KR970067572A

KR970067572A - 패턴근접효과보정방법, 프로그램, 및 장치

Info

Publication number: KR970067572A
Application number: KR1019960048764A
Authority: KR
Inventors: 타마에 하루키
Original assignee: 세키사와 다다시; 후지쓰 가부시키카이샤
Priority date: 1996-03-06
Filing date: 1996-10-26
Publication date: 1997-10-13
Also published as: JP3512954B2; JPH09298156A; US5698859A; KR100217887B1

Abstract

본 발명은 설계자의 기량에 의존함이 없이 근접효과보정을 효율적으로 행하는 패턴 근접 효과 보정 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 패턴 데이타에 의하여 형서된 빔 데이타를 대상에 노광하여 대상 패턴을 형성할 때에, 패턴의 근접 효과를 보정하는 방법은, 패턴을 대상으로 소망하는 형으로 형성하기 위하여 빔 패턴의 이상적 빔 강도 프로파일을 연속으로 변화하는 빔강도 프로파일로서 계산하고, 패턴 데이타에서 패턴의 에지를 복수의 선분으로 분할하고, 선분의 법선방향에 따른 제2의 변위와의 적어도 하나를 표현하는 변위코드를 선분으로 할당하고, 패턴데이타에서 구해지는 빔 강도 프로파일이 이상적 빔 강도 프로파일에 접근하도록 변위코드를 변화시켜서 선분을 변위시키는 각 단계를 포함한다.

Description

패턴근접효과보정방법, 프로그램 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제7도는 제2도의 변위코드 최적화 처리의 플로우챠트.

