KR970053260A - 웨이퍼 얼라인 감지 장치 - Google Patents

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KR970053260A
KR970053260A KR1019950065731A KR19950065731A KR970053260A KR 970053260 A KR970053260 A KR 970053260A KR 1019950065731 A KR1019950065731 A KR 1019950065731A KR 19950065731 A KR19950065731 A KR 19950065731A KR 970053260 A KR970053260 A KR 970053260A
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KR
South Korea
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wafer
sensing device
semiconductor
edges
alignment
Prior art date
Application number
KR1019950065731A
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English (en)
Inventor
권기훈
이태상
김상학
전일환
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 따라 웨이퍼 이동시에 정확히 얼라인이 유지되도록 한 감지 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 양 엣지(EDGE)를 피감지부로 설정하고, 듀얼(DUAL) 방식으로 마련된 감지장치에 의해서 이를 감지되게 함으로 웨이퍼 이탈점의 확인이 정확하게 이루어지는 웨이퍼 얼라인 감지 장치에 관한 것으로 이송 수단에 따라 로딩/언로딩되며 웨이퍼가 가동되는 반도체 웨이퍼의 공정 장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 얼라인 유지를 위하여 적어도 2점 이상의 웨이퍼 엣지가 감지되도록 복수의 감지 수단이 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 얼라인 감지 장치.

Description

웨이퍼 얼라인 감지 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 얼라인 감지 장치를 도시한 평면도.

Claims (1)

  1. 이송 수단에 따라 로딩/언로딩되며 웨이퍼가 가공되는 반도체 웨이퍼의 공정 장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 얼라인 유지를 위하여 적어도 2점 이상의 웨이퍼 엣지가 감지되도록 복수의 감지 수단이 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 얼라인 감지 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950065731A 1995-12-29 1995-12-29 웨이퍼 얼라인 감지 장치 KR970053260A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010081475A (ko) * 2000-02-15 2001-08-29 황인길 챔버의 웨이퍼 리프트 장치
KR101467121B1 (ko) * 2013-01-04 2014-12-01 주식회사 엘지실트론 웨이퍼 표면 검사 장치

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KR20010081475A (ko) * 2000-02-15 2001-08-29 황인길 챔버의 웨이퍼 리프트 장치
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