JPS604375B2 - 真空吸着状態検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空吸着装置において吸着物有無の状態の検出
装置に関するもので、主として半導体べレットを真空吸
着臭によって搬送するにあたり、べレットが吸着されて
いるが否かを検出する装置を対象とする。

真空吸着装置に半導体べレツトがたしかに吸着されてい
るか杏かを検出する装置として第４図に示すように一対
の発光素子５と受光素子４とをべレット１０が吸着され
る部分を挟んで対向させ、べレットにより発光部からの
光が遮ぎられているか否かによってべレットの有無を検
出するものが従来から使われている。

かかる装置によれば発光素子からの光以外の光が受光素
子に入り、ベレツトが吸着されている場合においても受
光素子に光が入り、受光量の大小によってべレットの有
無を検出しなければならなかった。

したがって、受光量を電気量に変換し、変換された電気
量に応じてべレットの有無の判定を行うにあたって、ベ
レット有無の判定の基準となるレベルを定めるのが難し
く、その設定を誤ると誤判断されるという問題があった
。そして実際上かかる検出装置は高感度であることを要
し、又、真空吸着臭の周囲の変化により誤動作するとい
う問題もあった。また、第３図に示すように複数の真空
吸着臭をＸ−×方向に設けた軸１１に配列し、これを−
体としてＹ方向（横方向）に搬送させるものについて、
各吸着具にべレットが吸着されているか否かを検出する
ことは難しかった。

すなわちＸ方向に発光素子と対向させることはこの場合
不可能であるし、又、Ｙ方向に発光素子と受光素子を設
けることとすれば真空吸着具の運動軌跡が第２図に示す
如くであることから、発光素子と受光素子の存在が真空
吸着臭の運動の妨げとなる。したがって、本発明の一つ
の目的は真空吸着臭に物体が吸着されているか否かを簡
単にかつ正確に検出できるようにすることにあり、他の
目的は複数個の真空吸着具を配列したものを一体として
運動させて搬送させるものについても個々の真空吸着臭
に物体が吸着されているか否かを検出できるようにする
ことにある。

上記目的を達成するための本発明の要旨は、物体を吸着
するための吸着口を有する真空吸着具内に受光部を設け
、上記真空吸着具は上記吸着口から真空ポンプに通じる
真空吸引経路と上記吸着口から上記受光部に通ずる光の
経路とを有し、上記受光部と対をなす発光部を上記真空
吸着具外であって、上記発光部からの光が上記真空吸着
具の運動方向を横切るような位置に設け、上記真空吸着
具の運動による物体搬送の途中で上記物体が上記真空吸
着具に吸着されているか杏かを光学的手段により検出す
ることを特徴とする真空吸着状態検出装置にある。以下
本発明を実施例により説明する。

第１図及び第２図は本発明の一実施例の説明図である。

１は真空吸着具の本体、２は真空吸着口、３は真空吸着
口と真空ポンプとを結ぶ真空吸引孔、４は真空吸着口の
上部の空間内に設けられた受光素子で、接着剤により固
定される。５はこの受光素子４と対をなす発光ランプ、
６はこの発光ランプを支持する台、７はフオトトランジ
ス外こより変換された電気量を検出し、ベレット有無の
判断をする検出回路、８は発光ランプに電力を供給する
電源、９は気密保持用メクラピンである。

すなわち、ベレット１０が入り込まない程度の小さい口
２を有した真空吸着具内において、その内部空間部の上
方に受光素子４を埋め込み、その空間部の中央部に横方
向の真空吸引孔３を設け、これを真空ポンプに通じるよ
うにしてなるもので、発光ランプ５からの光が真空吸着
口２を通って受光素子４に到達するとともに、やはり真
空吸着口２を通じて真空吸引がなされる。

第２図は真空吸着臭の運動軌跡を示すもので、Ａ部にお
いて真空吸着具ａ，点まで下降かせてべレットを吸着し
、次いでａ２点まで上昇させ、その後そのままＹ方向に
水平移動させ、Ｂ部においてべレットの有無を検出し、
ベレットが吸着されていた場合はさらにＣ部（供給部）
まで水平移動させ、その後Ｃ２点まで下降させてべレッ
トの供給を行う。

本発明によれば、ベレットが吸着されていない場合は発
光ランプからの光がそのまま受光素子において受光され
、ベレットが吸着されている場合はそのべレット自体に
よって真空吸着臭内の空間部が他から完全に遮ぎられ、
受光量がほぼ完全に０になる。

したがって、受光の有無によってべレットの有無を判断
することができ、検出回路の感度そのものは高いことを
要しないし、また信号のどのレベルをもってべレット有
無判断の基準レベルとするかについても設定の困難性が
ない。さらに真空及着具の周辺の明るさによって誤動作
することもない。また、受光素子を、真空吸引されるェ
ァ （ａｉｒ）の通路外に設け、光の経路とェアの経路を一
部（真空吸着口部）においてのみ共有させることとして
あるので、受光素子を真空吸着具内に設けても真空吸引
の妨げになることはない。

さらに、本発明において、受光素子を真空吸着具の内部
に、発光部を真空吸着具の下部に設け光の進行方向を垂
直方向としたため、第３図に示すように多数の真空吸着
具を一直線上に狭い間隔をもって配列し、多数のべレッ
トを同時に搬送するものにも支障なく適用することがで
きる。

この場合、発光ランプとして細長形状のものを用いれば
各吸着臭毎に一つずつランプを設ける必要はなく、一個
のランプで兼用することができる。本発明はＤＨＤダイ
オードチップ、あるいはトランジスタ、ＩＣチップの搬
送のみならず、真空吸着具を用いて物体を搬送するすべ
ての場合における吸着の有無の検出に適用することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の一実施例を示すもので、第
１図は断面図、第２図は真空吸着臭の運動具の運動軌跡
の説明図である。 第３図は本発明の他の実施例を示す側面図である。第４
図は従来例を示す断面図である。１・・・吸着臭本体、
２・・・真空吸着口、３・・・真空吸引孔、４・・・受
光ランプ、５・・・発光ランプ、６・・・発光ランプ支
持台、７・・・検出回路、８・・・電源、９・・・メク
ラピン、１０…べレット、１１…軸。 続ｌ図 桁乙囚 桁う図 舟十図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 物体を吸着するための吸着口を有する真空吸着具内
   に受光部を設け、上記真空吸着具は上記吸着口から真空
   ポンプに通ずる真空吸引経路と上記吸着口から上記受光
   部に通ずる光の経路とを有し、上記受光部と対をなす発
   光部を上記真空吸着具外であって、上記発光部からの光
   が上記真空吸着具の運動方向を横切るような位置に設け
   、上記真空吸着具の運動による物体搬送の途中で上記物
   体が上記真空吸着具に吸着されているか否かを光学的手
   段により検出することを特徴とする真空吸着状態検出装
   置。