JP2590524Y2 - Ic搬送器内のic検出機構 - Google Patents

Ic搬送器内のic検出機構

Info

Publication number
JP2590524Y2
JP2590524Y2 JP1992079756U JP7975692U JP2590524Y2 JP 2590524 Y2 JP2590524 Y2 JP 2590524Y2 JP 1992079756 U JP1992079756 U JP 1992079756U JP 7975692 U JP7975692 U JP 7975692U JP 2590524 Y2 JP2590524 Y2 JP 2590524Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
transporter
light
plate
holding plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1992079756U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0637783U (ja
Inventor
誠治 國信
祐司 野本
Original Assignee
安藤電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 安藤電気株式会社 filed Critical 安藤電気株式会社
Priority to JP1992079756U priority Critical patent/JP2590524Y2/ja
Publication of JPH0637783U publication Critical patent/JPH0637783U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2590524Y2 publication Critical patent/JP2590524Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、IC搬送器内のIC
の有無を検出する検出機構についてのものである。IC
搬送器は、例えばオートハンドラなどに使用される。
【0002】
【従来の技術】次に、IC搬送器の構成を図5により説
明する。図5の1はIC、2はIC搬送器、2AはIC
搬送器2に形成された凹部、2Bは凹部2Aの中央に設
けられた検出穴である。IC搬送器2には例えばTSO
P型ICなどのIC1が入れられる。穴2Bは光を通過
してIC1の有無を検出するために利用される。
【0003】次に、従来技術によるIC検出機構の構成
を図6により説明する。図6の7は吸着パッドであり、
吸着パッド7はIC搬送器2上に配置される。吸着パッ
ド7は空気を吸引することによりIC搬送器2内のIC
1を着脱する。図6では、吸着パッド7がIC搬送器2
の凹部2Aに降下し、吸着パッド7の吸引空気の圧力を
検知することによりIC搬送器2内のIC1の有無を検
出できる。すなわち、IC1が凹部2Aにあるときは、
吸着パッド7の先端をIC1が密閉するので、吸着パッ
ド7内は真空状態に近くなり、IC1が凹部2Aに無い
ときは、吸着パッド7は穴2Bを通過して大気を吸引す
る。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】図6では、IC搬送器
2内のIC1の有無を検出するため、吸着パッド7は凹
部2Aの位置に順次移動するので全数検査に時間を要す
るという問題がある。凹部2Aの数に対応して吸着パッ
ド7を配置する方法も考えられるが、構成が複雑になり
実用的でない。この考案は、IC搬送器上に凹部に対向
する形で突出するピンを搭載板に取り付け、搭載板を載
せた保持板を降下させ、凹部にICがあるときはピンが
ICに接触し、搭載板が保持板から分離して上昇するこ
とを光で検知することによりICの有無を検出するIC
搬送器内のIC検出機構の提供を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この考案では、複数の吸着パッド3AでIC搬送器
2を着脱し、IC搬送器2を搬送する搬送機構3と、投
光器4Aと受光器4Bを対向して配置する検出器4と、
検出器4を4隅に配置し、搬送機構3に取り付ける保持
板5と、保持板5内に搭載し、投光器4Aの光を遮断す
る形で検出板6Aを取り付け、前記IC搬送器2の凹部
2Aに対向する形で突出するピン6Bを固定する搭載板
6とを備え、IC搬送器2内にIC1が有るときは、搬
送機構3が下降し、ピン6BがIC1に接触し、保持板
