KR970075967A - 액정표시장치(lcd)용 웨이퍼 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 LCD용 웨이퍼에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 LCD용 웨이퍼는 기판과 실리사이드막 사이에 그 표면이 노출되지 않는 광반사율이 높은 금속막을 더 구비한다.
따라서 본 발명에 의한 LCD용 웨이퍼를 이용하면, 웨이퍼 감지용 광에 대해서 광반사율을 높일 수 있으므로 웨이퍼 감지센서는 웨이퍼를 정확히 감지할 수 있다. 이 결과 웨이퍼의 로딩과 언로딩을 정확히하여 웨이퍼의 깨어짐을 방지할 수 있으므로 경제적이고 동시에 원활한 공정진행을 이룰 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 LCD용 웨이퍼를 나타낸 도면이다, 제3도는 LCD용 웨이퍼에 광차단막을 형성하는 단계를 나타낸 도면이다.
Claims (4)
- 수정(quartz)기판과 상기 수정기판의 뒷면에 실리사이드막을 구비하는 LCD용 웨이퍼에 있어서, 상기 수정기판과 실리사이드층사이에 표면이 전혀 노출되지 않는 상수 수정기판보다 직경이 작고 높은 광 반사율을 갖는 금속막을 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD용 웨이퍼.
- 제1항에 있어서, 상기 금속막은 텅스텐(W)막인 것을 특징으로 하는 LCD용 웨이퍼.
- 제1항에 있어서, 상기 실리사이드막은 상기 금속막을 보호하는 역할을 하는 텅스텐 실리사이드막인 것을 특징으로 하는 LCD용 웨이퍼.
- 제1항에 있어서, 상기 금속막을 상기 기판의 직경보다 작게 형성하기 위해 사용한 수단은 클램프 링인 것을 특징으로 하는 LCD용 웨이퍼.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015549A KR970075967A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 액정표시장치(lcd)용 웨이퍼 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960015549A KR970075967A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 액정표시장치(lcd)용 웨이퍼 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970075967A true KR970075967A (ko) | 1997-12-10 |
Family
ID=66219419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960015549A KR970075967A (ko) | 1996-05-11 | 1996-05-11 | 액정표시장치(lcd)용 웨이퍼 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970075967A (ko) |
-
1996
- 1996-05-11 KR KR1019960015549A patent/KR970075967A/ko not_active Application Discontinuation
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