KR970053313A - 반도체제조시스템의 웨이퍼반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체집적회로를 제조하는 반도체제조시스템, 특히 건식긱각시스템에 웨이퍼를 반송하고 또한 그로부터 인출하도록 하는 웨이퍼반송장치에 관한 것으로서, 반도체제조시스템으로 카세트(10)에 수납된 웨이퍼를 인출하여 반송하거나 그 반도체제조시스템으로부터 그 웨이퍼를 인출하여 반송하는 기능을 수행하는 로봇 아암(40)과 연계하여 동작하는 구성을 갖고, 더욱이 상기 카세트(10)의 입출구에 설치되어 있어서 상기 웨이퍼가 상기 카세트(10)에 걸친 상태에서 인덱서(20)에 의해 아래로 이동되는 오동작을 검출하는 센서부(30)를 구비하되, 상기 센서부(30)는 수직적으로 수정간격을 두고 설치된 적어도 두 개의 센서를 구비하고 있다. 상술한 웨이퍼 반송장치에 의하면, 웨이퍼가 카세트에 걸쳐 있는 상태에서 하강되는 오동작상태에서 재동작시 상술한 오동작상태가 반복하여 동작되는 것을 재차 검출할 수 있어서, 웨이퍼를 부러뜨리는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체제조시스템의 웨이퍼반송장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼반송장치의 주요부를 보여주고 있는도면.

Claims (3)

1. 반도체제조시스템으로 카세트(10)에 수납된 웨이퍼를 인출하여 반송하거나 그 반도체제조시스템으로부터 그 웨이퍼를 인출하여 반송하는 기능을 수행하는 로봇 아암(40)과 연계하여 동작하는 웨이퍼반송장치에 있어서, 상기 카세트(10)의 입출구에 설치되어 있어서 상기 웨이퍼가 상기 카세트(10)에 걸친 상태에서 인덱서(

   20)에 의해 아래로 이동되는 오동작을 검출하는 센서부(30)를 구비하되, 상기 센서부(30)는 수직적으로 소정 간격을 두고 설치된 적어도 두 개의 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼반송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 두 개의 센서는 각각 발광부와 수광부로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼반송장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 발광부는 발광다이오드이고 그리고 상기 수광부는 수광다이오드로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼반송장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.