KR970071952A

KR970071952A - 전계방출형 디스플레이용 초고진공 실장방법 및 장치

Info

Publication number: KR970071952A
Application number: KR1019970026696A
Authority: KR
Inventors: 이종덕; 권상직; 이재하; 권용범
Original assignee: 이종덕; 권상직; 이재하; 권용범
Priority date: 1997-06-24
Filing date: 1997-06-24
Publication date: 1997-11-07
Also published as: KR100240289B1

Abstract

본 발명은 FED용 초고진공 실장방법 및 장치에 관한 것으로서, FED 판넬의 생산성을 크게 향상시키는 동시에 판넬 내부의 오염도를 저감시킬 수 있는 FED용 초고진공 실장방법 및 장치를 제공하기 위한 것인 바, '초기 가열/세정 챔버'와 '초고진공/밀봉 챔버'로 구성된 두 개의 메인 챔버와 다수의 보조 챔버를 포함하는 장치를 사용하여, 모든 구성요소들을 시종초고진공 상태가 유지되는 챔버내에서 인-라인 방식으로 처리함으로써, FED 판넬의 생산성을 크게 향상시키는 효과가 있는 한편, FED 완성품의 미관이 개선되는 장점도 있다.

Description

전계방출형 디스플레이용 초고진공 실장방법 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명 실시예에 FED용 초고진공 실장장치를 나타낸 일부절개 구조도, 제3도는 본 발명 실시예의 FED용 초고진공 실장방법을 나타낸 개략적 공정도, 제4도는 본 발명 실시예의 실장장치를 구성하는 「초기가열/세정 챔버」내부를 나타낸 구조도.

