KR970053308A - 반도체 웨이퍼 로딩 플레이트 - Google Patents
반도체 웨이퍼 로딩 플레이트 Download PDFInfo
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 웨이퍼 로딩 플레이트를 개시한다. 개시된 본 발명은 웨이퍼가 놓여지는 측면의 웨이퍼의 정렬 위치를 감지할 수 있는 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
첨부된 도면은 센서를 구비한 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩 플레이트를 개략적으로 나타낸 도면.
Claims (4)
- 웨이퍼가 놓여지는 측면의 반대 측면에 웨이퍼의 정렬 위치를 감지할 수 있는 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩 플레이트.
- 제1항에 있어서, 상기 센서는 광학적, 전기적, 또는 자기적 방식으로 작동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩 플레이트.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 센서는 웨이퍼의 가장자리가 놓여져야 할 위치를 따라 3개 이상 균일한 분포로 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩 플레이트.
- 제1항에 있어서, 상기 로딩 플레이트는 웨이퍼를 소정의 위치에 수납하는 홈을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩 플레이트.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950056955A KR970053308A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 웨이퍼 로딩 플레이트 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950056955A KR970053308A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 웨이퍼 로딩 플레이트 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970053308A true KR970053308A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66617288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950056955A KR970053308A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 웨이퍼 로딩 플레이트 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970053308A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560817B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2006-03-13 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법 |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950056955A patent/KR970053308A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560817B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2006-03-13 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법 |
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