JPS61194800A - 整列検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製品のトレー上での整列状態を検出す
る整列検出器に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、装置への半導体製品の供給方法として、複数個
の半導体製品が配列されているトレーを装置に搬入して
、そのトレー上から半導体製品を吸着ノズル等にて供給
する方法が用いられている。

従来、第３図に示すように、トレー１９上の半導体製品
１６　、１７　、１８の整列状態を発光器１４及び受光
器１５からなる反射型光学式検出器で検出していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従って、上述した従来の検出器では、第３図（ａ）。

伽）のように半導体製品の有無は確実に検出できるが、
第３図（ｃ）のように半導体製品１７が裏返しになって
いる状態及び第３図（ｄ）のように製品１８が配列溝に
正常に配列されていない状態を確実に検出することは不
可能であるため、裏返しになった半導体製品または正常
に配列されていない半導体製品をそのままの状態でトレ
ー上から装置に供給してしまい、その結果半導体製品ま
たは装置自体を破損してしまうという欠点があった。

本発明の目的は上記欠点を解決し、トレー上に配列され
た半導体製品の有無状態、表裏状態、及び配列状態を確
実に検出することが可能な整列検出器を提供することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明はトレーの搬送路内に、該トレー上に配列された
半導体製品の上面に当接し該半導体製品の装着姿勢に応
じて上下の高さ位置が変化する検査棒を設置し、該検査
棒に設けた透過孔に相対して対をなす発光器及び受光器
を基準高さ位置に設置したことを特徴とする整列検出器
である。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図はその縦断
面図である。検査棒１はがイド２に沿ってトレー９上の
半導体製品の装着姿勢に応じて上下動し、トレー９の配
列溝に配列された半導体製品６によって上下の高さ位置
が決まる。検査棒工の側壁に直角に透過孔３を設け、該
透過孔３に相対して対をなす発光器４及び受光器５を基
準高さ位置に設置する。実施例において、第２図（、）
のように半導体製品６がトレー９の配列溝に正常に配列
されている場合のみ、１対の発光器４と受光器５との高
さ位置に透過孔３が位置し、発光器４からの光が透過孔
３を通して受光器５で検出される。

また、第２図（ｂ）のように、半導体製品が無い場合、
第２図（ｃ）のように製品７が裏返しになっている場合
、第２図（ｄ）のように製品８がトレーの配列溝に正常
に配列されていない場合には、検査棒１の高さ位置は正
常な配列の場合の高さ位置に比較して上下に変化するた
め、各状態において発光器４と受光器５との高さ位置と
透過孔３との高さ位置が上下にずれ、発光器４からの光
が検査棒１にて遮断されるため、受光器５で検出されな
い。

したがって、発光器４からの光を受光器５によって受光
したか否かに基づき、トレー上に配列された半導体製品
の有無状態、表裏状態、配列状態を確実に検出すること
が可能になる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、トレー上に裏返し
になって配列された半導体製品および配列溝に正常に配
列されていない半導体製品を検出して、その半導体製品
を装置へ搬送する途中で排除することができ、半導体製
品および装置自体の破損を防ぎ、製品の歩留りおよび装
置の稼動率を向上させ、従って低価格化が可能になると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の整列検出器を示す斜視図、第２図（ａ
）〜（ｄ）は検査状態を示す断面図、第３図（ａ）〜（
ｄ）は従来の整列検出器による検査状態を示す縦断面図
である。 １・・・検査棒、２・・・ガイド、３・・・透過孔、４
・・・発光器、５・・・受光器。 （（２）　　　　　　　（ｂ） ＣＣ）　　　　　　　（ｄ） 第３図 ＜ａ＞　　　　　　　＜ｂ＞ （Ｃ）　　　　　　　（ｄ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）トレーの搬送路内に、該トレー上に配列された半
   導体製品の上面に当接し該半導体製品の装着姿勢に応じ
   て上下の高さ位置が変化する検査棒を設置し、かつ該検
   査棒に設けた透過孔に相対して対をなす発光器及び受光
   器を基準高さ位置に設置したことを特徴とする整列検出
   器。