5から搭載板6が分離して上昇し、少なくとも1つの検
出器4の受光器4Bが受光する。
【0006】
【作用】次に、この考案によるIC検出機構の構成を図
1により説明する。図1の3は搬送機構、4は検出器、
5は保持板、6は搭載板であり、その他は図5と同じも
のである。図1では、搬送機構3には4つの吸着パッド
3Aが取り付けられ、吸着パッド3AはIC搬送器2を
着脱する。搬送機構3は吸着パッド3AでIC搬送器2
を吸着した状態で、上下方向または水平方向に移動す
る。
【0007】検出器4は投光器4Aと受光器4Bで構成
され、投光器4Aと受光器4Bは対向して配置され、受
光器4Bは投光器4Aの光を受光する。保持板5は搬送
機構3の下部に取り付けられ、保持板5の4隅には検出
器4が配置される。搭載板6は保持板5内に搭載され、
検出器4の投光器4Aの光を遮断する形で検出板6Aが
取り付けられる。また、搭載板6にはIC搬送器2の凹
部2Aに対向する形で突出するピン6Bが凹部2Aと同
数固定される。
【0008】次に、図2から図4により図1の作用を説
明する。図2は搬送機構3がIC搬送器2の上にある状
態であり、IC1の有無を検出する前の状態である。図
3はIC搬送器2にIC1が有る場合の状態変化図であ
る。図3アでは図2の状態から搬送機構3が降下し、吸
着パッド3AがIC搬送器2を吸着した状態で、ピン6
BがIC1に接触するので、搭載板6は保持板5から分
離して上昇する。図3アでは紙面の左端の凹部2AにI
C1があるので、搭載板6の左方が上昇する。
【0009】図3イは図3アの要部拡大図であり、図3
アでは検出板4が上昇し、検出器4の受光器4Bが投光
器4Aの光を受光し、IC搬送器2にIC1があること
を検出する。図3は搭載板6は傾いた状態であるが、例
えば4隅にIC1がある場合は搭載板6は保持板5と平
行に移動し、4つの検出器4が全て受光出力し、IC1
があることを検出する。このように、少なくとも1つの
検出器4で受光することによりIC搬送器2内のICの
有無を検出できる。
【0010】図4はIC搬送器2にIC1が無い場合の
状態変化図である。図4アではピン6Bは凹部2Aの穴
に入るので、搭載板6は保持板5から動かない。図4イ
は図4アの要部拡大図であり、図4アでは全ての検出器
4は検出板6Aで投光器4Aの光が遮断されるので、I
C搬送器2にIC1が無いことが検出できる。
【0011】
【実施例】次に、この考案によるIC検出機構を装置に
組み込んだ実施例を図7により説明する。図7アはオー
トハンドラの平面図であり、図7イは正面図である。図
7では、IC1が搭載されたIC搬送器2は供給ローダ
11に100 枚搭載される。供給ハンド12は供給ローダ
11の最上段のIC搬送器2からIC1を供給部13に
逐次搬送する。供給部13への搬送動作が完了するとI
C検出機構10が水平に移動しIC搬送器2内のIC1
の有無を検出する。空のIC搬送器2はIC検出機構で
搬送され、待機部14に収納される。供給部13のIC
1は測定部15で試験され、収容部16に搬送される。
収容部17のIC1は収容ハンド17で収容ローダ18
に逐次搬送される。収容ローダ18は空のIC搬送器2
が100枚搭載可能であるが、IC1が収容不足の場合
は、既に空であることが確認されたIC搬送器2を待機
部14から供給する。
【0012】
【考案の効果】この考案は、ICを収容する複数の凹部
が形成されるIC搬送器内のICを検出する場合に、I
C搬送器上に凹部に対向する形で突出するピンを搭載板
に取り付け、搭載板を載せた保持板を降下させ、凹部に
ICがあるときはピンがICに接触し、搭載板が保持板
から分離上昇することを光で検知するので、IC搬送器
内のICの有無を短時間で検出することができる。ま
た、このIC検出機構を搬送装置に組み入れれば処理時
間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案によるIC検出機構の構成図である。
【図2】この考案によるIC検出機構がIC搬送器2上
に待機している状態図である。
【図3】IC搬送器2にIC1が有る場合の図2の状態
変化図である
【図4】IC搬送器2にIC1が無い場合の図2の状態
変化図である
【図5】IC搬送器2の構成図である。
【図6】従来技術によるIC検出機構の構成図である。
【図7】この考案によるIC検出機構を装置に組み込ん
だ実施例の図である。
【符号の説明】
1 IC 2 IC搬送器 2A 凹部 3 搬送機構 3A 吸着パッド 4 検出器 4A 投光器 4B 受光器 5 保持板 6 搭載板 6A 検出板 6B ピン

