KR970063458A - 화학기상증착 설비의 냉각 장치 - Google Patents
화학기상증착 설비의 냉각 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 화학기상증착 설비의 냉각 장치에 관하여 게시한다. 종래에는 매엽식 화학기상증착 설비에서 작업이 완료된 웨이퍼들이 제대로 정렬되지 않은 상태로 냉각 장치로 반입될 경우에는 상기 웨이퍼들은 손상을 받아서 깨어지거나 긁히는 경우가 발생했다. 그러나 본 발명에 따르면 냉각 장치의 입구에 광학 센서가 설치되어 있어서, 만일 냉각 장치로 반입되는 웨이퍼들이 제대로 정렬되어 있지 않을 경우에는 이를 감지하여 경보를 발하게 됨으로써 웨이퍼들이 손상받는 것을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 매엽식 화학기상증착 설비의 냉각 장치의 평면도.
Claims (2)
- 웨이퍼들이 장착되는 복수개의 웨이퍼 장착대들; 상기 웨이퍼 장착대들에 장착된 웨이퍼들을 감지하는 제1센서; 상기 웨이퍼 장착대들과 광학 센서를 수용하는 챔버; 및 상기 챔버로 반입되는 웨이퍼들이 정렬되어 있는지를 감지하기 위하여 챔버의 입구에 설치된 제2센서를 갖는 것을 특징으로 하는 화학기상증착 설비의 냉각 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1센서와 제2센서는 광학 센서들인 것을 특징으로 하는 화학기상증착 설비의 냉각 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004452A KR970063458A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 화학기상증착 설비의 냉각 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004452A KR970063458A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 화학기상증착 설비의 냉각 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063458A true KR970063458A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66221580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004452A KR970063458A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 화학기상증착 설비의 냉각 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970063458A (ko) |
-
1996
- 1996-02-24 KR KR1019960004452A patent/KR970063458A/ko not_active Application Discontinuation
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