KR970071058A - 액정 표시 소자의 제조방법 및 그의 레이저 가공기 - Google Patents

액정 표시 소자의 제조방법 및 그의 레이저 가공기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간단한 조정만으로도, 레이저 빔의 광축이나 발산각의 변화에 기인하는 가공 불균일이나 에너지 효율의 열화를 피할 수 있어, 항상 양호한 가공품질을 얻을 수 있는 레이저 가공기를 제공한다.
본 발명은 광학계가, 레이저 빔의 빔 직경을 가변 조정하는 빔 익스팬더(25)와, 이 빔 익스팬더(25)로부터 출사된 레이저 빔의 형상의 종횡비를 가변 조정하는 원통 렌즈군(27,28)과, 입사광측 및 출사광측의 능선을 서로 직교시켜 ㅅ자형의 굴절면을 갖는 프리즘으로 이루어지며, 상기 원통 렌즈군(27,28)으로부터 출사된 레이저 빔의 광축 주위의 에너지 밀도 분포를 균일화시키는 호모지나이저 렌즈(29)를 구비하고, 이 호모지나이저(29)로부터 출사된 레이저 빔을 애퍼쳐(37)의 투공(37a)으로 유도하여 빔 형상이 이루어지도록 구성하였다.

Description

액정 표시 소자의 제조방법 및 그의 레이저 가공기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 레이저의 가공기의 광학계의 레이 아웃을 나타낸 설명도.

Claims (5)

  1. 투명 기판에 설치한 복수개의 컬러 필터에 레이저 빔을 조사하여 상기 컬러 필터의 일부를 제거하고, 제거된 부분에 차광막을 형성하여 컬러 필터의 주위에 차광막을 형성하는 액정 표시 소자의 제조방법에 있어서, 레이저 발진기로부터 공급된 상기 레이저 빔은, 레이저 빔의 빔 직경을 가변 조정하는 빔 익스팬더와, 이 빔 익스팬더로부터 출사된 레이저 빔의 빔 형상의 종횡비를 가변 조정하는 원통 렌즈군과, 이 원통 렌즈군으로부터 출사된 레이저 빔의 광축 주위의 에너지 밀도분포를 균일화시키는 에너지 분포 조절 부재와, 이 에너지 분포 조절 부재로부터 출사된 레이저 빔의 빔 형상을 형성하는 빔 형성부재로 이루어지는 광학계를 통과하여, 상기 컬러 필터에 소정폭의 제거부를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조방법.
  2. 레이저 발진기로부터 공급된 레이저 빔을 광학계내의 빔 형성부재의 투공에 유도하여 빔 형상을 형성한 후, 피가공물을 향해 조사하는 레이저 가공기로서, 상기 광학계가 레이저 빔의 빔 직경을 가변 조정하는 빔 익스팬더와, 이 빔 익스팬더로부터 출사된 레이저 빔의 빔 형상의 종횡비를 가변 조정하는 원통 렌즈군과, 이 원통 렌즈군으로부터 출사된 레이저 빔의 광축주위의 에너지 밀도 분포를 균일화시키는 에너지 분포 조절부재를 구비하고, 이 에너지분포 조절부재로부터 출사된 레이저 빔을 상기 빔 형성부재로 유도하도록 구성한 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 원통 렌즈군이, 광축의 수직면내에서 레이저 빔의 횡폭을 확대시키는 제1원통 렌즈와 종폭을 확대시키는 제2원통 렌즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 에너지 분포 조절 부재는 입사광측과 출사광측에 각각 ㅅ자형의 절곡면을 갖고, 또한 입사광측의 굴절면의 능선과 출사광측의 굴절면의 능선을 서로 직교시켜 이루어지는 프리즘임을 특징으로 하는 레이저 가공기.
  5. 제2항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피가공물은 액정 표시 장치의 구성 부재로 이루어지는 컬러 필터인 것을 특징으로 하는 레이저 가공기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970015692A 1996-04-26 1997-04-25 액정표시소자의제조방법및그의레이저가공기 KR100254833B1 (ko)

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