A (en) | Apparatus for high compressive stress film deposition to improve kit life | |
| LT2017083A (lt) | Plokščiųjų paviršių poliravimo įrenginys | |
| TWD183002S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| TW201612973A (en) | Method for etching | |
| JP1643942S (ja) | 基板保持リング | |
| PL3545188T3 (pl) | Urządzenie śruby Archimedesa dla elektrowni wodnej i sposób jego wytwarzania | |
| JP1643626S (ja) | 基板保持リング | |
| HUE057167T2 (hu) | Eljárás 4-(4-aminofenil)morfolin-3-on elõállítására | |
| JP1645741S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639764S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639761S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643945S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639765S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1643944S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639763S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1639762S (ja) | 基板保持リング |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB1A | Patent application published |
Effective date: 20180710 |
|
| FG9A | Patent granted |
Effective date: 20181112 |
|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20221219 |