Claims

아노드 유리판(27)및 밀봉재(43,44) 가장자리에 접착제(5)를 도포하는 단계와, 제1로드록 챔버(21)내 일정위치에 상기 아노드 유리판(27)을 장착하는 단계와, FEA(34)가 부착되고 적정수의 배기공(56)이 형성된 캐소드 유리판(26)을 제2로드록 챔버(22)내 일정위치에 장착하는 단계와, 접착제가 도포된 상기 밀봉재(43,44)를 또 다른 로드록 챔버내 일정위치에 장착하는 단계와, 이들 로드록 챔버에 장치된 각각의 TMP(37)를 가동시켜 챔버내를 배기하는 단계와, 아노드 유리판(27)을 '초기가열/세정 챔버(23)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 역시 챔버(23)에 부설된 TMP를 가동시켜 챔버내를 배기하는 단계와, 챔버(23)' 내부로 산소가스를 공급하는 동시에 초기가열하는 단계와, 상기 제2로드록 챔버(22)로부터 캐소드 유리판(26)을 '초기가열/세정 챔버(23)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 챔버(23)내부로 수소가스를 공급하는 동시에 직류 또는 RF전압을 인가하여 플라즈마 세정하는 단계와, 다시 TMP(37)를 가동시켜 초고진공 상태를 유지하는 단계와, 캐소드 유리판(26)상의 FEA(34)와 아노드 유리판(27)상의 형광체스크린(35)을 상호 정렬하고 이들 유리판(26,27)을 서로 미세간극을 유지한 상태에서 접착하는 단계와, 접착에 의해 초기형상을 갖춘 FED판넬(50)을 '초고진곡/밀봉 챔버(24)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 상기 밀봉재(43,44)여기 '초고진공/밀봉 챔버(24)'내 홀더 (45,46)상으로 옮겨 장착하는 단계와, 판넬(50)및 챔버(24)내부를 배기하는 동시에 일정온도로 가열하는 단계와, 캐소드 유리판(26)상의 배기공(56)을 밀봉재(43,44)로 밀봉하는 단계를 포함하여 하나의 인-라인 방식으로 구성된 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장방법.
제1항에 있어서, 상기 밀봉재(43,44)가 게터(51)를 내장한 캡 유리(43), 및 디스크 유리 또는 코바르(44)인 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장방법.
아노드 유리판(27)및 밀봉재(43,44) 가장자리에 접착제(5)를 도포하는 단계와, 제1로드록 챔버(21)내 일정위치에 상기 아노드 유리판(27)을 장착하는 단계와, FEA(34)가 부착되고 적정수의 배기공(56)이 형성된 캐소드 유리판(26)을 제2로드록 챔버(22)내 일정위치에 장착하는 단계와, 접착제가 도포된 상기 밀봉재(43,44)를 또 다른 로드록 챔버내 일정위치에 장착하는 단계와, 이들 로드록 챔버에 장치된 각각의 TMP(37)를 가동시켜 챔버내를 배기하는 단계와, 아노드 유리판(27)을 '초기가열/세정 챔버(23)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 역시 챔버(23)에 부설된 TMP를 가동시켜 챔버내를 배기하는 단계와, 챔버(23)' 내부로 산소가스를 공급하는 동시에 초기가열하는 단계와, 상기 제2로드록 챔버(22)로부터 캐소드 유리판(26)을 '초기가열/세정 챔버(23)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 챔버(23)내부로 수소가스를 공급하는 동시에 직류 또즌 RF전압을 인가하여 플라즈마 세정하는 단계와, 다시 TMP(37)를 가동시켜 초고진공 상태를 유지하는 단계와, 이들 아노드 유리판(27)및 캐소드 유리판(26)을 '초고진곡/밀봉 챔버(24)'내로 옮겨 장착하는 단계와, 챔버(24)내부를 배기하는 동시에 일정온도로 가열하는 단계와, 캐소드 유리판(26)상의 FEA(34)와 아노드 유리판(26)상의 형광체스크린(35)을 상호 정력하고 이들 유리판(26,27)을 서로 미세간극을 유지한 상태에서 접착하는 단계와, 캐소드 유리판(26)상의 배기공(56)을 밀봉재(43,44)로 밀봉하는 단계를 포함하여 하나의 인-라인 방식으로 구성된 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장방법.
제3항에 있어서, 상기 밀봉재(43,44)가 게터(51)를 내장한 캡 유리(43)및 디스크 유리 또는 코바르(44)인 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장방법.
캐소드 유리판(26)및 아노드 유리판(27)을 '초기가열/세정 챔버(23)'내로 이송하기에 앞서 미리 진공상태를 유지하기 위한 제1, 제2로드록 챔버(21,22)와, 덕트 형태의 관체를 매개로 이들 로드록 챔버와 연결된 '초기가열/세정 챔버(23)'와, 역시 동일형태의 관체를 매개로 하여 '초기가열/세정 챔버(23)'에 이어진 '초고진공/밀봉 챔버(24)'와, 관체를 매개로 '초고진공/밀봉 챔버(24)'와 연결된 하나 이상의 또다른 로드록 챔버와 '초고진공/밀봉 챔버(24)'에 연결되며 FED판넬을 인출전 얼마동안 진공상태로 계속 유지하기 위한 언로딩 챔버(25)를 포함하여 하나의 인-라인 방식으로 구성된 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장장치.
제5항에 있어서, 상기 '초기가열/세정 챔버(23)'가 캐소드 유리판(26)및 아노드 유리판(27)을 고정시키기 위한 각각의 해당 척(28,29)과, 두 개의 유리판(26,27)을 균일하게 가열하기 위한 상하 두개의 가열코일(30,31)과, 수소 또는 아르곤 플라즈마를 형성시키기 위한 직류 또는 RF전극(32)과, 각 유리판(26,27)의 3차원적 이동을 위한 조정나사장치(33,39)와, 상기 캐소드 유리판상의 FEA(34)및 아노드 유리판상의 형광체스크린(35)간의 상호정렬을 관리하기 위한 정렬포트(36)를 포함하여 구성되며 그 일측벽에 가스흡입구가 형성된 것을 특징으로 하는 FED용 조고진공 실장장치.
제5항에 있어서, 상기 '초기진공/밀봉 챔버(24)'가 FED판넬을 장착하기 위한 마운트(40)와, 판넬을 가열하기 위한 가열코일(42)과, 밀봉재인 캡 유리(43), 디스크 유리 또는 코바르(44)를 잡아주는 홀더(45,46)와, 홀더의 3차원적 이동을 위한 조정나사장치(47,48)와, 밀봉재를 국부적으로 가열하기 위한 히터 및 초고진공도 확보를 위한 이온 펌프(49)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 FED용 초고진공 실장장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.