KR970076035A - 액정 표시 소자의 제조 방법 - Google Patents
액정 표시 소자의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 액정 표시 소자의 제조방법을 개시한다. 개시한 본 본명의 액정 표시 소자의 제조 방법은 액정표시 소자의 에치 스톱퍼는 게이트 전극의 이면 노광에 의하여 형성되고, 보호막을 형성한 다음 화소 전극을 형성하여 4번의 마스크 공정에 의하여 액정 표시 소자를 형성하므로써 공정을 간소화하고, 이에 따라 제조 공정 시간을 단축시켜 액정 표시 소자의 제조수율을 증대시킨다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2M도는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면.
Claims (3)
- 절연 기판상에 게이트 전극을 형성하는 단계와, 절연 기판상부에 게이트 절연막과 비정질 반도체층, 에치스톱퍼를 형성하는 단계와, 도핑된 반도체층, 소오스 드레인 전극 및 화소 전극을 형성하는 단계와, 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 소자의 제조방법에 있어서, 상기 에치 스톱퍼는 게이트 전극의 이면 노광에 의하여 형성하고, 보호막을 형성하는 단계 이후, 드레인 영역의 일부분을 노출시키고, 화소 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 비정질층과 도핑된 반도체층은 소오스 드레인 전극을 마스크로 하여 식각하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조방법.
- 절연 기판 상부에 게이트 전극 형성용 마스크에 의하여 게이트 전극을 형성하는 단계와; 절연 기판 및 게이트 전극 상부에 게이트 절연막과, 비정질 반도체층과, 에치 스톱퍼층을 순차적으로 적층하는 단계; 에치 스톱퍼층을 게이트 전극의 이면 노광에 의하여 식각하여 에치 스톱퍼를 형성하는 단계; 구조물 전면에 도핑된 방도체층과, 소오스, 드레인 전극용 금속막을 증착하는 단계; 상기 금속막 상부에 소오스, 드레인 전극용 마스 크 패턴에 의하여 소오스 드레인 전극을 형성하는 단계; 상기 소오스 드레인 전극을 마스크로 하여 도핑된 반도체층과 비절질 반도체층을 패터닝하여 에치 스톱퍼 표면과 게이트 절연막을 노출시키는 단계; 전체 구조물상부에 보호막을 증착하고, 드레인 전극의 일부분이 노출되도록 보호막을 식각하는 단계; 및 결과물 전면에 화소 전극 물질을 증착하고, 화소 전극의 형태로 화소 전극 물질을 패펀닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017387A KR970076035A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 액정 표시 소자의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017387A KR970076035A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 액정 표시 소자의 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970076035A true KR970076035A (ko) | 1997-12-10 |
Family
ID=66220266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960017387A KR970076035A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 액정 표시 소자의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970076035A (ko) |
-
1996
- 1996-05-22 KR KR1019960017387A patent/KR970076035A/ko not_active Application Discontinuation
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