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 IC(1) を収容する複数の凹部(2A)が形
    成されるIC搬送器(2) 内のIC(1) を検出する場合
    に、 複数の吸着パッド(3A)でIC搬送器(2) を着脱し、IC
    搬送器(2) を搬送する搬送機構(3) と、 投光器(4A)と受光器(4B)を対向して配置する検出器(4)
    と、 検出器(4) を4隅に配置し、搬送機構(3) に取り付ける
    保持板(5) と、 保持板(5) 内に搭載し、投光器(4A)の光を遮断する形で
    検出板(6A)を取り付け、前記IC搬送器(2) の凹部(2A)
    に対向する形で突出するピン(6B)を固定する搭載板(6)
    とを備え、 IC搬送器(2) 内にIC(1) が有るときは、搬送機構
    (3) が下降し、ピン(6B)がIC(1) に接触し、保持板
    (5) から搭載板(6) が分離して上昇し、少なくとも1つ
    の検出器(4) の受光器(4B)が受光することを特徴とする
    IC搬送器内のIC検出機構。
JP1992079756U 1992-10-23 1992-10-23 Ic搬送器内のic検出機構 Expired - Lifetime JP2590524Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992079756U JP2590524Y2 (ja) 1992-10-23 1992-10-23 Ic搬送器内のic検出機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992079756U JP2590524Y2 (ja) 1992-10-23 1992-10-23 Ic搬送器内のic検出機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0637783U JPH0637783U (ja) 1994-05-20
JP2590524Y2 true JP2590524Y2 (ja) 1999-02-17

Family

ID=13699071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1992079756U Expired - Lifetime JP2590524Y2 (ja) 1992-10-23 1992-10-23 Ic搬送器内のic検出機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2590524Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7219148B2 (ja) * 2018-04-25 2023-02-07 住友化学株式会社 検査システム及び検査システムの駆動方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0637783U (ja) 1994-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5824185A (en) Wafer ring supply and return device
JPS61289692A (ja) 部品姿勢検出装置
JP3134738B2 (ja) ハンドリングシステム
JP2590524Y2 (ja) Ic搬送器内のic検出機構
JPS61248839A (ja) 収納ウエハの取り出し装置
JPS59128125A (ja) ロ−ダ・アンロ−ダ
JPS60154834U (ja) 検体架台の供給装置
JPH07335723A (ja) 位置決め装置
JP2985532B2 (ja) Icデバイスの移載方法
JPH07147316A (ja) 検出装置
JPH04107841A (ja) 半導体ウェハー搬送装置および搬送方法
JPH05304199A (ja) 吸着ヘッドの位置決め機構
JPH01152632A (ja) 半導体組立装置
JPH0623252U (ja) 表面処理装置
JPS6293124A (ja) 部品収納箱供給装置
CN115527906A (zh) 气浮式输送平台及其检测系统
KR20030037579A (ko) 캐리어 스테이지
JP2580491Y2 (ja) キャリアによるリードフレーム付ic搬送機構
JPH0724279B2 (ja) ウェハ移し替え装置
JPH04117491U (ja) チツプ状回路部品マウント装置用テンプレート
JP2520919B2 (ja) プロ―ブ装置
KR20000052268A (ko) 웨이퍼 감지 시스템
JPS6184017A (ja) マスク搬送装置
JPH10289862A (ja) 搬送装置
JPH04117500U (ja) チツプ状回路部品マウント装置用テンプレート