KR970053260A - 웨이퍼 얼라인 감지 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 따라 웨이퍼 이동시에 정확히 얼라인이 유지되도록 한 감지 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 양 엣지(EDGE)를 피감지부로 설정하고, 듀얼(DUAL) 방식으로 마련된 감지장치에 의해서 이를 감지되게 함으로 웨이퍼 이탈점의 확인이 정확하게 이루어지는 웨이퍼 얼라인 감지 장치에 관한 것으로 이송 수단에 따라 로딩/언로딩되며 웨이퍼가 가동되는 반도체 웨이퍼의 공정 장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 얼라인 유지를 위하여 적어도 2점 이상의 웨이퍼 엣지가 감지되도록 복수의 감지 수단이 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 얼라인 감지 장치.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 웨이퍼 얼라인 감지 장치를 도시한 평면도.
Claims (1)
- 이송 수단에 따라 로딩/언로딩되며 웨이퍼가 가공되는 반도체 웨이퍼의 공정 장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 얼라인 유지를 위하여 적어도 2점 이상의 웨이퍼 엣지가 감지되도록 복수의 감지 수단이 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 얼라인 감지 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950065731A KR970053260A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 얼라인 감지 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950065731A KR970053260A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 얼라인 감지 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970053260A true KR970053260A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66624232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950065731A KR970053260A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 얼라인 감지 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970053260A (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010081475A (ko) * | 2000-02-15 | 2001-08-29 | 황인길 | 챔버의 웨이퍼 리프트 장치 |
KR101467121B1 (ko) * | 2013-01-04 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 표면 검사 장치 |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950065731A patent/KR970053260A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010081475A (ko) * | 2000-02-15 | 2001-08-29 | 황인길 | 챔버의 웨이퍼 리프트 장치 |
KR101467121B1 (ko) * | 2013-01-04 | 2014-12-01 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 표면 검사 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |