KR200194078Y1 - 반도체 웨이퍼 운반 장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼 운반 장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 웨이퍼를 운반하는 차처; 상기 차저를 구동시키는 모터; 상기 차저 및 모터를 제어하는 제어부를 구비하는 반도체 웨이퍼 운반 장치에 있어서, 공정이 시작될 때 및 웨이퍼를 석영 보트에 내려 놓은 후에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지를 감지하는 적어도 하나의 감지부를 더 구비하고, 상기 제어부는 상기 감지부로 부터 웨이퍼 감지 신호가 발생되면 상기 모터를 정지시키는 모터 정지 신호를 발생시켜 상기 모터를 정지시키도록 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반 장치에 관한 것으로, 차저에 실리콘 웨이퍼가 남아 있을때 감지부를 이용하여 실리콘 웨이퍼를 정확하게 감지하므로 웨이퍼 운반의 안정성을 향상시켜 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있는 특유의 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 운반 장치
제1도는 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 운반장치의 블록도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 차저(charger) 20,30 : 감지부
40 : 경고부 50 : 제어부
본 고안은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 운반시 잔류 웨이퍼 감지 기능을 가지는 반도체 웨이퍼 운반 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 운반 장치는 반도체 공정시 다수의 웨이퍼를 한번에 석영 보트로 운반하는 장치로서, 여러개의 웨이퍼를 동시에 운반하는 모든 웨이퍼 운반 시스템(system)에 본 고안의 적용이 가능하다.
반도체 장비인 PSC(Plasma System Control; 이라 PSC라 칭함) 감광막 제거기를 일예로 종래 기술을 설명한다.
먼저, PSC 감광막 제거기에서 반도체 웨이퍼 운반 장치는 석영 보트(boat)로 실리콘 웨이퍼를 운반하기 위한 차저(charger)를 구비하며, 이 차저는 약 50개의 실리콘 웨이퍼를 한번에 석영 보트로 옮긴다.
그러나, 종래의 반도체 웨이퍼 운반 장치는 차저에 실리콘 웨이퍼가 남아 있는 현상이 발생하였을 때 상기 차저에 남아 있는 실리콘 웨이퍼를 보호할 수 있는 인터락(interlock) 기능이 없기 때문에, 다음 공정을 진행하면 실리콘 웨이퍼가 남아 있는 곳에 다시 겹쳐서 다량의 웨이퍼 손실이 발생하는 문제점을 초래했다.
즉, 종래의 반도체 웨이퍼 운반 장치는 공정을 시작 했을 때 차저에 실리콘 웨이퍼가 남아 있더라도 그대로 운반 공정을 계속 수행하는 문제점을 초래했다.
따라서, 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 차저에 남아 있는 웨이퍼를 감지하여 웨이퍼가 있으면 웨이퍼 운반 공정을 중단시키도록 한 반도체 웨이퍼 운반 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성차기 위하여 본 고안은, 웨이퍼를 운반하는 차저; 상기 차저의 구동을 위한 모터; 상기 차저를 구동시켜 웨이퍼를 운반시키기 위한 공정시작 스위치; 상기 차저를 정지시켜 웨이퍼의 운반을 정지시키기 위한 공정정지스위치, 상기 차저에 남아 있는 웨이퍼를 제거한 후, 다시 상기 차저를 구동시켜 웨이퍼를 운반하기 위한 리셋스위치; 공정이 시작되어 상기 차저에 웨이퍼가 실릴 때에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제1웨이퍼감지신호를 출력하는 제1감지부; 상기 차저가 이동하여 웨이퍼가 석영보트로 옮긴 후에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제2웨이퍼감지신호를 출력하는 제2감지부; 및 상기 제1감지부 또는 상기 제2감지부로부터 출력된 상기 제1웨이퍼감지신호 또는 제2웨이퍼감지신호에 응답하여 상기 모터의 구동 제어를 위한 모터제어신호를 발생시키는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 제1도을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제1도를 참조하면 본 고안의 반도체 웨이퍼 운반 장치는, 웨이퍼를 운반하는 차저(10)와, 상기 차저(10)의 구동을 위한 모터(90), 상기 차저(10)를 구동시켜 웨이퍼를 운반시키기 위한 공정시작스위치(60), 상기 차저(10)를 정지시켜 웨이퍼의 운반을 정지시키기 위한 공정정지스위치(70), 상기 차저(10)에 남아 있는 웨이퍼를 제거한 후, 다시 상기 차저를 구동시켜 웨이퍼를 운반하기 위한 리셋스위치(80), 공정이 시작되어 상기 차저(10)에 웨이퍼가 실릴 때에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제1웨이퍼감지신호를 출력하는 제1감지부(20), 상기 차저(10)가 이동하여 웨이퍼가 석영보트(도면에 도시되지 않음)로 옮긴 후에 상기 차저(10)에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제2웨이퍼감지신호를 출력하는 제2감지부(30), 상기 제1감지부(20) 또는 상기 제2감지부(30)로부터 출력된 상기 제1웨이퍼감지신호 또는 제2웨이퍼감지신호에 응답하여 상기 모터(90)의 구동 제어를 위한 모터 제어신호를 발생시키는 제어부(50)를 구비하고 있다.