Claims

패턴데이타에 의하여 형성된 빔 패턴을 대상으로 노광하고 그 대상으로 그 패턴을 형성할 때에, 그 패턴의 근접 효과보정을 보정하는 방법으로서, a) 그 패턴을 그 대상으로 소망하는 형으로 형성하기 위한 그 빔 패턴의 이상적 빔 강도 프로파일을, 연속적 변화를 가진 빔 강도 프로파일로서 계산하고, b) 그 패턴데이타에 있어서, 그 패턴의 에지를 복수의 선분으로 분할하고, 그 선분의 법선 방향에 따른 제1의 변위와 그 선분의 연장방향에 따른 제2의 변위와의 적어도 하나를 표현하는 변위코드를 그 선분으로 할당하고, c) 그 패턴 데이타에서 구해지는 빔 강도 프로파일이 그 이상적 빔 강도 프로파일에 근접하도록 그 변위코드를 변화시켜서 그 선분을 변위시키는 각 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 이상적 빔 강도 프로파일과 상기 빔 강도 프로파일은, 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수의 선에 따라 계산되는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 단계 c)는, c1) 상기 변위코드를 변위시켜서 상기 선분을 변위시키고, c2) 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수의 선에 따른 상기 이상적 빔 강도프로파일과 상기 빔 강도 프로파일과의 상위를 표시한 유사도를 구하고, c3) 그 단계 c1)과 그 단계 c2)와를 그 유사도가 수속할 때까지 반복하는 각 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제3항에 있어서, 상기 단계 c1)은, c1-1) 유전적 알고리듬에서의 적어도 하나의 염색체로서 상기 변위코드를 취급하고, c1-2) 그 변위코드의 적어도 몇개를 랜덤하게 변화시킴으로서 그 적어도 하나의 염색체에서 복수의 진화한 염색체를 구하는 각 단계를 포함하고, 상기 단계 c2)는, 그 복수의 진화한 염색체의 유사도중에서 가장 높은 유사도를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제4항에 있어서, 상기 단계 c1-2)는 한쌍의 그 진화한 염색체에 크로스오버를 적용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제4항에 있어서, 상기 단계 c1-2)는 한쌍의 그 진화한 염색체의 그 코드 상기 코드끼리를 가함으로써 그 한쌍의 그 진화한 염색체에 크로스오버를 적용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제3항에 있어서, 상기 단계 c)는 상기 단계 c3) 후에, c4) 상기 변위코드의 하나를 단위증가시키면 상기 유사도가 증가하는 경우에 상기 변위코드 하나를 단위 증가시켜, c5) 그 변위코드의 하나를 단위감소시키면 그 유사도가 증가하는 경우에 그 변위코드의 하나를 단위감소시키고, c6) 그 단계 c4)와 c5)를 모든 변위코드에 대하여 실행하고, c7) 그 단계 c4) 내지 c6)을 그 유사도가 수속할 때까지 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
패턴 데이타에 의하여 형성된 빔 데이타를 대상으로 노광하고 대상에 그 패턴을 형성할 때에, 그 패턴의 근접효과를 보정하는 컴퓨터프로그램제품으로서, 그 패턴의 근접효과를 보정하는 프로그램코드 수단을 제공하는 컴퓨터 읽어내기 가능한 매체를 포함하여 그 프로그램 수단은, 그 패턴을 그 대상으로 소망의 형으로 형성하기 위한 그 빔 패턴의 이상적 빔도 프로파일을, 연속적 변화를 가진 빔 강도 프로파일로서 계산하는 제1의 프로그램 코드 수단과, 그 패턴데이타에 있어서, 그 패턴의 에지를 복수의 선분으로 분할하고, 그 선분의 법선으로 방향에 따른 제1의 변위와 그 선분의 연장 방향에 따른 제2의 변위와의 적어도 표현하는 변위코드를 그 선분으로 할당하는 제2의 프로그램 코드 수단과, 그 패턴 데이타에서 구해지는 빔 강도 프로파일이 그 이상적 빔 강도 프로파일에 근접하도록, 그 변위코드 변위시켜서 그 선분을 변위시키는 제3의 프로그램 코드 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
제8항에 있어서, 상기 이상적 빔 강도 프로파일과 상기 빔 강도 프로파일은, 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수의 선에 따라 계산되는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
제8항에 있어서, 상기 제3의 프로그램코드 수단은, 상기 변위코드를 변화시켜서 상기 선분을 변위시키는 제3-1의 프로그램코드 수단과, 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수의 선에 따른 상기 이상적 빔 강도 프로파일과 상기 빔 강도 프로파일과의 상위를 표시하는 유사도를 구하는 제3-2의 프로그램코드 수단과, 그 제3-1의프로그램코드 수단과 제3-2의 프로그램 코드수단과를 그 유사도가 수속할때까지 반복하는 3-3의 프로그램 코드 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터프로그램 제품.
