KR970063648A - 웨이퍼 운반 장치 - Google Patents
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- KR970063648A KR970063648A KR1019960004459A KR19960004459A KR970063648A KR 970063648 A KR970063648 A KR 970063648A KR 1019960004459 A KR1019960004459 A KR 1019960004459A KR 19960004459 A KR19960004459 A KR 19960004459A KR 970063648 A KR970063648 A KR 970063648A
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Abstract
척에 로딩된 웨이퍼를 챔버로 운반할 때 센서(Sensor)와 알람(Alarm)장치를 이용하여 웨이퍼의 평형 상태를 감지함으로써 척의 운반을 정지시키고 웨이퍼가 깨어지는 현상을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 운반 장치를 설명하기 위해 도시한 단면도이다.
Claims (1)
- 척(Chuck)에 로딩(Loading)된 웨이퍼의 평형 상태를 감지하기 위하여 센서(Sensor)와 알람(Alarm)장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004459A KR970063648A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 운반 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004459A KR970063648A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 운반 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063648A true KR970063648A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66222110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004459A KR970063648A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 운반 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970063648A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010081475A (ko) * | 2000-02-15 | 2001-08-29 | 황인길 | 챔버의 웨이퍼 리프트 장치 |
-
1996
- 1996-02-24 KR KR1019960004459A patent/KR970063648A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010081475A (ko) * | 2000-02-15 | 2001-08-29 | 황인길 | 챔버의 웨이퍼 리프트 장치 |
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|---|---|---|---|
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