KR970072482A - 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이 기판에 관한 것으로, 특히 개구율 향상등을 위하여 박막트랜지스터 어레이 기판상에 불투명 절연성 수지로 차광막을 형성할 때, 차광막이 형성된 영역과 이로부터 노출된 화소전극 영역간의 단차를 줄여 배향막 형성시 러빙불량 등을 방지하기에 적당하도록, 기판과, 기판상에 형성된 적어도 하나이상의 게이트 버스라인과, 게이트 버스라인에 교차하도록 형성된 적어도 하나 이상의 데이터 버스라인과, 게이트 버스라인에 게이트 전극이 연결되고, 데이터 버스라인에 일체널 전극이 연결되도록 형성된 적어도 하나이상의 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터의 일체널 전극과 연결되어 게이트 버스라인과 상기 데이터 버스라인과 교차부 사이영역에 형성된 화소전극과, 적어도 데이터 버스라인 및 게이트 버스라인과 박막트랜지스터를 덮도록 불투명 절연성 수지로 형성된 수지차광막과, 수지차광막의 상부를 제외한 노출된 전표면에 패턴형성된 투명절연막을 포함하여 이루어진다.

Description

박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 박막트랜지스터 어레이 기판의 구조를 예시한 도면.

Claims (9)

  1. 기판과, 상기 기판상에 형성된 적어도 하나 이상의 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인에 교차하도록 형성된 적어도 하나 이상의 데이터 버스라인과, 상기 게이트 버스라인에 게이트 전극이 연결되고, 상기 데이타 버스라인에 일채널 전극이 연결되도록 형성된 적어도 하나이상의 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터의 일체널 전극과 연결되어 상기 게이트 버스라인과 상기 데이터 버스라인의 교차부 사이영역에 형성된 화소전극과, 적어도 상기 데이터 버스라인 및 상기 게이트 버스라인과 상기 박막 트랜지스터를 덮도록 불투명 절연성 수지로 형성된 수지차광막과, 상기 수지차광막의 상부를 제외한 노출된 전표면에 패턴형성된 투명절연막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투명절연막은 투명 절연성 유기수지로 형성된 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  3. 제2항에 있어서, 상기 투명 절연성 유기수지는 음성 감광특성을 가지는 물질인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판.
  4. 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법에 있어서, 1) 기판의 일부영역에 행렬로 배열된 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터의 게이트 전극에 연결된 게이트 버스라인과, 상기 게이트 버스라인과 교차하며 상기 박막트랜지스터의 소오스전극에 연결된 데이터 버스라인과 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 연결된 화소전극을 형성하는 단계와, 2) 상기 박막트랜지스터 및 상기 화소전극 상부에 투명절연성 물질을 적층하여 보호막을 형성하는 단계와, 3) 상기 박막트랜지스터 및 상기 데이터 버스라인과 상기 게이트 버스라인을 덮도록 불투명 절연성 수지로 차광막을 형성하는 단계와, 4) 상기차광막으로부터 노출된 화소전극의 상부를 덮도록 투명 절연성 물질로 평탄화층을 형성하는 단계를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 4) 단계에서, 상기 차광막 및 상기 화소전극의 상부에 상기 투명 절연성물질을 도포하여, 상기 차광막 및 상기 화소전극의 상부에 상기 평탄화층을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 4)단계에서, 상기 차광막 및 상기 화소전극의 상부에 상기 투명 절연성물질을 도포하여, 사진식각하여 상기 화소전극의 상부에 상기 평탄화층을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 차광막 및 상기 화소전극의 상부에 상기 투명 절연성 물질로 음성 감광특성을 가지는 물질을 도포하여, 상기 기판의 후면에서 노광한 후, 현상하여 상기 화소전극의 상부에 상기 평탄화층을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 평탄화층은 투명 절연성 유기수지로 형성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터어레이 기판 제조방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 투명절연성 유기수지는 음성 감광특성을 가지는 물질인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 어레이 기판 제조방법.
    ※참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960011378A 1996-04-16 1996-04-16 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법 KR100205520B1 (ko)

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