제10항에 있어서, 상기 제3-1의 프로그램수단은, 유전적 알고리듬에서의 적어도 하나의 염색체로서 상기 변위코드를 설정하는 제3-1-1의 프로그램 코드 수단과, 그 변위코드의 적어도 몇개를 랜덤으로 변화시킴으로써 그 적어도 하나의 염색체에서 복수의 진화한 염색체를 구하는 제3-1-2의 프로그램 코드 수단을 포함하여, 상기 제3-2의 프로그램 코드 수단은, 그 복수의 진화한 염색체에 대한 상기 유사도중 가장 높은 유사도를 구하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
제11항에 있어서, 상기 제3-1-2의 프로그램 코드 수단은, 한쌍의 그 진화한 크로스오버를 적용하는 프로그램 코드수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
제11항에 있어서, 상기 제3-1-2의 프로그램 코드 수단은, 한쌍의 그 진화한 염색체의 그 변위코드끼리를 가함으로써 그 한쌍의 진화한 염색체에 크로스오버를 적용하는 프로그램 코드수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
제10항에 있어서, 상기 제3의 프로그램 코드 수단은, 상기 제3-3 프로그램 코드 수단후에 실행되어야 할, 상기 변위코드의 하나를 단위 증가시키면 상기 유사도가 증가하는 경우에 상기 변위코드의 하나를 단위 증가 시키는 제3-4의 프로그램 수단과, 그 변위코드의 하나를 단위 감소시키면 그 유사도가 증가하는 경우에 그 변위코드의 하나를 단위 감소 시키는 제3-5의 프로그램 코드 수단과, 그 제3-4의 프로그램 코드 수단 및 그 제3-5의 프로그램코드 수단을 모든 변위코드에 대하여 실행하는 제3-6의 프로그램 코드 수단과, 그 제3-4 내지 제3-6의 프로그램 코드 수단을 그 유사도가 수속할 때까지 반복하는 프로그램 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
패턴 데이타에 의하여 형성된 빔 데이타를 대상으로 노광하고 그 대상에 그 패턴을 형성할 때의 그 패턴의 근접효과를 보정하는 장치로서, 그 패턴을 그 대상에 소망하는 형으로 형성하기 위한 그 빔 패턴의 이상적 빔 강도 프로파일을, 연속적 변화를 가진 빔 강도 프로파일로서 계산하는 제1의 수단과, 그 패턴 데이타에 있어서, 패턴의 에지를 복수의 선분으로 분할하여, 그 선분의 법선 방향에 따른 제1의 변위와 그 선의 연장 방향에 따른 제2의 변위와의 적어도 하나를 표현하는 변위코드를 그 선분에 할당하는 제2의 수단과, 그 패턴데이타에서 구해지는 빔 강도 프로파일이 그 이상적 빔 강도 프로파일에 근접하도록 그 변위코드를 변위시켜서 그 선분을 변위시키는 제2의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제15항에 있어서, 상기 이상적 빔 강도 프로파일과 상기 빔 강도 프로파일은, 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수에 따라 계산되는 것을 특징으로 하는 장치.
제15항에 있어서, 상기 제3의 수단은, 상기 변위코드를 변화시켜서 상기 선분을 변위시키는 제3-1의 수단과 상기 에지를 수직으로 횡절하는 복수의 선에 따른 상기 이상적 빔 강도 프로파일과 상기 빔 강도 프로파일과의 상위를 표시하는 유사도를 구하는 제3-2의 수단과 그 제3-1의 수단과, 제3-2의 수단을 그 유사도가 수속할때까지 반복하여 시키는 제3-3의 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제17항에 있어서, 상기 제3-1의 수단은, 유전적 알고리듬에서의 적어도 하나의 염색체로서 상기 변위코드를 설정하는 제3-1-1의 수단과, 그 변위코드의 적어도 몇개를 랜덤으로 변화시킴으로서 적어도 하나의 염색체에서 복수의 진화한 염색체를 구하는 제3-1-1의 수단을 포함하고, 상기 제3-2의 수단은, 그복수의진화한 염색체에 대한 상기 유사도 중에서 가장 높은 유사도를 구하는 것을 특징으로 하는 장치.
제18항에 있어서, 상기 제3-1-2의 수단은, 한쌍의 그 진화한 염색체에 크로스오버를 적용하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제18항에 있어서, 상기 제3-1-2의 수단은, 한쌍의 그 진화한 염색체의 변위코드 끼리를 가함으로써, 그 한쌍의 그 진화한 염색체에 크로스오버를 적용하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
제17항에 있어서, 상기 제3의 수단은, 상기 제3-3의 수단과 상기 유사도를 수속 시킨 후에 실행되어야 할, 상기 변위코드의 하나를 단위증가 시키면 상기 유사도가 증가할 경우에 상기 변위코드의 하나를 단위증가시키는 제3-4의 수단과, 그 변위 코드의 하나를 단위 감소시키면 그 유사도가 증가하는 경우에 그 변위코드의 하나를 단위감소시키는 제3-5의 수단과, 제3-4의 수단과 그 제3-5의 수단을 모든 변위 코드에 대하여 실행시키는 제3-6의 수단과, 그 제3-4 내지 제3-6의 수단을 그 유사도가 수속할 때까지 반복하여 실행시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.