KR970067663A - 반도체 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치 - Google Patents
반도체 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치 Download PDFInfo
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Abstract
사이드 린스장치에 설치된 보울(bowl)을 세정할 수 있는 수단이 부가된 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치에 관한 것이다.
본 발명은 중심부에 설치된 진공 회전척, 주변에 설치되는, 승강장치와 직접 연결되는 로우컵(low cop), 로우컵에 설치되는 보울(bowl) 및 신너 공급라인에 연결된 백린스 노즐이 구비된 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치에 있어서, 상기 보울 내부에 상기 회전 진공척을 중심으로 파이프라인이 환설되고, 상기 파이프라인에는 보울 내벽을 향해 보수개의 노즐이 형성되며, 상기 파이프라인에는 백린스 노즐에 신너를 공급하는 신너 공급라인이 분기되어 이루어지는 보울세척용 라인을 통해 신너가 공급되도록 이루어진다.
따라서, 공정중에 수시로 보울을 세척할 수 있으므로 보울의 교체가 필요없고, 결과적으로 장비의 가동효율을 높이며, 보울 교체시의 신너분사 위치의 변경으로 인한 공정상의 오류를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
Claims (4)
- 중심부에 설치된 진공 회전척, 주변에 설치되는, 승강장치와 직접 연결되는 로우컵(low cup), 로우컵에 설치되는 보울(bowl) 및 신너 공급라인에 연결된 백린스 노즐이 구비된 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치에 있어서, 상기 보울 내부에 상기 회전 진공척을 중심으로 파이프라인이 환설되고, 상기 파이프라인에는 보울 내벽을 향해 복수개의 노즐이 형성되며, 상기 파이프라인에는 백린스 노즐에 신너를 공급하는 신너 공급라인이 분기되어 이루어지는 보울세척을 라인에서 신너가 공급되도록 이루어지는 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치.
- 제1항에 있어서, 상기 신너 공급은 분기된 보울세척용 라인과 백린스용 라인에 각각 형성된 별도의 밸브를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치.
- 제2항에 있어서, 상기 보울세척용 라인의 밸브는 프로그램이 내장된 콘트롤러에 연결되어 일정한 주기로 적량을 공급할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 보울세척용 라인은 보울 내부에 환설된 파이프라인의 복수 개소에 나뉘어 연결되는 것을 특징으로 하는 상시 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960006189A KR970067663A (ko) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | 반도체 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960006189A KR970067663A (ko) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | 반도체 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970067663A true KR970067663A (ko) | 1997-10-13 |
Family
ID=66216079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960006189A KR970067663A (ko) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | 반도체 포토레지스트 도포설비의 사이드 린스장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970067663A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100525302B1 (ko) * | 2005-04-29 | 2005-11-02 | 에스브이에스 주식회사 | 반도체 웨이퍼의 스핀컵 세정방법 및 그 세정장치 |
-
1996
- 1996-03-08 KR KR1019960006189A patent/KR970067663A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100525302B1 (ko) * | 2005-04-29 | 2005-11-02 | 에스브이에스 주식회사 | 반도체 웨이퍼의 스핀컵 세정방법 및 그 세정장치 |
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