그리고, 상기 차저(10)에 웨이퍼가 남아 있음을 경고하기 위한 경고부(50)를 구비하고 있으며, 상기 제어부(50)는 상기 제1웨이퍼감지신호 또는 제2웨이퍼감지신호에 응답하여 상기 경고부(40) 구동을 위한 경고제어신호를 출력한다.
이렇게 본 고안은 웨이퍼 운반이 시작될 때 차저(10)에 웨이퍼가 실리는데 이때 차저(10)에 웨이퍼가 존재하는지 그 유무를 감지하도록 제1감지부(20)를 구비하고, 차저(10)가 웨이퍼를 석영 보트에 내려 놓은 후에도 계속 웨이퍼가 차저(10)에 남아 있으면 이를 감지할 수 있도록 제2감지부(30)를 구비하며, 이 제1 및 제2감지부(20,30)에 의해 웨이퍼가 차저(10)에 잔류하고 있음을 감지하였으면 제어부(50)에 차저가 구동을 멈추도록 차저의 모터를 제어하는 것에 그 특징이 있다 하겠다.
그리고, 제어부(50)는 내장프로그림인 PLC(Programmable Logic Controller)프로그램을 수정하여 1차와 2차에 걸쳐 실리콘 웨이퍼가 남아 있는지 감지하여 웨이퍼가 있으면 반도체 웨이퍼 운반 장치의 동작을 멈추게 하였다.
이때, 상기 제1 및 제2감지부(20,30)는 웨이퍼에서 반사되는 빛을 감지하는 광 센서를 구비하여 차처(10)에 웨이퍼가 존재하는지의 여부를 감지하게 된다.
그리고, 경고부(40)는 제어부(50)로부터 경고제어신호가 인가되면, 경적소리를 울리는 부저로 구성될 수 있다.
따라서, 공정 시작시 차저(10)에 남아 있는 웨이퍼가 없고, 또한 차저(10)에서 석영 보트까지 웨이퍼 운반을 마친 후 차저(10)에 한장의 웨이퍼라도 남아 있지 않으면, 웨이퍼 운반 장치는 계속 동작하지만, 상기 두 경우에서 웨이퍼가 감지되면 웨이퍼 운반 장치는 동작을 멈추게 된다.
상기와 같이 이루어지는 본 고안의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 운반 장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반도체 웨이퍼 운반 장치는 공정 시작시, 즉, 공정시작스위치(60)가 온(ON)되면 제1감지부(20)가 차저(10) 내의 웨이퍼 유.무를 감지하며, 이때 웨이퍼가 감지되면 제어부(50)로 부터의 모터정지신호 및 경고제어신호에 의해 차저내의 웨이퍼 운반용 모터가 정지하게 된다.
또한, 차저(10)가 이동하여 석영보트에 웨이퍼가 옮겨진 후에는 차저(10)에 웨이퍼가 남아 있을 경우 제2감지부(30)에 의하여 잔류 웨이퍼는 감지된다. 따라서, 상기 감지부(30)에 의하여 웨이퍼가 감지되면 제어부(50)는 역시 경고 제어신호 및 모터정지신호를 출력하게 되며, 이때 차저(10)에 남아 있는 웨이퍼를 제거한 후 리셋스위치(80)를 누르면 다시 웨이퍼 운반이 수행된다.
상기와 같이 이루어지는 본 고안은 차저에 실리콘 웨이퍼가 남아 있을때 감지부를 이용하여 실리콘 웨이퍼를 정확하게 감지하므로 웨이퍼 운반의 안정성을 향상시켜 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있는 특유의 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 반도체 웨이퍼를 운반 장치에 있어서, 웨이퍼를 운반하는 차저; 상기 차저의 구동을 위한 모터; 상기 차저를 구동시켜 웨이퍼를 운반시키기 위한 공정시작스위치; 상기 차저를 정지시켜 웨이퍼의 운반을 정지시키기 위한 공정정지스위치; 및 상기 차저에 남아 있는 웨이퍼를 제거한 후, 다시 상기 차저를 구동시켜 웨이퍼를 운반하기 위한 리셋스위치; 공정이 시작되어 상기 차저에 웨이퍼가 실릴 때에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제1웨이퍼감지신호를 출력하는 제1감지부; 상기 차저가 이동하여 웨이퍼가 석영보트로 옮긴 후에 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있는지의 여부를 감지한 제2웨이퍼감지신호를 출력하는 제2감지부; 및 상기 제1감지부 또는 상기 제2감지부로부터 출력된 상기 제1웨이퍼감지신호 또는 제2웨이퍼감지신호에 응답하여 상기 모터의 구동 제어를 위한 모터제어신호를 발생시키는 제어부를 구비하는 반도체 웨이퍼 운반 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 차저에 웨이퍼가 남아 있음을 경고하기 위한 경고부를 더 구비하고, 상기 제어부는 상기 제1웨이퍼감지신호 또는 제2웨이퍼감지신호에 응답하여 상기 경고부 구동을 위한 경고제어신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2감지부는 웨이퍼에서 반사되는 빚을 감지하는 광센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 경고부는 상기 경고제어신호에 응답하여 경고음을 발생시키기 위한 부저를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반 장치.
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